DE4344264A1 - Positionsdetektor - Google Patents
PositionsdetektorInfo
- Publication number
- DE4344264A1 DE4344264A1 DE4344264A DE4344264A DE4344264A1 DE 4344264 A1 DE4344264 A1 DE 4344264A1 DE 4344264 A DE4344264 A DE 4344264A DE 4344264 A DE4344264 A DE 4344264A DE 4344264 A1 DE4344264 A1 DE 4344264A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- position detector
- fluid
- pressure
- detector according
- housing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 79
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 27
- 230000011664 signaling Effects 0.000 claims description 3
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 2
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims description 2
- 230000007717 exclusion Effects 0.000 claims 1
- 230000000875 corresponding effect Effects 0.000 description 7
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 101150087426 Gnal gene Proteins 0.000 description 1
- 230000005534 acoustic noise Effects 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 238000005422 blasting Methods 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000012549 training Methods 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B13/00—Measuring arrangements characterised by the use of fluids
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q17/00—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools
- B23Q17/002—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools for indicating or measuring the holding action of work or tool holders
- B23Q17/003—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools for indicating or measuring the holding action of work or tool holders by measuring a position
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q17/00—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools
- B23Q17/006—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools for indicating the presence of a work or tool in its holder
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Arrangements Characterized By The Use Of Fluids (AREA)
Description
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf einen Positions
detektor zur Feststellung, ob ein Werkstück auf einer Refe
renzfläche positioniert wurde, und zur Anzeige des festge
stellten Zustandes auf einer Anzeigeeinheit, um dem Benutzer
die visuelle Überprüfung des festgestellten Zustandes zu
erlauben.
Zur Positionierung eines Werkstücks auf einer Referenzfläche
in einer Werkzeugmaschine, bspw. einer Schneidemaschine, ist
es herkömmliche Praxis, ein unter Druck stehendes Fluid von
einer Düse auf eine Oberfläche des Werkstücks zu strahlen,
eine hinter der Düse durch die Aufbringung des Fluids auf die
Werkstückoberfläche hervorgerufenen Gegendruck festzustellen
und auf der Basis des erzeugten Gegendrucks eine Entfernung
festzulegen, um die das Werkstück von der Referenzfläche
beabstandet ist.
Die Grundprinzipien der Feststellung des Gegendrucks sind in
Fig. 1 der beigefügten Zeichnung dargestellt. Ein von einer
nicht dargestellten Druckquelle zugeführtes Druckfluid, des
sen Druck über eine variable Verengung 2 reguliert wird, wird
in eine Düse 4 eingeführt. Das Fluid wird dann von der Düse
4 auf eine Oberfläche eines Werkstücks 6 gestrahlt. Ein hin
ter der Düse 4 aufgrund des Fluidstrahles entwickelter Gegen
druck wird durch einen Sensor S festgestellt, der auf einer
Linie angeordnet ist, die die Düse 4 und die variable Ver
engung 2 verbindet.
Der von dem Sensor S festgestellte Gegendruck und die Entfer
nung d, um die das Werkstück 6 von dem Kopf der Düse 4 be
abstandet ist, stehen miteinander in der in Fig. 2 der bei
gefügten Zeichnung dargestellten Beziehung. Somit ist es
möglich, festzustellen, ob das Werkstück 6 auf der Referenz
fläche positioniert wurde, indem mit dem Sensor S der durch
den Flüssigkeitsstrahl von der Düse 4 auf das Werkstück 6
erzeugte Gegendruck festgestellt wird.
In dem Fall, daß der Fluiddruck der Druckfluidquelle sich
verändert, verändern sich aber auch die in Fig. 2 dargestell
ten Charakteristiken, und es wird unmöglich, genau festzu
stellen, ob das Werkstück 6 auf der Referenzfläche positio
niert wurde.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, einen Posi
tionsdetektor zu schaffen, der zuverlässig feststellen kann,
ob ein Werkstück auf einer Referenzfläche positioniert wurde,
indem ein Gegendruck einer Düse gemessen wird, selbst wenn
ein von einer Druckfluidquelle auf die Düse aufgebrachter
Quellendruck sich verändert.
Eine weiteres Ziel der vorliegenden Erfindung ist es, einen
Positionsdetektor zu schaffen, der eine visuelle Anzeige
erzeugen kann, die es dem Benutzer erlaubt, leicht festzu
stellen, ob ein Werkstück auf einer Referenzfläche positio
niert wurde, selbst wenn der von einer Druckfluidquelle auf
die Düse aufgebrachte Quellendruck sich verändert.
Eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, einen
Positionsdetektor zu schaffen, der ein Warnsignal erzeugen
kann, wenn ein Werkstück außerhalb einer Referenzfläche, auf
der der Positionsdetektor angeordnet ist, positioniert wird.
Schließlich ist es auch eine Aufgabe der vorliegenden Erfin
dung ist es, einen Positionssensor einfacher Gestaltung zu
schaffen, der in der Lage ist, zuverlässig die Positionierung
eines Werkstücks in bezug auf eine Referenzfläche festzustel
len.
Gemäß der vorliegenden Erfindung werden diese Aufgaben und
Ziele im wesentlichen durch einen Positionsdetektor gelöst,
der feststellt, ob ein Werkstück auf einer Referenzfläche
positioniert ist, wobei ein Gegendruck einer Düse, von der
ein unter Druck stehendes Fluid auf eine Oberfläche des Werk
stücks gestrahlt wird und wobei der Positionsdetektor einen
Positionstisch mit der Referenzfläche aufweist, auf dem die
Düse mit ihrer Spitze und senkrecht zu der Referenzfläche
angeordnet ist, einen durch ein Rohr mit der Düse in Verbin
dung stehenden ersten Fluiddurchgang, einen mit Umge
bungsdruck über eine variable Verengung in Verbindung stehen
den zweiten Fluiddurchgang, ein Paar von festen Verengungen
zur Zufuhr des unter Druck stehenden Fluids zu dem ersten
bzw. dem zweiten Fluiddurchgang, einem Brückenkreislauf mit
einem Drucksensor zur Feststellung eines Differenzdruckes
zwischen den Drücken in dem ersten und dem zweiten Fluid
durchgang, einen Schwellenwerterzeugungskreislauf zur Erzeu
gung einer Vielzahl von verschiedenen Schwellenwerten, Ver
gleichseinrichtungen zum Vergleich des Differenzdruckes mit
entsprechenden verschiedenen Schwellenwerten, sowie Anzeige
einrichtungen zur Anzeige entsprechender Vergleichsergebnisse
der Vergleichseinrichtungen aufweist.
In Weiterbildung des Erfindungsgedankens enthält der Posi
tionsdetektor ein erstes Gehäuse mit einem, mit einer Druck
fluidquelle verbundenen Fluideingang zur Aufnahme des unter
Druck stehenden Fluids in den Positionsdetektor, und ein mit
dem ersten Gehäuse verbundenes zweites Gehäuse, in welchem
die festen Verengungen, die variablen Verengungen und der
Drucksensor aufgenommen sind. Die Düse kann in dem ersten
Gehäuse angeordnet sein. Das zweite Gehäuse umfaßt entspre
chende Teile des ersten und des zweiten Fluiddurchgangs, die
mit entsprechenden Druckfeststellungsoberflächen des Druck
sensors in Verbindung stehen.
Die Anzeigeeinrichtungen enthalten gemäß einer bevorzugten
Ausgestaltung der Erfindung eine Vielzahl von Licht emittierenden
Elementen zur Anzeige, ob das Werkstück eine gewünschte
Position auf der Referenzfläche erreicht hat. Die Licht emittierenden
Elemente können in einer linearen Anordnung auf
einer Außenfläche des zweiten Gehäuses befestigt sein. Vor
zugsweise sind wenigstens drei Licht emittierende Elemente
vorgesehen.
Die Vergleichseinrichtungen weisen erfindungsgemäß eine der
Anzahl der Licht emitierenden Elemente entsprechende Anzahl
an Komparatoren (Vergleichern) auf. Den Vergleichern können
die jeweiligen Schwellenwerte als mit dem Differenzdruck zu
vergleichende entsprechende Referenzsignale zugeordnet wer
den, und die Anzeigeeinrichtungen sind jeweils mit Ausgangs
anschlüssen der Komparatoren verbunden. Abhängig von der
Position des Werkstücks in bezug auf die Referenzfläche er
zeugen die Komparatoren eine unterschiedliche Kombination von
Ausgangssignalen, die erzeugt werden, um wahlweise die Licht
emitierenden Elemente einzuschalten.
Der Positionsdetektor weist vorzugsweise außerdem Meldeein
richtungen zur Erzeugung eines Mitteilungssignals auf, wenn
das Werkstück einen vorher festgelegten erlaubbaren Bereich
der Referenzfläche erreicht.
Vorzugsweise weist der Drucksensor einen Halbleiterdrucksen
sor auf.
Weiterbildungen, Vorteile und Anwendungsmöglichkeiten der
Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung
eines Ausführungsbeispiels und der Zeichnung. Dabei bilden
alle beschriebenen und/oder dargestellten Merkmale für sich
oder in beliebiger Kombination den Gegenstand der Erfindung
unabhängig von ihrer Zusammenfassung in den Ansprüchen oder
deren Rückbeziehung.
Es zeigen:
Fig. 1 ein schematische Darstellung der Grundprinzipien
der Feststellung eines Gegendrucks,
Fig. 2 ein Diagramm, das das Verhältnis zwischen Gegen
drücken und Entfernungen darstellt, um die ein
Werkstück von einer Referenzfläche beabstandet ist,
Fig. 3 eine perspektivische Ansicht eines Systems mit
einer Vielzahl von Positionsdetektoren gemäß der
vorliegenden Erfindung,
Fig. 4 einen Querschnitt entlang der Linie IV-IV in Fig.
3,
Fig. 5 ein Blockdiagramm eines Kreislaufs auf einer
Schaltplatte in jedem der in Fig. 3 dargestellten
Positionsdetektoren,
Fig. 6 ein schematische Darstellung der Grundprinzipien
eines Fluiddruckbrückenkreislaufs,
Fig. 7 ein Diagramm, das das Verhältnis zwischen dem Aus
gangssignal eines Halbleiterdrucksensors und der
Entfernung darstellt, um die ein Werkstück von
einer Referenzfläche beabstandet ist, und
Fig. 8A-E Darstellung der Muster, in denen LEDs Licht während
des Absetzens des Werkstücks auf der Referenzfläche
aussenden.
Wie in Fig. 3 dargestellt, sind drei erfindungsgemäße Posi
tionsdetektoren 10 nebeneinander angeordnet und miteinander
verbunden, und ein Anschlußkasten 12 ist mit einem Ende der
Einheit der Positionsdetektoren 10 verbunden.
Wie in den Fig. 3 und 4 dargestellt, weist jeder der Posi
tionsdetektoren 10 ein erstes Gehäuse 14 und ein zweites
Gehäuse 16 auf, die aneinander mittels Schrauben 18 befestigt
sind. Dichtungselemente 20 (vgl. Fig. 4) sind zwischen auf
einanderliegenden Flächen des ersten und des zweiten Gehäuses
14, 16 angeordnet, um die ersten und zweiten Gehäuse 14, 16
hermetisch abzudichten.
Das erste Gehäuse 14 hat Fluideinlaß-/auslaßöffnungen 24a,
24b, die in einander gegenüberliegenden Wänden ausgebildet
sind und miteinander über einen dazwischen angeordneten
Durchgang 22 in Verbindung stehen. Ein Durchgang 26 zweigt
senkrecht von dem Durchgang 22 ab. Das erste Gehäuse 14 weist
außerdem einen Durchgang 28 auf, der nahe bei der Fluidein
laß-/auslaßöffnung 24a angeordnet ist und mit einer in einer
Bodenfläche des ersten Gehäuses 14 ausgebildeten Öffnung in
Verbindung steht. Der Durchgang 28 steht mit einer Düse 68,
die, wie später beschrieben wird, der Erzeugung eines Gegen
drucks dient, in Verbindung.
Das zweite Gehäuse 16 besitzt eine feste Verengung 30 zur
Kontrolle der Durchflußrate eines Fluids, wie Luft, das unter
Druck von dem Durchgang 26 in das zweite Gehäuse 16 einge
führt wird. Die feste Verengung 30 weist ein Paar von kleinen
gegenüberliegenden Entnahmeöffnungen 32a, 32b auf, die mit
dem Durchgang 26 in Verbindung stehen. Dadurch wird das von
dem Durchgang 26 eingeführte Fluid aufgeteilt, um in die
Entnahmeöffnungen 32a, 32b zu fließen. Die Entnahmeöffnung
32a steht mit einem Durchgang 36, der in dem zweiten Gehäuse
16 ausgebildet ist und mit dem Durchgang 28 in dem ersten
Gehäuse 14 kommuniziert, in Verbindung. Der Durchgang 28
steht über ein flexibles Rohr 37 mit der Düse 68 in Verbin
dung. Die Entnahmeöffnung 32b kommuniziert mit einem Durch
gang 40, der in dem zweiten Gehäuse 16 ausgebildet ist und
mit einer variablen Verengung 38 verbunden ist. Die Strö
mungsrate des Fluids von der Entnahmeöffnung 32b wird durch
die variable Verengung 38 kontrolliert und das Fluid wird aus
dem zweiten Gehäuse 16 durch einen Durchgang 41 abgelassen,
der mit einer (nicht dargestellten) Ausgangsöffnung in Ver
bindung steht, die in einer Bodenfläche des zweiten Gehäuses
16 ausgebildet ist. Die variable Verengung 38 weist einen
Einstellknopf 42 auf, der aus dem zweiten Gehäuse 16 hervor
steht.
Wie in Fig. 4 dargestellt, hat ein Positioniertisch 39 eine
Referenzfläche, auf welcher ein Werkstück aufzusetzen ist und
eine Düse 68, die mit dem Durchgang 28 in dem ersten Gehäuse
14 durch das flexible Rohr 37 verbunden ist. In dem Positio
niertisch 39 öffnet sich die Spitze der Düse 68 auf und senk
recht zu der Referenzfläche.
Das zweite Gehäuse 16 weist einen Ein-Chip-Halbleiterdruck
sensor 34 auf, der einen elektrischen Brückenkreislauf zur
Feststellung der Druckdifferenz zwischen den Durchgängen 36,
40 in dem zweiten Gehäuse 16 aufweist, sowie eine Druck fest
stellende Endfläche 34a, die zu dem Durchgang 36 hinweist,
und eine gegenüberliegende Druck feststellende Endfläche 34b,
die zu dem Durchgang 40 hinweist. Eine Schaltplatte 44 mit
einem in Fig. 5 dargestellten Schaltkreis ist in dem zweiten
Gehäuse 16 nahe dem Drucksensor 34 angeordnet. Wie in Fig. 3
dargestellt, ist eine Licht emittierende Einheit 48, die aus
einer linearen Anordnung von vier Licht emittierenden Dioden
(LEDs) 46a bis 46d besteht, auf einer äußeren Wandfläche des
zweiten Gehäuses 16 nahe dem Einstellknopf 42 der variablen
Verengung 38 angeordnet. Die LEDs 46a bis 46d werden wahl
weise durch ein elektrisches Signal betrieben, welches von
dem Halbleiterdrucksensor 34 erzeugt und durch die Schalt
platte 44 verarbeitet wird. Der Halbleiterdrucksensor 34 kann
ein Druck-Elektrizitätswandler mit einem piezoelektrischen
Halbleiter oder einer PN-Übergangseinrichtung sein.
Wie in Fig. 5 dargestellt ist der Kreislauf auf der Schalt
platte 44 elektrisch mit dem Halbleiterdrucksensor 34 ver
bunden, der mit einer Konstantspannungsstromquelle 45 (fixed
voltage power source) verbunden ist, und weist den elektri
schen Brückenkreislauf des Halbleiterdrucksensors 34 auf. Der
Kreislauf auf der Schaltplatte 44 weist einen Differential
verstärker 52 auf, der mit den Ausgangsanschlüssen des Halb
leiterdrucksensors 34 verbunden ist, um ein Differentdrucksi
gnal, das von dem Halbleiterdrucksensor 34 entwickelt wird,
zu verstärken, sowie eine Vielzahl von Komparatoren 56a bis
56d, die mit den Ausgangsanschlüssen des Differentialverstär
kers 52 verbunden sind und als ein Multilevel-Komparator für
den Vergleich eines von dem Differentialverstärker 52 ausge
gebenen Differenzdrucksignals mit verschiedenen Schwellenwer
ten dient. Die LEDs 46a bis 46d sind jeweils mit den Aus
gangsanschlüssen der Komparatoren 56a bis 56d verbunden. In
Reaktion auf die Ausgangssignale der Komparatoren 56a bis 56d
werden die LEDs 46a bis 46d wahlweise angeregt, um Licht
auszusenden.
Eine von der Konstantspannungsstromquelle 45 gelieferte Span
nung wird durch in Reihe geschaltete Widerstände 55a bis 55d
aufgeteilt, und die über den jeweiligen Widerständen 55a bis
55d entwickelten Spannungen werden als Schwellenwerte auf die
Komparatoren 56a bis 56d gegeben. Die Vergleicher 56a bis 56d
vergleichen das Differenzdrucksignal von dem Differentialver
stärker 52 mit den entsprechenden Schwellenwerten und geben
Ausgangssignale an die LEDs 46a, 46b, 46c bzw. 46d, die dann
wahlweise Licht aus senden in Abhängigkeit der von den Kom
paratoren 56a bis 56d gelieferten Ausgangssignale. Der Kom
parator 56c hat einen Ausgangsanschluß, der mit der Basis
eines offenen Kollektortransistors 60 verbunden ist. Wird das
Ausgangssignal von dem Komparator 56c auf die Basis des offe
nen Kollektortransistors 60 aufgebracht, so wird der offene
Kollektortransistor 60 eingeschaltet, um eine Meldeeinrich
tung 76 zu betreiben zur Meldung, daß ein Werkstück auf einer
unten beschriebenen Referenzfläche der Positionseinrichtung
abgesetzt wurde.
Wie in Fig. 3 dargestellt, sind die Fluideinlaß-/auslaßöff
nungen 24a, 24b der nebeneinander angeordneten Detektoren
hermetisch in einem Block gekoppelt. Der Anschlußkasten 12
weist (nicht dargestellte) Anschlüsse auf, die elektrisch mit
den Schaltplatten 44 in den jeweiligen Positionsdetektoren 10
verbunden sind.
Die Funktion des in Fig. 4 dargestellten Positionsdetektors
10 bei Einzelverwendung wird nachfolgend beschrieben.
Der Fluideinlaß-/auslaßport 24a ist mit einer Fluiddruckquel
le 74, wie einer pneumatischen Druckquelle, verbunden, und
der andere Fluideinlaß-/auslaßport 24b wird durch einen
Blindstopfen 62 oder dgl. verschlossen. Ein Fluid wird unter
Druck von der Fluiddruckquelle 74 in den Durchgang 22 einge
führt und fließt dann durch den Durchgang 26 in die feste
Verengung 30. Das Fluid wird dann durch die Entnahmeöffnungen
32a, 32b in die Durchgänge 36 bzw. 40 aufgeteilt. Die Durch
flußrate des unter Druck in den Durchgang 40 eingeführten
Fluids wird durch die variable Verengung 38 gesteuert und das
Fluid wird dann aus dem zweiten Gehäuse 16 durch den Durch
gang 41 und die in der Bodenfläche des zweiten Gehäuses 16
ausgebildete Ablaßöffnung abgelassen.
Das unter Druck in die Durchgänge 36, 28 und das flexible
Rohr 37 eingebrachte Fluid fließt in die Düse 68, die auf dem
Positioniertisch 39 befestigt ist, und entwickelt einen Ge
gendruck. Der Halbleiterdrucksensor 34 stellt den Differenz
druck zwischen dem Fluid, das durch die Entnahmeöffnung 34a
in den Durchgang 36 eingeführt wurde - das ist der Gegendruck
der Düse 68 - und dem Fluid, das durch die Entnahmeöffnung
34b in den Durchgang 40 eingeführt wurde, fest und gibt ein
elektrisches Signal zur Anzeige des festgestellten Differenz
druckes an den Differentialverstärker 52 auf der Schaltplatte
44 aus.
Die variable Verengung 38, die Entnahmeöffnungen 32a, 32b,
die Düse 68 und der Halbleiterdrucksensor 34 dienen gemeinsam
als eine in Fig. 6 dargestellte Fluiddruckbrücke 70.
Wie in Fig. 6 dargestellt ist die Fluiddruckbrücke 70 mit
einer Fluiddruckquelle 74 verbunden und umfaßt die Entnahme
öffnung 32a, 32b, die parallel zueinander liegen und über den
Durchgang 26 mit der Fluiddruckquelle 74 verbunden sind. Die
variable Verengung 38 ist in Reihe mit der Entnahmeöffnung
32b durch den Durchgang 40 verbunden und besitzt ein zur
Atmosphäre offenes Ausgangsende. Die Düse 68 ist durch die
Durchgänge 28, 36 und ein flexibles Rohr 37 mit der anderen
Entnahmeöffnung 32a verbunden. Der Halbleiterdrucksensor 34
ist zwischen den Entnahmeöffnungen 32a, 32b angeschlossen, um
die Differenz (P1-P2) zwischen dem Druck P2 des in dem Durch
gang 36 fließenden Fluids und dem Druck P1 des in dem Durch
gang 40 fließenden Fluids festzustellen. Somit stellt der
Halbleiterdrucksensor 34 nicht direkt den Fluiddruck der
Fluiddruckquelle 74 fest, sondern die Druckdifferenz (P1-P2).
Als Folge davon wird, selbst wenn der Fluiddruck der Fluid
druckquelle 74 wie in Fig. 7 dargestellt variiert, die Ent
fernung d zwischen dem Werkstück 72 und der Referenzfläche
als konstant betrachtet, wenn der von dem Halbleiterdrucksen
sor 34 festgestellte Differenzdruck Null (0) ist.
Der Positionsdetektor 10 wird wie folgt verwendet:
Das Werkstück 72 wird auf der Referenzfläche des Positions
detektors 10 unter optimalen Bedingungen abgesetzt, und wäh
rend das Werkstück 72 unter optimalen Bedingungen auf der
Referenzfläche abgesetzt wird, wird die variable Verengung 38
eingestellt, um den Differenzdruck (P1-P2), wie er von dem
Halbleiterdrucksensor 34 festgestellt wird, auf Null (0) zu
setzen, d. h., die Differenz zwischen dem hinter der Düse 68
entwickelten Gegendruck, wenn das Fluid aus der Düse 68 ge
strahlt wird, und dem aus der variablen Verengung 38 ausge
stoßenen Fluiddruck zu eliminieren. Danach wird ein mit dem
Werkstück 72 identisches, anderes Werkstück 72a auf der Refe
renzfläche positioniert. Das unter Druck stehende Fluid,
vorzugsweise Druckluft, wird von der Fluiddruckquelle zuge
führt. Der Differenzdruck zwischen dem in dem Durchgang 36
fließenden Fluid und dem in dem Durchgang 40 fließenden
Fluid wird durch den Halbleiterdrucksensor 34 festgestellt,
der ein festgestelltes Signal auf den Differentialverstärker
52 auf der Schaltplatte 44 gibt. Der Differentialverstärker
52 verstärkt das Differenzdrucksignal von dem Halbleiter
drucksensor 34 und gibt es aus.
Ist die Entfernung d zwischen der Referenzfläche auf dem
Positioniertisch 39 und der Oberfläche des Werkstück 72a, die
zu der Referenzfläche zeigt, wie in Fig. 8A gezeigt groß, so
ist der Gegendruck des Fluids hinter der Düse 68 relativ
niedrig und der Differenzdruck zwischen dem Gegendruck und
dem durch die variable Verengung 38 entlüfteten Fluiddruck
wird relativ groß. Zu dieser Zeit sind die LEDs 46a bis 46d
nicht mit Strom versorgt und senden kein Licht aus. Genauer
gesagt sind der von dem Halbleiterdrucksensor 34 festgestell
te Differenzdruck und die Ausgangsspannung des Halbleiter
drucksensors 34 umgekehrt proportional zueinander. Dadurch
ist, wenn der von dem Halbleiterdrucksensor 34 festgestellte
Differenzdruck größer ist, die Ausgangsspannung des Halblei
terdrucksensors 34 niedriger. Da die Entfernung d zwischen
der Referenzfläche und der Oberfläche des Werkstücks 72a, wie
in Fig. 8 dargestellt, relativ groß ist, ist der von dem
Halbleiterdrucksensor 34 festgestellte Differenzdruck relativ
groß und die Ausgangsspannung des Halbleiterdrucksensors
relativ niedrig, d. h. niedriger als die auf die entsprechen
den Komparatoren 56a bis 56d gegebenen Schwellenspannungen.
Als Folge davon erzeugen die Komparatoren 56a bis 56d keine
Ausgangssignale und die LEDs 46a bis 46d werden nicht einge
schaltet. Die Tatsache, daß von keiner der LEDs 46a bis 46d
Licht emitiert wird, zeigt an, daß das Werkstück 72a eine
vorher festgelegte Position auf der Referenzfläche nicht
erreicht hat. Bewegt sich das Werkstück 72a durch die in den
Fig. 8B und 8C dargestellten Positionen d1 und d2 zu der in
Fig. 8D dargestellten Position d3, so vergrößert sich der
Gegendruck des Fluids hinter der Düse 68, wodurch die Diffe
renz zwischen dem Gegendruck und dem durch die variable Ve
rengung 38 entlüfteten Fluiddruck verringert wird. Die von
dem Halbleiterdrucksensor 34 festgestellte Druckdifferenz
wird viel kleiner als sie war, als das Werkstück 72a in der
in Fig. 8A dargestellten Position war, und die Ausgangsspan
nung des Halbleiterdrucksensors 34 wird viel größer, d. h.
groß genug, um zu bewirken, daß die Komparatoren 56a bis 56c
Ausgangssignale erzeugen. Als Antwort auf die Ausgangssignale
der Komparatoren 56a bis 56c werden die jeweils damit ver
bundenen LEDs 46a, 46b bzw. 46c mit Energie versorgt und emi
tieren Licht. Auf diese Weise wird, wenn die Entfernung d
kleiner wird, d. h. daß das Werkstück 72a sich der Referenz
fläche nähert, die Anzahl der Licht aussendenden LEDs vergrö
ßert. Somit zeigt Fig. 8D, daß die Entfernung d3 innerhalb
eines vorher festgelegten erlaubbaren Positionsbereiches von
der Referenzfläche liegt und daß die drei LEDs 46a bis 46c
Licht aussenden. Fig. 8E zeigt, daß das Werkstück 72a auf der
Referenzfläche unter optimalen Bedingungen abgesetzt wurde,
und alle vier LEDs 46a bis 46d senden Licht aus. Zu dieser
Zeit ist der Gegendruck des Fluids hinter der Düse 68 maximal
und die Differenz zwischen dem Gegendruck und zwischen dem
von der variablen Verengung 38 ausgestoßenen Fluiddruck am
geringsten (Null (0)).
Wie in den Fig. 8A bis 8E dargestellt, wird die Entfernung
zwischen der Referenzfläche und der Oberfläche des Werkstücks
72, die auf die Referenzfläche zeigt, schrittweise durch
aufeinanderfolgende Kombinationen der LEDs 46a bis 46d ange
zeigt. Die in den Fig. 8D und 8E dargestellten Kombinationen
der LEDs 46a bis 46d erlauben dem Benutzer, visuell zu erken
nen, daß die Entfernung d einen vorher festgelegten erlaub
baren Positionsbereich der Referenzfläche erreicht hat, und
daß das Werkstück auf der Referenzfläche abgesetzt wurde.
Die dargestellten Muster auf den LEDs 46a bis 46d können dazu
verwendet werden, dem Benutzer beim Einstellen der variablen
Verengung 38 zu helfen, um den Differenzdruck, wie er von dem
Halbleiterdrucksensor 34 festgestellt wird, auf Null zu set
zen. Insbesondere kann der Benutzer, von einem Zustand, in
dem alle vier LEDs 46a bis 46d Licht aussenden, den Einstell
knopf 42 drehen, um Fluid aus der variablen Verengung 38
fließen zu lassen, bis ein optimaler Zustand erreicht ist, in
dem die drei LEDs 46a bis 46c Licht aussenden.
Bei der obigen Ausführungsform ist die Licht emittierende Ein
heit 48 aus den vier LEDs 46a bis 46d zusammengesetzt, und
die Entfernung d wird als innerhalb eines vorher festgelegten
erlaubbaren Positionsbereichs der Referenzfläche liegend
angesehen, wenn die drei LEDs 46a bis 46c Licht aussenden.
Der Positionsdetektor 10 gemäß der vorliegenden Erfindung
kann jedoch auch eine beliebige Anzahl von LEDs zur Anzeige
einer gewünschten Anzahl von Emissionsmustern aufweisen, um
die Entfernung d in genaueren Schritten anzuzeigen. Wie in
Fig. 5 dargestellt, kann ein Summer 76 oder einer von ver
schiedenen anderen akustischen Geräuschquellen an den Kollek
tor des Transistors 60 angeschlossen werden, um eine akusti
sche Warnung zu erzeugen, wenn die LEDs 46a bis 46c einge
schaltet werden, d. h. daß die Entfernung d innerhalb eines
vorher festgelegten erlaubbaren Positionsbereiches liegt.
Wie oben beschrieben, kann die Positioniereinrichtung, selbst
wenn der von der Fluiddruckquelle zu dem Positionsdetektor
gelieferte Fluiddruck variiert, unabhängig von der Verände
rung des Fluiddrucks zuverlässig feststellen, ob das Werk
stück in einer gewünschten Position auf der Referenzfläche
positioniert wurde. Der festgestellte Zustand kann von dem
Benutzer leicht visuell erkannt werden, da er an der LED-An
zeigeeinrichtung angezeigt wird. Einstellungen zum Abgleichen
der Fluiddruckbrücke können unter Verwendung von an der An
zeigeeinheit angezeigten Emissionsmustern vorgenommen werden.
Obwohl eine bestimmte bevorzugte Ausführungsform der vorlie
genden Erfindung gezeigt und im Detail beschrieben wurde,
versteht es sich, daß verschiedene Veränderungen und Modifi
zierungen daran ausgeführt werden können, ohne den Schutz
bereich der beigefügten Ansprüche zu verlassen.
Claims (15)
1. Positionsdetektor zur Feststellung, ob ein Werkstück
(72) auf einer Referenzfläche angeordnet ist, durch Feststel
lung eines Gegendruckes einer Düse (68), von der ein unter
Druck stehendes Fluid auf die Oberfläche des Werkstücks (72)
gestrahlt wird, gekennzeichnet durch:
einen Positioniertisch (39) mit der Referenzfläche und der Düse (68), deren Spitze auf und senkrecht zu der Referenz fläche angeordnet ist,
einen ersten Fluiddurchgang (28), der über ein Rohr (37) mit der Düse (68) in Verbindung steht,
eine zweiten Fluiddurchgang (40), der über eine variable Verengung (38) mit Atmosphärendruck in Verbindung steht,
ein Paar von festen Verengungen (30), um das unter Druck stehende Fluid dem ersten bzw. dem zweiten Fluiddurchgang (28, 40) zuzuführen,
einen Drucksensor (34) mit einem elektrischen Brückenkreis lauf zur Feststellung eines Differenzdruckes zwischen den Drücken in dem ersten und dem zweiten Fluiddurchgang (28, 40),
einen Schwellenwert erzeugenden Kreislauf zur Erzeugung einer Vielzahl von verschiedenen Schwellenwerten,
Vergleichseinrichtungen (56a bis 56d) zum Vergleich des Dif ferenzdruckes mit entsprechenden verschiedenen Schwellenwer ten, und
Anzeigeeinrichtungen zur Anzeige entsprechender Vergleichs ergebnisse der Vergleichseinrichtungen (56a bis 56d).
einen Positioniertisch (39) mit der Referenzfläche und der Düse (68), deren Spitze auf und senkrecht zu der Referenz fläche angeordnet ist,
einen ersten Fluiddurchgang (28), der über ein Rohr (37) mit der Düse (68) in Verbindung steht,
eine zweiten Fluiddurchgang (40), der über eine variable Verengung (38) mit Atmosphärendruck in Verbindung steht,
ein Paar von festen Verengungen (30), um das unter Druck stehende Fluid dem ersten bzw. dem zweiten Fluiddurchgang (28, 40) zuzuführen,
einen Drucksensor (34) mit einem elektrischen Brückenkreis lauf zur Feststellung eines Differenzdruckes zwischen den Drücken in dem ersten und dem zweiten Fluiddurchgang (28, 40),
einen Schwellenwert erzeugenden Kreislauf zur Erzeugung einer Vielzahl von verschiedenen Schwellenwerten,
Vergleichseinrichtungen (56a bis 56d) zum Vergleich des Dif ferenzdruckes mit entsprechenden verschiedenen Schwellenwer ten, und
Anzeigeeinrichtungen zur Anzeige entsprechender Vergleichs ergebnisse der Vergleichseinrichtungen (56a bis 56d).
2. Positionsdetektor nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch
ein erstes Gehäuse (14) mit einer Fluidöffnung (24a), die mit
einer Fluiddruckquelle (74) verbunden ist, um von dieser das
unter Druck stehende Fluid in den Positionsdetektor (10) zu
empfangen, und
ein zweites Gehäuse (16), das mit dem ersten Gehäuse (14) gekoppelt ist, worin die festen Verengungen (30), die varia blen Verengungen (38) und der Drucksensor (34) aufgenommen sind.
ein zweites Gehäuse (16), das mit dem ersten Gehäuse (14) gekoppelt ist, worin die festen Verengungen (30), die varia blen Verengungen (38) und der Drucksensor (34) aufgenommen sind.
3. Positionsdetektor nach Anspruch 2, dadurch gekennzeich
net, daß das zweite Gehäuse (16) Teile des ersten und des
zweiten Fluiddurchganges (28, 40) aufweist, die mit entspre
chenden Druck feststellenden Oberflächen des Drucksensors
(34) in Verbindung stehen.
4. Positionsdetektor nach Anspruch 2, dadurch gekennzeich
net, daß die variable Verengung (38) einen Einstellknopf (42)
für die Regulierung der dadurch fließenden Fluidrate auf
weist, wobei der Einstellknopf (42) aus dem zweiten Gehäuse
(16) hervorragt.
5. Positionsdetektor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich
net, daß die Anzeigeeinrichtungen eine Vielzahl von Licht
emittierenden Elementen (46a bis 46d) aufweisen.
6. Positionsdetektor nach Anspruch 5, gekennzeichnet durch
ein erstes Gehäuse (14) mit einer Einlaßöffnung (24a) zur
Aufnahme der unter Druck stehenden Luft durch die festen
Verengungen (30) in die ersten und zweiten Fluiddurchgänge
(28, 40), und
ein mit dem ersten Gehäuse (14) gekoppeltes zweites Gehäuse (16), in dem nahe bei den ersten und zweiten Fluiddurchgängen (28, 40) eine Schaltplatte (44) mit einem elektronischen Kreislauf für die Zufuhr elektrischer Signale zu den Anzeige einrichtungen aufgenommen ist.
ein mit dem ersten Gehäuse (14) gekoppeltes zweites Gehäuse (16), in dem nahe bei den ersten und zweiten Fluiddurchgängen (28, 40) eine Schaltplatte (44) mit einem elektronischen Kreislauf für die Zufuhr elektrischer Signale zu den Anzeige einrichtungen aufgenommen ist.
7. Positionsdetektor nach Anspruch 6, dadurch gekennzeich
net, daß die Licht emittierenden Elemente (46a bis 46d) auf
dem zweiten Gehäuse (16) befestigt sind.
8. Positionsdetektor nach Anspruch 7, dadurch gekennzeich
net, daß die Licht emittierenden Elemente (46a bis 46d) in
einer linearen Anordnung auf der Außenfläche des zweiten Ge
häuses (16) befestigt sind.
9. Positionsdetektor nach Anspruch 8, dadurch gekennzeich
net, daß wenigstens drei Licht emittierende Elemente (46a bis
46d) vorgesehen sind.
10. Positionsdetektor nach Anspruch 8, dadurch gekennzeich
net, daß vier Licht emittierende Elemente (46a bis 46d) vor
gesehen sind.
11. Positionsdetektor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich
net, daß den jeweiligen Komparatoren (56a bis 56d) die
Schwellenwerte als jeweilige Referenzsignale gegeben werden,
die mit dem Differenzdruck zu vergleichen sind, und daß die
Anzeigeeinrichtungen jeweils mit Ausgangsanschlüssen der
Komparatoren (56a bis 56d) verbunden sind.
12. Positionsdetektor nach Anspruch 11, dadurch gekennzeich
net, daß die Vergleichseinrichtungen eine Vielzahl von Kom
paratoren aufweisen, wobei einem der Komparatoren (56a bis
56d) einer der Schwellenwerte zugewiesen wird, der einer Ent
fernung entspricht, in der das Werkstück (72) sich der Refe
renzfläche genähert hat, und daß ein Komparator (56a bis 56d)
eine der Anzeigeeinrichtungen in Abhängigkeit von der Ent
fernung als Ergebnis des Vergleiches zwischen dem Differenz
druck und dem gegebenen Schwellenwert mit Energie versieht.
13. Positionsdetektor nach Anspruch 11, gekennzeichnet durch
Meldeeinrichtungen zur Erzeugung eines Nachrichtensignals,
wenn das Werkstück (72) in einen vorher festgelegten erlaub
baren Bereich der Referenzfläche gelangt, wobei die Einrich
tungen an den Ausgangsanschluß eines der Komparatoren (56a
bis 56d) angeschlossen sind.
14. Positionsdetektor nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch
eine Konstantspannungsstromquelle (45), wobei der elektrische
Brückenkreislauf des Drucksensors (34) von der Konstantspan
nungsstromquelle (45) angetrieben wird und der Schwellenwert
erzeugende Kreislauf eine Vielzahl von in Reihe geschalteten
Widerständen (55a bis 55d) aufweist, um eine feste Spannung
der Konstantspannungsstromquelle (45) aufzuteilen, und wobei
jede der Vergleichseinrichtungen ein Paar von Eingangsan
schlüssen aufweist, wobei einer dieses Paares von Eingangs
anschlüssen mit einem Ausgangssignal von dem elektrischen
Brückenkreislauf versorgt wird, und wobei der andere des
Paares von Eingangsausschlüssen an einer der Verbindungen der
in Reihe geschalteten Widerstände (55a bis 55d) angeschlossen
ist.
15. Positionsdetektor nach Anspruch 14, dadurch gekennzeich
net, daß der Drucksensor einen Halbleiterdrucksensor (34)
aufweist.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP34862892 | 1992-12-28 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4344264A1 true DE4344264A1 (de) | 1994-06-30 |
DE4344264C2 DE4344264C2 (de) | 1995-12-21 |
Family
ID=18398276
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE4344264A Expired - Lifetime DE4344264C2 (de) | 1992-12-28 | 1993-12-27 | Positionsdetektor |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5540082A (de) |
DE (1) | DE4344264C2 (de) |
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0794035A1 (de) * | 1996-03-07 | 1997-09-10 | Bayerische Motoren Werke Aktiengesellschaft, Patentabteilung AJ-3 | Vorrichtung für eine pneumatische Auflagekontrolle insbesondere eines Werkstückes |
DE19734374A1 (de) * | 1997-08-08 | 1999-02-18 | Audi Ag | Einrichtung zur pneumatischen Lagebestimmung von Werkstücken |
EP1048926A2 (de) * | 1999-04-28 | 2000-11-02 | STOTZ FEINMESSTECHNIK GmbH | Vorrichtung zur pneumatischen Längenmessung |
EP1393854A1 (de) * | 2002-08-26 | 2004-03-03 | Rexroth Mecman GmbH | Pneumatische Auflagenkontrolleinrichtung mit einem Differenzdrucksensor |
DE10351347A1 (de) * | 2002-10-31 | 2004-07-08 | Grob-Werke Burkhart Grob E.K. | Meß- und Überwachungseinrichtung für Bearbeitungsmaschinen |
US6807845B2 (en) | 2001-10-12 | 2004-10-26 | I F M Electronic Gmbh | Measurement apparatus and process for determining the position of an object relative to a reference surface |
DE10155135B4 (de) * | 2001-10-12 | 2006-04-27 | Ifm Electronic Gmbh | Meßeinrichtung zur Bestimmung der Position eines Objektes relativ zu einer Bezugsfläche |
EP1681133A2 (de) * | 2005-01-18 | 2006-07-19 | F.A.T. Fluide Anwendungs Technik GmbH & Co. KG | Vorrichtung und Verfahren, um ein Werkstück zu messen oder prüfen |
US7234216B2 (en) | 2003-12-03 | 2007-06-26 | Grob-Werke Gmbh & Co. Kg, Industriestrabe | Method for support control in machine tools |
DE102004031613B4 (de) * | 2004-06-30 | 2008-04-24 | Bosch Rexroth Pneumatics Gmbh | Pneumatische Auflagenkontrolleinrichtung |
EP2156924A1 (de) | 2008-08-21 | 2010-02-24 | Ott-Jakob Spanntechnik GmbH | Vorrichtung zur Überwachung der Lage eines Werkzeugs oder Werkzeugträgers an einer Arbeitsspindel |
EP3012067A3 (de) * | 2014-10-22 | 2016-09-28 | Viet Italia S.r.l. con Unico Socio | Anlage zum schleifen/endbearbeiten von platten aus holz, metall oder dergleichen |
CN107976160A (zh) * | 2017-11-23 | 2018-05-01 | 哈尔滨工业大学 | 一种内环槽棱边倾斜角度测量系统及方法 |
Families Citing this family (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5789661A (en) * | 1997-02-14 | 1998-08-04 | Sigmatech, Inc. | Extended range and ultra-precision non-contact dimensional gauge |
US6280291B1 (en) | 1999-02-16 | 2001-08-28 | Speedfam-Ipec Corporation | Wafer sensor utilizing hydrodynamic pressure differential |
US6220080B1 (en) * | 2000-05-12 | 2001-04-24 | Sigma Tech, Inc. | Extended range and ultra precision non contact dimensional gauge for ultra thin wafers and work pieces |
EP1431710A3 (de) * | 2002-12-19 | 2004-09-15 | ASML Holding N.V. | Mit Flüssigkeitsströmung betriebener Näherungssensor für den Einsatz in der Immersionslithographie |
US7010958B2 (en) * | 2002-12-19 | 2006-03-14 | Asml Holding N.V. | High-resolution gas gauge proximity sensor |
US7017390B1 (en) | 2004-12-07 | 2006-03-28 | Asml Holding N.V. | Proximity sensor nozzle shroud with flow curtain |
US6978658B1 (en) | 2004-12-20 | 2005-12-27 | Asml Holding N.V. | Proximity sensor with self compensation for mechanism instability |
US20070151327A1 (en) * | 2005-12-29 | 2007-07-05 | Asml Holding N.V. | Gas gauge proximity sensor with internal gas flow control |
US20070151328A1 (en) * | 2005-12-30 | 2007-07-05 | Asml Holding N.V. | Vacuum driven proximity sensor |
US8717542B2 (en) * | 2009-12-30 | 2014-05-06 | Nikon Corporation | Fluid gauge with multiple reference gaps |
WO2012174273A1 (en) | 2011-06-15 | 2012-12-20 | Nikon Corporation | Low-noise fluid gauges |
WO2013063104A1 (en) | 2011-10-25 | 2013-05-02 | Nikon Corporation | Air gauges comprising dual-range differential pressure sensor |
US10466045B2 (en) * | 2012-01-31 | 2019-11-05 | Nikon Corporation | Fluid gauges comprising multiple differential pressure sensors |
JP5688609B2 (ja) * | 2012-09-21 | 2015-03-25 | Smc株式会社 | 位置検出装置 |
US9529282B2 (en) | 2013-04-25 | 2016-12-27 | Nikon Corporation | Position-measurement systems |
US10232482B2 (en) | 2013-10-08 | 2019-03-19 | Fuji Corporation | Work seating detection device and adjustment method for same |
JP6810394B2 (ja) * | 2016-02-26 | 2021-01-06 | 日本空圧システム株式会社 | 位置検出装置 |
CN107991779B (zh) * | 2018-01-30 | 2023-11-07 | 深圳市永盛隆实业发展有限公司 | 一种折叠vr眼镜 |
CH714683B1 (de) | 2018-02-27 | 2021-03-31 | Reishauser Ag | Vorrichtung für die Auflagenkontrolle eines Werkstücks oder Werkzeugs auf einer Spindel einer Werkzeugmaschine. |
CN111854653B (zh) * | 2020-08-05 | 2022-03-15 | 上海永茂泰汽车零部件有限公司 | 工件落座气检系统有效性检验系统和方法 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2556780A1 (de) * | 1974-12-23 | 1976-06-24 | Ibm | Einrichtung zur pneumatischen lagebestimmung oder identifizierung von werkstuecken |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB518777A (en) * | 1938-09-01 | 1940-03-07 | Ralph Poole | Improvements in means for measuring gauging the size of orifices or articles |
US2589251A (en) * | 1945-08-24 | 1952-03-18 | Reconstruction Finance Corp | Fluid operated measuring or control apparatus |
BE493747A (de) * | 1949-06-30 | |||
US2691827A (en) * | 1950-08-17 | 1954-10-19 | Sheffield Corp | Adjustable orifice unit |
FR1551179A (de) * | 1967-11-15 | 1968-12-27 | ||
US4550592A (en) * | 1984-05-07 | 1985-11-05 | Dechape Michel L | Pneumatic gauging circuit |
JPS629106U (de) * | 1984-08-09 | 1987-01-20 | ||
US4965548A (en) * | 1989-02-09 | 1990-10-23 | Banner Engineering Corp. | Level indicator with alarm |
US5039978A (en) * | 1990-01-08 | 1991-08-13 | Kronberg James W | Analog graphic display method and apparatus |
-
1993
- 1993-12-27 DE DE4344264A patent/DE4344264C2/de not_active Expired - Lifetime
-
1995
- 1995-04-21 US US08/427,627 patent/US5540082A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2556780A1 (de) * | 1974-12-23 | 1976-06-24 | Ibm | Einrichtung zur pneumatischen lagebestimmung oder identifizierung von werkstuecken |
Cited By (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0794035A1 (de) * | 1996-03-07 | 1997-09-10 | Bayerische Motoren Werke Aktiengesellschaft, Patentabteilung AJ-3 | Vorrichtung für eine pneumatische Auflagekontrolle insbesondere eines Werkstückes |
DE19734374A1 (de) * | 1997-08-08 | 1999-02-18 | Audi Ag | Einrichtung zur pneumatischen Lagebestimmung von Werkstücken |
DE19734374C2 (de) * | 1997-08-08 | 2003-01-02 | Audi Ag | Einrichtung zur pneumatischen Lagebestimmung von Werkstücken |
EP1048926A2 (de) * | 1999-04-28 | 2000-11-02 | STOTZ FEINMESSTECHNIK GmbH | Vorrichtung zur pneumatischen Längenmessung |
EP1048926A3 (de) * | 1999-04-28 | 2001-10-04 | STOTZ FEINMESSTECHNIK GmbH | Vorrichtung zur pneumatischen Längenmessung |
US6715342B2 (en) | 1999-04-28 | 2004-04-06 | Stotz Feinmesstechnik Gmbh | Pneumatic length measurement apparatus |
US6807845B2 (en) | 2001-10-12 | 2004-10-26 | I F M Electronic Gmbh | Measurement apparatus and process for determining the position of an object relative to a reference surface |
DE10155135B4 (de) * | 2001-10-12 | 2006-04-27 | Ifm Electronic Gmbh | Meßeinrichtung zur Bestimmung der Position eines Objektes relativ zu einer Bezugsfläche |
DE10239079B4 (de) * | 2002-08-26 | 2005-02-24 | Rexroth Mecman Gmbh | Pneumatische Auflagenkontrolleinrichtung mit einem Differenzdrucksensor |
DE10239079A1 (de) * | 2002-08-26 | 2004-03-11 | Rexroth Mecman Gmbh | Pneumatische Auflagenkontrolleinrichtung mit einem Differenzdrucksensor |
EP1393854A1 (de) * | 2002-08-26 | 2004-03-03 | Rexroth Mecman GmbH | Pneumatische Auflagenkontrolleinrichtung mit einem Differenzdrucksensor |
DE10351347A1 (de) * | 2002-10-31 | 2004-07-08 | Grob-Werke Burkhart Grob E.K. | Meß- und Überwachungseinrichtung für Bearbeitungsmaschinen |
DE10351347B4 (de) * | 2002-10-31 | 2014-11-06 | Grob-Werke Gmbh & Co. Kg | Meß- und Überwachungseinrichtung für Bearbeitungsmaschinen |
US7234216B2 (en) | 2003-12-03 | 2007-06-26 | Grob-Werke Gmbh & Co. Kg, Industriestrabe | Method for support control in machine tools |
DE102004031613B4 (de) * | 2004-06-30 | 2008-04-24 | Bosch Rexroth Pneumatics Gmbh | Pneumatische Auflagenkontrolleinrichtung |
EP1681133A2 (de) * | 2005-01-18 | 2006-07-19 | F.A.T. Fluide Anwendungs Technik GmbH & Co. KG | Vorrichtung und Verfahren, um ein Werkstück zu messen oder prüfen |
EP1681133A3 (de) * | 2005-01-18 | 2006-08-30 | F.A.T. Fluide Anwendungs Technik GmbH & Co. KG | Vorrichtung und Verfahren um ein Werkstück zu Messen oder Prüfen |
DE102005002448B4 (de) * | 2005-01-18 | 2010-04-22 | F.A.T. Fluide-Anwendungs-Technik Gmbh & Co. Kg | Vorrichtung und Verfahren zum Messen, Steuern oder Prüfen |
DE102005002448A1 (de) * | 2005-01-18 | 2006-07-27 | F.A.T. Fluide-Anwendungs-Technik Gmbh & Co. Kg | Vorrichtung und Verfahren zum Messen, Steuern oder Prüfen |
EP2156924A1 (de) | 2008-08-21 | 2010-02-24 | Ott-Jakob Spanntechnik GmbH | Vorrichtung zur Überwachung der Lage eines Werkzeugs oder Werkzeugträgers an einer Arbeitsspindel |
EP3012067A3 (de) * | 2014-10-22 | 2016-09-28 | Viet Italia S.r.l. con Unico Socio | Anlage zum schleifen/endbearbeiten von platten aus holz, metall oder dergleichen |
CN107976160A (zh) * | 2017-11-23 | 2018-05-01 | 哈尔滨工业大学 | 一种内环槽棱边倾斜角度测量系统及方法 |
CN107976160B (zh) * | 2017-11-23 | 2020-06-09 | 哈尔滨工业大学 | 一种内环槽棱边倾斜角度测量系统及方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE4344264C2 (de) | 1995-12-21 |
US5540082A (en) | 1996-07-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE4344264A1 (de) | Positionsdetektor | |
DE3743180C2 (de) | ||
DE69333884T2 (de) | Bolzendetektor mit zwei empfindlichkeitsstufen | |
DE3626794C2 (de) | ||
DE3205398A1 (de) | Verfahren zur behandlung eines flachen gegenstandes und vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens | |
DE3009871C2 (de) | Verfahren und Einrichtung zur Drehmomentkontrolle | |
DE4001937A1 (de) | Handhabungsvorrichtung mit einem sauggreifer und verfahren zum handhaben und ueberpruefen von fluiddurchstroemten bauteilen | |
EP0285961A1 (de) | Infrarotdetektor | |
DE3337865C2 (de) | ||
DE2106308B2 (de) | Schwellwert-Steuerschaltung für die Erkennung von Zeichen auf einem Schriftstück | |
DE3044857C2 (de) | ||
DE2443435A1 (de) | Blutpegeldetektor | |
DE3430730A1 (de) | Detektor fuer das feststellen des fliessens eines stroms durch einen oder mehrere leiter | |
CH661228A5 (de) | Funkenerosionsmaschine mit einer elektrode zum bearbeiten eines werkstueckes. | |
DE2006092B2 (de) | Vorrichtung zur Festigkeits- und Lebensdauerprüfung von hydraulischen Bauelementen | |
EP0794035A1 (de) | Vorrichtung für eine pneumatische Auflagekontrolle insbesondere eines Werkstückes | |
DE602005005095T2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Zustandsüberwachung von LEDs | |
DE2726890B2 (de) | Speise- und Regelschaltungsanordnung für eine gasgefüllte Neutronenröhre und Verfahren zum Speisen und Regeln der Neutronenröhre | |
DE19715047A1 (de) | Elektrische Schaltung | |
DE2245655A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur lecksuche in einer rohrfernleitung | |
DE2600278A1 (de) | Rauchdetektorschaltung | |
EP2169644A1 (de) | Prüfung der Meldelinien einer Gefahrenmeldeanlage | |
DE4237111A1 (de) | Bestäubungseinrichtung | |
DE3307002A1 (de) | Vorrichtung zur manuellen saugleistungssteuerung eines staubsaugers | |
DE3625618C2 (de) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
R071 | Expiry of right | ||
R071 | Expiry of right |