DE69402118D1 - Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von nadelförmigen Materialien sowie Verfahren zur Herstellung von Mikroemittern - Google Patents
Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von nadelförmigen Materialien sowie Verfahren zur Herstellung von MikroemitternInfo
- Publication number
- DE69402118D1 DE69402118D1 DE69402118T DE69402118T DE69402118D1 DE 69402118 D1 DE69402118 D1 DE 69402118D1 DE 69402118 T DE69402118 T DE 69402118T DE 69402118 T DE69402118 T DE 69402118T DE 69402118 D1 DE69402118 D1 DE 69402118D1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- producing
- microemitters
- shaped materials
- needle
- producing needle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/02—Manufacture of electrodes or electrode systems
- H01J9/022—Manufacture of electrodes or electrode systems of cold cathodes
- H01J9/025—Manufacture of electrodes or electrode systems of cold cathodes of field emission cathodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J3/00—Details of electron-optical or ion-optical arrangements or of ion traps common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
- H01J3/02—Electron guns
- H01J3/021—Electron guns using a field emission, photo emission, or secondary emission electron source
- H01J3/022—Electron guns using a field emission, photo emission, or secondary emission electron source with microengineered cathode, e.g. Spindt-type
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2209/00—Apparatus and processes for manufacture of discharge tubes
- H01J2209/02—Manufacture of cathodes
- H01J2209/022—Cold cathodes
- H01J2209/0223—Field emission cathodes
- H01J2209/0226—Sharpening or resharpening of emitting point or edge
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Cold Cathode And The Manufacture (AREA)
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11709293A JP3212755B2 (ja) | 1993-05-19 | 1993-05-19 | 針状物質の製造方法およびマイクロエミッタアレイの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE69402118D1 true DE69402118D1 (de) | 1997-04-24 |
DE69402118T2 DE69402118T2 (de) | 1997-08-28 |
Family
ID=14703202
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE69402118T Expired - Fee Related DE69402118T2 (de) | 1993-05-19 | 1994-05-18 | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von nadelförmigen Materialien sowie Verfahren zur Herstellung von Mikroemittern |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5509843A (de) |
EP (1) | EP0632480B1 (de) |
JP (1) | JP3212755B2 (de) |
DE (1) | DE69402118T2 (de) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5572042A (en) * | 1994-04-11 | 1996-11-05 | National Semiconductor Corporation | Integrated circuit vertical electronic grid device and method |
FR2794295B1 (fr) * | 1999-05-31 | 2001-09-07 | Joel Mercier | Dispositif generateur d'ions |
WO2002000963A1 (en) * | 2000-06-23 | 2002-01-03 | Steven John Ouderkirk | Selective beam deposition |
US6730370B1 (en) | 2000-09-26 | 2004-05-04 | Sveinn Olafsson | Method and apparatus for processing materials by applying a controlled succession of thermal spikes or shockwaves through a growth medium |
JP4903942B2 (ja) * | 2001-03-15 | 2012-03-28 | 株式会社キーエンス | イオン発生装置 |
US7261779B2 (en) * | 2003-06-05 | 2007-08-28 | Lockheed Martin Corporation | System, method, and apparatus for continuous synthesis of single-walled carbon nanotubes |
US10269558B2 (en) | 2016-12-22 | 2019-04-23 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming a structure on a substrate |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1522285A1 (de) * | 1966-03-17 | 1969-08-07 | Telefunken Patent | Verfahren zur Erzeugung von Mikrostrukturen auf einem Substrat |
DE3407089A1 (de) * | 1984-02-27 | 1985-08-29 | Siemens Ag | Verfahren und vorrichtung zur lichtinduzierten, fotolytischen abscheidung |
JPS61118137A (ja) * | 1984-11-13 | 1986-06-05 | Nec Corp | 薄膜形成方法 |
JPS61217576A (ja) * | 1985-03-20 | 1986-09-27 | Hitachi Ltd | タングステン薄膜の形成方法 |
JPS61276233A (ja) * | 1985-05-30 | 1986-12-06 | Nec Corp | パタ−ン形成方法 |
JPS62281349A (ja) * | 1986-05-29 | 1987-12-07 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 金属パタ−ン膜の形成方法及びその装置 |
US4902898A (en) * | 1988-04-26 | 1990-02-20 | Microelectronics Center Of North Carolina | Wand optics column and associated array wand and charged particle source |
JP2719174B2 (ja) * | 1989-03-01 | 1998-02-25 | 沖電気工業株式会社 | 金属膜の製造方法 |
JP2718748B2 (ja) * | 1989-03-18 | 1998-02-25 | 株式会社東芝 | 走査型顕微鏡用探針の製造方法 |
US5064396A (en) * | 1990-01-29 | 1991-11-12 | Coloray Display Corporation | Method of manufacturing an electric field producing structure including a field emission cathode |
JP3094459B2 (ja) * | 1990-12-28 | 2000-10-03 | ソニー株式会社 | 電界放出型カソードアレイの製造方法 |
JPH0541152A (ja) * | 1991-08-07 | 1993-02-19 | Mitsubishi Electric Corp | 電界放出陰極の製造方法 |
GB9118721D0 (en) * | 1991-09-02 | 1991-10-16 | Era Patents Ltd | Production of fine points |
JP2728813B2 (ja) * | 1991-10-02 | 1998-03-18 | シャープ株式会社 | 電界放出型電子源及びその製造方法 |
DE69312142T2 (de) * | 1992-04-02 | 1998-02-05 | Philips Electronics Nv | Verfahren zum Herstellen einer zugespitzten Elektrode |
-
1993
- 1993-05-19 JP JP11709293A patent/JP3212755B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1994
- 1994-05-18 EP EP94107707A patent/EP0632480B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1994-05-18 DE DE69402118T patent/DE69402118T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1994-05-19 US US08/246,332 patent/US5509843A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US5509843A (en) | 1996-04-23 |
EP0632480B1 (de) | 1997-03-19 |
JP3212755B2 (ja) | 2001-09-25 |
JPH06333497A (ja) | 1994-12-02 |
EP0632480A1 (de) | 1995-01-04 |
DE69402118T2 (de) | 1997-08-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE69426886D1 (de) | Verfahren und einrichtung zur herstellung von nanostrukturierte materialien | |
DE69127609D1 (de) | Vorrichtung und verfahren zur herstellung von diamanten | |
DE69509841D1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Sauerstoff | |
DE69435288D1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Dünnfilmen | |
DE69410408D1 (de) | Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung von Aerosols | |
DE69735666D1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur herstellung von plasmaanzeige | |
DE69404302D1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur abgabe viskoser materialien | |
DE69422739D1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Belichtung | |
EP0783727A4 (de) | Mikrostrukturen und verfahren zur herstellung von mikrostrukturen | |
DE69533114D1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur herstellung von einkristallen | |
DE69400753D1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur herstellung laminierter werkstoffe | |
DE69716642D1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur herstellung von vliesstoffen | |
DE69635042D1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur herstellung von stahlrohren | |
DE69623567D1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Pulverpresslingen | |
DE69723865D1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur herstellung von einkristallen | |
DE69431445D1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Sprachkodierung | |
DE69618705D1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Bürstenkörpern | |
DE69511469D1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Diamanten | |
ATE200961T1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur herstellung von borstenwaren und danach hergestellte borstenware | |
DE59606654D1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Aerosolen sowie deren Verwendung | |
DE59506413D1 (de) | Vorrichtung und verfahren zur herstellung von beuteln | |
DE69404027D1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur herstellung laminierter werkstoffe | |
DE59705140D1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Einkristallen | |
DE69307937D1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Glasdünnschichten | |
DE59603612D1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Einkristallen |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |