DE69222559T2 - Verfahren zum Herstellen eines Magnetkopfes und Magnetkopfgruppe hergestellt nach diesem Verfahren - Google Patents

Description

• Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Herstellen eines Magnetkopfes mit einer Kopffläche, einer Spulenkammer und einem Übertragungsspalt, der sich in der Höhenrichtung von der Kopffläche bis an die Spulenkammer erstreckt und der in der Höhenrichtung eine Höhe hat, die dem Abstand zwischen der Kopffläche und der Spulenkammer entspricht, wobei diese Spulenkappe eine Größe hat in einer Richtung parallel zu der Höhenrichtung des Übertragungsspaltes und gemessen von diesem Übertragungsspalt bis an eine in der Höhenrichtung gegenüber dem Übertragungsspalt liegende Begrenzungswand der Spulenkammer, wobei dieses Verfahren die nachfolgenden Verfahrensschritte umfaßt: das Auftragen einer ersten magnetischen Schicht auf einem Substrat, das Anbringen einer Ausnehmung in dieser Schicht, wobei diese Ausnehmung sich bis an das Substrat in der Höhenrichtung er-streckt, das Anbringen einer Spaltschicht auf einer Flanke der magnetischen Schicht, wobei diese Flanke eine Begrenzung der Ausnehmung bildet, das Anbringen einer zweiten magnetischen Schicht in der Ausnehmung und nach einem Poliervorgang das Anbringen eines Gegenblocks auf den angebrachten Schichten.
• Ein derartiges Verfahren eignet sich zur Massenfertigung sog. Sandwich-Köpfe. Dabei handelt es sich um Magnetköpfe, bei denen sich zwischen zwei Kernhälften eine dünne magnetische Schicht befindet und wobei es in der magnetischen Schicht einen Übertragungsspalt gibt, der sich bis in die Kopffläche erstreckt.
• Ein eingangs beschriebenes Verfahren ist aus JP-A-63-234404 bekannt. Bei dem bekannten Verfahren wird die Ausnehmung in einer Richtung parallel zu der Höhenrichtung des Übertragungsspaltes über die ganze Abmessung des Magnetkopfes in der ersten megnetischen Schicht angebracht. Dies führt letzten Endes zu einem Magnetkopf, bei dem es auch in dem hinteren Joch - d.h. dem von der Kopffläche gesehen hinter der Spulenkammer liegenden Teil des Magnetkopfes - einen Spalt gibt, wodurch der Wirkungsgrad des Magnetkopfes beeinträchtigt wird.
• Es ist nun u.a. eine Aufgabe der vorliegenden erfindung ein Verfahren zum herstellen eines Magnetkopfes oder mehrerer Magnetköpfe der eingangs beschriebenen Art zu schaffen, wobei dieser Magnetkopf bzw. diese Magnetköpfe, der bzw. die nach diesem Verfahren hergestellt worden sind, einen besseren Wirkungsgrad hat bzw. haben als der bekannte, nach dem bekannten Verfahren hergestellten Magnetkopf.
• Nach einem ersten Aspekt weist das erfindungsgemäße Verfahren das Kennzeichen auf, daß die Ausnehmung in der ersten magnetischen Schicht vorgesehen wird, und zwar über einen Abstand, der wenigstens der Höhe des zu bildenden Übertragungsspaltes und höchstens der Summe der Höhe des zu bildenden Übertragungsspaltes und der genannten Abmessung der zu bildenden Spulenkammer entspricht und daß in dem Substrat, in den genannten Schichten und in dem Gegenblock die Spulenkammer vorgesehen wird. Dadurch, daß dabei die Ausnehmung sich nicht bis in das hintere Joch erstreckt, entsteht in dem hinteren Joch kein Spalt, wodurch der Wirkungsgrad höher ist als wenn es in dem hinteren Joch einen Spalt gäbe. Im Grunde reicht es, wenn der Abstand, über den die Ausnehmung vorgesehen wird, der Höhe des zu bildenden Übertragungsspaltes entspricht; in der Praxis wird dieser Abstand aber durch Fertigungstoleranzen etwas größer sein.
• Nach einem zweiten Aspekt befaßt sich das erfindungsgemäße Verfahren mit der Fertigung mehrerer Magnetköpfe gleichzeitig, wobei jeder Magnetkopf auf demselben Substrat nach dem Verfahren nach Anspruch 1 hergestellt wird und wobei dieselbe Ausnehmung verwendet wird um die betreffenden Übertragungsspalte zweier Magnetköpfe vorzusehen. Dadurch braucht nur eine Verbindungsausnehmung in dem ersten magnetischen Schicht für jedes Paar von Magnetköpfen vorgesehen zu werden. Diese Ausnehmung ist folglich zweimal größer als die Ausnehmung für nur einen Magnetkopf. Es wurde gefunden, daß diese größere Ausnehmung kann auf eine einfachere Art und Weise vorgesehen werden als zwei kleine Ausnehmungen, d.h. eine für jeden Magnetkopf.
• Um den Übertragungsspalt in dem gewünschten Winkel, der als Azimuthwinkel bezeichnet wird, gegenüber dem Substrat anzubringen weist eine weitere Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens das Kennzeichen auf, daß vor dem Anbringen der Spaltschicht auf der Flanke, diese gebildete Flanke mit Hilfe eines fokussierten Ionenstrahles bearbeitet wird. Mit diesem Strahl wird die Flanke, die eine Begrenzung des zu bildenden Übertragungsspalten werden wird, derart bearbeitet, daß der Winkel zwischen der Flanke und dem Substrat dem gewünschten Azimuthwinkel genau entspricht.
• Eine Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens, wobei es einen Winkel α, der größer ist als 0º und maximal 90º beträgt, zwischen der Spaltschicht und dem Substrat gibt, weist das Kennzeichen auf, daß die zweite magnetische Schicht aus mehreren Teilschichten gebildet wird und daß zwischen aufeinanderfolgenden Teilschichten eine elektrische Isolierschicht angebracht wird, wobei die Schichten im Zerstäubungsverfahren angebracht werden, wobei der Winkel, in dem die Isolierschicht durch Zerstäubung aufgetragen wird, größer ist als 0º und höchstens dem Winkel α entspricht und wobei der Winkel, in dem die Teilschichten durch Zerstäubung aufgetragen werden, wenigstens dem Winkel α entspricht und kleiner ist als 180º. Die magnetischen Teilschichten sollen sich bis an die Spaltschicht erstrecken, da sonst der Spalt vergrößert wird. Dazu ist es erforderlich, daß der Zerstäubungswinkel größer ist als der Winkel α oder diesem Winkel entspricht, sonst würden die Teilschichten - durch die Schattenwirkung der Spaltschicht beim Zerstäuben - sich nicht bis an die Spaltschicht erstrecken. Für die Isolierschicht gilt, daß diese sich höchstens bis an die Spaltschicht erstrecken darf, nicht aber einen Teil umfassen darf, der sich parallel zu der Spaltschicht erstreckt, damit die Bildung von Seitenspalten vermieden wird. Der Zerstäubungswinkel soll dem Winkel α entsprechen oder kleiner sein als derselbe, da sonst auch ein Teil parallel zu der Spaltschicht auf der Spaltschicht oder auf der magnetischen Teilschicht gebildet wird.
• Für bestimmte Anwendungsbereiche ist es erwünscht, den magnetisch aktiven Teil des hinteren Jochs zu verkleinern, wodurch die magnetischen Eigenschaften des Magnetkopfes sich ändern und besser auf die bestimmten Anwendungsbereiche abgestimmt sind. Dabei ist es aber erwünscht, daß die Gesamtabmessungen des Magnetkopfes nicht geändert werden, da bei Verringerung der Abmessungen der Magnetkopf schwieriger manipulierbar ist. Eine Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens ist in Anspruch 5 definiert. Durch diesen Kanal wird ein Teil der ersten magnetischen Schicht von dem restlichen Teil der Schicht magnetisch getrennt, wodurch der magnetisch aktive Teil der hinteren Jochs verringert wird. Der Kanal soll derart vorgesehen werden, daß bei ausgeschnittenem Magnetkopf der Kanal sich bis an die Begrenzungen des Magnetkopfes erstreckt, so daß der abgetrennte Teil an keiner Stelle mehr das hintere Joch des Magnetkopfes berührt.
• In dem nach dem erfindungsgemäßen Verfahren erzielbaren Magnetkopf kann es zwischen einem Substrat und einem Gegenblock eine erste magnetische Schicht geben und in der Nähe eines durch eine Spaltschicht gebildeten Übertragungsspaltes kann es eine zweite magnetische Schicht geben, wobei eine Spule sich in einer Spulenöffnung befindet, die auf der Seite des Übertragungsspaltes durch eine Begrenzungswand begrenzt wird.
• Es sei bemerkt, daß in WO-A-9202015, veröffentlicht nach dem Priotitätsdatum des vorliegenden Patentdokumentes und durch Art. 54(3) EPC als Stand der Technik betrachtet, ein Magnetkopf beschrieben wird mit einer Kopffläche, einer Spulenöffnung, einer ersten magnetischen Schicht und einer zweiten magnetischen Schicht, die einen ersten und einen zweiten Kern bilden. Zwischen der ersten magnetischen Schicht und der zweiten magnetischen Schicht erstreckt sich von der Kopffläche bis an die Spulenöffnung eine Spaltschicht und an dieser Stelle bilden ein Substrat und ein Gegenblock ein "Sandwich" mit der ersten und der zweiten magnetischen Schicht. Der Magnetkopf von WO-A-9203015 hat alle Merkmale jedes einzelnen Kopfes in dem Kopfgebilde nach Anspruch 6, aber nicht eines Gebildes solcher Köpfe, wobei jeder Kopf eine Kopffläche hat. In diesem Dokument wird weiterhin ein Prozeß beschrieben zum Erzeugen eins solchen Magnetkopfes. Nach diesem Prozeß wird ein monokristallines Substrat verwendet, das entsprechend einer kristallographischen Ebene anisotrop geätzt wird, damit der Spalt die gewünschte gerade oder schiefe Richtung erhält. Das Substrat wird auch thermisch oxidiert, damit er eine bestimmte Dicke erhält.
• Die Erfindung bezieht sich weiterhin auf ein Magnetkopfgebilde. In Scannern zum Gebrauch beispielsweise bei Videorecordern oder digitalen Audiorecordern werden Magnetköpfe gruppenweise in einem Fenster in der Trommelwand des drehbaren Trommelteils des Scanners angebracht. Die einer Gruppe zugehörigen Magnetköpfe sollen sehr genau gegenüber einander positioniert werden. Bei den bekannten Scannern erfolgt dies dadurch, daß jeder Magnetkopf einzeln in dem Fenster positioniert wird. Die Anzahl Positionierungsschritte läßt sich durch Verwendung eines Magnetkopfgebildes reduzieren, wobei die einer und derselben Gruppe zugehörigen Magnetköpfe ein Ganzes bilden und wobei dieses Magnetkopfgebilde als Ganzes positioniert wird. Dazu ist es erforderlich, daß die Übertragungsspalte der jeweiligen Magnetköpfe des Gebildes genau gegenüber einander positioniert sind. Damit diese gegenseitigen Positionen genau erhalten werden kann hat bei einem Magnetkopfgebilde, das nach dem erfindungsgemäßen Verfahren erhalten werden kann, jeder Magnetkopf eine Kopffläche, eine Spulenöffnung, eine erste magnetische Schicht und eine zweite magnetische Schicht, die einen ersten und einen zweiten kern bilden, wobei eine Spaltschicht sich zwischen der ersten magnetischen Schicht und der zweiten magnetischen Schicht erstreckt, und zwar von der Kopffläche bis zur Spulenöffnung und nur dort bilden ein Substrat und ein gegeblock mit der ersten und der zweiten Schicht ein "Sandwich", wobei die Magnetköpfe ein gemeinsames Substrat, eine gemeinsame erste magnetische Schicht und eine Hilfsschicht zwischen dem gemeinsamen Substrat und der ersten magnetischen Schicht wenigstens eines der Magnetköpfe aufweisen. Die Hilfsschicht kann mit Hilfe herkömmlicher Techniken sehr genau angebracht werden, so daß die gegenseitigen Lagen der Übertragungsspalte der Magnetköpfe genau angebracht werden können.
• Eine Ausführungsform des erfindungsgemäßen Magnetkopfgebildes weist das Kennzeichen auf, daß die Hilfsschicht eine Dicke hat, die der Dicke der ersten magnetischen Schicht entspricht. Dadurch werden die Spuren, welche die Magnetköpfe auf dem Magnetband aufzeichnen, nahezu aneinander grenzen, wodurch eine große Informationsdichte auf dem Magnetband erhalten wird.
• Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung dargestellt und werden im folgenden näher beschrieben. Es zeigen:
• Fig. 1 ein Zwischenerzeugnis bei einem Verfahren nach dem Stand der Technik,
• Fig. 2 ein weiteres Zwischenerzeugnis bei dem Verfahren nach dem Stand der Technik,
• Fig. 3 eine Waffel, hergestellt nach dem Verfahren nach dem Stand der Technik, aus der sich Magnetköpfe schneiden lassen,
• Fig. 4 ein Zwischenerzeugnis bei einem erfindungsgemäßen Verfahren,
• Fig. 5A-5F je einen Schnitt durch weitere Zwischenerzeugnisse bei dem erfindungsgemäßen Verfahren,
• Fig. 6 eine Draufsicht eines Zwischenerzeugnisses,
• Fig. 7 eine Einzelheit des in Fig. 6 dargestellten Zwischenerzeugnisses,
• Fig. 8 eine Waffel, hergestellt nach dem erfindungsgemäßen Verfahren, aus der sich Magnetköpfe schneiden lassen,
• Fig. 9 einen Magnetkopf, hergestellt nach dem erfindungsgemäßen Verfahren,
• Fig. 10 eine andere Waffel, hergestellt nach dem erfindungsgemäßen Verfahren, aus der sich Magnetkopfgebilde schneiden lassen,
• Fig. 11 einen Scanner mit einem Magnetkopfgebilde, hergestellt nach dem erfindungsgemäßen Verfahren und
• Fig. 12 eine Einzelheit des Magnetkopfgebildefesters des in Fig. 11 dargestellten Scanners.
• Fig. 1, 2 und 3 zeichen je ein Zwischenerzeugnis bei einem Verfahren nach dem Stand der Technik. Bei dem bekannten Verfahren wird von einem nicht- magnetischen Substrat 1 ausgegangen, auf dem eine erste magnetische Schicht 2 angebracht wird. In dieser ersten magnetischen Schicht 2 werden über die ganze Abmessung L des Substrats 1 Ausnehmungen 3 vorgesehen, siehe Fig. 1. Auf einer Flanke 4 einer Begrenzungswand 5 jeder Ausnehmung 3 wird danach eine nicht-magnet-ische Spaltschicht 6 angebracht und daraufhin werden die Ausnehmungen 3 mit einer zweiten magnetischen Schicht 7 gefüllt, siehe Fig. 2. Nachdem das Ganze flach ge-schliffen ist, wird ein nicht-magnetischer Gegenblock 8 darauf angebracht, siehe Fig. 3, und lassen sich aus der auf diese Weise erhaltenen Waffel 9 Magnetköpfe schneiden. Bei diesem bekannten Verfahren werden unnötig große Ausnehmungen angebracht, wodurch auch in dem hinteren Joch des Magnetkopfes ein nicht-magnetischer Spalt gebildet wird, wodurch der Wirkungsgrad des Magnetkopfes beeinträchtigt wird.
• Anhand der Fig. 4 bis 8 wird nun das erfindungsgemäße Verfahren näher erläutert. Fig. 4 zeigt ein Substrat 11, aus beispielsweise BaTiO&sub3;, auf dem eine erste magnetische Schicht 13 aus beispielsweise CoNbZr, zwei Teilschichten umfassend, angebracht wird. Zwischen diesen Teilschichten ist eine elektrisch isolierende Schicht 14, beispielsweise aus Al&sub2;O&sub3; oder SiO&sub2;, angebracht um Verluste durch Wirbelströme zu vermeiden. In der Schicht 13 sind Ausnehmungen 15 vorgesehen, die sich bis an das Substrat 11 erstrecken. Die Ausnehmungen 15 schließen sich paarweise aneinander und bilden auf diese Weise eine große Ausnehmung, die in einem einzigen Arbeitstakt angebracht werden kann. In diesem Beispiel sind die Ausnehmungen 15 mit Hilfe eines Meißels in der Schicht 13 vorgesehen. Es ist aber auch möglich, auf eine andere Art und Weise die Ausnehmungen anzubringen, beispielsweise in einem reaktiven Ionenätzverfahren. Fig. 5A zeigt einen Schnitt an der Stelle einer der Ausnehmungen 15. Auf einer der Begrenzungswände 17 der Ausnehmung 15 wird eine Spaltschicht 19 angebracht, die den Übertragungsspalt des Magnetkopfes bilden muß. Diese Spaltschicht 19 ist beispielsweise eine SiO&sub2;-Schicht. Da der Übertragungsspalt in einem bestimmten Winkel α, beispielsweise 70º, gegenüber dem Substrat 11 liegen muß, kann es erforderlich sein, daß die Begrenzungswand 17 bearbeitet werden muß. Mit Hilfe eines fokussierten Ionenstrahles 21, siehe Fig. 5B, kann die Begrenzungswand 17 bearbeitet werden, wodurch diese in einem richtigen Winkel α gegenüber dem Substrat 11 liegen wird. Durch diese Bearbeitung wird eine sehr glatte Oberfläche erhalten, wodurch die sehr dünne spaltschicht 19 problemlos angebracht werden kann. In Fig. 5C wird angegeben, wie die Spaltschicht angebracht wird. Die Spaltschicht 19 wird in einem Zerstäubungsverfahren angebracht. Nach dem Anbringen der Spaltschicht wird die Ausnehmung 15 durch eine zweite magnetische Schicht 23 gefüllt. Diese zweite magnetische Schicht 23 besteht in diesem Beispiel aus zwei Teilschichten 25 und 26 aus beispielsweise CoNbZr, zwischen denen sich eine elektrisch isolierende Zwischenschicht 27, beispielsweise aus Al&sub2;O&sub3; oder SiO&sub2; befindet. In einem Winkel β wird zunächst eine erste Teilschicht 25 angebracht. Diese Teilschicht 25 soll sich bis an die Spaltschicht 19 erstrecken, aus welchem Grund der Winkel β, in dem der Zerstäubungsvorgang durchgeführt wird, sich zwischen dem Winkel α und 180º liegen soll. Daraufhin wird die elektrisch irolierende Zwischenschicht im Zerstäubungsverfahren angebracht. Diese Zwischenschicht 27 ist meistens auch eine magnetisch isolierende Schicht, wodurch es im Zusammenhang mit den unerwünschten Seitenspalteffekten, unerwünscht ist, daß Teile der Zwischenschicht 27 sich parallel zu der Spaltschicht 19 erstrecken. Dadurch, daß in einem Winkel Γ zerstäubt wird, wobei dieser Winkel sich zwischen 0º und dem Winkel α befindet, wird vermieden, daß auf der Flanke 29 parallel zu der Spaltschicht 19 der ersten Teilschicht 25 die Zwischenschicht 27 angebracht wird. Danach wird die zweite Teilschicht 26 der zweiten magnetischen Schicht 23 im Zerstäubungsverfahren aufgetragen. Dadurch, daß statt der nicht-magnetischen Zwischenschicht 27 eine Zwischenschicht aus magnetisch leitendem aber elektrisch nicht leitendem Material verwednet wird, beispielsweise Ferritlamellen, kann die Zwischenschicht in demselben Winkel zerstäubt werden wie die magnetischen Teilschichten 25 und 26. Danach wird das Ganze bis an die erste magnetische Schicht 23 flachgeschliffen, siehe Fig. 5E und es wird ein Gegenblock 31 angebracht, siehe Fig. 5F. Dieser Gegenblock kann aus demselben Material sein wie das Substrat, beispielsweise BaTiO&sub3;. In der auf diese Weise erhaltenen Waffel werden Spulenkammern angebracht, wonach die Magnetköpfe aus der Waffel geschnitten werden können.
• In Fig. 6 ist mit Hilfe von gestrichelten Linien, in einer Draufsicht des Zwischenerzeugnisses nach Fig. 5C, angegeben, wo sich die Spulenkammern 33 sich befinden werden und welche die Umrisse 35 der Magnetköpfe werden. Jeder auf die oben angegebene Art und Weise gebildete Spaltschicht 19 bildet zwei Übertragungsspalte zweier Magnetköpfe 24 und 36, die mit ihren Kopfflächen 37 gegeneinander liegen. Der Übertragungsspalt eines einzigen Magnetkopfes erstreckt sich in der Höhenrichtung von der Kopffläche 37 bis an die Spulenkammer 33 und hat in der Höhenrichtung eine Höhe von 40, entsprechend dem Abstand zwischen der Kopffläche und der Spulenkammer. Die Spulenkammer 33 hat eine Größe 42 in einer Richtung parallel zu der Höhenrichtung des Übertragungsspaltes und gemessen von dem Übertragungsspalt bis an eine in der Höhenrichtung gegenüber dem Übertragungsspalt liegende Begrenzungswand 32 der Spulenkammer 33. Das Anbringen der Spulenkammern 33 und das Ausschneiden der Magnetköpfe 34, 36 erfolgt beispielsweise mittels eines Lasers. Voretil dabei ist, daß eine glatte Oberfläche erhalten wird, die nicht oder keum bearbeitet werden muß. Die Abmessungen 39, 41 der Ausnehmungen 15 betragen in diesem Beispiel 20 bzw. 100 µm.
• Wenn ein Magnetkopf mit einem kleineren magnetischen Joch gewünscht ist, wird vor dem Anbringen des Gegenblocks ein Kanal 43 in der ersten magnetischen Schicht 13 vorgesehen, beispielsweise in einem Laser- oder Ätzverfahren. Dieser Kanal 43 soll sich zwischen zwei Begrenzungen 35a, 35b des zu bildenden Magnetkopfes 34, 36 erstrecken. Nachdem der Magnetkopf ausgeschnitten worden ist, trennt der Kanal 43 den hinteren Teil 45 der ersten magnetischen Schicht 13 on dem vorderen Teil 47, wodurch dieser hintere Teil 45 an der Leitung des magnetischen Flusses nicht beteiligt ist. Durch diesen Kanal 43 ist auf einfache Weise ein Magnetkopf mit einem kleineren magnetischen Joch erhalten worden, während die Ab-messungen des Magnetkopfes nicht geändert worden sind, wodurch die Handhabbar-keit nicht beeinträchtigt wird.
• Fig. 7 zeigt eine Einzelheit des Substrats 11, auf dem sich die erste magnetische Schicht 13 und der Spaltschicht 19 an der Stelle einer Ausnehmung 15 vorgesehen sind. Der gestrichelte Umriß 37 der zu bildenden Kopfflächen bezeichnet zugleich die Begrenzung der beiden Ausnehmungen 15. Diese Einzelheit entspricht dem in Fig. 5C dargestellten Zwischenerzeugnis. Es ist ersichtlich, daß jede Aus-nehmung 15 über einen größeren Abstand 16 angebracht ist als die Höhe 40 des zu bildenden Übertragungsspaltes und sich bis in die zu bildende Spulenkammer 33 erstreckt, deren Umriß durch die gestrichelte Linie 49 angegeben ist. Dadurch wird gewährleistet, daß die Spaltschichten 19 sich auch tatasächlich bis ab die Spulenkammern 33 erstrecken. Wenn nämlich die Spaltschicht 19 und die Spulenkammer 33 sich in einem Abstand voneinander befinden und folglich zwischen der Spaltschicht 19 und der Spulenkammer ein Streifen der ersten magnetischen Schicht 13 befindet, wird dieser Streifen des magnetische Joch kurzschließen, wodurch nahezu der ganze magnetische Fluß durch diesen Streifen hindurchgeführt wird und nicht an der Stelle der Spaltschicht 19 hinüberspringt, was den Magnetkopf unverwendbar macht.
• Wie bereits erwähnt, erfolgt das Anbringen der Spulenkammern 33 und das Ausschneiden der Magnetköpfe 34, 36 vorzugsweise mit Hilfe eines Lasers. Dadurch, daß beim Anbringen der Ausnehmungen 15 in der ersten magnetischen Schicht 13 zugleich ein Bezugszeichen 51 in der ersten magnetischen Schicht 13 angebracht wird, kann beim Laserschneiden genau bestimmt werden, wo die Spaltschichten sich befinden und wo folglich die Spulenkammern und die Magnetkopfumrisse gebildet werden müssen. Fig. 8 zeigt eine Waffel 53 mit einem derartigen Bezugszeichen 51. Durch gestrichelte Linien sind die Ausnehmungen 15 in der ersten magnetischen Schicht 13 angegeben. Auf diese Weise können mit sehr hoher Genauigkeit die Magnetköpfe aus der Waffel 53 ausgeschnitten werden.
• In Fig. 9 ist ein kompletter Sandwich 34 dargestellt, der auf die obenstehend beschriebene Art und Weise hergestellt worden ist. Zwischen dem Substrat 11 und dem Gegenblock 31 befindet sich die erste magnetische Schicht 13. In der Nähe des Übertragungsspaltes, der durch die Spaltschicht 19 gebildet wird, befindet sich die zweite magnetische Schicht 23. In diese Ausführungsbeispiel sind die magnetischen Schichten des Magnetkopfes 34 aus nur einer Teilschicht gebildet. Die Kopffläche oder Kontaktfläche 37 wird mit einem Profil vresehen, damit mit einem magnetischen Aufzeichnungsmedium ein besserer Kontakt gewährleistet wird. Um wenigstens einen der Jochschenkel 55 und 57 herum und in der Spulenkammer 33 muß zum Schluß noch eine Spulen angebracht werden. Die Spulenkammer ist auf der gegenüber dem Übertragungsspalt liegenden Seite durch die Begrenzungswand 32 begrenzt. In der ersten magnetischen Schicht 13 ist weiterhin noch ein Kanal 43 vorgesehen auf dieselbe Art und Weise wie in Fig. 6 dargestellt. Dieser Kanal kann ggf. mit einem magnetisch isolierenden Material, beispielsweise Glas, gefüllt werden und erstreckt sich zwischen zwei Außenflächen 54 und 56 des Magnetkopfes.
• Mit dem oben beschriebenen Verfahren lassen sich auch auf einfache Weise Magnetkopfgebilde herstellen. Fig. 10 zeigt eine Waffel 61, bestehend aus einem Substrat und einem Gegenblock, wobei sich zwischen denselben magnetische Schichten und eine Spaltschicht befinden. Stat einzelner Magnetköpfe werden nun Magnetkopfgebilde 63 bestehend aus mehreren Magnetköpfen, aus der Waffel 61 ausgeschnitten. Ein derartiges Magnetkopfgebilde 63 eignet sich durchaus zum Gebrauch in einem drehbaren Scanner. Fig. 11 zeigt einen derartigen Scanner 71, der oft in Videorecordern oder in digitalen Audiorecoderdern (DAT-Recordern) verwendet wird. Der Scanner 71 umfaßt eine ortsfeste Untertrommel 73, die mit einem Bandführungselement 75 versehen ist, und eine Obertrommel 77, die sich um eine Achse 79 drehen kann. Die Obertrommel 77 ist mit einem Fenster 81 versehen, in dem sich das Magnetkopfgebilde 63 befindet. Die Übertragungsspalte der zu ein und demselben Gebilde 63 gehörenden Magnetköpfe sollen dabei gegenüber einander genau ausgerichtet sein. Durch Verwendung von Magnetkopfgebilden braucht je Gebilde nur ein einziger Ausrichtungsschritt durchgeführt zu werden, damit alle dem Gebilde zugehörigen Magnetköpfe positioniert sind. Fig. 12 zeigt eine Einzelheit der oberen Trommel 77 in der Nähe des Fensters 81. Das Magnetkopfgebilde 63 umfaßt ein Substrat 65, das zur Hälfte mit einer Hilfsschicht 66 bedeckt ist. Auf dieser Hilfsschicht und auf der anderen Hälfte des Substrats befindet sich eine magnetische Schicht 67. In der magnetischen Schicht sind Übertragungsspalte 62 und 64 gebildet, die je zu einem Magnetkopf des Gebildes gehören. Auf der magnetischen Schicht 67 sind Gegenblöcke 68 und 69 angebracht. Durch diesen Aufbau sind die Übertragungsspalte 62 und 64 gegenüber einander genau ausgerichtet. Es ist oft erwünscht, daß der Abstand zwischen den Übertragungsspalten in der Richtung der Achse 79 gleich Null ist. Dies kann dadurch genau erreicht werden, daß die Dicke t&sub1; der Hilfsschicht 66 entsprechend der Dicke t&sub2; der magnetischen Schicht 67 gewählt wird.
• Es sei bemerkt, daß die Erfindung sich nicht auf die in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispiele beschränkt. Die Erfindung ist auch anwendbar bei Ausführungsformen, die von der Zeichnung abweichen, die aber in dem durch die Patentansprüche definierten Rahmen der Erfindung liegen.

Claims (7)

1. Verfahren zum Herstellen eines Magnetkopfes mit einer Kopffläche (37), einer Spulenkammer (33) und einem Übertragungsspalt, der sich in der Höhenrichtung von der Kopffläche bis an die Spulenkammer erstreckt und der in der Höhenrichtung eine Höhe (40) hat, die dem Abstand zwischen der Kopffläche und der Spulenkammer entspricht, wobei diese Spulenkappe eine Größe (42) hat in einer Richtung parallel zu der Höhenrichtung des Übertragungsspaltes und gemessen von diesem Übertragungsspalt bis an eine in der Höhenrichtung gegenüber dem Übertragungsspalt liegende Begrenzungswand (32) der Spulenkammer, wobei dieses Verfahren die nachfolgenden Verfahrensschritte umfaßt:

- das Auftragen einer ersten magnetischen Schicht (13) auf einem Substrat 11),

- das Anbringen einer Ausnehmung (15) in dieser ersten magnetischen Schicht, wobei diese Ausnehmung sich tief genug ierstreckt zum Erreichen des Substrats,

- das Anbringen einer Spaltschicht (19) auf einer Flanke (29) der ersten magnetischen Schicht, wobei diese Flanke sich in der Höhenrichtung erstreckt und eine Begrenzung der Ausnehmung bildet,

- das Anbringen einer zweiten magnetischen Schicht (23) in der Ausnehmung und

- nach einem Poliervorgang das Anbringen eines Gegenblocks (31) auf den angebrachten Schichten. dadurch gekennzeichnet, daß die Ausnehmung (15) in der ersten magnetischen Schicht (13) vorgesehen wird, und zwar in der Höhenrichtung über einen Abstand, der wenigstens der Höhe (40) des zu bildenden Übertragungsspaltes und höchstens der Summe der Höhe des zu bildenden Übertragungsspaltes und der genannten Abmessung (42) der zu bildenden Spulenkammer (33) entspricht und daß das Verfahren den Verfahrensschritt umfaßt, daß die Spulenkammer in dem Substrat (11), die erste und die zweite Schicht (13, 23) und der Gegenblock (31) vorgesehen wird.

2. Verfahren zum Herstellen einer Anzahl Magnetköpfe gleichzeiting, wobei jeder Magnetkopf auf demselben Substrat (11) gebildet wird durch Anwendung des Verfahrens nach Anspruch 1, wobei dieselbe Ausnehmung (15) verwendet wird zum Bilden der betreffenden Übertragungsspalteder beiden Magnetköpfe.

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß vor dem Anbringen der Spaltschicht (19) auf der Flanke (29), diese gebildete Flanke mit Hilfe eines fokussierten Ionenstrahles (21) bearbeitet wird.

4. Verfahren nach Anspruch 1, 2 oder 3, wobei es einen Winkel α, der größer ist als 0º und maximal 90º beträgt, zwischen der Spaltschicht (19) und dem Substrat (11) gibt, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite magnetische Schicht (23) aus mehreren Teilschichten gebildet wird und daß zwischen aufeinanderfolgenden Teilschichten (25, 26) eine elektrische Isolierschicht (27) angebracht wird, wobei die Schichten im Zerstäubungsverfahren angebracht werden, wobei der Winkel, in dem die Isolierschicht durch Zerstäubung aufgetragen wird, größer ist als 0º und höchstens dem Winkel α entspricht und wobei der Winkel, in dem die Teilschichten durch Zerstäubung aufgetragen werden, wenigstens dem Winkel α entspricht und kleiner ist als 180º.

5. Verfahren nach Anspruch 1, 2, 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß vor dem Anbringen des Gegenblocks (31) die erste magnetische Schicht (13) mit einem Kanal (43) versehen wird, der sich tief genug erstreckt zum Erreichen des Substrats (11) und zwischen zwei Begrenzungen (35a, 35b) des Magnetkopfes, nachdem der Magnetkopfgebildet ist, so daß ein hinterer Teil (45) der ersten magnetischen Schicht (13) von einem vorderen Teil (47) der ersten magnetischen Schicht getrennt ist, der mit der Spaltschicht (19) in Kontakt ist, nachdem der Magnetkopf gebildet worden ist, so daß der hintere Teil sich nicht an der Leitung des magnetischen Flusses in dem Magnetkopf beteiligt.

6. Magnetkopfgebilde, das nach dem Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5 erhalten werden kann, wobei dieses Magnetkopfgebilde mehrere Magnetköpfe aufweist, wobei jeder Magnetkopf eine Kopffläche (37) aufweist, eine Spulenkammer (33), eine erste magnetische Schicht (13; 67) und eine zweite magnetische Schicht (23), die einen ersten und einen zweiten Kern bilden, wobei eine Spaltschicht (19) sich zwischen der ersten magnetischen Schicht und der zweiten magnetischen Schicht erstreckt, und zwar von der Kiopffläche zu der Spulenkammer und wobei nur dort ein Substrat (11; 65) und ein Gegenblock (31) die erste und die zweite Smagnetische Schicht "sandwichen", wobei die Magnetköpfe ein gemeinsames Substrat (65), eine gemeinsame erste magnetische Schicht (67) und eine Hilfsschicht (66) zwischen dem gemeinsamen Substrat und der ersten magnetischen Schicht wenigstens eines der Magnetköpfe haben.

7. Magnetkopfgebilde nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Hilfsschicht (66) eine Dicke (t1) hat, die der Dicke der ersten magnetischen Schicht (67) entspricht.