DE69023347D1 - Integriertes Rastertunnelmikroskop mit pneumatischer und elektrostatischer Steuerung und Verfahren zum Herstellen desselben. - Google Patents

Integriertes Rastertunnelmikroskop mit pneumatischer und elektrostatischer Steuerung und Verfahren zum Herstellen desselben.

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Publication number: DE69023347D1
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Prior art keywords: pneumatic; producing; same; scanning tunneling; tunneling microscope
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Martin Dr Nonnenmacher

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1990-12-21

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1995-12-07

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- G—PHYSICS
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- G—PHYSICS
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DE69023347T 1990-12-21 1990-12-21 Integriertes Rastertunnelmikroskop mit pneumatischer und elektrostatischer Steuerung und Verfahren zum Herstellen desselben. Expired - Lifetime DE69023347T2 (de)

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