DE69408490T2

DE69408490T2 - Vorrichtung zur Behandlung von Gegenständen mit Flüssigkeiten

Info

Publication number: DE69408490T2
Application number: DE69408490T
Authority: DE
Inventors: Steven Lindz Bard; Gerald Andrei Bendz; Michael James Canestaro; John Robert Chapura; Edward Jay Frankoski; Michael Shawn Horan; Jeffrey Donald Jones; James Steven Kamperman; John Robert Kjelgaard; Jack Marlyn Mccreary
Original assignee: International Business Machines Corp
Current assignee: International Business Machines Corp
Priority date: 1993-04-28
Filing date: 1994-03-30
Publication date: 1998-09-24
Anticipated expiration: 2014-03-31
Also published as: JPH06320094A; EP0622125B1; TW340807B; US5378307A; MY116476A; EP0622125A1; JP2625639B2; KR0149205B1; DE69408490D1; KR940025409A

Description

Die Erfindung betrifft die Behandlung von Gegenständen mit Fluiden. Insbesondere betrifft die Erfindung die Behandlung von Gegenständen, wie Substrate, die zur Verwendung in Leiterplatten oder dergleichen angepaßt sind.

Querreferenz zu anhängigen Anmeldungen

Unter der Seriennummer (S.N.) 07/911 610 mit dem Titel "Fluid Treatment Apparatus and Method" (Erfinder: S.L. Bard et. al.) wird eine Vorrichtung zur Fluidbehandlung und ein Verfahren zur Behandlung eines Substrats mit einem Fluid definiert, wobei strategisch angeordnete Reihen von Fluidinjektionsdüsen verwendet werden, um sicherzustellen, daß das meiste des Fluids von einer der Reihen in eine Richtung durchläuft, die im wesentlichen entgegengesetzt zu der Bewegungsrichtung des behandelten Substrats ist, um dadurch das mögliche Problem, das mit "Fluidverschleppung" (Durchlauf von zurückgehaltenem Fluid von einer Station zur nächsten) zu überwinden. Die gefüllten Gehäuse, die solche Fluidinjektoren dieser Vorrichtung aufweisen, können in der vorliegenden Erfindung verwendet werden. Diese Anmeldung ist somit durch Bezugnahme hiermit eingeschlossen. Die Seriennr. 07/911 610 wurde am 10. Juli 1992 eingereicht.

Hintergrund der Erfindung

In der Technik sind mehrere Vorrichtungsarten zur Fluidbehandlung einschließlich derartigen Vorrichtungen zum Behandeln z.B. zum Atzen gedruckter Schaltungssubstrate bekannt. Beispiele derartiger Vorrichtungen sind in US-Patenten 4 270 317, 4 506 687, 4 985 111 und 5 076 885 beschrieben. In 4 270 317 von E.J. Kurie wird eine Vorrichtung zur Behandlung von Metallfolien, die kontinuierlich durch die Vorrichtung laufen, definiert, wobei mehrere hintereinander angeordnete Behandlungsbehälter oder -einheiten. verwendet werden. Der primäre Zweck dieser Vorrichtung ist die Metallfolien unter Verwendung entgegengesetzt angeordneter Sprühdüsen, die in einem vorbestimmten Winkelverhältnis zu der Richtung des Folientransports ausgerichtet sind, zu spülen, um dadurch einen turbulenten Fluidfluß gegen die Folie während des Spülens aufrechtzuerhalten. Diese Vorrichtung ist von im wesentlichen länglicher Gestalt, die einen Gebrauch eines erheblichen Platzes auf dem Fertigungsboden erfordert. In 4,506,687 von H.J. Rosch, wird eine Vorrichtung zum Atzen und Spülen senkrecht ausgerichteter Leiterplatten mit den verschiedensten Behandlungsstationen beschrieben, die in aufeinanderfolgender angrenzender Ausrichtung angeordnet sind, was eine Gesamtvorrichtung von im wesentlichen länglicher Gestalt zur Folge hat. Wie die Vorrichtung in 4 270 317 schreibt auch diese Vorrichtung einen Gebrauch eines erheblichen Platzes auf dem Fertigunsboden vor. Das US-Patent 4 985 111 von K.F.G. Ketelhohn betrifft ebenfalls, wie 4 506 687 die Behandlung von Leiterplattensubstraten und verwendet winklig angeordnete Sprühdüsen, um auf die Substrate unter vorbestimmten Winkeln aufzusprühen, um die Bildung von Pfützen oder dergleichen an bestimmten Stellen des Substrats zu verhindern. Somit scheint dieses Patent eine relativ längliche Sprühstruktur für diesen singulären Betrieb zu erfordern, der andererseits eine noch längere Gesamtstruktur für die endgültige Vorrichtungsgestalt vorschreibt. In 5 076 885 von Haas et. al., wird eine Vorrichtung zum Bearbeiten (Atzen) von Metallwerkstücken beschrieben und insbesondere von kupferlaminierten Leiterplatten, wobei aufeinanderfolgende ausgerichtete "Module" notwendig sind, die in einem Abstand in bezug aufeinander positioniert sind. Diese Vorrichtung besitzt somit die gleichen eigenen Nachteile, die mit den vorhergehenden drei anderen Patenten verbunden sind, welche in der Notwendigkeit liegen, einen relativ beträchtlichen Bodenraum bereitzustellen, um die Vorrichtung angemessen unterzubringen.
Schließlich wird in US-A-4 895 099 eine Einrichtung zum kontinuierlichen und aufeinanderfolgenden Anwenden von Durabond TM- Behandlungschemikalien oder ähnlicher Chemikaliensysteme offenbart, die in der Herstellung von Mehrlagen-Leiterplatten verwendet werden. Noch spezieller ist von US-A-4 895 099 eine Fluidbehandlungsvorrichtung zur Behandlung eines Gegenstandes mit ersten und zweiten Fluiden, die dort hindurchlaufen, bekannt. Das Gehäuse definiert eine Kammer, mit Aufprallmitteln für ein erstes Fluid und für ein zweites Fluid, das im wesentlichen benachbart angeordnet ist; weiterhin werden Mittel zum Sammeln der aufgeprallten ersten und zweiten Fluide innerhalb der Kammer bereitgestellt, zusammen mit Mitteln zum Umwälzen des aufgeprallten ersten Fluids; Mittel zum Bereitstellen eines zweiten Fluids zu dem zweiten Fluidaufprallmittel werden in ähnlicher Weise gezeigt. Die Einrichtung der Erfindung umfaßt im allgemeinen eine mechanisierte Förderbandlinie, die Sprühverteiler aufweist, die über und unter der Linie an verschiedenen Punkten so positioniert sind, um das gewünschte aufeinanderfolgende Sprühen von Behandlungschemikalien und Spüllösungen zu bewirken. Chemikalien enthaltende Sammelgruben oder Behälter sind spezifisch bemessen, um somit koordinierte Lösungsvolumen bereitzustellen, wodurch die Notwendigkeit für ein zwischenzeitliches Abschalten der Linie zum Auffüllen einzelner Lösungen minimiert wird.
Obwohl oben erwähnt wird, daß die Erfindung insbesondere für den Gebrauch in der Behandlung von Substraten für den eventuellen Gebrauch als eine Leiterplatte oder ähnliches angepaßt ist, soll die Erfindung nicht darauf begrenzt sein, so daß sie zur Durchführung einer Vielfalt von unterschiedlichen Formen der Behandlung von mehreren unterschiedlichen dort hindurchlaufenden Gegenstandstypen einschließlich sowohl metallischer als auch nichtmetallischer Art verwendet werden kann. Unter der Bezeichnung Behandlung, wie hierin verwendet, ist somit gemeint, derartige Prozesse wie Beschichten, Reinigen, chemische Behandlung (z.B. Atzen) als auch andere, wie Plattieren einzuschließen, was klar durch die hierin bereitgestellten Lehren erkennbar ist. Weiterhin wird unter dem Ausdruck Fluid, wie er hierin verwendet wird, sowohl ein Einschließen von Flüssigkeiten (Z.B. Atzmittel, Wasser) als auch Gasen (z.B. Luft) verstanden.
Die vorliegende Erfindung stellt eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Behandlung von Substraten oder ähnlichen Gegenständen mit Fluiden bereit, wobei mindestens zwei unterschiedliche Prozesse wirksam in einer relativ kleinen Größe an Bodenraum durchgeführt werden können, während gleichzeitig eine wirksame Verwendung (z.B. Rückführung und Wiederauffüllung) der verwendeten Fluide sichergestellt wird. Eine derartige Vorrichtung und ein derartiges Verfahren erfordern die Verwendung eines Minimums an Menge von jedem verwendeten Fluid, während die gewünschten Prozesse wirksam in dem verwendeten begrenzten Raum durchgeführt werden.
Es wird angeommen, daß eine derartige Vorrichtung und ein derartiger Prozeß einen beträchtlichen Fortschritt in der Technik bilden werden.

Offenbarung der Erfindung

Es ist deshalb eine primäre Aufgabe der vorliegenden Erfindung, die Technik der Vorrichtungen und Verfahren zur Fluidbehandlung zu verbessern, wobei mindestens zwei Fluide für den zu behandelnden Gegenstand verwendet werden.
Eine weitere Aufgabe der Erfindung ist es, eine Vorrichtung und ein Verfahren für eine Fluidbehandlung bereitzustellen, wobei eine derartige Doppelbehandlung auf einer minimalen Größe des Bodenraumes durchgeführt wird, während gleichzeitig ein optimaler Gebrauch der Behandlungsfluide sichergestellt wird.
Es ist noch eine weitere Aufgabe der Erfindung, eine derartige Vorrichtung zu schaffen, die relativ günstig herzustellen und zu betreiben ist.
Gemäß einem Aspekt der Erfindung wird eine Vorrichtung geschaffen zum Anwenden erster und zweiter Fluide auf einen Gegenstand, der dort hindurchläuft, wobei die Vorrichtung ein Gehäuse umfaßt, das eine Kammer darin definiert, ein erstes Fluidaufprallmittel zum Aufprallen eines ersten Fluids auf eine Oberfläche des Gegenstandes, wobei das erste Fluid danach innerhalb der Kammer des Gehäuses durch erste Sammelmittel gesammelt wird, die auf dem Boden des Gehäuses gebildet sind, ein Mittel zum Umwälzen des gesammelten ersten Fluids zu dem ersten Fluidaufprallmittel, ein zweites Fluidaufprallmittel zum Aufprallen eines zweiten Fluids auf die Oberfläche des Gegenstands an einer Stelle, die im wesentlichen benachbart zu der Stelle des Aufprallens des zweiten Fluids ist, zweite Sammelmittel zum Sammeln des zweiten aufgeprallten Fluids innerhalb der Kammer des Gehäuses getrennt von dem ersten gesammelten Fluid, wobei das zweite Sammelmittel direkt unterhalb des zweiten Fluidaufprallmittels angeordnet ist, und Mittel, um dem zweiten Fluidaufprallmittel das zweite Fluid bereitzustellen.
Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung wird ein Verfahren zum Behandeln eines Gegenstands mit Fluiden bereitgestellt, wobei das Verfahren mittels der Schritte Transportieren des Gegenstands durch ein Gehäuse, das eine Kammer darin definiert, Aufprallen eines ersten Fluids auf eine Oberfläche des Gegenstandes innerhalb der Kammer, Sammeln des aufgeprallten ersten Fluids mit einem ersten Sammelmittel, das in dem Boden des Gehäuses gebildet ist, Aufprallen eines zweiten Fluids auf die Oberfläche des Gegenstandes an einer Stelle, die im wesentlichen benachbart zu der Stelle des Aufprallens des ersten Fluids ist, Sammeln des aufgeprallten zweiten Fluids mit einem zweiten Sammelmittel getrennt von dem ersten gesammelten Fluid, wobei das zweite Sammelmittel direkt unterhalb des zweiten Fluidaufprallmittels angeordnet ist und Bereitstellen eines zweiten Fluids und danach Aufprallen des zweiten Fluids auf die Oberfläche des Gegenstandes durchgeführt wird.

Kurze Beschreibung der Zeichnungen

Fig. 1 ist eine Vorderansicht, teilweise im Schnitt, die eine Fluidbehandlungsvorrichtung gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung darstellt.
Fig. 2 ist eine Seitenansicht einer Vorrichtung nach Fig. 1, die entlang der Linie 2-2 in Fig. 1 und in einem geringfügig verminderten Maßstab gegenüber der Ansicht in Fig. 1 aufgenommen ist;
Fig. 3 ist eine Seitenansicht der Vorrichtung nach Fig. 1, die entlang der Linie 3-3 in Fig. 1 und in einem geringfügig verminderten Maßstab gegenüber der Ansicht in Fig. 1 aufgenommen ist;
Fig. 4 ist eine Draufsicht der Vorrichtung nach Fig. 1, die entläng der Linie 4-4 in Fig. 1 und in einem leicht vergrößerten Maßstab gegenüber der Ansicht in Fig. 1 aufgenommen ist; und
Fig. 5 ist eine Seitenansicht, die stark vergrößert gegenüber den Ansichten in den Fig. 1 bis 4 ist, die eine bevorzugte Ausführungsform der erfindungsgemäßen Fluidrückhaltewalzenbaugruppe, wie sie im Zusammenhang mit den entsprechenden der erfindungsgemäßen Fluidverteilungseinrichtungen verwendet wird.

Beste Art und Weise zur Ausführung der Erfindung

Für ein besseres Verständnis der vorliegenden Erfindung zusammen mit anderen und weiteren Aufgaben, Vorteilen und Fähigkeiten davon, wird zu der folgenden Offenbarung und den anhängenden Ansprüchen in Verbindung mit den oben beschriebenen Zeichnungen Bezug genommen.
In Fig. 1 wird eine Fluidbehandlungsvorrichtung 10 gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung gezeigt. Wie von dem Folgenden zu verstehen ist, ist die Vorrichtung 10 in der Lage, Fluide auf einen Gegenstand 11 anzuwenden (wie z.B. ein Substrat), um eine gewünschte Funktion, z.B. Atzen, Spülen usw. durchzuführen. Die Erfindung ist insbesondere zur Anwendung von Atzmitteln auf eine Oberfläche eines Festkörpers oder eines mit Öffnung versehenen Gegenstandes angepaßt, der eventuell eine Leiterplatte oder ein derart ähnliches Element umfaßt. Ein besonderes Beispiel eines derartigen Gegenstandes umfaßt ein dielektrisches (z.B. glasfaserverstärktes Expoxidharz) Substrat, das eine leitende (z.B. Kupfer) Schaltungsanordnung darauf und/oder darin aufweist. In einem derartigen Beispiel einer mit Öffnungen versehenen Version können die Öffnungen plattierte Durchgangslöcher (PTHs) umfassen. Die Erfindung kann natürlich für die Durchführung vieler anderer Prozeßarten verwendet werden, die relativ einfache Spülvorgänge (z.B. mit Wasser) usw. einschließen. Gemäß der besonderen Lehren der Erfindung führt die Vorrichtung 10 zwei getrennte Fluidbehandlungsbetriebe an einem Gegenstand 11 durch, wenn der Gegenstand das gemeinsame Gehäuse oder den Behälter 13 davon durchläuft. Wie festgelegt, schließen zwei repräsentative Beispiele derartiger Prozesse ein anfängliches Atzen ein, dem sich ein Spülvorgang, um jegliches verbleibendes Ätzmittel von der anfänglichen Bearbeitung zu entfernen, anschließt. Im wesentlichen werden beide Bearbeitungen, die möglicherweise zwei unterschiedliche Fluide verwenden, in einem einzigen gemeinsamen Gehäuse oder Behälter der Vorrichtung durchgeführt, dadurch wird erreicht, daß diese Bearbeitungen ein Minimum an Herstellungsbodenraum verwenden. Die Vorrichtung 10 kann auch zur Beschichtung eines Gegenstandes 11 (z.B. mit Korrosionsschutz) verwendet werden und dann kann der beschichtete Gegenstand zum Entfernen vorbestimmter Abschnitte der Beschichtung, wenn gewünscht, gespült werden. Andere Behandlungskombinationen, die geeignet sind, durch die Erfindung erreicht zu werden, liegen im Bereich der Fähigkeiten derjenigen, die mit der Technik der Fluidbehandlung vertraut sind und es wird angenommen, daß eine weitere Beschreibung nicht notwendig ist.
Das Gehäuse 13 umfaßt eine Kammer 15, die darin durch die gezeigten aufrechtstehenden Seitenwände 17 und einen Boden (Fußboden) 19 definiert wird. In der Ausführungsform des Gehäuses 13, wie in den Zeichnungen gezeigt, ist das Gehäuse im wesentlichen aus einer rechteckigen Form (sowohl im horizontalen als auch im vertikalen Querschnitt), es ist jedoch verständlich, daß die Erfindung nicht auf diese besondere Form begrenzt ist, da andere (z.B. zylindrische) möglich sind.
In dem oberen Abschnitt 21 des Gehäuses 13 sind unterschiedliche Fluidaufprallmittel 23 und 41 zum Verteilen (Aufprallenlassen) der jeweiligen ersten und zweiten Fluide (z.B. Ätzmittel bzw. Wasser) auf einen Gegenstand 11 angeordnet, wenn sich der Gegenstand durch den oberen Abschnitt der Erfindung bewegt (z.B. horizontal). Die Aufprallmittel schließen mindestens ein Mittel 23 zum Aufprallen des ersten Fluids (z.B. Natriumpersulfat als Ätzlösung) auf mindestens eine Oberfläche (z.B. die obere Fläche) des Gegenstands 11 ein. Das erste Fluidaufprallmittel 23 umfaßt vorzugsweise ein Paar länglicher Fluidinjektorteile 27 (siehe auch Fig. 2), die sich vorzugsweise im wesentlichen rechtwinklig zu der Richtung der Bewegung des Gegenstandes 11 erstrecken ("T" in Fig. 1) und, wie besser in Fig. 5 zu sehen, sind sie in einem vorbestimmten geringen Abstand von der entsprechenden entgegengesetzten Oberfläche des Gegenstandes 11 angeordnet. Jedes der länglichen Fluidinjektorteile, wie am besten in Fig. 2 zu sehen ist, ist vorzugsweise länger als die entsprechende Breite des Gegenstandes 11, so daß der Gegenstand dazwischen in einer Ausrichtung, wie in Fig. 2 zu sehen ist, angeordnet ist. Eine derartige Anordnung stellt ein genaues Aufprallen des Fluids auf die gesamte Breite der jeweiligen Gegenstandsoberfläche, falls gewünscht, sicher.
In einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist jedes der ersten Fluidaufprallmittel (langgestreckte Fluidinjektorteile 27) von einer Art, die in der vorerwähnten gleichzeitig anhängigen Anmeldung S.N. 07/011 610, deren Offenbarung hiermit durch Bezugnahme eingeschlossen ist, beschrieben. Wie in S.N. 07/911 610 definiert und wie auch in Fig. 5 zu sehen ist, umfaßt jedes Fluidinjektormittel mindestens zwei Reihen von Fluidinjektordüsen (Öffnungen) 31, die sich im wesentlichen auf die Länge der Gehäuse der Injektorteile erstrecken und deren Funktion es ist, das bevorzugte erste Fluid auf die entsprechende benachbarte Oberfläche des Gegenstandes 11 zu einer vorgeschriebenen Rate zu richten. Der Gebrauch eines derartigen Fluidinjektorteiles stellt mehrere vorteilhafte Merkmale bereit, die in S.N. 07/911 610 definiert werden. Es wird ahgenommen, daß eine weitere Beschreibung somit nicht notwendig ist. Es muß jedoch angemerkt werden, daß die Erfindung nicht auf die Verwendung eines derartigen Fluidinjektorteiles beschränkt ist, um eine wirkungsvolle Behandlung in der hier beschrieben Weise zu erreichen. Andere Injektoren oder Mittel zum Anwenden des Fluids in einer wirksamen Weise, die bekannte Sprühdüsen, Fluidverteiler oder ähnliches einschließen, sind ohne weiteres für eine Verwendung in der vorliegenden Erfindung geeignet.
In einem Beispiel der Erfindung wurde ein flacher dielektrischer Substratgegenstand mit Kupferschaltungsanordnung durch den Gegenstand der Erfindung transportiert und wurde unter Verwendung eines Paares von ersten Fluidinjektorteilen 27, die jedes eine Gesamtlänge von 1,68 m (etwa 36 Zoll) aufwiesen, behandelt und eine entsprechend sehr schmale Breite (Fig. 1) von nur 2,54 x 10&supmin;² m (etwa 1 Zoll) hatten, wobei jede davon in einem Abstand von etwa 3,175 x 10&supmin;³ m (etwa 0,125 Zoll) von der jeweiligen benachbarten Oberfläche des Gegenstandes entfernt war. In einem Beispiel wurde das Teil 27 in einem Abstand von etwa 2,54 x 10&supmin;³ m (etwa 0,100 Zoll) von der Bodenfläche des Gegenstands 11 und von etwa 2,54 x 10&supmin;³ m bis 5,1 x 10&supmin;³ m (etwa 0,100 Zoll bis 0,200 Zoll) von der oberen Fläche entfernt angeordnet. Der größere obere Abstand kompensiert die Unterschiede der Dicke des Gegenstandes, der untere Abstand ist aufgrund der Plazierung des Gegenstandes auf Walzen (87, unten beschrieben) während des Durchfahrens der Vorrichtung 10 festgesetzt.
Wie in Fig. 1 und 2 gezeigt, tritt das erste Fluid, das auf den Gegenstand 11 aufprallt, aus den offenen gegenüberliegenden Enden 33 des Fluidinjektorteils 27 heraus und fällt durch die Schwerkraft auf den Boden des Gehäuses 13, wo es gesammelt wird. Bezeichnenderweise und wie in größerem Detail hiernach festgestellt wird, Wird dieses erste Fluid im wesentlichen daran gehindert, weiter in andere Teile des Gehäuses zu gelangen. Derartige relativ minimale Mengen eines solchen Fluids, die doch hindurchpassieren, werden gemäß den einzigartigen Lehren hierin ohne weiteres aufgenommen.
Eine Rückzirkulation des gesammelten ersten Fluids (35 in Fig. 1 und 2) wird vorzugsweise durch eine Pumpe 37 und geeignete Leitungsmittel 39 erreicht, die das gesammelte Fluid von dem Boden des Gehäuses 13 und nach oben zu den entsprechenden Injektorpaaren 27 transportiert. Obwohl eine Pumpe 37 als eines der Mittel zum Erreichen dieser Rückzirkulation gezeigt wird, ist die Erfindung nicht darauf beschränkt, weil andere Mittel durchaus im Rahmen der vorliegenden Erfindung möglich sind.
Falls gewünscht ist es auch möglich, Filtermittel (nicht gezeigt) als Teil der Rückzirkulationspumpe und der Leitungsanordnung zu verwenden, um unerwünschte Kontaminationen oder dergleichen, falls diese innerhalb des ersten Fluids auftauchen sollten, zu entfernen.
Wie in den Fig. 1 und 3 gezeigt, umfaßt die Vorrichtung 10 weiterhin zweite Fluidaufprallmittel 41 zum Aufprallen eines zweiten Fluids auf den Gegenstand 11. In einer Ausführungsform werden zwei Paare von länglichen Fluidinjektorteilen 27 verwendet, wobei jedes vorzugsweise ähnlich zu dem Injektorteil 27 des ersten Fluidaufprallmittels 23 ist. Somit wird eine Gesamtzahl von vier Injektorteilen 27 in zwei entgegengesetzten Paaren für diese Ausführungsform gebraucht, um Fluid auf die entsprechenden benachbarten Oberflächen des Gegenstandes 11 an einer Stelle zu richten, die im wesentlichen benachbart zu der Stelle der Vorrichtung 10 ist, an der das erste Fluid auf den Gegenstand trifft. In einer weiteren Ausführungsform (wie gezeigt) werden drei Paare (sechs ingesamt) verwendet. Wie festgestellt ist jedes der Fluidinjektorteile vorzugsweise ähnlich zu denen, die für das erste Aufprallmittel 23 verwendet werden und somit ähnlich denen, die in der gleichzeitig anhängigen Anmeldung S.N. 07/911 610 beschrieben werden. Es ist auch möglich, wie bei dem Injektorteil des ersten Mittels 23, alternative Injektoren, Düsen oder ähnliches, wie oben erwähnt, zu verwenden.
In Fig. 3 wird nur ein Paar derartiger Fluidinjektorteile 27 gezeigt, aber es ist verständlich, daß die verbleibenden Paare direkt dahinter angeordnet sind. Diese Fluidinjektorteile haben auch ähnliche Größen und Abstände (z.B. vom Gegenstand 11), wie diejenigen in dem ersten Aufprallmittel 23. Wie in Fig. 3 gezeigt, strömt das zweite Fluid, das auf den Gegenstand 11 gerichtet ist, heraus und nach unten auf die entgegengesetzten Enden 43 von jedem Paar aus.
Ein bevorzugtes zweites Fluid zum Aufprallenlassen auf den Gegenstand 11 an dieser Stelle innerhalb der Vorrichtung ist deionisiertes Wasser, wobei dieses Fluid dazu dient, jeden Zusatz und/oder jedes unerwünschte Ätzmittel wegzuspülen, das auf dem Gegenstand verbleibt, wenn er durch das Teil des Gehäuses 13 durchläuft, das von den Paaren der zweiten Fluidinjektorteile des zweiten Fluidaufprallteils 41 in Anspruch genommen wird.
Obwohl Stützmittel oder ähnliches für jedes der gezeigten Fluidinjektorteile für sowohl das erste als auch das zweite Fluidaufprallen 23 und 41 nicht gezeigt werden, ist es verständlich, daß derartige Mittel bereitgestellt werden und zum Wissen des Fachmannes gehören. Sie können derartige Elemente wie Klammer, Spannriegel usw. umfassen. Es wird daher angenommen, daß eine weitere Beschreibung nicht notwendig ist.
Wie in den Zeichnungen gezeigt, kann die Vorrichtung 10 weiterhin Mittel. zum. Sammeln des aufgeprallten zweiten Fluids innerhalb der gleichen Kammer 15 des Gehäuses 13 aufweisen, wie es zum Sammeln des ersten Fluids verwendet wird. Überraschenderweise werden somit beide möglicherweise unterschiedlichen Fluide in naher Nachbarschaft zueinander in einem derartigen Einzelkammergehäuse gesammelt, während noch immer eine wesentliche Trennung dieser zwei Fluide (außer wie unten erwähnt) sichergestellt ist, um damit eine maximale Fluidnutzung für die Erfindung sicherzustellen.
Wie in den Fig. 1-4 gezeigt umfaßt das bevorzugte Mittel zum Sammeln des zweiten Fluids eine kaskadenartige Grube 51, die eine Mehrzahl (vorzugsweise drei) einzelner gestapelter Sammelkammern 53, 54 und 55 aufweist. Wie in Fig. 1 gezeigt, ist jede Kammer der Sammelgrube 51 unterhalb eines entsprechenden Paares der Fluidinjektorteile 27 angeordnet, die für das zweite Fluidaufprallmittel 41 verwendet wird. Somit werden nur zwei derartige Kammern für ein zweites Fluidaufprallmittel verwendet, das nur zwei Paare von derartigen Injektorteilen verwendet. Wie auch gezeigt wird, ist das Fluid in Kammer 53 auf einem höheren Niveau als das der nachfolgenden Kammern, wobei die Fluidpegel schrittweise niedriger sind. Somit umfassen die entsprechenden vertikalen Wände (56 und 56') benachbart zu den Kammern 53 und 54 längliche Schlitze 60 (Fig. 1), um dem zweiten Fluid zu ermöglichen, in einer Weise wie in Fig. 1 gezeigt (mit Pfeilen), überzufließen. Ein Umwälzen des zweiten Fluids von jeder der Kammern 53, 54 und 55 zu entsprechenden Aufprallinjektorteilen wird durch einzelne Umwälzmittel 57, 58 und 59 jeweils, wie in Fig. 4 gezeigt, bereitgestellt. Dieses Umwälzmittel dient somit dazu, das zweite Fluid dem entsprechenden zweiten Fluidaufprailmittel bereitzustellen. Jedes dieser Umwälzmittel, wie das, das für das erfindungsgemäße erste Fluid verwendet wird, umfaßt eine Pumpe (61, 62 und 63) und eine geeignete Leitung 65. Das entsprechende Umwälzmittel 59, das im Detail in Fig. 3 gezeigt ist, ist verständlicherweise im wesentlichen ähnlich zu den Mitteln 57 und 58, diese Figur zeigt weiterhin die Richtung des Flusses "F" für die Rückzirkulation des zweiten Fluids. Ein Teil von einem dieser Mittel (Leitung 65) ist in Fig. 2 konsequenterweise gezeigt.
Somit ist zu ersehen, daß die Erfindung eine Rückzirkulation des gesammelten zweiten Fluids von jeder der entsprechenden Kammern der erfindungsgemäßen, kaskadenförmigen Sammelgrube bereitstellt, um somit eine kontinuierliche Rate des Flusses eines derartigen Fluids zu den entsprechenden zweiten Fluidaufprallmitteln zu sichern. In einer bevorzugten Ausführungsform dieser Erfindung werden Flußraten innerhalb des Bereichs von etwa 1,89 m³/sek bis etwa 1,14 m³/sek (etwa 015 bis 3,0 Gallonen pro Minute (GPA)) von jeder der entsprechenden Kammern 53, 54 und 55 bereitgestellt.
Um ein Überfließen (Kaskadenbilden) des zweiten Fluids sicherzustellen, wie in Fig. 1 dargestellt, wird ein Mittel 71 (Fig. 4) verwendet, um frisches zweites Fluid zu dem ersten Behälter 53 der Sammelgrube 51 bereitzustellen. Vorzugsweise umfaßt das Mittel 71 auch eine Pumpe und eine geeignete Leitung 73, die mit einem Ende mit Behälter 53 und mit dem anderen an eine geeignete Quelle (nicht gezeigt) eines zweiten Fluids angeschlossen ist. Alternativ kann das Mittel 71 frisches Fluid direkt an den Injektor 27 über die Kammer 53 liefern. Wenn ein zweites Fluid direkt zur Kammer 53 geliefert wird, wird eine Umwälzung davon zu den entsprechenden Injektoren 27 (die über der Kammer 53) des zweiten Fluidaufprallmittels 41 durch die vorerwähnten Umwälzmittel 57 bereitgestellt, wobei die Mittel 57 dadurch ein Teil des Mittels zur Bereitstellung des zweiten Fluids für das Aufprallmittel 41 bilden. Ohne Rücksicht auf das verwendete Verfahren wird das zweite Fluid kontinuierlich zu derartigen Injektoren während des Betriebs der Erfindung bereitgestellt. In einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung wird eine Gesamtversorgung von nur etwa 3,79 m³/sek (etwa eine (1) GPM) durch Mittel 71 der ersten Kammer 53 (oder Injektor 27) bereitgestellt, womit ein Überfließen in die zweite Kammer 54 und da nach in die dritte tiefere Kammer 55 sichergestellt wurde. Ein Entfernen von übermäßigen zweiten Fluid, das in der unteren dritten Kammer 55 der Sammelgrube 51 gesammelt wurde, wird vorzugsweise durch einen geeigneten Abfluß 77 (Fig. 1, 2 und 4) erreicht, um dem zweiten Fluid zu ermöglichen, das Gehäuse 13 zu verlassen und möglicherweise an einem geeigneten externen Ort (nicht gezeigt) zum Verteilen, zum Zurückführen usw. gesammelt zu werden. Das Entfernen des zweiten Fluids wird vorzugsweise mit einer Rate von etwa 3,79 m³/sek (etwa eine (1) GPM) auftreten, was im wesentlichen ähnlich der Rate des neuen zweiten Fluids ist, das der Sammelgrubenkammer 51 geliefert wird (oder zu dem Injektorteil über der Kammer).
Ein Wiederauffüllen (Bereitstellen) von zweitem Fluid zu der Vorrichtung 10 in der vorbeschriebenen Weise wird als notwendig betrachtet aufgrund der relativ minimalen Mischung des ersten Fluids damit, wie es während des Betriebs der Vorrichtung 10 auftritt. Bestimmte relativ minimale Mengen des derartigen ersten Fluids laufen entlang mit dem Gegenstand 11 von der entsprechenden Stelle des erfindungsgemäßen ersten Aufprallmittels 21 in dem Abschnitt des Gehäuses 13 durch, das durch das zweite Fluidaufprallmittel 41 eingenommen wird, woraufhin das derartige erste Fluid dann in einer (z.B. Kammer 55) oder mehreren der entsprechenden Kammern der Sammelgrube 51 gesammelt wird. In der Ausführungsform, die in Fig. 1 gezeigt wird, wird unter Verwendung der beschriebenen Durchflußraten und einer Transportrate des Gegenstandes 11 innerhalb des Bereichs von etwa eins bis etwa 3,08 x 10&supmin;¹ bis 3,08 m (etwa 10 Fuß pro Minute (FPM)), und unter Verwendung des beschriebenen Fluidinjektormittels, eine relativ minimale Mischung (Verschleppung) innerhalb der dritten Kammer 55 erscheinen. Folglich stellt die Erfindung ein neues und einzigartiges Mittel zur Unterbringung einer derartigen minimalen Mischung von zwei möglicherweise unterschiedlichen Fluiden bereit, was in enger Nähe zueinander geschieht und dennoch eine wirkungsvolle Behandlung eines Gegenstandes, der den Geggenstand der Erfindung durchläuft, erreichen läßt.
In Fig. 5 wird eine bevorzugte Ausführungsform eines Mittels 81 zur Aufrechterhaltung der Menge des erfindungsgemäßen ersten Fluids (35') auf einem gewünschten Pegel über der entsprechenden Oberfläche des Gegenstandes 11, wenn der Gegenstand in der gezeigten Richtung passiert, aufrechterhalten. Das Mittel 81 umfaßt vorzugsweise ein Paar Walzeneinrichtungen 83, die jede auf gegenüberliegenden Seiten der entsprechenden des Fluidinjektorteils 27 angeordnet sind. Jede Walzeneinrichtung umfaßt vorzugsweise zwei im wesentlichen vertikal ausgerichtete Walzen 85, wie gezeigt, die in Kontakt miteinander während der gewünschten Rotation ("R") von jeder stehen. Weiterhin steht die untere Walze von jedem Paar in Eingriff mit der oberen Fläche des Gegenstandes 11, während der Gegenstand passiert. Die Walzen 85 können mit geeigneten Antriebsmitteln (nicht gezeigt) gekoppelt sein, um eine Rotation von ihnen zu bewirken und somit Mittel zum Transport des Gegenstandes 11( falls gewünscht, bereitstellen. Zusätzlich werden zweite Bodenwalzen 87 verwendet, wobei jede die entsprechende entgegengesetzte (untere) Oberfläche des Gegenstandes 11 berührt und vorzugsweise in der Art, wie in Fig. 5 gezeigt, ausgerichtet ist. Das erste Fluid, das auf die untere Oberfläche des Gegenstandes aufprallt, wird somit im wesentlichen am Passieren, in den anderen Teil des Gehäuses 13 durch die Kombination der sich aufrecht erstreckenden Kammerwände (z.B. 56, 56', 56") unmittelbar unterhalb der entsprechenden Bodenwalze 87 und durch die Walzen 87 gehindert, und dieses aufgeprallte erste Fluid fällt durch die Schwerkraft herunter, um, wie in Fig. 1 gezeigt, gesammelt zu werden. Verständlicherweise fließt auch das erste Fluid, das bei dem Pegel, der in Fig. 5 gezeigt wird, auswärts aus den gegenüberliegenden Enden des oberen Fluidinjektorteils 27, wie in Fig. 2 gezeigt heraus. Die Walzen 85 und 87 sind, zu Zwecken der Vereinfachung, in den Fig. 2 bis 4 nicht gezeigt.
In der Ausführungsform der Fig. 5 wird verständlich, daß die beschriebene Walzentätigkeit nicht eine relativ minimale Menge des aufgeprallten ersten Fluids an einem Durchgang (z.B. zur rechten Seite der Fig. 5) zu anderen Teilen der Vorrichtung 10 hindert, und insbesondere zu der Stelle des ersten Paars der Injektorteile 27 des zweiten Fluidaufprallmittels 41. Solch relativ minimale Mengen vom erstem Fluid passieren entlang der oberen und unteren Fläche des Gegenstandes 11 und werden nahezu vollständig durch das aufprallende zweite Fluid von diesem ersten Paar der Injektorteile entfernt, woraufhin beide derartig kombinierten Fluide in die erste Kammer 55 fallen. Im wesentlichen alles verbleibende erste Fluid, das durch die ersten Paare der Injektionsteile des Mittels 41 hindurchgelaufen sein kann, wird durch die zweiten Injektormittel, die benachbart dazu sind, entfernt, wobei dann derartige Fluide in die zweite Kammer 54 durchlaufen. Jede minimale Menge von verbleibendem ersten Fluid wird durch das dritte Paar der Injektoren entfernt. Bei den Flußraten, den Abständen und den Elementen, die hierin definiert sind, werden näherungsweise fünfundneunzig Prozent vom gesamten ersten Fluid, das durch das erfindungsgemäße erste Fluidaufprallmittel passiert, durch das erste Paar der Injektoren des zweiten Mittels 41 entfernt.
In der vorliegenden Erfindung ist es auch möglich, alternative Transportmittel (nicht gezeigt) bereitzustellen, so daß die Walzen 85 und 87 in Wirklichkeit Folgewalzen sind, die sich aufgrund ihres jeweiligen Eingriffs mit dem Gegenstand 11 drehen, während der Gegenstand bewegt wird. Die Erfindung ist einzigartig in der Lage, eine wirkungsvolle Fluidbearbeitung unter beiden Bedingungen bereitzustellen.
Wie in Fig. 1 zu sehen ist, ist es auch möglich, die Walzeneinrichtungen, wie in Fig. 5 gezeigt, für jedes der entsprechenden Paare von Fluidinjektorteilen 27 des zweiten Fluidaufprallmittels 41 zu verwenden, um dadurch im wesentlichen das Aufprallen des zweiten Fluids bei vorgeschriebenem Pegel entlang der oberen Fläche des Gegenstandes 11 an diesen drei Stellen aufrechtzuerhalten.
Das Aufrechterhalten des entsprechenden Fluids bei vorbestimmten Pegeln kann wünschenswert sein, um einen unterschiedlichen Fluiddruck bei verschiedenen Aufprallstellen zu erzeugen, um somit eine Fluidaufrechterhaltung an derartigen Stellen wie gewünscht zu unterstützen. Dies tritt nur verständlicherweise entlang der oberen Flächen des Gegenstandes 11 auf, relativ zu den benachbarten darüberliegenden Aufprallmitteln. Zum Beispiel kann der Fluidpegel 35', benachbart zum Injektor 27 über der Kammer 54, wünschenswert höher als der entsprechende Pegel des Fluids über dem Injektor 27 über der Kammer 55 sein, um sowohl die erste als auch zweite Fluid-"Verschleppung" zu vermindern. In ähnlicher Weise kann der Pegel über der Kammer 55 höher als der benachbarte des Injektorteils des ersten Fluidaufprallmittels 23 sein.
Zusätzlich zu den oben beschriebenen Walzen ist es auch möglich, zusätzliche Walzen z.B. Walzen 87', falls benötigt, zu verwenden. In einer Ausführungsform werden vier benachbarte Bodenwalzen 87 zwischen den Mitteln 23 und 41 verwendet.
Wie in Fig. 1 gezeigt, umfaßt die Vorrichtung 10 weiterhin drei Fluidaufprallmittel 91 (in gestrichelten Linien gezeigt), um ein drittes Fluid auf den Gegenstand 11 zu richten nachdem der Gegenstand aus dem zweiten Fluidaufprallbereich gekommen ist. In einer Ausführungsform der Erfindung ist dieses dritte Fluidaufprallmittel ein Paar länglicher Fluidinjektorteile 27, die jeweils von ähnlicher Konstruktion, wie die oben beschriebenen, sind. Ein Beispiel für ein derartiges drittes Fluid, das in dieser Stufe zur Behandlung des Gegenstandes 11 angewandt wird, ist Luft. Somit ist zu sehen, daß die Erfindung geeignet ist, sowohl Flüssigkeiten als auch Gase an einem sich bewegenden Gegenstand 11 bereitzustellen. Vorzugsweise werden die Injektoren 27 des Mittels 91 über eine geeignete Leitung (nicht gezeigt) mit Fluid von einem Hochdruckgebläse (Vortex-Gebläse) 93, wie gezeigt, versorgt. Alternativ ist es auch möglich, das Gebläse 93 getrennt von der Richtung des dritten Fluids in einer Weise, die in Fig. 1 gestrichelt gezeigt ist, zu verwenden. Die Verwendung des Injektors 27, der ein derartiges Fluid durch das Gebläse 93 bereitstellt, wird jedoch bevorzugt, um eine derartige Behandlung in minimalem Abstand sicherstellen.
In Fig. 5 werden Führungsteile 101 zum Eingriff mit entsprechenden oberen und unteren Oberflächen des Gegenstandes 11 gezeigt, um somit den Gegenstand in sauberer Ausrichtung während der Bewegung durch die Vorrichtung 10 zu halten. Jedes Führungsteil steht auf diese Weise gleitverschieblich mit den entsprechenden benachbarten Oberflächen des Gegenstandes 11 während einer derartigen Bewegung in Eingriff. In einer bevorzugten Ausführungsform umfaßt jedes Führungsteil 101 ein Eingriffsteil 103, das ein Polyvinylchlorid-(PVC)-Material umfaßt. Jedes Führungsteil kann anpaßbar sein, um einen festgelegten Abstand dazwischen zu definieren, abhängig von der relativen Dikke des Gegenstandes, der behandelt wird.
Von dem Obigen ist verständlich, daß die Erfindung in der Lage ist, feste Gegenstände zu behandeln, wie die oben beschriebenen Substrat-Schaltungsanordungsgegenstände. Zusätzlich und wie in dem repräsentativen Beispiel in Fig. 5 gezeigt, kann der Gegenstand 11 Öffnungen 105 (z.B. PTHs) einschließen, wie es typischerweise bei vielen Leiterplatten vorgefunden wird. Einzigar tig ist die Erfindung in der Lage, beide Typen derartiger Gegenstände mit Fluiden zu behandeln, die auf wirksamen Aufprallkräften gehalten werden, die benötigt werden, um die gewünschten Behandlungen zu erreichen. In einer Ausführungsform hat das Gehäuse 13 eine Höhe von nur etwa 9,25 x 10&supmin;¹ m (nur etwa drei Fuß), eine Breite von nur etwa 1,08 m (nur etwa 3,5 Fuß) und eine Länge (Fig. 1) von nur etwa 0, 62 m (nur etwa zwei Fuß). Somit erscheinen sowohl die beschriebene kaskadenförmige Sammelgrube als auch die erste Fluidsammlung in einem relativ kurzen gesamten Transportabstand von nur etwa 0,62 m (etwa zwei Fuß), was weiterhin die Kompaktheit des Entwurfes der vorliegenden Erfindung zeigt.
Somit wurde eine Fluidbehandlungsvorrichtung und ein Verfahren zur wirksamen Behandlung sich bewegender Gegenstände, die dorthindurch die Vorrichtung bei einer vorgeschriebonen Rate durchlaufen, gezeigt und beschrieben.
Die Behandlung von Gegenständen unter Verwendung von mindestens zwei Fluiden, die jeweils möglicherweise wesentlich unterschiedliche (und entgegengesetzte) Eigenschaften aufweisen, in einem einzigen Gehäuse oder ähnlichem, ist ohne weiteres möglich. Weiterhin ist eine derartige Behandlung mit einer Verwendung von zwei Fluiden und relativ geringem Wiederauffüllen mindestens eines derartigen Fluids möglich. Die Erfindung ist einzigartig in der Lage, eine wirksame Behandlung zu erreichen, indem sie zwei möglicherweise unterschiedliche Fluide unter Ermöglichen einer relativ minimalen Mischung davon in einer akzeptablen Weise verwendet.
Während gezeigt und beschrieben wurde, was gegenwärtig als bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung betrachtet wird, ist es naheliegend für den Fachmann, unterschiedliche Modifikationen und Änderungen daran durchzuführen, ohne den Schutzumfang der Erfindung, wie er durch die anliegenden Ansprüche definiert wird, zu verlassen. Zum Beispiel ist es möglich, mit geringer Modifikation die Vorrichtung für den Zweck des Elektroplattierens metallischer Gegenstände durch Plazieren von Elektroden innerhalb der Vorrichtung an geeigneten Stellen relativ zu den Fluiden, die angewandt werden, zu verwenden. Es ist weiterhin möglich, geeignete Heizelemente (z.B. Spulen) innerhalb der Vorrichtung wiederum an geeigneten Stellen, wenn es gewünscht wird, zu positionieren, um die Temperatur eines oder beider angewandter Fluide zu erhöhen. Weiterhin ist es auch möglich, der Vorrichtung 10 eine Bewegung zu erteilen (z.B. durch die Verwendung derartiger Einrichtungen wie Vibratoren), um den Nutzeffekt (z.B. Erhöhen der Geschwindigkeit und Verbessern der Gleichförmigkeit) unterschiedlicher Verfahren zu erhöhen. Zusätzlich ist es auch möglich, Meßeinrichtungen (z.B. Schallmesser, Thermomesser) an geeigneten Stellen innerhalb der Vorrichtung anzuordnen, um ausgewählte Aktivitäten nahe der Gegenstände, die behandelt werden, zu überwachen. Andere Modifikationen und Änderungen der Erfindung sind wie oben festgestellt ohne weiteres möglich, ohne den Schutzumfang der Erfindung, wie er in den Ansprüchen definiert wird, zu verlassen.

Claims

1. Vorrichtung zur Fluidbehandlung eines erste und zweite Fluide durchlaufenden Gegenstands, wobei die Vorrichtung umfaßt:

ein Gehäuse (13), das eine Kammer (15) darin definiert;

ein erstes Fluidaufprallmittel (27) innerhalb des Gehäuses zum Aufprallen eines ersten Fluids auf eine Oberfläche des Gegenstands (11), und ein erstes Mittel zum anschließenden Sammeln des ersten Fluids, wobei das erste Sammelmittel in dem Boden des Gehäuses (13) gebildet ist;

Mittel (37) zum Umwälzen des gesammelten ersten Fluids zu dem ersten Fluidaufprallmittel;

ein zweites Fluidaufprallmittel (41) innerhalb des Gehäuses zum Aufprallen eines zweiten Fluids auf die Oberfläche des Gegenstands an einer Stelle, die im wesentlichen benachbart zur Stelle des Aufprallens des ersten Fluids ist;

zweite Mittel (51) zum Sammeln des zweiten aufgeprallten Fluids innerhalb der Kammer des Gehäuses getrennt von dem ersten gesammelten Fluid, wobei das zweite Sammelmittel direkt unterhalb des zweiten Fluidaufprallmittels angeordnet ist; und

Mittel (57, 58, 59), um dem zweiten Fluidaufprallmittel das zweite Fluid bereitzustellen.

2. Vorrichtung zur Fluidbehandlung gemäß Anspruch 1, wobei das Mittel zum Bereitstellen des zweiten Fluids zu dem zweiten Fluidaufprallmittel Mittel zum Umwälzen (57, 58, 59) des gesammelten zweiten Fluids von der Kammer (15) innerhalb des Gehäuses zu dem zweiten Fluidaufprallmittel einschließt.

3. Vorrichtung Fluidbehandlung gemäß Anspruch 2, wobei das Mittel zum Umwälzen des gesammelten zweiten Fluids zu dem zweiten Fluidaufprallmittel eine Pumpe (61, 62, 63) umfaßt.

4. Vorrichtung zur Fluidbehandlung gemäß Anspruch 1, die weiterhin Mittel (77) zum Entfernen vorbestimmter Mengen des gesammelten zweiten Fluids von der Vorrichtung mit einer vorbestimmten Rate einschließt.

5. Vorrichtung zur Fluidbehandlung gemäß Anspruch 4, wobei das Mittel zum Entfernen der vorbestimmten Mengen des zweiten Fluids von der Vorrichtung einen Abfluß (77) umfaßt.

6. Vorrichtung zur Fluidbehandlung gemäß Anspruch 1, wobei das Mittel zum Bereitstellen des zweiten Fluids für das zweite Fluidaufprallmittel eine Pumpe (61, 62, 63) umfaßt.

7. Vorrichtung zur Fluidbehandlung gemäß Anspruch 1, wobei das erste Fluidaufprallmittel mindestens ein verlängertes Fluidinjektionsteil (27) aufweist.

8. Vorrichtung zur Fluidbehandlung gemäß Anspruch 7, wobei das Fluidinjektionsteil (27) des ersten Fluidaufprallmittels mindestens zwei Reihen von Fluidinjektionsdüsen darin einschließt.

9. Vorrichtung zur Fluidbehandlung gemäß Anspruch 1, wobei das zweite Fluidaufprallmittel (41) mindestens ein verlängertes Fluidinjektionsteil (27) umfaßt.

10. Vorrichtung zur Fluidbehandlung gemäß Anspruch 9, wobei das Fluidinjektionsteil des zweiten Fluidaufprallmittels (41) mindestens zwei Reihen von Fluidinjektionsdüsen darin einschließt.

11. Vorrichtung zur Fluidbehandlung gemäß Anspruch 1, wobei das Mittel zum Umwälzen des gesammelten ersten Fluids zu dem ersten Fluidaufprallmittel eine Pumpe (37) umfaßt.

12. Vorrichtung zur Fluidbehandlung gemäß Anspruch 1, wobei das Mittel zum Sammeln des aufgeprallten zweiten Fluids eine Kaskadensammelgrube (51) umfaßt, die mindestens zwei getrennte Sammelkammern (53, 54, 55) umfaßt.

13. Vorrichtung zur Fluidbehandlung gemäß Anspruch 12, die weiterhin Mittel zum Entfernen vorbestimmter Mengen des zweiten gesammelten Fluids von der Vorrichtung mit einer vorbestimmten Rate einschließt, wobei das Entfernungsmittel einen Abfluß (77), der mit einer der Sammelkammern (53, 54, 55) verbunden ist, einschließt.

14. Vorrichtung zur Fluidbehandlung gemäß Anspruch 13, wobei das Mittel zum Bereitstellen eines zweiten Fluids zu dem zweiten Fluidaufprallmittel (41) Mittel zum Umwälzen des gesammelten zweiten Fluids von der Kammer (15) innerhalb des Gehäuses zu dem zweiten Fluidaufprallmittel aufweist, wobei das Bereitstellungsmittel das zweite Fluid zu einer der Sammelkammern (53; 54, 55) bereitstellt und eine Pumpe einschließt, die mit der Kammer verbunden ist, um das zweite Fluid mit einer vorbestimmten Rate im wesentlichen gleichartig zu der vorbestimmten Rate des Entfernens des gesammelten zweiten Fluids bereitzustellen.

15. Vorrichtung zur Fluidbehandlung gemäß Anspruch 1, die weiterhin ein Mittel (81) zum Aufrechterhalten einer Menge des ersten Fluids auf einem bestimmten Pegel über der Oberfläche des Gegenstands in dem Bereich, der im wesentlichen benachbart zu dem Mittel zum Aufprallen des ersten Fluids (27) auf die Oberfläche des Gegenstands (11) ist einschließt.

. 16. Vorrichtung zur Fluinbehandlung gemäß Anspruch 15, wobei das Mittel (81) zum Aufrechterhalten der Menge des ersten Fluids auf einem bestimmten Pegel mindestens zwei Walzeneinrichtungen (83) aufweist, wobei jede der Einrichtungen in einem Abstand auf gegenüberliegenden Seiten des Mittels zum Aufprallen des ersten Fluids angeordnet ist.

17. Vorrichtung zur Fluidbehandlung gemäß Anspruch 16, wobei mindestens eine der Walzeneinrichtungen zwei im wesentlichen vertikal ausgerichtete Walzen (85) aufweist, wobei eine erste der Walzen mit der Oberfläche des Gegenstands in Eingriff steht und eine zweite der Walzen mit der ersten Walze in Eingriff steht.

18. Vorrichtung zur Fluidbehandlung gemäß Anspruch 15, die weiterhin Mittel zum Aufrechterhalten einer Menge des zweiten Fluids mit einem bestimmten Pegel über der Oberfläche des Gegenstands in dem Bereich, der im wesentlichen benachbart zu dem Mittel (41) zum Aufprallen des zweiten Fluids auf die Oberfläche des Gegenstands ist, aufweist.

19. Vorrichtung zur Fluidbehandlung gemäß Anspruch 18, wobei das Mittel (81) zum Aufrechterhalten der Menge des zweiten Fluids auf einem bestimmtem Pegel mindestens zwei Walzeneinrichtungen (83) aufweist, wobei jede der Einrichtungen in einem Abstand auf gegenüberliegenden Seiten der Mittel zum Aufprallen des zweiten Fluids angeordnet ist.

20. Vorrichtung zur Fluidbehandlung gemäß Anspruch 19, wobei mindestens eine der Walzeneinrichtungen zwei im wesentlichen vertikal ausgerichtete Walzen (85) umfaßt, wobei eine erste der Walzen mit der Oberfläche des Gegenstands im Eingriff steht und eine zweite der Walzen mit der ersten Walze in Eingriff steht.

21. Vorrichtung zur Fluidbehandlung gemäß Anspruch 1, die weiterhin ein drittes Fluidaufprallmittel zum Aufprallen eines dritten Fluids auf den Gegenstand an einer Stelle, die im wesentlichen benachbart zu der Stelle des Aufprallens des zweiten Fluids liegt, einschließt.

22. Vorrichtung zur Fluidbehandlung gemäß Anspruch 21, wobei das dritte Fluid Luft ist und das Mittel zum Aufprallen des dritten Fluids ein Gebläse (93) umfaßt.

23. Vorrichtung zur Fluidbehandlung gemäß Anspruch 1, wobei das erste Fluid ein Ätzmittel und das zweite Fluid Wasser ist.

24. Vorrichtung zur Fluidbehandlung gemäß Anspruch 1, die weiterhin ein Führungsmittel einschließt, das innerhalb des Gehäuses (13) angeordnet ist, um den Gegenstand innerhalb des Gehäuses gleitend zu führen, um den Gegenstand (11) in einer genauen Ausrichtung während der Bewegung des Gegenstands durch die Vorrichtung zu halten.

25. Vorrichtung zur Fluidbehandlung gemäß Anspruch 24, wobei das Führungsmittel justierbar ist.

26. Vorrichtung zur Fluidbehandlung gemäß Anspruch 1, die weiterhin mindestens eine Walze (87) umfaßt, die unterhalb des Gegenstands relativ zu dem ersten Fluidaufprallmittel angeordnet ist, wobei das Mittel zum Sammeln des aufgeprallten zweiten Fluids mindestens zwei getrennte Sammelkammern umfaßt, die mindestens eine aufrechtstehende Wand (56, 56', 56") aufweist, wobei die Wand sich aufwärts von den Kammern bis unmittelbar unterhalb der Walze erstreckt, wobei die Walze und die aufrechtstehende Wand im wesentlichen das erste, auf die Unterseite des Gegenstands aufgeprallte Fluid am Überlaufen in die Sammelkammern des Mittels zum Sammeln des zweiten aufgeprallten Fluids hindert.

27. Verfahren zum Behandeln eines Gegenstands mittels Fluiden, wobei das Verfahen umfaßt:

Transportieren des Gegenstands (11) durch ein Gehäuse (13), das eine Kammer (15) darin definiert;

Aufprallen eines ersten Fluids auf eine Oberfläche des Gegenstands innerhalb der Kammer;

Sammeln des aufgeprallten ersten Fluids mit einem ersten Sammelmittel, das in dem Boden des Gehäuses gebildet ist;

Umwälzen des gesammelten ersten Fluids zu dem Mittel zum Aufprallen des ersten Fluids auf die Oberfläche des Gegenstands und danach Aufprallen des gesammelten ersten Fluids auf den Gegenstand;

Aufprallen eines zweiten Fluids auf die Oberfläche des Gegenstands an einer Stelle, die im wesentlichen benachbart zu der Stelle des Aufprallens des ersten Fluids ist;

Sammeln des aufgeprallten zweiten Fluids mit einem zweiten Sammelmittel (51) getrennt von dem ersten gesammelten Fluid, wobei das zweite Sammelmittel direkt unterhalb des zweiten Fluidaufprallmittels angeordnet ist; und

Bereitstellen eines zweiten Fluids zu dem Mittel (41) zum Aufprallen des zweiten Fluids auf die Oberfläche des Gegenstands ünd danach Aufprallen des zweiten Fluids auf den Gegenständ.

28. Verfahren gemäß Anspruch 27, wobei das Transportieren des Gegenstands (11) durch Walzen erreicht wird, die mit dem Gegenstand an vorbestimmten Stellen des Gegenstands in Eingriff stehten.

29. Verfahren gemäß Anspruch 27, wobei das Aufprallen des ersten Fluids unter Verwendung einer Fluidstrahlinjektion erreicht wird.

. 30. Verfahren gemäß Anspruch 27, wobei das Aufprallen des zweiten Fluids unter Verwendung einer Fluidstrahlinjektion erreicht wird.

31. Verfahren gemäß Anspruch 28, das weiterhin ein Entfernen vorbestimmter Mengen des gesammelten zweiten Fluids von dem Gehäuse mit einer vorbestimmten Rate einschließt.

32. Verfahren gemäß Anspruch 31, das weiterhin ein Versorgen frischer Mengen des zweiten Fluids zu dem Gehäuse zum Aufprallen auf den Gegenstand umfaßt, wobei das Versorgen bei einer Rate, die im wesentlichen gleichartig zu der vorbestimmten Rate des Entfernens des zweiten Fluids von dem Gehäuse (13) ist.

33. Verfahren gemäß Anspruch 27, wobei das Sammeln des zweiten Fluids den Schritt einer Kaskadenbildung des zweiten Fluids aufweist.

34. Verfahren gemäß Anspruch 27, das weiterhin den Schritt des Aufrechterhaltens des ersten Fluids auf einem vorbestimmten Pegel über der Oberfläche des Gegenstands (11) in einem Bereich des Aufprallens des ersten Fluids einschließt.

35. Verfahren gemäß Anspruch 34, das weiterhin den Schritt des Aufrechterhaltens des zweiten Fluids auf einem vorbestimmten Pegel über der Oberfläche des Gegenstands (11) in einem Bereich des Aufprallens des zweiten Fluids einschließt.

36. Verfahren gemäß Anspruch 27, das weiterhin den Schritt des Aufprallens eines dritten Fluids auf den Gegenstand (11) ein einer Stelle, die im wesentlichen benachbart zu der Stelle des Aufprallens des zweiten Fluids ist, einschließt.