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DE612401C - Optische Vorrichtung zum Pruefen von Achsenrichtungen - Google Patents

Optische Vorrichtung zum Pruefen von Achsenrichtungen

Info

Publication number
DE612401C
DE612401C DEZ20396D DEZ0020396D DE612401C DE 612401 C DE612401 C DE 612401C DE Z20396 D DEZ20396 D DE Z20396D DE Z0020396 D DEZ0020396 D DE Z0020396D DE 612401 C DE612401 C DE 612401C
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
images
axis
prism
optical device
line
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
DEZ20396D
Other languages
English (en)
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Carl Zeiss SMT GmbH
Original Assignee
Carl Zeiss SMT GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Carl Zeiss SMT GmbH filed Critical Carl Zeiss SMT GmbH
Priority to DEZ20396D priority Critical patent/DE612401C/de
Application granted granted Critical
Publication of DE612401C publication Critical patent/DE612401C/de
Expired legal-status Critical Current

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Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Telescopes (AREA)

Description

  • Optische Vorrichtung zum Prüfen von Achsenrichtungen In der Patentschrift 366 29o ist eine Zielvorrichtung beschrieben, mit der man das Zusammenfallen zweier Achsenrichtungen oder die Ebenheit einer Fläche prüfen kann. Die Prüfung einer Geradführung ist eiUe verwandte Aufgabe, die sich mit denselben Mitteln lösen läßt. Diese Aufgaben werden nach der genannten Patentschrift dadurch gelöst, daß man hintereinander entweder zwei Richtmarken oder dieselbe Richtmarke in zwei oder mehr verschiedenen Entfernungen mit einem Fernrohr einstellt. Das Fernrohr entwirft dabei von der Richtmarke ein aufrechtes und ein umgekehrtes Bild, und die Einstellung besteht darin, daß man diese beiden Bilder zum Zusammenfallen bringt. Diese Hilfsmittel versagen jedoch, sobald die Richtmarke auf nähere Entfernung gebracht wird, weil dann ihre beiden Bilder seitliche Bewegungen gegeneinander ausführen, sobald man das Auge seitlich bewegt, also eine Parallaxe gegeneinander zeigen. Der Grund hierfür liegt darin, daß die beiden Bilder nicht mehr in dieselbe Ebene fallen. So wird z. B. in Abb. 5 der Patentschrift der durch den ringförmigen, äußeren Teil des Objektivs tretende Teil der Strahlenbündel einen weiter hinter der Brennebene liegenden Bildpunkt erzeugen als der durch den kreisförmigen Kern tretende, zweimal an Silberflächen und einmal an einem Dach reflektierte.
  • Diesen Übelstand beseitigt die Erfindung gemäß folgender Erkenntnis. Die in der genannten Patentschrift beschriebenen Zielvorrichtungen für die Richtmarken sind Sonderfälle von zwei miteinander verbundenen, aus spiegelnden oder brechenden oder spiegelnden und brechenden Flächen bestehenden optischen Systemen, die einen gemeinsamen Dingraum in einen gemeinsamen Bildraum mit gleicher Vergrößerung so abbilden, daß die beiden Bilder der Hauptachse des Dingraumes. der Richtung nach zusammenfallen, daß aber die Bilder zweier zu der Hauptachse und untereinander senkrechter Nebenachsen einander entgegengesetzte Richtung haben. Die Parallaxe wird beseitigt, wenn diese beiden verbundenen optischen Systeme so eingerichtet werden, daß jede auf der Hauptachse senkrechte Dingebene von beiden Systemen in dieselbe Bildebene abgebildet wird. Die Hauptachse ist hierbei dadurch bestimmt,. daß ihre Bilder der Blickrichtung des Auges parallel sind. Man braucht sich hierbei nicht auf den Fall zu beschränken, daß die Bilder beider Nebenachten entgegengesetzte Richtung haben, daß also die beiden durch die beiden Systeme erzeugten Bilder einer Figur, die in einer zur Hauptachse senkrechten Ebene liegt, völlig gegeneinander umgekehrt sind; es brauchen nur die Bilder einer Nebenachse entgegengesetzte Richtung zu haben, wodurch die beiden Bilder einer solchen Figur spiegelverkehrt zueinander sind. Solche Systempaare können zur Prüfung von Ebenen benutzt werden.
  • Man braucht sich ferner nicht darauf zu beschränken, daß die gekennzeichneten Systempaare aus einer Anordnung von Spiegeln vor dem Objektiv eines Fernrohres bestehen. Solche Spiegelsysteme können auch hinter dem Objektiv an beliebiger Stelle angebracht sein oder bei geringen Ansprüchen an Genauigkeit ohne Fernrohr verwendet werden; auch können die Spiegel mit zusätzlichen Linsenkombinationen verbunden werden.
  • Werden beide Nebenachsen so abgebildet, daß ihre Bilder entgegengesetzt liegen, so gibt es .stets eine zu ihnen senkrechte Linie, deren beide Bilder nicht nur der Richtung, sondern .äuch der Lage nach übereinstimmen. Diese ist die durch das Paar optischer Systeme festgelegte Ziellinie. Das die Erfindung kennzeichnende Merkmal, daß die beiden Bilder einer auf der Hauptachse senkrechten Ebene zusammenfallen, bewirkt, daß die beiden Bilder der Ziellinie Punkt für Punkt zusammenfallen. An diesem Zusammenfallen prüft und erkennt man, ob sich eine Richtmarke in der Ziellinie befindet. Hat nur die eine Nebenachse die Eigenschaft, daß ihre beiden Bilder entgegengesetzte Richtung besitzen, während die Bilder der anderen Nebenachse der Richtung nach übereinstimmen, so gibt es keine Ziellinie, sondern nur eine der Hauptachse parallele Ebene, deren beide Bilder zusammenfallen; sie steht auf der erstgenannten Nebenachse senkrecht. Bringt man eine zur Hauptachse senkrechte, der anderen Nebenachse parallele Linie in diese Ebene, so fallen die beiden Bilder dieser Linie zusammen; man kann so prüfen, ob sich eine Richtmarke, die z. B. als der zweitgenannten Nebenachse parallele Linie ausgebildet ist, in der Zielebene befindet.
  • Die von der Richtmarke ausgehenden, die eine Abbildung bewirkenden Strahlen können mit denen, die die andere Abbildung bewirken, identisch sein; dann müssen diese Strahlen durch physikalische Teilung (z. B. an einer teils durchlässigen und teils spiegelnden Fläche) gespalten werden. Sie können aber auch räumlich getrennt verlaufen, bevor sie die beiden Systeme erreichen. Nach dem Durchsetzen beider Systeme ist es Zwar an sich möglich, die Strahlenbündel getrennt zu halten, aber für die Genauigkeit der Messung ist es vorteilhafter, wenn sie spätestens vor dem Eintritt in das Auge physikalisch wieder zum Zusammenfallen gebracht werden, was durch dieselben Mittel wie die physikalische Teilung geschieht.
  • Bei Verwendung eines Fernrohrs ist es besonders vorteilhaft, wenn dieses mit einem teleskopischen Objektiv ausgerüstet ist, damit die Richtmarke in allen Entfernungen gleich groß erscheint; auch wird dadurch ermöglicht, daß man sie bis dicht vor das Objektiv bringen kann, ohne große Verschiebungen des Okulars vorzunehmen.
  • Die neuen optischen Systempaare. können eine besondere neue Verwendung finden, um Teilungen in wechselnder Entfernung abzulesen. Bei der Koordinatenmessung liegt z. B. die Aufgabe vor, die Verschiebung eines Schlittens in einer Richtung zu ermitteln, während er, sich gleichzeitig in verschiedenen Abständen von einem festen Ablesefernrohr befindet. Versieht man dann das Ablesefernrohr mit einem Paar optischer Systeme der beschriebenen Art und macht eine senkrecht zur Teilung stehende Ebene zur Zielebene dieses Systempaars, so sieht man zwei Bilder der Teilung, die entgegengesetzt verlaufen. Als Ablesepunkt gilt derjenige Skalenpunkt, wo gleiche Skalenwerte zusammenfallen. Hierbei kann es zweckmäßig sein, den beiden Bildern der Skala senkrecht zur Richtung der Skala eine Versetzung zu geben, um sie besser voneinander zu unterscheiden. Man kann aber auch zur Trennung der beiden Skalenbilder die Abbildung so vornehmen, daß das eine Skalenbild senkrecht zur Richtung der Skala entgegengesetzt zu dem andern gerichtet ist und die Fußpunkte der Skalenstriche in einer Linie zusammenstoßen.
  • In jedem Falle ist die Hinzufügung eines optischen Hilfsmittels (Mikrometers), z. B. einer kippbaren Planparallelplatte, zweckmäßig, das in meßbarem Betrage das eine der beiden Skalenbilder oder beide so gegeneinander versetzt, daß zwei Striche genau miteinander zusammenfallen. Man kann dieses Zusammenfallen beurteilen, indem man wie bei einem Koinzidenzentfernungsmesser feststellt, ob die Striche sich ineinander als gerade Linie fortsetzen. Man kann sie aber auch als Doppelstriche ausbilden und je zwei Doppelstriche so ineinander eingreifen lassen, daß drei gleiche Zwischenräume entstehen. Die in beiden Skalen zusammenfallenden Orte Sind dann nicht die Mitten der Doppelstriche, sondern um einen unveränderlichen Betrag gegen diese Mitten versetzt, was keinen Fehler ergibt.
  • In der Zeichnung sind einige Beispiele der Erfindung dargestellt.
  • In Abb. i besteht das eine der beiden miteinander verbundenen optischen Systeme aus den miteinander verkitteten rechtwinkligen Prismen i und 2 einerseits und 3 und q. anderseits. Die Kittflächen sind dabei halbdurchlässig versilbert. Für die durchgehenden Strahlenbündel wirkt dieses System wie zwei Planparallelplatten. Das andere System, das für das an der Kittfläche von 1,.2 reflektierte Bündel wirksam ist, besteht aus den Prismen i, 5, 6 und 4. sowie den sammelnden Linsen 7 und 8, die gleiche Bremiweite haben. Diese Linsen sind so angeordnet, daß der hintere Brennpunkt 7 F1' mit dem vordern FE von 8 zusammenfällt; die Linsen bilden also ein bildumkehrendes Fernrohr von der Vergrößerung Eins. Der vordere Brennpunkt der Linse? F1 werde nun von dem System i, 2, 3, 4, das zwei Planparallelplatten bildet, virtuell in den Punkt FI* abgebildet; F1 falle außerdem zusammen mit dem virtuellen Spiegelbilde, das das Prisma 4 von dem hinteren Brennpunkt F2 der Linse 8 entwirkt. Da durch die Teile i, 7, 5, 8 und 6 der Punkt F, in F2 abgebildet wird und das Prisma q. diesen Punkt in F* abbildet, so bildet das ganze zweite optische System die achsensenkrechte Ebene in F1 in dieselbe ochsensenkrechte Ebene wie das erste System,, nämlich die bei Fi*, ab, jedoch unter vollständiger Umkehrung. Da beide Systeme dieselbe Tiefenvergrößerung, nämlich Eins, haben, so fallen alle ochsensenkrechten Bildebenen des, ersten mit denen des zweiten zusammen. Wegen der vollständigen Bildumkehrung im zweiten System ergibt sich hier eine Ziellinie, nämlich -die Achse Z-Z.
  • In Abb.2 bestehen die zwei miteinander verbundenen Systeme nur aus Spiegeln. Ein Prisma g mit einem Dach io und drei optisch ebenen Flächen ist an seiner Fläche i i mit einem Prisma 12 und an seiner Fläche 13 mit einem Prisma 14 verkittet. Die Flächen i i und 13 wirken teils durchlassend und teils spiegelnd. Ein in das Prisma g von links eintretender Strahl wird an der Fläche i i: in zwei Teilstrahlen zerlegt, deren einer an dem Dach io gespiegelt wird und dann Fläche 13 durchsetzt. Der durch die Fläche i i hindurchtretende Teilstrahl wird in dem Prisma 14 zweimal total und dann an der teilweise spiegelnden Fläche 13 so reflektiert, daß er mit dem ersten zusammenfällt. Daß die von beiden Systemen gelieferten Bilder zusammenfallen, ist hier dadurch erreicht, daß die optischen Wege beider Strahlen gleich lang sind. Das eine optische System besteht aus dem Prisma g und einem Teil des Prismas 14, das andere aus einem Teil des: Prismas g und den Prismen 12 und 14. Die Ziellinie ist der gezeichnete eintretende Strahl. Alle mit zweimaliger physikalischer Teilung versehenen Systempaare sind umkehrbar verwendbar.
  • Abb. 3. bis 5 zeigen ein dem vorigen gleichwertiges Systempaar in drei Ansichten. Ein bei 0 in ein rechtwinkliges Prisma 15 eintretender Strahl wird an der halbversilberten Fläche 16 in zwei Teilstrahlen zerlegt; der eine Teilstrahl geht durch diese Fläche hindurch, wird durch Spiegelung in einem rechtwinkligen Prisma 17 um 9o° und durch zweimalige Spiegelung in einem Prisma 18 um i8o° abgelenkt, trifft in einem Prisma ig auf eine halbversilberte Fläche 2o und wird dort in -die der Eintrittsrichtung parallele Richtung0' geworfen. Der andere Teilstrahl. geht von der Fläche 16 rechtwinklig gespiegelt in ein Prisma 21, in dem er zweimal gespiegelt wird, und in ein Prisma 22, in dein er durch Spiegelung die Richtung 0' erhält und das er durch Durchsetzen der Fläche 2o verläßt. Alle Prismen können verkittet sein; man kann aber auch z. B. die Prismen 18 und 21 etwas von dem übrigen Körper mit Luftzwischenraum abrücken, um durch Änderung des Zwischenraumes die optischen Längen beider Systeme genau einander gleichmachen zu können. Die Linie 0 (bei umgekehrter Benutzung 0') ist Ziellinie.
  • Während bei den drei Beispielen nach Abb. i, 2 und 3 bis 5 die Dingstrahlen für beide optischen Systeme gemeinsam verlaufen, ist dies bei den- nächsten beiden Beispielen Abb. 6 und 7 nicht der Fall. Das erstere hat den Vorteil, daß man solche Systempaare z. B. auch hinter dem Objektiv eines Fernrohres verwenden, also bei kleinem Gesichtsfeld in geringer Größe ausführen kann. Das letztere ergibt größere Helligkeit, weil eine der beiden physikalischen Teilungen der Büschel wegfällt; jedoch sind solche Systempaare dann zweckmäßig nur vor dem Obj ektiv eines Fernrohres zu verwenden.
  • In Abb. 6 ist die Anordnung ähnlich wie in Abb. i, jedoch ist das Prisma 2 weggefallen; das in gerader Richtung durchlaufende Büschel trifft nicht mehr auf das Prisma i, sondern geht seitlich vorbei. - Das eine abbildende System besteht aua den eine Planplatte bildenden Prismen 3 und 4, deren Hypothenusenflächen halbdurchlässig sind; das andere aus den Teilen. i, 7, -5, 8, 6 und 4. Die Linsen 7 und 8 bilden wieder ein umkehrendes, einfach vergrößerndes Fernrohr. Das! Spiegelprisma 4 bildet hier F2 in einem Punkt R virtuell ab, der in derselben ochsensenkrechten Ebene wie der vordere Brennpunkt Fi der Linse-? liegt. Es folgt dann aus denselben Betrachtungen wie bei dem Beispiel nach Abb. i, daß die beiden Bilder einer ochsensenkrechten Ebene zusammenfallen, jedoch liegt hier diejenige Linie Z-Z des Objektraumes, die in sich selbst abgebildet wird, also die Ziellinie, gegenüber der in den Dingraum zurückgespiegelten Achse des Systems i, 7, 5, 8, 6, 4 um halb so viel seitlich versetzt, wie diese selbst durch das System 3,4 seitlich versetzt wird. Ein Fernrohrobjektiv hinter diesem Doppelsystem erfüllt zweckmäßig die öffnung 0-0. Die Ziellinie geht dann hier nicht durch seine Mitte, während bei Abb. i die Achse eines hinter dem Doppelsystem anzuordnenden Fernrohrs mit der Ziellinie zusammenfallen würde.
  • In Abb. 7 kann.als eines der beiden Systeme das Objektiv 01, das totalreflektierende Prisma 23 und die aus dem Pentagonalprisma- 24 und dem angekitteten Prisma 25 gebildete Planparallelplatte angesehen werden; als das andere System das Objektiv 02 und das mit einem Dach versehene Pentagonalprisina 24. Die Kittfläche 26 ist halbversilbert. Der Abstand zwischen den einander zugekehrten Flächen der Prismen 23 und 25 ist so gewählt, daß die beiden einander gleichen Objektive 01 und 02 eine achsenrechte Dingebene in dieselbe Bildebene abbilden: Die Ziellinie ist Z-Z. Durch Hinzufügen eines Okulars 03 ist das Zielfernrohr zu vervollständigen. Man kann auch das Okular den Teilen. des einen wie denen des anderen Systems hinzurechnen; ebenso kann man bei den vorhergehenden Beispielen die Teile eines hinzugefügten Fernrohrs also sowohl dem einen wie dem anderen System zugehörig auffassen.
  • Systempaare, die nur eine Zielebene ergeben, gewinnt man z. B. aus den Beispielen nach Abb.2 und 7 durch Weglassen des Daches.
  • Eine solche Abänderung des Spiegelsystems der Abb. 7 zeigt Abb. B. Die halbversilberte Spiegelfläche 27 ist die Kittfläche zweier Glaskörper, deren einer, ein Pentagonalprisma 28, hier statt eines Daches eine versilberte Spiegelfläche 29 trägt. Die Weglängen der beiden Teilstrahlen sind gleich lang. Z-Z deutet die Ziellinie an, Z'-Z' ist ihr Bild.
  • Abb. 9 zeigt schematisch eine Einrichtung zur Ablesung der einen Koordinate y eines nach zwei Koordinaten x und y verschieblichen Teils. Ein Unterschlitten 3o kann sich zwischen zwei Führungen 31 und 32 parallel zur x-Achse verschieben. Er trägt zwei Führungen 33 und 34, zwischen denen sich ein Oberschlitten 35 mit einer Teilung 36 parallel zur y-Achse verschiebt. Zur Messung der y-Koordinate dient ein optisches Systempaar, dessen eines System aus einem Okular 37, zwei halbdurchlässig verkitteten Prismen 38 und 39, einem Pentagonalprisma 4o, dem positiven Teil 41 und dem negativen Teil 42 eines Fernrohrobjektivs und einer Plan parallelplatte 43 besteht, die um die Achse A,-Ai drehbar ist. Das andere System besteht aus dem Okular 37, dem Prisma 38, einem Objektiv 44 und einer Planparallelplatte 45, die um die zur Achse AI-Al. senkrechte Achse A2 drehbar ist. Diese Drehung ist mit einer nicht gezeichneten Kreisteilung verbunden zu denken.
  • Man sieht die Teilung im Fernrohr zweimal; die Bilder sind spiegelverkehrt. Durch Drehung der Platte 43 um die Achse A,-A, kann man das eine Bild in der. Höhe gegen das andere versetzen. So entsteht ein Gesichtsfeld entsprechend Abb. io. Die untere der beiden Teilungen trägt von links nach rechts die Bezifferungen o, 5, io; unter jeder der Ziffern ist dieselbe Ziffer in Spiegelschrift angebracht. Die obere der beiden Teilungen, die das Spiegelbild: der unteren ist, ist in der Abbildung beispielsweise um o,2 des Teilstrichwertes gegen die untere nach rechts verschoben; zu ihr gehören die beiden oberen Ziffernreihen, von denen jetzt die untere lesbar ist. Der Wert des zusammenfallenden Ortes beider Teilungen ist 5,1. Den Bruchteil erhält man genauer, indem man die Teilstriche 5 durch Drehen der Platte 45 um die Achse A2 zum genauen Übereinanderstehen bringt; man liest dann den Bruchteil an der erwähnten Kreisteilung ab. Man kann dafür sorgen, daß nur die zweite und die dritte Ziffernreihe sichtbar sind.
  • Durch Verwendung eines Systempaares nach Abb. 7 würde man ein Skalenbild entsprechend Abb. i i erhalten. Auch hier ist es zweckmäßig, durch ein optisches Mittel, wie eine Planparallelplatte, die man hier am besten vor beide Objektive gemeinsam setzt, ein genaues Zusammenfallen beider Strichsysteme zu erzeugen; außerdem wird man die Ablesung der umgekehrten Teilung, wie angedeutet, dadurch erleichtern, daß man unter die Ziffern deren Umkehrungen anbringt.
  • Statt auf geradlinige Fortsetzung einzelner Striche einzustellen, kann man sowohl im Falle der Spiegelung als im Falle der vollständigen Umkehrung des zweiten Bildes der Teilung gegen deren erstes Bild die Teilung nach Abb. 12 aus Doppelstrichen herstellen und die Einstellung dadurch vollziehen, daß man aus den zwei Strichen des ersten und den zwei Strichen des zweiten Skalenbildes drei gleiche Zwischenräume entstehen lä3t. Abb. a2 zeigt dies für den Fall vollständiger Umkehrung.
  • Falls man Einrichtungen entsprechend Abb. 9 verwendet, also zwei spiegelverkehrte, senkrecht zur Skalenrichtung gegeneinander verschobene,Bilder erhält, kann man auch die Teilung so ausführen, daß jeder Teilstrich durch einen Doppelstrich und einen darunter oder darüber befindlichen Mittelstrich dargestellt ist. Abb. 13 zeigt die dann entstehenden Bilder; das eine in ausgezogenen, das andere in punktierten. Linien.
  • Abb. 14 zeigt eine vollständige, der Erfindung entsprechende Vorrichtung, die mit einem teleskopischen Objektiv ausgerüstet ist. Dieses Objektiv besteht aus einem sammelnden System 46 und einem zerstreuenden System 47, die zusammen ein holländisches Fernrohr ergeben. Zwischen beide ist ein Prismensystem 48 geschaltet, das Abb. 3 bis 5 entspricht, also zwei vollständig gegeneinander umgekehrte Bilder ergibt. Diese drei Systeme werden von einem Träger 49 gehalten, der auf eine Grundplatte 50 geschraubt 'ist. Richtmarken, z. B. solche nach Abb. 3 der Patentschrift 366 29o, werden von diesem System im Verhältnis der Brennweiten der Systeme 46 und 47 verkleinert abgebildet. Die Bilder sind ferner im Quadrat dieses Verhältnisses enger zusammengedrängt als die Abstandsverschiedenheiten der Richtmarken betragen. Zur Betrachtung der Bilder dient ein vergrößerndes Mikroskop, das aus einem Objektiv 5 1 und einem Okular 52 besteht. Es wird von einem Träger 53 gehalten, der gleichzeitig die Führung für die mit einem Trieb 54. zu bewirkende Scharfeinstellung auf die von dem holländischen Fernrohr erzeugten Bilder dei Richtmarke abgibt.

Claims (3)

  1. PATENTANSPRÜCHE: i. Optische Vorrichtung zum Prüfen von Achsenrichtungen, bestehend aus zwei miteinander verbundenen optischen Systemen, die je einen Teil der wirksamen Strahlen aufnehmen und mit dem absoluten Betrag ihrer Vergrößerung mitenander übereinstimmen, wobei die. beiden von der Vorrichtung entworfenen Bilder der Hauptachse .des Dingraumes einander parallel und gleichgerichtet sind, aber die Bilder einer Nebenachse der Richtung nacheinander entgegengesetzt sind, dadurch gekennzeichnet, daß die maßgeblichen Größen der beiden optischen Systeme so gewählt sind, daß die Bildebene des einen mit der des andern zusammenfällt.
  2. 2. Optische Vorrichtung nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß auch die Bilder einer zweiten Nebenachse entgegengesetzte Richtung haben.
  3. 3. Optische Vorrichtung nach An-Spruch i, dadurch gekennzeichnet, daß ihr Objektiv aus zwei Gliedern besteht und der hintere Brennpunkt des vorderen Gliedes mit dem vorderen Brennpunkt des hinteren Gliedes zusammenfällt.
DEZ20396D 1932-08-21 1932-08-21 Optische Vorrichtung zum Pruefen von Achsenrichtungen Expired DE612401C (de)

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