DE4339263C2 - Vorrichtung zum Transport von flächigen Gegenständen durch Behandlungseinrichtungen - Google Patents

Description

Die DE 40 13 302 A1 beschreibt eine Vorrichtung zum Fördern eines geschuppten Stroms von Bogen zu einer bogenverarbeitenden Maschi­ ne. Die Vorrichtung enthält eine Förderstrecke mit einem Fördertisch, die zwei leicht divergierende Förderbänder aufweist, die die Bogen mit Saugunterstützung ergreifen und führen. Die Bänder laufen in einem eher zentralen Bereich des Bogenstroms. Dadurch ist es möglich, die Bogen besser ausgerichtet zu transportieren.

Aus der DE 40 05 349 C2 ist eine Transportvorrichtung bekannt, mit der Platten aus Holz, Blech, Stein oder dgl. über Kopf transportiert und im Stapel abgelegt werden können. Dies geschieht mittels eines Saugban­ des, bei dem nicht mit dem Format der jeweiligen Platte zusammenwir­ kende Saugöffnungen durch Ventile verschlossen werden.

Elektrische Leiterplatten bestehen aus einem isolierenden Träger, auf dessen Oberflächen durch fotografische oder andere Beschichtungs­ techniken Leiterbahnen aufgebracht werden. Die oft mehrschichtig ausgebildeten Leiterplatten werden im Bereich von in ihnen vorgesehenen Löchern von Schicht zu Schicht kontaktiert. Zur Herstellung solcher Lei­ terplatten werden sie verschiedenen Behandlungen unterworfen, zu de­ nen die Beschichtung, fotografische Belichtung, Entwicklung, Ätzung und zahlreiche Reinigungsoperationen gehören. Durch die entsprechen­ den Behandlungseinrichtungen werden die Leiterplatten normalerweise auf Rollen transportiert.

Insbesondere bei sehr dünnen Leiterplatten, die teilweise eine Dicke von nur 0,05 mm haben, ist der Transport durch die Behandlungseinrichtungen auf Rollen schwierig, weil die Leiterplatten, insbesondere dann, wenn durch die Behandlung, beispielsweise durch Aufsprühen von Flüssigkeiten, noch zusätzliche Kräfte aufgebracht werden, dazu neigen, aus der Rollenbahn auszuweichen.

Aufgabe der Erfindung ist es daher, eine Transportvorrichtung zu schaffen, die die Gegenstände möglichst schonend durch Behandlungseinrichtungen transportiert. Die Lösung geschieht durch die Merkmale des Anspruchs 1.

Die Fördermittel sind zwei im Randbereich der Gegenstände angeordnete, umlaufende Förder­ bänder, die als Saugmittel Saugöffnungen aufweisen und somit die Leiterplatten in ihrem Randbereich flächig an dem Förderband halten. Die Gegenstände werden, zwischen zwei Seitenkanten, bezogen auf die Transportrichtung, gespannt gehalten.

Die Förderbänder können sehr schmal ausgebildet sein, so daß die Abdeckung durch die Förderbänder kaum stört, weil die Seitenkanten auch meist frei von Leiterbahnen sind. Eine Fläche der Gegenstände kann aber gänzlich frei von jeder Ab­ deckung sein. Vor allem wird der Haupt-Behandlungsbereich in der Mitte von dem Transportmittel nicht berührt, so daß der Gegenstand besonders schonend transportiert wird. Es wird auch vermieden, daß infolge des Transports und der angreifen­ den Transportmittel Lachen von Behandlungsflüssigkeit auf der Oberseite entstehen.

Die Leiterplatte wird während des Trans­ portes gespannt gehalten. Dazu weisen die Fördermittel quer zur Transportrichtung wirkende Spannmittel auf, und bewirken eine in Transportrichtung vorgesehene Spreizung. Die Bänder, die die Seitenkanten führen, sind leicht auseinanderlaufend angeordnet und bringen somit eine Querkraft auf die Gegenstände auf, wobei die Gegen­ stände einen kontrollierten seitlichen Schlupf gegenüber den Förderbändern haben.

Die Fördermittel, also z. B. Förderbänder, werden mit ihren Saugöffnungen über Saugkammern oder -leitungen geführt, die an eine Saugpumpe oder vorzugsweise eine mittels Flüssig­ keitsstrahl arbeitende Ejector-Pumpe angeschlossen sind. Diese Pumpe kann vorzugsweise mit einem flüssigen Behand­ lungsmedium betrieben werden, so daß auch bei Ansaugung von Behandlungsflüssigkeit diese nicht vermischt wird oder verloren geht. Vorzugsweise arbeiten die Saugmittel haupt­ sächlich mit Luft. Wenn jedoch die Verhältnisse es erfordern, kann z. B. bei einer Behandlung unterhalb eines Flüssig­ keitsniveaus auch mit Flüssigkeitsabsaugung gearbeitet werden.

Die Saugmittel können abschnittsweise, und zwar vorzugsweise abschnittsweise steuerbar, vorgesehen sein. Dadurch ist es möglich, die Saugwirkung nicht nur entsprechend dem Durchlauf der Gegenstände zu steuern, sondern gegebenenfalls auch die Saugwirkung den jeweiligen Verhältnissen anzupassen.

Um beim Durchlauf der Gegenstände, die ja normalerweise nicht in ununterbrochener Folge kommen, zu vermeiden, daß nicht von Gegenständen überdeckte Saugöffnungen den Saugdruck zusam­ menbrechen lassen oder zu hohe Saugleistungen erforderlich machen, können vorteilhaft Steuermittel für die Saugmittel zu ihrer Steuerung in Abhängigkeit von dem Vorhandensein der Gegenstände vorgesehen sein. Diese können auf unterschied­ lichste Weise ausgebildet sein. Sie können Absperrmittel aufweisen, die bei Anwesenheit eines Gegenstandes geöffnet werden.

Bei einer vorteilhaften Ausführungsform können die Steuermit­ tel in Abhängigkeit von einem vom Gegenstand ausgelösten Impuls und in Abhängigkeit von der Fördergeschwindigkeit nach Art eines Schieberegisters Absperrmittel steuern. Beispiels­ weise kann ein in die Behandlungseinrichtung einlaufender Gegenstand einen Impuls auslösen und ein mit dem Transport­ band verbundener Impulsgeber kann einen Rechner steuern, der jeweils ermittelt, wo sich die Vorderkante und die Hinter­ kante des Gegenstandes befindet. In Abhängigkeit davon können Magnetventile, die zu einzelnen Saugabschnitten führen, geöffnet und geschlossen werden, so daß die Saugwirkung nur im Bereich der Gegenstände wirksam wird.

Es können allerdings auch direkt vom Gegenstand betätigte Schließelemente vorgesehen sein, die z. B. als Klappen, Schieber, Kugeln oder dergleichen ausgebildet sind, die z. B. von der Vorderkante des Gegenstandes mechanisch aus einer die Vakuumöffnungen schließenden Position in eine Öffnungsposi­ tion geführt werden. Auch die Betätigung jeweils eines in den Saugleitungen vorgesehenen Ventils durch den Gegenstand auf mechanische oder elektrische Weise ist möglich.

Unter den zahlreichen Vorteilen ist die größtmögliche Scho­ nung des bei der Behandlung empfindlichen Gegenstandes besonders hervorzuheben und die gänzliche Freiheit des Mittelbereiches zur Behandlung von beiden Seiten. Normaler­ weise liegt der Gegenstand auf den mit Saugöffnungen ver­ sehenen Transportmitteln und wird durch die Saugwirkung lediglich so weit festgehalten, daß er nicht durchhängt und in Transportrichtung möglichst schlupffrei transportiert wird. Es ist aber auch möglich, den Gegenstand auf diese Weise unter den Transportmitteln hängend anzuordnen, wenn dies für einen besonderen Behandlungsvorgang zweckmäßig ist.

Die Transporteinrichtung kann außer dem Transport von Gegen­ ständen durch Behandlungseinrichtungen auch für andere Zwecke genutzt werden, beispielsweise als Übergabemittel an oder von einer anderen Tansport- oder Halterungseinrichtung. Es ist beispielsweise möglich, mittels eines Saugtransports empfind­ liche Gegenstände von einer Halterung auf eine Transportbahn oder von einem Stapel in eine Halterung, beispielsweise einen Drehstern, zu überführen, der selbst in einer Behandlungsein­ richtung vorgesehen ist. Insofern ist die Vorrichtung auch außerhalb von Behandlungseinrichtungen einsetzbar.

Es ist also insbesondere zum Transport von sehr dünnen und empfindlichen, vorzugsweise auch großflächi­ gen Leiterplatten ein Förderbandsystem mit zwei an den seitlichen Randbereichen vorgesehenen schmalen umlaufenden Transportbändern geschaffen. Die Transportbänder haben Saugöffnungen, durch die über eine Saugkammer eine Saugwirkung erzeugt wird, die den Gegenstand auf die Oberfläche der Förderbänder drückt. Dadurch wird der Gegenstand an beiden Enden nahezu eingespannt und dadurch straff und verzugsfrei gehalten, während er ohne Relativbewegung gegenüber der Transport­ mitteloberfläche bewegt wird.

Durch leichtes Spreizen des Bandes in Transportrichtung kann auch eine Spannwirkung in Querrichtung erzielt werden. Die nicht vom Gegenstand überdeckten Saugöffnungen können durch Absperrorgane verschlossen werden, die in Abhängigkeit von der Leiterplatte gesteuert werden, und zwar entweder direkt von dieser oder über Hilfseinrichtungen, wie Magnetventile oder dergleichen.

Diese und weitere Merkmale gehen außer aus den Ansprüchen auch aus der Beschreibung und den Zeichnungen hervor, wobei die einzelnen Merkmale jeweils für sich allein oder zu mehreren in Form von Unterkombinationen bei einer Ausführungsform der Erfindung und auf anderen Gebieten verwirklicht sein und vorteilhafte sowie für sich schutzfähige Ausführun­ gen darstellen können, für die hier Schutz beansprucht wird. Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den Zeichnungen dargestellt und werden im folgenden näher erläutert. In den Zeichnungen zeigen jeweils in schematischer Darstellung:

Fig. 1 einen Schnitt durch eine Behandlungseinrichtung mit einer Transportvorrichtung,

Fig. 2 einen Teilschnitt nach der Linie II-II in Fig. 1,

Fig. 3 eine Draufsicht auf die Transportvorrichtung mit einer Leiterplatte, wobei die Spreizung übertrieben dargestellt ist,

Fig. 4-10 verschiedene Ausführungen von Steuermitteln für die Saugmittel, jeweils in teilgeschnittener Seitenan­ sicht, wobei Fig. 7 eine Draufsicht auf die Aus­ führung nach Fig. 6 ist,

Fig. 11 eine Transportvorrichtung für eine Übergabe auf eine bzw. von einer Rollenbahn.

Eine Behandlungseinrichtung 11 besitzt einen kanal- oder trogförmigen Behälter mit nicht dargestellten Sammel- und Rückführeinrichtungen für Behandlungsflüssigkeit 14 (Fig. 1). Sie wird aus Düsen 15, die in Sprührohren 12 oberhalb und unterhalb der im wesentlichen horizontalen Behandlungsebene 13 vorgesehen sind, auf die Ober- und Unterseite einer Leiterplatte 16 aufgesprüht.

Dies stellt lediglich ein Beispiel einer Behandlung dar, wobei die Behandlungsflüssigkeit eine Reinigungs-, Entwick­ lungs-, Ätz- oder andere Behandlungslösung sein kann, die auch in Form eines Bades vorliegen kann. Auch andere Behandlungen wie Trocknung oder dergleichen, wo mit gasförmigen Medien oder anderen Einwirkungsmöglichkeiten, wie Strahlung, etc. gearbeitet wird, sind hier möglich.

Bei der Leiterplatte handelt es sich um einen flachen, meist sehr dünnen und flexiblen Gegenstand, der auch die Eigen­ schaft eines Films haben und auch zu anderen Zwecken als der Leiterbahnaufbringung transportiert werden kann.

Der von den Düsen bestrichene Behandlungsbereich der Leiter­ platte reicht über den weitaus größten Teil ihrer Breite. Lediglich die Randbereiche 18 im Bereich der Seitenkanten 17 der Leiterplatte sind davon ausgenommen. Wie in Fig. 1 gezeigt, liegt in diesen Randbereichen 18 die Leiterplatte 16 auf Fördermitteln 20 auf, die hier ein relativ schmales Förderband 19 enthalten, das um Umlenk- und Antriebsrollen 22 umlaufend ausgebildet ist und in Abständen voneinander (siehe Fig. 2) zu Saugmitteln 25 gehörende Saugöffnungen 21 auf­ weist, die das Band durchdringen.

Im Bereich des oberen, zum Transport dienenden horizontalen Trums des Förderbandes 19 in einem Längsträger 5 sind eben­ falls zu den Saugmitteln gehörige Saugkammern 23 angeordnet, die über Saugleitungen 24 mit einer nicht dargestellten Saugpumpe, beispielsweise einer Flüssigkeitsstrahl- bzw. Ejectorpumpe verbunden sind. Die Saugkammern werden an ihrer Oberseite von dem Förderband 19 abgedeckt, so daß an den Saugöffnungen 21 eine Saugwirkung auftritt. Aus Fig. 2 ist zu erkennen, daß dadurch die Leiterplatte gegen das Förderband gesaugt und somit dort festgehalten wird. Die gesamte Breite des Förderbandes wird somit zwischen zwei seitlichen Quasi- Einspannungen gespannt gehalten, und selbst dann, wenn die Förderbänder zueinander parallel laufen. Das Förderband ist in Längsnuten mit Seitenschaltern 6 des Längsträgers gegen seitliches Auswandern gesichert.

Fig. 3 zeigt eine Ausführung, bei der durch eine Auseinander­ spreizung der Transportbänder 19 in Transportrichtung 26 eine die Leiterplatte 16 in Querrichtung spannende Wirkung ausge­ übt wird, so daß jede Faltenbildung oder Durchhang ausge­ schaltet werden kann. Die Förderbänder können, wie in Fig. 1 gezeigt, durch seitliche, sie führende Schultern 6 des Saugkammergehäuses bzw. Längsträgers 5, auf dem sie laufen, Querkräfte aufnehmen. Die Spreizung kann geringer sein als in Fig. 3 zur Erläuterung erhöht dargestellt.

Um zu vermeiden, daß in den Zwischenräumen zwischen zwei Gegenständen die Saugöffnungen 21 offen sind und dementspre­ chend ungehindert Medium angesaugt werden kann, was das Vakuum im eigentlichen Transportbereich verringern könnte, sind in Fig. 4 dargestellte, auch für die Ausführung nach Fig. 1 bis 3 vorgesehene, dort aber zur Vereinfachung nicht ge­ zeigte Steuermittel 30 vorgesehen, die als Absperr­ mittel 27 Klappen aufweisen, die um quer zur Transportrich­ tung 26 verlaufende Achsen 28 schwenkbar gelagert und durch Schwerkraft oder nicht dargestellte Federwirkung normaler­ weise in Kontakt mit der Oberseite 29 des Förderbandes 19 laufen und die Saugöffnungen 21 verschließen, wenn diese den Bereich der Saugkammern 23 passieren. Die Saugkammern sind in diesem Fall relativ klein und bestehen praktisch aus einer Ansenkung im Bereich der Saugleitungen 24, die in Abständen voneinander längs der Transportrichtung angeordnet sind. Es ist auch möglich, die Saugleitungen ohne Zwischenschaltungen von Saugkammern direkt an die Bandunterseite zu führen. Um zu vermeiden, daß alle Saugöffnungen gleichzeitig aus dem Bereich der Saugkammern herauslaufen, ist die Teilung der Saugöffnungen des Förderbandes von der der Saugleitungen unterschiedlich, so daß stets einige Saugöffnungen beauf­ schlagt sind.

Die Vorderkante 31 der Leiterplatte 16 betätigt bei ihrem Durchlauf die Klappen 27, die um die Achsen 28 in Transport­ richtung wegschwenken, dadurch die Saugöffnungen 21 freigeben und auf der Oberseite der Leiterplatte entlanglaufen, wenn diese sich in Transportrichtung 26 durch die Vorrichtung bewegt. Es wird somit eine sehr einfache mechanische Vorrich­ tung geschaffen, um nicht zum eigentlichen Zweck der Saugvor­ richtung dienende Saugöffnungen zu verschließen. Die Sauglei­ tungen 24 sind an einen gemeinsamen Sammler 32 angeschlossen, der wiederum zu einer Saugpumpe führt.

In Fig. 5 sind zum gleichen Zweck als Absperrmittel 27 Schieber vorgesehen, die infolge einer vorderen Anlaufschräge von der Vorderkante 31 der Leiterplatte 16 vertikal nach oben geschoben werden, während sie im nicht von der Leiterplatte überdeckten Bereich die Saugöffnungen 21 im Bereich der Saugkammern 23 mit ihrer Stirnfläche verschließen.

Fig. 6 stellt eine Ausführung dar, bei der ebenfalls Sauglei­ tungen vorgesehen sind, die jedoch in in Transportrichtung länger gestreckte Saugkammern 23 münden.

In den Saugleitungen sind Absperrmittel 27' nach Art von Hahn-Küken bzw. Drehschiebern vorgesehen. Wie aus Fig. 6 zu erkennen ist, sind diese durch Schwer- oder Federkraft so belastet, daß sie in Abwesenheit eines Gegenstandes 16 auf dem Förderband 19 eine Stellung einnehmen, in der die Saug­ leitung 24 unterbrochen ist, während ein Betätigungshebel 33 mit einer daran vorgesehenen Betätigungsrolle 34 seitlich vom Förderband etwas über die Förderbandhöhe hinausragt. (siehe Fig. 7).

Wenn also kein Gegenstand auf dem Förderband läuft, wird in dem entsprechenden Saugabschnitt, die Saugwirkung durch Unterbrechung der Saugleitungen 24 ausgeschaltet.

Wenn jedoch die Vorderkante 31 der Leiterplatte 16 den entsprechenden Saugabschnitt erreicht, wird die Betätigungs­ rolle 34 in Transportrichtung 26 nach vorn gedrückt, so daß sie auf der Unterseite der Leiterplatte läuft. Dabei wird der Kanal in dem Absperrmittel 27' in Verbindung mit der jeweili­ gen Saugleitung 24 gebracht und die Saugwirkung ist einge­ schaltet. Es kann so mit großflächig und mit geringem Ener­ gieaufwand für das Saugen gearbeitet werden. Wie bei den anhand von Fig. 4 bis 5 beschriebenen Vorrichtungen wird hinter der Hinterkante 35 des Gegenstandes die Saugwirkung wieder ausgeschaltet, indem die Absperrmittel 27 unter Schwerkraft oder Federkraft oder durch andere Einrichtungen wieder in die Schließposition gebracht werden.

Fig. 8 zeigt eine Ausführung der Steuermittel 30, die berüh­ rungsfrei mit der Leiterplatte 16 zusammenarbeitet. Dazu ist im Bereich des Einlaufs der Leiterplatte 16 in die Transport­ vorrichtung ein Signalgeber 36 vorgesehen, der jeweils an der Vorder- und Hinterkante 31, 35 des Gegenstandes 16 ein Signal an eine Steuereinrichtung 37, beispielsweise einen Prozeß­ rechner, gibt. Dieser bekommt auch Signale, die ihm die Fördergeschwindigkeit der Fördermittel 20, d. h. des Förder­ bandes 19 angeben. Dies kann beispielsweise durch einen Impulsgeber 38 geschehen, der mit der Antriebsrolle 22 für das Förderband zusammenwirkt. Es kann sich beispielsweise um einen berührungslosen Magnetsensor handeln, der mit auf der Antriebsrolle angebrachten Magneten 39 zusammenwirkt.

In die Saugleitungen 24, die von dem Saugsammler zu den Saugmündungen 40 der Saugkammern 23 führen, sind Magnetven­ tile 27" vorgesehen, die von der Steuereinrichtung 37 angesteuert werden. Im übrigen ist die Ausführung wie auch die vorher beschriebenen, ähnlich Fig. 4 bis 6 ausgebildet.

Die Funktion ist folgende: Wenn eine Leiterplatte 16 in die Transportvorrichtung einläuft, erfaßt der Signalgeber 36, beispielsweise eine Lichtschranke, die Vorderkante und gibt ein Startsignal an den Signalgeber. Über den Impulsgeber 38 ist die Fördergeschwindigkeit des Bandes 19 der Steuerein­ richtung vorgegeben, so daß aufgrund der bekannten Abstände zwischen dem Signalgeber 36 und den einzelnen Saugkammern 23 diese nach Art eines Schieberegisters nacheinander ange­ steuert werden. Das bedeutet also, daß die in Fig. 8 kreuz­ schraffierten Magneten der Magnetventile 27" so betätigt sind, daß die zugehörigen Ventile die Saugleitungen 24 frei­ geben, während die übrigen geschlossen sind. Während des Durchlaufs der Leiterplatte 16 durch die Vorrichtung wandert also der Saugbereich mit der Leiterplatte mit. Hinter der Leiterplatte werden die Ventile wieder geschlossen, weil der Signalgeber 36 dann die Hinterkante 35 der Leiterplatte signalisiert hat und auch dieses Signal in Förderrichtung 26 und mit der Fördergeschwindigkeit verschoben wird.

Fig. 9 zeigt eine Ausführung, bei der die Absperrmittel 27''' aus einem oberhalb der Behandlungsebene laufenden Oberband bestehen, dessen unteres Trum relativ locker, jedoch von Rollen 41 auf das obere Trum des Förderbandes 19 mit den Saugmitteln gedrückt wird. Diese radial bewegbaren Rollen können von der Vorderkante 31 der Leiterplatte 16 so weit nach oben gedrückt werden, daß auch das obere Band mit angehoben wird. Dieses dient in den Bereichen, in denen keine Leiterplatte vorhanden ist, als ein Abdeckband, das die Saugöffnungen 21 verschlossen hält, so daß diese nur in dem Bereich, in dem die Leiterplatte läuft, an eine in diesem Falle gemeinsame Saugkammer 23 angeschlossen sind. Das Oberband läuft in dem Transportband entgegengesetzter Rich­ tung, so daß die zusammenwirkenden Ober- und Untertrume in gleicher Richtung laufen. Hinter der Hinterkante 35 des Gegenstandes schließt sich der zwischen den Bändern geöffnete Spalt wieder.

Fig. 10 zeigt eine Ausführung mit selbstsperrenden Ventilen 27a. Die Anordnung entspricht im übrigen Fig. 6, d. h. in einen Sammler 32 führen Saugleitungen 24 hinein, die von Saugmündungen 40 her kommen. In die Saugleitungen 24 sind die selbstsperrenden Ventile 27a eingeschaltet, die in einer Ventilkammer 50 einen entgegen der Kraft einer Feder 51 aufwärts gedrückten Ventilkörper 52 aufweisen.

Der Ventilkörper hat im Ausführungsbeispiel die Form einer flachen Kappe mit einer Mittelöffnung 53. Mit seiner oberen, im wesentlichen ebenen Fläche legt er sich an Rippen 54 so an, so daß er von dem Saugstrom umströmt werden kann. Der nach unten gerichtete Rand 55 des Ventilkörpers 52 bildet eine Dichtkante, die mit der Wandung der Ventilkammer so zusammenwirkt, daß die Saugleitung geschlossen ist, wenn der Ventilkörper entgegen der Kraft der Feder sich in seiner unteren Stellung befindet.

Anstatt der Saugkammern 23 im Längsträger 5 sind bei dieser Ausführung entsprechende Kammern 23 im Förderband 19 vor­ gesehen. Das Förderband berührt daher seine Laufbahn 56 nur mit stegartigen Füßen 57. Die Saugkammern 23a an der Unter­ seite des Förderbandes stehen mit den Saugöffnungen 21 in Verbindung.

Die Vorrichtung nach Fig. 10 arbeitet wie folgt:
Wenn das Förderband 19 mit keiner Leiterplatte belegt ist, d. h. die Öffnungen 21 frei sind, herrscht in der Ventilkammer 50 Atmosphärendruck. Dagegen liegt im Sammler 32 ein erheb­ licher Unterdruck vor, der den Ventilkörper 53 entgegen der Kraft der Feder 51 in Richtung des Unterdrucks, d. h. in Fig. 10 nach unten, angesaugt hält, so daß er mit seinem Dichtrand 55 auf der einen Ventilsitz bildenden unteren Fläche der Ventilkammer 50 aufliegt und damit den freien Durchgang durch die jeweilige Saugleitung 24 verschließt. Es kann lediglich durch die z. B. schlitzförmige Öffnung 53, die wie eine Drossel wirkt, etwas Luft angesaugt werden, jedoch nicht die volle, dem übrigen Leitungsquerschnitt entsprechende Menge.

Kommt jetzt, wie dies im linken Teil der Zeichnung darge­ stellt ist, eine Leiterplatte 16 auf dem Förderband 19 in den Bereich des entsprechenden Ventils, so sind die Öffnungen 21 abgedeckt, das Ventil befindet sich jedoch noch in der geschlossenen Stellung, wie dies bei den in Fig. 10 rechten beiden Ventilen gezeigt ist. Durch die Öffnung 53 wird jetzt auch der oberhalb des Ventils liegende Saugraum, d. h. die Saugkammer 23 und der entsprechende Teil der Saugleitung 24 sowie die Ventilkammer 50 evakuiert, so daß auf beiden Seiten des Ventils 27a im wesentlichen gleicher, geringer Druck herrscht. Nun kann die Feder 51 den Ventilkörper 52 wieder nach oben drücken, wo er sich an die Rippen 54 anlegt und einen Ringraum innerhalb der Ventilkammer 50 freigibt, durch den nun eine volle Saugverbindung zwischen den Öffnungen 21 und dem Sammler 32 hergestellt ist. Da jedoch bei abgedeckten Öffnungen 21 die abgesaugte Luftmenge und damit der Luftstrom gering oder Null ist, tritt bei der Umströmung des Ventilkör­ pers 52 kaum ein Widerstand auf, so daß auch kaum eine Kraft auf den Ventilkörper in Schließrichtung wirkt.

Wenn die Leiterplatte 16 wieder den Bereich des Ventils verläßt, wird durch die nachströmende Luft in der Ventil­ kammer 50 eine starke Strömung erzeugt, die so groß ist, daß der in dem Ringspalt 58 zwischen dem Ventilkörper 52 und der Ventilkammerwandung 50 auftretende Widerstand zu einem Druckunterschied auf beiden Seiten des Ventilkörpers führt, der den Ventilkörper entgegen der Kraft der Feder nach unten auf den Ventilsitz 55 saugt.

Es ist zu erkennen, daß ein solches Ventil, das hier nur schematisch dargestellt ist, sich selbsttätig auf die Ver­ hältnisse auf der Oberfläche des Förderbandes einstellt, d. h. bei freigegebenen Saugöffnungen bis auf eine geringe "Nebenluft" durch die Öffnung 53 schließt und bei Abdeckung, d. h. wenn die Saugwirkung voll eintreten soll, sich wieder selbsttätig öffnet. Es können jedoch auch andere derartige Ventiltypen, die eine selbsttätige Steuerung ermöglichen, verwendet werden.

Fig. 11 zeigt eine Ausführung, die der nach den Fig. 1 und 2 entspricht. Hier sind jedoch die Saugkammern 23, die auch hier abschnittsweise vorgesehen sind, mit ihren Saugmündungen 40 nach unten gerichtet, so daß das Untertrum des Förderban­ des 19 der zum Transport aktive Teil ist. Der Gegenstand 16 wird hier also hängend, jedoch ebenfalls waagerecht transpor­ tiert.

Die Vorrichtung eignet sich, wie die vorher beschriebenen, auch zum Transport in jeder beliebigen Lage, weil die Leiter­ platte in den Saugbereichen so gegen das Förderband gepreßt gehalten wird, daß der Gegenstand weder zum Herunterfallen noch zum Verrutschen neigt. Dabei braucht die gesamte Halte­ wirkung nicht über die Saug- oder Vakuumwirkung aufgebracht zu werden, weil durch die Anpressung an das Förderband dort Haftreibung vorliegt, so daß bei entsprechender Gestaltung der Bandoberfläche die gegen Verrutschen oder Verschieben wirksamen Kräfte durch die Reibung aufgebracht werden.

Die in Fig. 11 dargestellte Vorrichtung dient dazu, Gegen­ stände 16 von einer Rollenbahn 42 zu übernehmen, oder, in anderer Drehrichtung, auf diese Rollenbahn abzulegen. Dies kann innerhalb oder außerhalb einer Behandlungseinrichtung vorgesehen sein. Durch den vakuumunterstützten Transport der Leiterplatten können auch empfindlichste und dünnste Leiter­ platten in Vorrichtungen abgelegt oder aus diesen entnommen werden, weil die Gegenstände ohne Fremdführung bis an einen bestimmten Platz transportiert und dann durch Abschalten der Saugwirkung abgelegt werden können.

Beim Betrieb der in den Ausführungsbeispielen beschriebenen Vorrichtung können also auch dünnste und empfindlichste Ge­ genstände, wie Leiterplatten, in einwandfrei ausgerichteter Lage transportiert werden, ohne daß ihre Flächen bei der Be­ handlung irgendwie überdeckt sind oder Gefahr laufen, durch Transportmittel verletzt zu werden. Die Form des Gegenstandes paßt sich, wenn er selbst ausreichend flexibel ist, der Form der Fördermittel an. Obwohl es normalerweise angestrebt wird, die Gegenstände in ebener Ausrichtung zu transportieren, wäre es auch möglich, durch entsprechende Krümmung der Fördermit­ tel, beispielsweise der das Band führenden Schienen, eine Krümmung an jeder Stelle herbeizuführen, an der das beabsich­ tigt ist. Bei der ebenen Führung wird darauf geachtet, daß die Saugwirkung vor dem Erreichen der Umlenk- und Antriebs­ rollen aufhört, so daß der Gegenstand nicht um diese herum gezogen wird. Durch die Erfindung ist es möglich, die be­ sonders empfindlichen Leiterplatten sicher zu führen, ohne daß sie Gefahr laufen, in einer Behandlungseinrichtung von ihrem Transportweg abzuweichen.

Claims (9)

1. Vorrichtung zum Transport von flächigen Gegenständen mit Saugmittel (25) enthaltenden Fördermitteln (20), die wenigstens zwei umlaufende Förderbänder (19) enthalten, die als Saugmittel (25) Saugöffnungen aufweisen, und eine in Transportrichtung (26) vorgesehene Spreizung haben, dadurch gekennzeichnet, dass zum Transport von Leiterplatten (16) durch mit Behandlungsflüs­ sigkeiten (14) arbeitende Behandlungseinrichtungen (11) die Saugmittel (25) zum Spannen der Gegenstände quer zur Trans­ portrichtung (26) im Bereich der Seitenkanten (17) der Gegen­ stände angreifen, wobei die Leiterplatten (16) hintereinander transportiert sowie während des Transportes behandelt werden, und dass Steuermittel (30) mit Absperrmitteln (27) vorliegen, die bei Anwesenheit einer Leiterplatte (16) an dem jeweiligen Saug­ mittel (25) öffenbar und in deren Abwesenheit schließbar sind.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Förderbänder (19) schmal ausgebildet sind.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Fördermittel (20) Saug-Leitungsmittel (21, 23, 24, 40) ü­ berdeckend verlaufen, wobei vorzugsweise Saugöffnungen (21) in Förderbändern (19) über Saugkammern (23) oder -leitungen (24) geführt sind.

4. Vorrichtung nach Anspruch einem der vorhergehenden Ansprü­ che, dadurch gekennzeichnet, dass die Steuermittel in Abhängig­ keit von einem von der Leiterplatte (16) ausgelösten Signal und von der Fördergeschwindigkeit nach Art eines Schieberegisters Absperrmittel (27") steuern.

5. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Steuermittel (30) wenigstens ein von der Leiterplatte (16) betätigtes Schließelement (27) enthalten, wobei vorzugsweise die Schließelemente mit den Saugöffnungen (21) in den Förderbändern (19) zusammenwirken und vorzugsweise als von der Vorderkante (31) der Leiterplatte (16) mechanisch in eine Öffnungsposition bewegbare Körper, wie Klappen, Schieber oder dergleichen ausgebildet sind.

6. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Absperrmittel als Schließelemente in Saugleitungen (24) vorgesehen sind und insbesondere einen von der Leiterplatte (16) über einen Betätigungshebel (33) betätigba­ res Ventil aufweisen.

7. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass als Absperrmittel (27''') ein umlaufendes, durch die Leiterplatte (16) von den Saugmitteln (25) abzuhebendes Band ausgebildet ist.

8. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass sie als Übergabemittel an eine oder von ei­ ner anderen Transport- oder Halterungseinrichtung (42) ausgebil­ det ist.

9. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass als Absperrmittel (27a) ein durch Druck- und/oder Strömungsgeschwindigkeitsunterschiede selbsttätig schaltendes Ventil vorgesehen ist.