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DE59006671D1 - Verfahren und Vorrichtung zum elektrostatischen Aufsprühen einer Flüssigkeitsschicht auf ein Substrat und zum Trocknen der Flüssigkeitsschicht auf dem Substrat. - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zum elektrostatischen Aufsprühen einer Flüssigkeitsschicht auf ein Substrat und zum Trocknen der Flüssigkeitsschicht auf dem Substrat.

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DE59006671D1
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DE
Germany
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liquid layer
drying
electrostatically spraying
electrostatically
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DE59006671T
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Reinhard Dipl Ing Nies
Hermann Idstein
Reinhold Dr Dipl Ing Becker
Guenther Dr Dipl Chem Hultzsch
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Hoechst AG
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Hoechst AG
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