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STAND DER
TECHNIK FÜR
DIE ERFINDUNG
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1. Gebiet
der Erfindung
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Die
Erfindung betrifft ein bleifreies Lot und insbesondere ein solches,
das für
eine Kugel-Gitter-Anordnung
und dergleichen geeignet ist. Zusätzlich ist die Erfindung auf
eine Lötverbindung
mit verbesserten thermischen Ermüdungseigenschaften
gerichtet.
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2. Beschreibung des Standes
der Technik
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Die
binäre
Sn-Ag-Legierung, die als bleifreies Lot verwendet wird, hat einen
eutektischen Punkt bei Ag = 3,5 Gew.% und einer Temperatur von 221°C. Die binäre Sn-Ag-Legierung mit
eutektischer Zusammensetzung hat ein solches Gefüge, dass das Sn-Ag3Sn-Eutektikum
auf den Korngrenzen der primären
Sn-Kristalle dispergiert ist.
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Die
bekannte auf Sn-Ag basierende Legierung enthält Sn-3,5%Ag-0,7%Cu, d.h.,
dass 0,7% Cu dem Sn-3,5%Ag-Eutektikum
zugesetzt sind. Angeblich beträgt
der Schmelzpunkt von Sn-3,5%Ag-0,7%Cu 217 bis 219°C und ist
somit niedriger als derjenige der binären Sn-Ag-Legierung.
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In
USP Nr. 5 527 628 ist beschrieben, dass Sn-4,7%Ag-1,7%Cu der eutektischen
Zusammensetzung bei etwa 217°C
entspricht. In jenem Patent wird vorgeschlagen, dass der Gehalt
an Sn, Ag und Cu von der eutektischen Zusammensetzung in einen derartigen
Bereich verschoben wird, dass der Schmelzpunkt nicht um 15°C oder mehr
höher als
der eutektische Punkt wird. Es ist beschrieben, dass mindestens
zwei intermetallische Verbindungen, beispielsweise Cu-reiches Cu6Sn5 und Ag-reiches
Ag3Sn, in der β-Sn-Phase fein dispergiert sind
und Festigkeit und Ermüdungsfestigkeit
der Legierung erhöhen.
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Die
Anmelderin und Toyota Central Research Co., Ltd. haben eine sehr
zuverlässige Sn-2,5Ag-3,0Bi-1,0In-0,2Cu
entwickelt (5. Symposium zu "Microjoining
and Assembly Technology in Electronics", 4. bis 5. Februar 1999, Seiten 403
bis 408). Diese Legierung besitzt einen Schmelzpunkt von 202 bis 216°C und verbesserte
Widerstandsfähigkeit
gegen thermische Ermüdung.
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Da
Bi einen außergewöhnlichen
Effekt auf die Senkung des Schmelzpunktes einer auf Sn-Ag basierenden
Legierung und die Festigkeitserhöhung
der Legierung hat, wird Bi häufig
Pb-freien auf Sn-Ag basierenden Lotlegierungen zugesetzt (beispielsweise
Japanisches Patent Nr. 2 805 595 und ungeprüfte japanische Patentveröffentlichungen
[Kokai] Nrn. 8-132277, 8-187590, 8-206874 und 10-34376).
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Wenn
eine Lötverbindung
einer thermischen Ermüdung
unterliegt, werden die Verbindungsteile aufgrund der Differenz der
Wärmeausdehnungskoeffizienten
der konstruktiven Bestandteile der Lötverbindung wiederholt Spannungen
ausgesetzt. In "Materia", Bd. 38, Nr. 12,
S. 942-946 (1999) wird über
Forschungen zur Bewertung der Wärmeermüdungseigenschaften
durch ein Zugprüfverfahren
unter variierenden Spannungsgeschwindigkeiten berichtet. Entsprechend
diesem Bericht wurde eine Zusammensetzung, die ähnlich der weiter oben genannten
Sn-2,5Ag-3,0Bi-1,0In-0,2Cu-Legierung
war, geprüft
und eine verbesserte Widerstandsfähigkeit dieser Legierung gegen
thermische Ermüdung
bestätigt.
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In
der nationalen japanischen Patentveröffentlichung (Tokuhyo) 2001-504760
der PCT/US98/02022 (internationale Patentveröffentlichung WO 98/34755 vom
13. August 1998) ist beschrieben, dass, da bei dem ternären Eutektikum
Sn-4,7%Ag-1,7%Cu ein nachteiliges Wachstum der intermetallischen
Verbindungsschicht auftritt, Ni, Co, Fe und dergleichen dieser Legierung
zugesetzt werden. Wenn ein Cu-Leiter mit dem auf Sn basierenden
Lot verlötet
wird, ist eine intermetallische Verbindungsschicht wie eine Cu6Sn5-Schicht an der Grenzfläche dünn. Entsprechend
der Theorie, die in jener nationalen Patentveröffentlichung vorgeschlagen worden
ist, ist die erstarrte intermetallische Verbindungsschicht aufgrund
des Zusatzes von Ni und dergleichen dünn. Ni und dergleichen modifizieren
die Gestalt der intermetallischen Verbindungsschicht auf eine solche Weise,
dass deren Wachstum unterdrückt
wird.
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Zur
elektrischen Verbindung elektronischer Bauteile werden kleine Kügelchen
mit einer Größe von 0,1 bis
1,2 mm, die als BGA-Kugeln bezeichnet werden, verwendet. Da die
BGA-Kugeln für
das Multi-Pin-Verbindungsverfahren geeignet sind, werden sie in
den letzten Jahren immer mehr verwendet. Ebenfalls wird für die BGA-Kugel-Lötverbindung ein bleifreies
auf Sn-Ag basierendes Lot verwendet. Bei diesem BGA-Kugeln einsetzenden
Verbindungsverfahren verursacht die Differenz der Wärmeausdehnungskoeffizienten
der konstruktiven Bestandteile Spannungen in den Verbindungsbereichen
von Lotkugeln und Ni- oder Cu-Grundwerkstoff.
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Ein
thermischer Ermüdungsbruch
der Lötverbindung
tritt sowohl in der Lotmasse als auch in der Grenzfläche der
Verbindung auf. In "Materia", Bd. 38, Nr. 12,
S. 942-946 (1999) wird der bisherige Wärmeermüdungsbruch aufgeklärt. In einer
inzwischen veröffentlichten
Untersuchung steht, dass, da Sn-3,5Ag-5Bi durch den Bi-Zusatz verfestigt
ist, der Ermüdungsbruch
auf die intermetallischen Verbindungen in der Verbindungsgrenzfläche zurückzuführen ist
(Surface Mounting Pocket Handbook, Lead-Free Solder Technique, herausgegeben
von Tadatomo Suga, 28. April 2000, erste Auflage, zweiter Nachdruck,
Seiten 90-91). Von den Erfindern ist das thermische Ermüdungsverhalten
von BGA-Kugeln untersucht
und festgestellt worden, dass die thermische Ermüdung von BGA-Kugeln mit dem
Wachstum der intermetallischen Verbindung zusammenhängt, die
durch eine Reaktion gebildet wird, die zwischen dem Lot und dem
Grundwerkstoff während
des Lötvorgangs
in den zu verbindenden Bereiche stattfindet. In
JP 09 155 586 A ist eine
bleifreie Lotlegierung mit hoher mechanischer Festigkeit beschrieben,
die aus 0,5 bis 3,5 Gew.% Ag, 0,3 bis 2,0 Gew.% Cu, 1,0 bis 4,0 Gew.%
In und dem Rest Sn besteht.
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ZUSAMMENFASSUNG
DER ERFINDUNG
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Beim
BGA-Verbinden ist es, da einem schmalen Verbindungsbereich einer
Lotkugel auf der Umfangsfläche
des Verbindungsbereiches eine horizontale Spannung mitgeteilt wird,
sehr wahrscheinlich, dass eine anfängliche thermische Ermüdung auftritt.
Insbesondere wird von dieser Spannung die Diffusion von Ni oder Cu
in das Lot beschleunigt, wobei Ni oder Cu mit hoher Konzentration
in dem während
des Lötverbindens
gebildeten Verbindungsbereich enthalten ist. Die intermetallische Verbindung
wächst
somit dicker als diejenige, die an der Verbindungsstelle gebildet
wird, mit dem Ergebnis, dass in dem Bildungsbereich der intermetallischen
Verbindung ein Ermüdungsbruch
auftritt.
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Deshalb
liegt der Erfindung als Aufgabe zugrunde, die Ni- oder Cu-Diffusion von der Verbindungsgrenzfläche in die
Masse des Lots zu unterdrücken
und eine bleifreie Weichlotlegierung für BGA-Kugeln mit verbesserter
Widerstandsfähigkeit
gegenüber
thermischer Ermüdung
bereitzustellen.
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Weiterhin
liegt der Erfindung als Aufgabe zugrunde, die Ni- oder Cu-Diffusion
von der Verbindungsgrenzfläche
in die Masse des Lots der BGA-Kugeln zu verhindern und eine bleifreie
Lötverbindung
mit verbesserter Widerstandsfähigkeit
gegenüber
thermischer Ermüdung
bereitzustellen.
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Entsprechend
den erfindungsgemäßen Aufgaben
wird ein bleifreies Weichlot bereitgestellt, das in prozentualen
Gewichtsanteilen 1,0 bis 3,5% Ag, 0,1 bis 0,7% Cu, 0,1 bis 2,0%
In und mindestens ein Element, das aus der Gruppe ausgewählt ist,
die aus 0,03 bis 0,15% Ni, 0,01 bis 0,1% Co und 0,01 bis 0,1% Fe
besteht, enthält,
wobei der Rest aus unvermeidlichen Verunreinigungen und Sn besteht.
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Entsprechend
den erfindungsgemäßen Aufgaben
wird eine Weichlötverbindung
bereitgestellt, die einen auf Ni basierenden Leiter, eine Masse
aus bleifreiem Weichlot, die in prozentualen Gewichtsanteilen 1,0 bis
3,5% Ag, 0,1 bis 0,7% Cu, 0,1 bis 2,0% In und mindestens ein Element,
das aus der Gruppe ausgewählt ist,
die aus 0,03 bis 0,15% Ni, 0,01 bis 0,1% Co und 0,01 bis 0,1% Fe
besteht, enthält,
wobei der Rest aus unvermeidlichen Verunreinigungen und Sn besteht,
und welche im Wesentlichen aus einer Sn-Matrix mit gelöstem Cu
und einem eutektischen Sn-Ag-Gefüge,
in welchem eine auf Ni-Sn basierende intermetallische Verbindung
und eine intermetallische Ag-Sn-Verbindung dispergiert sind, besteht,
und eine auf Ni-Sn basierende intermetallische Verbindungsschicht,
die sich an einer Grenzfläche
zwischen dem auf Ni basierenden Leiter und der Masse aus dem bleifreien
Weichlot gebildet hat, umfasst.
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Weiterhin
wird ein auf Cu basierender Leiter, eine Masse aus bleifreiem Lot,
das die erfindungsgemäße Zusammensetzung
und ein Gefüge
besitzt, das im Wesentlichen aus einer Sn-Matrix mit gelöstem Cu
und einem eutektischen Sn-Ag-Gefüge
besteht, in welchem eine auf Cu-Sn basierende intermetallische Verbindung
und eine intermetallische Ag-Sn-Verbindung dispergiert sind, und
eine auf Cu-Sn basierende intermetallische Verbindungsschicht, die
an der Grenzfläche
zwischen dem auf Cu basierenden Leiter und der Masse aus dem bleifreien
Lot gebildet wird, bereitgestellt.
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BESCHREIBUNG
BEVORZUGTER AUSFÜHRUNGSFORMEN
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Erfindungsgemäß ist das
Grundsystem Sn-Ag-eutektisch und -hypoeutektisch. Dieses Grundsystem hat
bessere thermische Ermüdungseigenschaften
als dasjenige des Sn-Pb-Eutektikums.
Die zusätzlichen
Elemente werden ausgewählt
und mit speziellen Anteilen derart zugesetzt, dass die Grenzflächenreaktion
unterdrückt
wird, während
die mechanischen Eigenschaften und die Benetzbarkeit der Lotmasse,
verglichen mit dem Sn-Ag-Eutektikum, nicht beeinträchtigt werden.
Anschließend
werden die Prozentgehalte der Zusammensetzung als Gew.% angegeben.
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Erfindungsgemäß wird Ag
zur Verbesserung der Benetzbarkeit und Senkung des Schmelzpunktes
zugesetzt. Beträgt
der Ag-Gehalt weniger als 1,0%, wird der Schmelzpunkt zu hoch. Andererseits
wird, wenn der Ag-Gehalt
mehr als 3,5% beträgt,
nachteiligerweise das primäre
Ag3Sn gebildet. Der Ag-Gehalt beträgt deshalb
1,0 bis 3,5% und vorzugsweise 2,0 bis 3,5%.
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Cu
wirkt in Richtung Schmelzpunkterniedrigung und ist im Zinn gelöst. Überraschenderweise
ist, da die Erstarrungsgeschwindigkeit der BGA-Kugeln zu hoch ist,
um Cu mit einem großen
Anteil zu lösen,
das gelöste
Cu wirksam, die gegenseitige Diffusion zwischen ihm und Cu oder
Ni im Grundwerkstoff zu unterdrücken. Im
Ergebnis wird die Diffusion von Metall aus dem Grundwerkstoff in
die Lotmasse verhindert. Beträgt
der Cu-Gehalt weniger als 0,1%, sind diese Effekte gering. Andererseits
kristallisiert, wenn der Cu-Gehalt mehr als 0,7% beträgt, primäres Cu6Sn5 mit dem Ergebnis,
dass Festigkeit und Ermüdungseigenschaften
verschlechtert werden. Der Cu-Gehalt
beträgt
deshalb 0,1 bis 0,7% und besonders bevorzugt 0,2 bis 0,5%.
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Ag
und Cu sowie die weiter unten genannten Ni, Co und Fe verringern
die Ausdehnung. In (Indium) verhindert die Verringerung der weiter
oben beschriebenen Ausdehnung und Benetzbarkeit. Wie weiter oben beschrieben,
ist ein Ermüdungsbruch
auf das Wachstum der intermetallischen Verbindungsschicht zurückzuführen. Durch
eine starke Ausdehnung der Lotmasse wird die Fortpflanzung von Ermüdungsrissen
verhindert und somit zur Verbesserung der Widerstandsfähigkeit
gegen thermische Ermüdung
beigetragen. Beträgt
der Indiumgehalt weniger als 0,1%, werden bei Zusatz von Ag, Cu
und dergleichen Ausdehnung und Benetzbarkeit stark beeinträchtigt.
Andererseits wird, wenn der In-Gehalt mehr als 2,0% beträgt, In-Oxid
mit einem so großen
Anteil gebildet, dass die Benetzbarkeit verschlechtert wird. Deshalb
beträgt
der In-Gehalt 0,1 bis 2,0% und vorzugsweise 0,3 bis 1,0%.
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Der
Rest zu diesen Komponenten besteht im Wesentlichen aus Sn. Eine
Weichlotlegierung mit dieser Zusammensetzung besitzt eine Zugfestigkeit
von 42 bis 44 MPa bei Raumtemperatur, eine Dehnung von 38 bis 40%
bei Raumtemperatur, ein Ausbreitungsverhältnis von etwa 76 bis 79% und
einen Schmelzpunkt von 210 bis 220°C. Die von der Anmelderin und
Toyota Central Research Co., Ltd. entwickelte Sn-2,5Ag-3,0Bi-1,0In-0,2Cu-Weichlotlegierung
(anschließend
als "entwickeltes
Erzeugnis" bezeichnet)
besitzt eine Zugfestigkeit von etwa 62 MPa bei Raumtemperatur, eine
Dehnung von etwa 25% bei Raumtemperatur, ein Ausbreitungsverhältnis von
etwa 84% und einen Schmelzpunkt von 202 bis 215°C. Aufgrund des Wegfalls von
Bi, verglichen mit dem entwickelten Erzeugnis, hat die Legierung
eine niedrige Festigkeit und große Dehnung. In der zyklischen
Wärmeprüfung wird
bestätigt,
dass die Widerstandsfähigkeit
des entwickelten Erzeugnisses gegen thermische Ermüdung aufgrund
des Bi-Zusatzes
verbessert ist. Jedoch zeigte die zyklische Erwärmungsprüfung, die an Kugeln erfindungsgemäß durchgeführt wurde,
dass die Ermüdungsfestigkeit
an der Grenzfläche
von dem Bi-Zusatz verschlechtert wird.
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Die
erfindungsgemäße Weichlotlegierung
enthält
zusätzlich
Ni, Co und/oder Fe. Dabei sind Ni, Co und Fe teilweise oder vollständig in
der Sn-Matrix gelöst
und verstärken
die Widerstandsfähigkeit
gegenüber
thermischer Ermüdung.
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Ni:
Von dem in der Sn-Matrix gelösten
Ni wird die gegenseitige Diffusion von Sn der Lotmasse und Cu oder
Ni des Grundwerkstoffs unterdrückt.
Deshalb wird die Diffusion dieses Ni oder Cu in die Lotmasse verhindert.
Beträgt
der Ni-Gehalt weniger als 0,03%, sind diese Effekte gering. Andererseits
kristallisiert, wenn der Ni-Gehalt
0,15% übersteigt,
Ni3Sn4 als Primärkristalle,
sodass die mechanischen Eigenschaften der Lotmasse und das Benetzungsvermögen stark
beeinträchtigt
werden. Deshalb beträgt
der Ni-Gehalt 0,03 bis 0,15% und vorzugsweise 0,03 bis 0,1%. Innerhalb
dieser Bereiche scheint Ni in der Sn-Matrix teilweise gelöst zu sein.
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Co:
Von dem in der Sn-Matrix gelösten
Co wird die gegenseitige Diffusion von Sn der Lotmasse und Cu oder
Ni des Grundwerkstoffs unterdrückt.
Deshalb wird die Diffusion dieses Ni oder Cu in die Lotmasse verhindert.
Beträgt
der Co-Gehalt weniger als 0,01%, sind diese Effekte gering. Andererseits
erhöht
sich, wenn der Co-Gehalt
0,1% übersteigt,
der Schmelzpunkt drastisch. Der Co-Gehalt beträgt deshalb 0,01 bis 0,1%. Innerhalb
dieses Bereiches scheint das Co vollständig oder fast vollständig in
der Sn-Matrix gelöst
zu sein.
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Fe:
Von dem in der Sn-Matrix gelösten
Fe wird die gegenseitige Diffusion von Sn der Lotmasse und Cu oder
Ni des Grundwerkstoffs unterdrückt.
Deshalb wird die Diffusion dieses Ni oder Cu in die Lotmasse verhindert.
Wenn der Fe-Gehalt weniger als 0,01% beträgt, sind diese Effekte gering.
Andererseits erhöht
sich, wenn der Fe-Gehalt
0,1% übersteigt,
der Schmelzpunkt drastisch.
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Deshalb
beträgt
der Fe-Gehalt 0,01 bis 0,1% und vorzugsweise 0,01 bis 0,05%. Innerhalb
dieser Bereiche scheint Fe in der Sn-Matrix teilweise gelöst zu sein.
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Dieses
Weichlot kann nicht nur für
BGA-Kugeln, sondern auch an Stellen verwendet werden, an welchen
die Verbindungsgrenzflächenspannung
beim Oberflächenmontieren
hoch ist.
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Anschließend wird
die erfindungsgemäße Lötverbindung
beschrieben.
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Die
erste Lötverbindung
betrifft die Verbindung eines auf Nickel basierenden Leiters und
umfasst die auf Ni-Sn basierende intermetallische Verbindungsschicht
und die Lotmasse. Die auf Ni-Sn basierende intermetallische Verbindungsschicht
ist an der Grenzfläche
des auf Ni basierenden Leiters mit der Lotmasse vorhanden. Diese
Schicht ist in der Umfangsfläche
einer Kugel in deren Verbindungsbereich mit dem auf Ni basierenden
Leiter vorhanden. Die Lotmasse hat ein eutektisches Sn-Ag-Gefüge, in welchem
eine auf Cu-Sn basierende intermetallische Verbindung und eine auf
Ag-Sn basierende intermetallische Verbindung dispergiert sind. Die
Lotmasse hat die erfindungsgemäße Zusammensetzung.
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Der
Ni-Grundwerkstoff und das erfindungsgemäße Weichlot werden miteinander
in Berührung
gebracht und bilden an ihrer Grenzfläche die auf Ni-Sn basierende
intermetallische Verbindungsschicht, die hauptsächlich aus Ni3Sn4 und dergleichen zusammengesetzt ist. Diese
intermetallische Verbindung wächst während des
Erwärmungszyklus.
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Die
Lotmasse hat die erfindungsgemäße Zusammensetzung.
Ihr Gefüge
bildet sich während
der anschließenden
Erstarrung. Als Erstes erstarrt das Sn, wobei sich die Matrix bildet,
worin sich Cu, In und dergleichen lösen. Anschließend findet
die eutektische Reaktion statt. Das resultierende eutektische Gefüge besteht aus
den dispergierten Sn-Kristallen und einer intermetallischen Ag-Sn-Verbindung.
Der eutektische Punkt befindet sich bei 3,5% Ag, der Rest besteht
aus Sn. Nach oder gleichzeitig mit der eutektischen Reaktion bildet sich
die auf Cu-Sn basierende intermetallische Verbindung und dispergiert
ebenso. Ein kleiner Anteil von Cu, Fe, Ni, Co und Ag löst sich
in der erstarrten Sn-Matrix. Das gelöste Cu, Fe, Ni, Co und Ag verzögert die
gegenseitige Diffusion von Sn der Lotmatrix und Ni oder Cu mit dem
Ergebnis, dass die Bildung der intermetallischen Verbindung in der
Massenschicht verhindert wird. Masse und intermetallische Verbindungsschicht
lassen sich voneinander durch ein Lichtmikroskop unterscheiden,
da die Morphologie der intermetallischen Verbindungsschicht den
zuvor beschriebenen Bildungsvorgang widerspiegelt.
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Die
zweite Lötverbindung
betrifft die Verbindung eines auf Cu basierenden Leiters und umfasst
die auf Cu-Sn basierende intermetallische Verbindungsschicht und
die Lotmasse. Die auf Cu-Sn basierende intermetallische Verbindungsschicht
ist in der Grenzfläche
zwischen dem auf Cu basierenden Leiter und der Lotmasse vorhanden.
Die Lotmasse hat ein eutektisches Sn-Ag-Gefüge und Dispersionsphasen aus
der auf Cu-Sn basierenden intermetallischen Verbindung oder der
intermetallischen Ag-Sn-Verbindung. Die Lotmasse hat die erfindungsgemäße Zusammensetzung.
Cu sowie Fe, Ni oder Co sind in der Sn-Matrix gelöst. In der zweiten Lötverbindung
unterdrückt das
gelöste
Cu, Fe, Ni und Co der Lotmasse die Diffusion von Cu aus dem Grundwerkstoff
und somit das Wachstum der intermetallischen Verbindungsschicht.
Die anderen Punkte sind dieselben wie bei der ersten Lötverbindung.
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Die
Erfindung wird anschließend
unter Bezugnahme auf Beispiele beschrieben.
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BEISPIELE
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Die
Weichlotlegierungen mit der in Tabelle 1 mitgeteilten Zusammensetzung
wurden geschmolzen und zu Festigkeitsprüfkörpern gegossen. Die Weichlotlegierungen
wurden durch ein übliches
Verfahren zu Lotkugeln (BGA-Kugeln)
mit einem Durchmesser von 0,3 mm geformt.
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Prüfverfahren
für das
Ausbreitungsverhältnis
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Eine
Kupferplatte wurde mit Polierpapier (# 1500) poliert, danach mit
Isopropylalkohol gereinigt und anschließend 1 Stunde lang bei 150°C oxidiert.
Auf die so behandelte Kupferplatte wurde Flussmittel aufgebracht
und die bei 250°C
geschmolzene Weichlotprobe auf der Kupferplatte ausbreiten gelassen.
Die Höhenveränderung
der Lotschmelze wurde nach 30 Sekunden Haltezeit gemessen. Die Ergebnisse
sind in Tabelle 1 aufgeführt.
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Festigkeitsprüfverfahren
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Die
Weichlotlegierung wurde zu zylindrischen Probekörpern gegossen (30 mm Länge des
parallelen Teils und 2 mm Durchmesser des parallelen Teils). Zur
Stabilisierung des Gefüges
wurde eine 24 Stunde lange Wärmebehandlung
bei 100°C
durchgeführt.
Die Zugfestigkeitsprüfung
wurde mit 1·10–3/s
Ziehgeschwindigkeit und 25°C
Prüftemperatur
durchgeführt.
Für jede
Lotlegierung wurden drei Prüfungen
(n = 3) durchgeführt.
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Thermische
Ermüdungseigenschaften
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Die
thermischen Ermüdungseigenschaften
wurden durch eine Wärmeeinflussprüfung bewertet.
Siebenundzwanzig BGA-Kugeln
wurden mit Hilfe eines Flussmittels mit einem Chip verbunden, und
der Zusammenbau mit einem Bewertungssubstrat (FR-4, Cu-Grundwerkstoff
+ Ni-Grundwerkstoff)
wurde unter Verwendung der eutektischen Sn-Ag-Weichlotpaste durchgeführt. Die
Prüfung
wurde 1000 Erwärmungszyklen
von –40°C (20 Minuten)
auf 125°C
(5 Minuten) und Abkühlung
und zurück
durchgeführt.
Von fünf
Kugeln, deren Spannung unter dem Wärmeeinfluss größer als
diejenige der anderen Kugeln war, wurde der Querschnitt betrachtet.
Zur Bewertung des Rissfortpflanzungsverhältnisses wurde der Riss relativ
zur Länge
der Verbindungsfläche
gemessen. Weiterhin wurde die Dicke der intermetallischen Verbindungsschicht
an der Grenzfläche
der Verbindung gemessen. Die Ergebnisse sind in Tabelle 2 aufgeführt. Das
größte Rissfortpflanzungs-Verhältnis ist
in Tabelle 1 aufgeführt.
Die mittlere Dicke der intermetallischen Verbindungsschicht in Bezug
auf fünf
BGA-Kugeln ist in Tabelle 2 aufgeführt.
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In
Tabelle 2 zeigen folgende Symbole das Rissfortpflanzungsverhältnis.
- ⊙:
- Keine Risse
- O:
- Rissfortpflanzungsverhältnis von
10% oder weniger
- Δ:
- Rissfortpflanzungsverhältnis von
50% oder weniger
- X:
- Rissfortpflanzungsverhältnis von
100% (Bruch)
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