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DE693941C - Durch eine Gasentladung geheizter elektrischer Ofen - Google Patents

Durch eine Gasentladung geheizter elektrischer Ofen

Info

Publication number
DE693941C
DE693941C DE1938P0076545 DEP0076545D DE693941C DE 693941 C DE693941 C DE 693941C DE 1938P0076545 DE1938P0076545 DE 1938P0076545 DE P0076545 D DEP0076545 D DE P0076545D DE 693941 C DE693941 C DE 693941C
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
gas
discharge
furnace
electrodes
heated
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
DE1938P0076545
Other languages
English (en)
Inventor
Dr Rudolf Frerichs
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Osram GmbH
Original Assignee
Patent Treuhand Gesellschaft fuer Elektrische Gluehlampen mbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Patent Treuhand Gesellschaft fuer Elektrische Gluehlampen mbH filed Critical Patent Treuhand Gesellschaft fuer Elektrische Gluehlampen mbH
Priority to DE1938P0076545 priority Critical patent/DE693941C/de
Application granted granted Critical
Publication of DE693941C publication Critical patent/DE693941C/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32009Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
    • H01J37/32018Glow discharge
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B7/00Heating by electric discharge
    • H05B7/18Heating by arc discharge
    • H05B7/185Heating gases for arc discharge

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Furnace Details (AREA)

Description

  • Durch eine Gasentladung ,geheizter elektrischer Ofen Es wurde bereits eine größere Anzahl verschiedenartiger, elektrischer Ofen entwickelt, wie z. B. Widerstandsöfen, Lichfbogenöfen, Hochfrequenzöfen und Kathodenstrahlöfen. Bei allen diesen Ofen ist man an bestimmte Betriebsbeidingungen gebunden, die genau eingehalten werden müssen.- Diese Bedingungen betreffen den Gasdruck oder die Art .des Füllgases und in vielen Fällen auch die Betriebsstromstärke. Auch ist häufig ,die Zone höchster Erhitzung sehr klein oder schwer auf den zu erhitzenden Körper zu richten. Für idie verschiedenen Zwecke, insbesondere fündas Erschmelzen hochschmelzender, leicht reduzierbarer Gläser oder für die Herstellung von sogenannten Hartmetallen, genügendiese Ofen nicht in allen Fällen. Die Erfindung gibt einen neuartigen Ofen, der auch diesen besonderen Bedingungen gerecht wird. Insbesondere erlaubt es dieser Ofen auch, mit chemisch aktiven Gasen z. B. unter stark oxydierenden Bedingungen und bei wechselnden Stromstärken und Gasdrucken zu arbeiten.
  • Nach der Erfindung wird als Heizquelle des elektrischen Ofens die positive Säule einer Glimmentladung benutzt. Hierzu wird gemäß der Erfindung in einem mit Gasen oder Dämpfen .und vorzugsweise mit chemisch aktivem Gasen oder Dämpfen gefüllten, rohrförmigen, eIektrischen Entladungsgefäß ein aus hocherhitzbarem, insbesondere isolierendem Werkstoff bestehendes Ofenrohr zur Aufnahme des zu erhitzenden Gutes so zwischen den Elektroden ,des Entladungsgefäßes angeordnet, daß es von der positiven" Säule der Glimmentladung durchsetzt wird. Es ist zwar bereits bekannt, zur Beheizung eines elektrischen Ofens das negative Glimmlicht einer Gasatmosphäre zu benutzen, wobei der zu erhitzende Gegenstand entweder selbst die negative Elektrode bildet oder mit ihr in wärmeleitender Verbindung steht. Da die Elektroden notwendigerweise aus Metall bestehen müssen, ist man infolgedessen bei dieser bekannten Anordnung sowohl in bezug auf ,die zu erreichende Temperatur als auch in bezug auf die am Ofen herrschende Atmosphäre durch die Wahl dieser Elektroden begrenzt. Die Verwendung einer oxydierenden Atmosphäre ist daher wenigstens, wenn höhere Temperaturen benutzt werden sollen, immer ausgeschlossen, und die Temperatur kann die Schmelztemperatur des Wolframs nicht übersteigen. Dagegen ermöglicht die erfindungsgemäße Verwendung der positiven Säule einer Glimmentladung die Erreichung höherer Temperaturen wie auch die Anwendung beliebiger Gasatniosphären, da die Elektroden die höheren Temperaturen nicht anzunehmen brauchen und z. B. durch Flüssigkeit besonders gekühlt werden können.
  • Bei dem Druckbereich von einigen Millimetern bis etwa ioo mm Hg-Säule, in dem man eine Glimmentladung -aufrechterhalten kann, ist es auch unwesentlich, ob das Entladungsgefäß völlig vakuumdicht ist oder nicht, da man mit einfachen Pumpanomdnungen stets den gewünschten Druck einstellen kann. Infolgedessen ist der Ofen nach der Erfindung leicht so herzustellen, daß er schnell auseinandergenommen und zusammengesetzt werden kann. Es ist auch ein Vorteil, daß die mit auf hohe Temperatür zu bringende Ofenmasse gering sein darf, da die zu brennenden Stoffe unmittelbar in die positive Säule eingebracht werden können. Der Ofen nach der Erfindung :kann außer zum Brennen oder Schmelzen fester Körper oder Pulver auch zur Erzeugung chemischer Umsetzungen benutzt werden, .da er mit verschiedenen Gasfüllungen betrieben werden kann. Zunächst ist ein Betrieb mit Wasserstoff oder Formiergas möglich. In diesem Falle wird der Wasserstoff nicht nur durch die-hohe Temperatur, sondern durch die elektrischen Vorgänge .dissoziiert, und es erfolgt außerdem noch eine Überführung in angeregte Atomzustände. Es ergibt Eich daher unter der doppelten Wirkung der :hohen Temperatur und der elektrischen Entladung eine außerordentlich gesteigerte Reduktionswirkung. Wenn,der Ofen mit Sauerstoff gefüllt ist, so bildet sich .bei der Entladung atomarer Sauerstoff, der in Verbindung mit der hohen Temperatur eine sehr starke Reduktion hervorruft. Bei einer Edelgasfüllung hat man ausschließlich die Temperatiurwirkung. Andere chemische Wirkungen lassen sich durch Füllungen mit Stickstoff oder kohlenstoffhaltigen Verbindungen, beispielsweise Kohlenmon-oxyd, Kohlendioxyd, oder Leuchtgas erzielen. Es tritt dann unter der vereinten Wirkung der hohen Temperatur und des aktivierten Gases- beispielsweise eine Karbidbildunig oder bei der Verwendung stickstoffhaltiger Gase eine Nitridbildung ein. Die erreichbaren Temperaturen hängen von der verfügbaren Energie und der Beständigkeit des Heizrohres ab. Mit Heizrohren aus Thoroxyd wurden Temperaturen von a8oo° K und höher ohne Mühe erreicht, und zwar insbesondere in oxydierender Atmosphäre. Dies ist beispielsweise für die Herstellung hochschmelzender Gläser und für das Brennen verschiedener keramischer Werkstoffe von .großer Bedeutung. Von den bisher bekannten Ofenbauarten können nur die Lichtbogenöfen in oxydierender Umgebung betrieben werden. Diesen Ofen gegenüber zeichnet sich ;aber der Ofen noch der Erfindung durch die leichte Regelbarkeit der Temperatur und die ,gleichmäßige Temperaturvertei.lung aus. Außerdem ist die Enhitzung unter sehr sauberen Bedingungen möglich. Der zu erhitzende Stoff kommt nur mit dem Heizrohr und der Gasfüllung und .gegebenenfalls mit einem in das Heizrohr eingeschobenen Schiffchen in Verbindung. Im Gegensatz zu den Lichtbogenöfen kann also keine Verunreinigung durch das Elektrodenmaterial eintreten. Ein weiterer Vorteil ist es, daß der Ofen nach der Erfindung ohne weitere Umbauten je nach Bedarf -mit oxydierender, reduzierender, neutraler oder in bestimmter Weise chemisch reagierender Gasfüllung betrieben werden kann. Der Ofen ist also sehr allgemein verwendbar.
  • Der Ofen sei an Hand der Abbildung näher erläutert.
  • In der Abbildung ist ein rohrförmiges Entladungsgefäß i dargestellt, das beispielsweise aus vakuumdichter Keramik oder Quarz bestehen kann. Von den Enden paus sind in -das Entladungsgefäß Elektroden? eingeführt, die als hohle, wassergekühlte Metallgefäße ausgebildet sind. Die Wasserzuführungen und Wasserabführungen sind mit 3 bezeichnet. Gegebenenfalls können, wie angedeutet, zusätzliche Absohlußplatfien vorgesehen sein. An Stelle der wassergekühlten Metallelektroden wird man in vielen Fällen vorteilhaft und insbesondere .geheizte Oxydelektro.den benutzen und beim Betriebe mit oxydierenden Gasen insbesondere auch Elektroden -aus Nernstm:asse, also einem Gemisch von Zirkonoxyd und Yttriumoxyd. Durch die Verwendung solcher Elektroden wird der Kathodenfall herabgesetzt, so rdaß der Ofen mit niedriger Spannung unddaher wirtschaftlicher arbeitet. In der Mitte .des Gefäßes i ist ein Rohr 4 angeordnet. Diieses Rohr besteht aus einem Werkstoff, der :die. ,gewünschte Temperatur ohne"zu schmelzen ertragen kann. Es dient zur Führung,der Entliadung. In ,ihm soll' sich die positive Säule ausbilden, und diese positive Säule ist derart-einzuengen, @daß idie gewünschte hohe Temperatur entsteht. Dass Rohr wird vorzugsweise aus Isolierstoff hergestellt. Wenn :es aus einem hochschmelzenden Metall .gemacht wird, muß es einen :geeigneten isolierenden Überzug ibesitzen. Als isolierender Stoff für das Rohr oder den Überzug bewährten sieh für Temperaturen unterhalb von 2ooo° C Aluminiumoxyd (Sinterkorund) und für höhere Temperaturen reines Zirkonoxyd, Thoroxyd o: ä. Die höchste erreichbare Temperatur ist idurdh den Schmelzpunkt dieser Werkstoffebedingt. Der Schmelzpunkt liegt (bei Thoroxyd z. B. bei 3323°K. Das zu erhitzende Rohr ist in eine Trennwand einzusetzen, die verhindert, dd ,die Entladung unter Umgehung des Rohres unmittelbar zu den Elektroden 2 Übergeht: Die Trennwand teilt das Gefäß also in zwei Teile, und in jedem dieser Teile eist eine der Elektroden angeordnet. Die Trennwand braucht nicht gasdicht zu sein. Es genügt; wenn sie das Gefäß -so weit abdichtet, daß der geringste Entladungswiderstand durch, das Rohr 4 hindurch voiihanden.dst. Bei der Anordnung nach der Abbildung besteht die Trennwand aus mehreren ineinander angeordneten Rohren 5 und 6, die durch ringförmige Abstandsstücke 7 und 8 gegeneinander abgestützt sind.' Die Werkstoffe können dabei so ausgewählt werden, @daß ihr Schmelzpunkt nach außen abnimmt"da,dort ,die Temperatur geringer ist. Beispielsweise kann das äußere Rohr auch aus Porzellan .bestehen. Bei einem Ausführungsbeispiel bestand Glas äußere Rohr 5, das unmittelbar das Entladungsgefäß i berührt, aus Quarz. Die Ringe 7 und das Rohr 6 bestanden aus Zirkonoxyd und die Ringe 8 und das Rohr 4 aus Thoroxyd. Die Zahl und Anordnung der Ringe und Rohre oder entsprechender Vorrichtungen ist dem jeweiligen Geibrauehs.zweck anzupassen. Sie haben die Aufgabe, reiben der Trennung der Gefäßhälften voneinander eine möglichst weitgehende thermische Isokerung des Rohres 4 zu bewirken; um mit geringer .Energie eine hohe Temperatur im Rohr 4 erzwingen zu können.
  • Wenn das Außengefäß i des Ofens aus Metall .bestecht, so sind die Betriebsbedingungen (Potentialgefäjlle; Gasdruck, Stromstärke) so zu wählen, @daß der Potentialabfall in @ der Gasentladungsstreclce kleiner äst ' als die Summe von Kathodenfall und Anodenfall an der Gefäßwand, damit die Entladung nicht unter Umgehung ,des Heizrohres an der Gefäßwand einsetzt. Außerdem kann man natürlich. durch Auskleidendes Metallgehäuses mit einer nicht notwendig vakuumdichten, elektrisch ;nicht leitenden Schicht z. B. aus keramischen Stoffen den unmittelbaren Stromübergang zum Gehäuse vermeiden. Es ist auch möglich, das Gehäuse aus zwei Teilen herzustellen und die zum ; Stützen des Ofenxohres dienende Trennwand nach außen durchzuführen, um auf diese Weise den Übergang der Entladung auf das Gefäßrohr zu vermeiden.
  • Das Entladungsgefäß wird in vielen Fällen zweckmäßig mit einer Vakuumpumpe und mit einer Zuleitung. für die zu benutzende Gasfüllung verbunden. Auf diese Weci.se wird es möglich, im strömenden Gas und .damit also unter besonders reinen Gasbedingungen zu arbeiten. Durch die Anordnungen von zwei Saugleitungen 9 und zwei Zuleitungen io .mit Absperrhähnen i i an den beiden Elektrodenräumen kann erreicht werden, @daß das Füllgas auch nur durch die Elektrodenräume strömt und .im Heizrohr 4 selber keine Strömung vorhanden .ist.
  • Der Gasdruck im Ofen darf dabei wenige . Millimeter Hg bis etwa ioo mm Hg betragen. Die Glimmentladung wird z. B. mit einem Transformaior von iooo .bis 2ooo Volt Sekundärspannung in Verbindung .mit geeigneten Vorschaltwiderständen in der Primär-oder Sekundärleitung betrieben. Bei einem kleinen Ausführüngsbeispiel mit einem Heizrohr laus T:horoxyd von 6 mm Innendurchmes,ser und 6o mm Länge wurden mit 6oo bis iooo Volt bei einem Strom von 3 Amp. (Leistungsverbau.ch 2 bis 3 kW) 26oo° K erreicht. Von dieser Leistung entfällt noch ein bemerkenswerter Teil auf .den Spannungsabfä;ll an den Elektroden und wird damit nutzlos zur Erwärmung ider Kühlflüssigkeit verwendet. Diese Verluste lassen sich, wie bereits gesagt wurde, durch die Verwendung von Oxydkathoden verringern. Der Druck im Ofen:kann innerhalb bestimmter Grenzen verändert werden. Es ist zweckmäßig, ihn so hoch zu wählen, daß mit der verfügbaren Spannung noch eben eine ausgesprochene Glimmentladung möglich ist, ohne daß die i Entladung in eine Bogenentladung umschlägt. Man erreicht auf diese Weise höhere Temperaturen, @da .mit steigendem Druck das Po- -tentialgefälle im Heizrohr stark zunimmt.

Claims (3)

  1. PATENTANSPRÜCHE: - i. Durch eine Gasentladung geheizter elektrischer Ofen, :gekennzeichnet durch ein mit Gasen oder Dämpfen und vorzugsweise mit chemisch aktiven Gasen oder Dämpfen gefülhes, ro'hrförmi-ges, elelr,-trisches Entladungsgefäß, zwischen dessen Elektroden ein von der positiven Säule der Glimmentladung durchsetztes, aus hocherh:itzbarem, insbesondere isolierendem Werkstoff bestehendes Ofenrohr Zur Aufnahme des zu erhitzenden Gutes angeordnet ist.
  2. 2. Elektrischer Ofen nach Anspruch z zum Erhitzen des Gutes in oxydierender Umgebung, .dadurch gelzennzeichnet, daß die Glühelektroden aus Nernstmasse bestehen.
  3. 3. Elektrischer Ofen nach Anspruch i oder 2 zur Arbeit in strömendem Gas, dadurch gekennzeichnet, daß in der Nähe jeder Elektrode eine Gaszuführung und eine Gasäbführung vorgesehen ist, so daß das Arbeitsgas ohne Gasströmung durch das Ofenrohr erneuert werden kann.
DE1938P0076545 1938-01-09 1938-01-09 Durch eine Gasentladung geheizter elektrischer Ofen Expired DE693941C (de)

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