DE4307900A1

DE4307900A1 - Method and device for perforating ceramic films

Info

Publication number: DE4307900A1
Application number: DE19934307900
Authority: DE
Inventors: Klaus Dr Brill; Michael Dipl Ing Bergmann
Original assignee: Robert Bosch GmbH
Current assignee: Robert Bosch GmbH
Priority date: 1993-03-12
Filing date: 1993-03-12
Publication date: 1994-09-15

Abstract

A method and device is proposed for perforating ceramic films, in the case of which the ceramic film (19) to be perforated is placed on a bottom die (13) which is provided with corresponding perforations (18). This arrangement is situated in a pressure chamber (10), in which a liquid, free-flowing or paste-like pressure medium abruptly exerts pressure on that side of the ceramic film (19) which faces away from the bottom die (13). This abrupt exertion of pressure causes the ceramic film (19) to be perforated in accordance with the ways in which the holes are arranged in the bottom die (13) it being possible simultaneously to produce a very large number of holes in a single operating process. This makes the perforation of ceramic films (19) cheaper and simpler, the more rapid perforating process making this method also particularly well suited for mass production. <IMAGE>

Description

State of the art

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Lochen von Keramik folien sowie eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens.The invention relates to a method for punching ceramics foils and a device for performing the method.

Die Herstellung und das Füllen von Durchkontaktierungs löchern (Vias) sind wichtige Prozeßschritte in der Mehr lagentechnik, bei der Keramikfolien als Trägerelemente für Halbleiter und andere elektrische Bauelemente verwendet werden. Sowohl in der Schaltungstechnik als auch in der Sensorik ist die Mehrlagentechnik derzeit im Vormarsch. Die Durchkontaktierungslöcher werden beim bekannten Ver fahren seriell mittels einer CNC-Maschine gebohrt, wobei auch der Einsatz der Stanztechnik bekannt ist.The manufacture and filling of vias Holes (vias) are important process steps in the plural layer technology, with ceramic foils as carrier elements used for semiconductors and other electrical components become. Both in circuit technology and in Multi-layer technology is currently on the rise. The via holes are in the known Ver drive serial drilled using a CNC machine, whereby the use of stamping technology is also known.

Eine Mehrlagenstruktur kann aus zehn oder auch mehr Keramik folien bestehen, so daß unter Umständen für eine einzige Schaltung insgesamt mehrere hundert oder auch tausend Löcher hergestellt werden müssen. Mit dem seriellen Verfahren ist dies nicht mehr wirtschaftlich durchzuführen, da der Zeitaufwand viel zu hoch ist. Mit einem mechanischen Stanz werkzeug können zwar viele Löcher gleichzeitig hergestellt werden, es fallen jedoch hohe Werkzeugkosten an.A multilayer structure can consist of ten or more ceramics foils exist, so that under certain circumstances for a single Circuit a total of several hundred or a thousand holes have to be manufactured. With the serial method this is no longer economically viable because the Time is much too high. With a mechanical punch tool can make many holes at the same time but there are high tool costs.

Advantages of the invention

Das erfindungsgemäße Verfahren mit den kennzeichnenden Merkmalen des Hauptanspruchs und die erfindungsgemäße Vor richtung zur Durchführung dieses Verfahrens mit den kenn zeichnenden Merkmalen des Anspruchs 9 haben den Vorteil, daß praktisch eine beliebig große Zahl von Löchern mittels eines einzigen Druckstoßes hergestellt werden kann. In der Massenfertigung können daher derartige Folien im Arbeits takt gelocht werden, wobei bei jedem Arbeitstakt sämtliche Lochungen einer Keramikfolie unabhängig von deren Zahl erzeugt werden können. Hierdurch können gelochte Keramik folien schnell und kostengünstig hergestellt werden. Neben der Erzeugung des Druckstoßes in einem Druckraum wird als Werkzeug lediglich eine Matrize mit einer entsprechenden Lochanordnung benötigt, die relativ einfach und kosten günstig herstellbar ist und die in einer bevorzugten Aus führung als Keramikmatrize auch eine hohe Standzeit be sitzt.The inventive method with the characteristic Features of the main claim and the invention direction for performing this procedure with the kenn Drawing features of claim 9 have the advantage that practically any number of holes by means of of a single pressure surge. In Such films can therefore be used in mass production be punched, with every work cycle all Perforations in a ceramic film regardless of the number can be generated. This allows perforated ceramics films can be produced quickly and inexpensively. Next the generation of the pressure surge in a pressure chamber is considered Tool just a die with a corresponding one Hole arrangement needed that are relatively simple and cost is inexpensive to manufacture and in a preferred off guidance as a ceramic matrix also has a long service life sits.

Durch die in den Unteransprüchen aufgeführten Maßnahmen sind vorteilhafte Weiterbildungen und Verbesserungen des im Hauptanspruch angegebenen Verfahrens bzw. der im Anspruch 9 angegebenen Vorrichtung möglich.By the measures listed in the subclaims are advantageous developments and improvements of the method specified in the main claim or in the claim 9 specified device possible.

Die Keramikfolie wird zweckmäßigerweise druckseitig mit einer ebenfalls entsprechend gelochten Folie, insbesondere einer Metall- oder Kunststoffolie, abgedeckt, die dann als Niederhalter für die zu lochende Keramikfolie dient.The ceramic film is expediently included on the pressure side a likewise perforated film, in particular a metal or plastic film, which is then covered serves as a hold-down for the ceramic film to be punched.

Der Druckstoß wird vorzugsweise mittels einer Kolben-Zylin der-Anordnung erzeugt, wobei insbesondere ein Kolben im Druckraum verschiebbar angeordnet ist. Hierdurch kann in einfacher Weise ein manueller oder maschineller Hammer auf den Kolben oder seine Kolbenstange zur Erzeugung dieses Druckstoßes einwirken.The pressure surge is preferably by means of a piston cylinder der-arrangement generated, in particular a piston in Pressure chamber is arranged displaceably. This allows in simply a manual or mechanical hammer on the piston or its piston rod to generate this Impact pressure.

Um eine schnelle und einfache Entlüftung des Druckmediums zu erreichen, weist der Kolben in vorteilhafter Weise an seiner Druckseite eine konusartig zulaufende Einformung auf, deren oberste Stelle mit einer Entlüftungsleitung verbunden ist. Über diese Leitung kann der Druckraum auch mit Druckmedium gefüllt werden.For quick and easy ventilation of the pressure medium to achieve, the piston instructs in an advantageous manner a conical taper on its pressure side on, the uppermost point with a ventilation line connected is. The pressure chamber can also be connected via this line be filled with pressure medium.

Das Druckmedium ist zweckmäßigerweise eine mit der verwende ten Keramik nicht reagierende und deren Eigenschaften nicht verändernde Flüssigkeit. Möglich ist auch die Verwendung einer Leitpaste als Druckmedium, da dann durch den Druckstoß gleichzeitig die Lochungen und die Füllung der erzeugten Löcher mit Leitpaste möglich ist, um die Durchkontaktierung durchzuführen.The print medium is expediently one with which to use Ceramics that do not react and their properties do not changing fluid. Use is also possible a conductive paste as a pressure medium, because then by the pressure surge the perforations and the filling of the produced at the same time Holes with conductive paste is possible to make the via perform.

Alternativ zur Druckstoßerzeugung mittels eines Kolbens kann auch ein Explosiv-Druckstoß erzeugt werden. Hierzu ist der Druckraum zweckmäßigerweise mit Gaszuführungen zur Einleitung eines explosiven Gases oder einer explosiven Gasmischung versehen, wobei Mittel zum Zünden des Gases oder der Gasmischung vorgesehen sind. Die Matrize ist dabei in vorteilhafter Weise auf einer Gasdurchlässe aufweisenden Auflagevorrichtung angeordnet, um eine geeignete Abstützung zu schaffen. Zur schnellen Be- und Entladung des Druckraums, also zum Auswechseln der zu lochenden Keramikfolie, erweist sich die Ausbildung einer Seitenwandung des Druckraums als Schieber als besonders günstig.As an alternative to pressure surge generation using a piston an explosive pressure surge can also be generated. For this the pressure chamber is expediently with gas feeds for the introduction of an explosive gas or an explosive Gas mixture provided, means for igniting the gas or the gas mixture are provided. The matrix is included in an advantageous manner on a gas passage Support device arranged to provide suitable support to accomplish. For quick loading and unloading of the pressure chamber, that is, to replace the ceramic film to be punched the formation of a side wall of the pressure chamber as a slider as particularly cheap.

drawing

Zwei Ausführungsbeispiele von Vorrichtungen zum Lochen von Keramikfolien sind in der Zeichnung dargestellt und in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert. Es zeigtTwo embodiments of devices for punching of ceramic foils are shown in the drawing and explained in more detail in the following description. It shows

Fig. 1 eine Kolben-Zylinder-Anordnung zur Erzeugung des Druckstoßes für den Lochvorgang und Fig. 1 shows a piston-cylinder arrangement for generating the pressure surge for the punching process and

Fig. 2 eine Explosiv-Kammer zur Erzeugung eines solchen Druckstoßes. Fig. 2 shows an explosive chamber for generating such a surge.

Description of the embodiments

Beim in Fig. 1 dargestellten ersten Ausführungsbeispiel wird ein Druckraum 10 von der rohrförmigen Wandung eines Zylinders 11, einem im Zylinder 11 verschiebbar geführten Kolben 12 und einer als Bodenwandung für den Zylinder 11 dienenden Matrize 13 aus einem Keramikmaterial begrenzt. Der Kolben 12 besitzt eine aus dem Zylinder 11 herausragende, als Schlagbolzen dienende Kolbenstange 14. Der Zylinder weist an seiner dem Druckraum 10 zugewandten Seite eine Ausnehmung 15 auf, die sich mit zunehmender Tiefe im Kolben konusartig verengt und im wesentlichen am obersten Punkt spitz zusammenläuft. Von dort aus erstreckt sich eine Ent lüftungsleitung 16 durch den Kolben 12 und die Kolbenstange 14 nach oben. Am Austritt aus der Kolbenstange 14 ist diese Entlüftungsleitung 16 durch ein Verschlußelement 17 ver schließbar, das beispielsweise eine Dichtungsschraube sein kann.In the first exemplary embodiment shown in FIG. 1, a pressure chamber 10 is delimited by the tubular wall of a cylinder 11 , a piston 12 guided displaceably in the cylinder 11 and a die 13 made of a ceramic material and serving as the bottom wall for the cylinder 11 . The piston 12 has a piston rod 14 protruding from the cylinder 11 and serving as a firing pin. On its side facing the pressure chamber 10, the cylinder has a recess 15 which narrows conically in the piston with increasing depth and essentially converges to a point at the uppermost point. From there, a vent line 16 extends through the piston 12 and the piston rod 14 upwards. At the exit from the piston rod 14 , this vent line 16 can be closed by a closure element 17 , which can be, for example, a sealing screw.

Die Matrize 13 verschließt am seitlichen Rand dichtend den Zylinder 11. Hierfür erforderliche Dichtungen sind zur Vereinfachung nicht dargestellt. Es ist prinzipiell auch möglich, den Zylinder 11 mit einer entsprechenden festen Bodenwandung, z. B. einer Metallplatte unter Einfügung einer porösen Zwischenschicht, z. B. aus Fließpapier, zu versehen, an der innen die Matrize 13 anliegt. Diese Matrize und gegebenenfalls die Bodenwandung besitzen eine aus Durch gangslöchern 18 bestehende Lochanordnung, die derjenigen Lochanordnung entspricht, die in einer Keramikfolie 19 erzeugt werden soll. Die Keramikfolie 19 wird hierzu auf die Matrize 13 aufgelegt. Über der Keramikfolie 19 liegt noch eine Niederhalterfolie 20 aus Metall, Keramik oder Kunststoff, z. B. eine 0,2 mm dicke Messingfolie, die eben falls die entsprechende Lochanordnung mit einem Lochdurch messer von z. B. 200 µm, besitzt.The die 13 seals the cylinder 11 at the side edge. Seals required for this are not shown for simplification. In principle, it is also possible to have the cylinder 11 with a corresponding solid bottom wall, for. B. a metal plate with the insertion of a porous intermediate layer, e.g. B. from blotting paper, to which the inside of the die 13 rests. This die and optionally the bottom wall have a hole arrangement consisting of through holes 18 , which corresponds to the hole arrangement that is to be produced in a ceramic film 19 . For this purpose, the ceramic film 19 is placed on the die 13 . Over the ceramic film 19 is a hold-down film 20 made of metal, ceramic or plastic, for. B. a 0.2 mm thick brass foil, which if the corresponding hole arrangement with a hole diameter of z. B. 200 microns.

Der Abschluß des Zylinders 11 könnte am Boden auch derart erfolgen, daß anstelle einer gelochten Bodenwandung an der Keramik-Matrize 13 eine poröse Zwischenlage und eine ungelochte Bodenwandung oder eine Bodenwandung mit unebener Oberfläche zum Druckabbau anliegen.The end of the cylinder 11 could also be carried out on the floor in such a way that instead of a perforated bottom wall on the ceramic die 13, a porous intermediate layer and an unperforated bottom wall or a bottom wall with an uneven surface are present to reduce the pressure.

Die Lochanordnung in der Matrize 13 aus Keramikmaterial wird beispielsweise durch Laserbohren erzeugt, wobei tatsäch lich eine konische Lochform entsteht, die in der darge stellten Figur nicht erkennbar ist. Ein kleinerer Lochquer schnitt mit scharfer Berandung zur Keramikfolie 19 hin erleichtert den Lochvorgang.The hole arrangement in the die 13 made of ceramic material is produced, for example, by laser drilling, with a conical hole shape actually being formed, which cannot be seen in the figure shown. A smaller hole cross cut with a sharp edge to the ceramic film 19 facilitates the punching process.

Die Lochung erfolgt durch hydrostatischen Druck. Hierzu wird ein Druckmedium in den Druckraum 10 eingefüllt, bei spielsweise durch die Entlüftungsleitung 16. Danach erfolgt eine Entlüftung durch eben diese Entlüftungsleitung 16, die daraufhin verschlossen wird. Nun wird ein Druckstoß durch einen Schlag auf die Kolbenstange 14 erzeugt, der bewirkt, daß die die Durchgangslöcher 18 in der Matrize 13 abdeckenden Stellen der Keramikfolie 19 durchbrechen, wodurch eine entsprechende Lochanordnung entsteht. Dabei ist es unerheblich, wieviele Durchgangslöcher 18 vorgesehen sind, es kann sich dabei um eine sehr große Zahl handeln.The holes are made by hydrostatic pressure. For this purpose, a pressure medium is filled into the pressure chamber 10 , for example through the ventilation line 16 . This is followed by venting through this vent line 16 , which is then closed. Now, a pressure surge is generated by a blow to the piston rod 14 , which causes the locations of the ceramic film 19 covering the through holes 18 in the die 13 to break through, which results in a corresponding hole arrangement. It is irrelevant how many through holes 18 are provided, it can be a very large number.

Der Schlag auf die Kolbenstange 14 wird durch einen maschi nellen Hammer erzeugt, wobei selbstverständlich prinzipiell auch ein manueller Hammer verwendet werden könnte. Der Schlag kann beispielsweise durch eine Schwungradpresse oder eine andere maschinelle Hammervorrichtung erzeugt werden. The blow to the piston rod 14 is generated by a mechanical hammer, although a manual hammer could of course also be used in principle. The impact can be generated, for example, by a flywheel press or another mechanical hammer device.

Als Druckmedium eignet sich beispielsweise eine bezüglich ihrer Umgebung inerte, nicht mit dem Keramikmaterial rea gierende Flüssigkeit, z. B. entgastes Wasser. Alternativ hierzu kann als Druckmedium auch eine Leitpaste verwendet werden, so daß der Lochvorgang und der Füllvorgang der erzeugten Löcher mit Leitpaste kombiniert werden, so daß gleichzeitig die Füllung der Löcher 18 mit Leitpaste zur späteren Durchkontaktierung erfolgen kann.As a pressure medium is, for example, an inert with respect to its environment, not reacting with the ceramic material liquid, z. B. degassed water. Alternatively, a conductive paste can also be used as the printing medium, so that the perforation process and the filling process of the holes produced are combined with conductive paste, so that the holes 18 can be filled with conductive paste for subsequent plated-through holes at the same time.

Bei dem in Fig. 2 dargestellten Ausführungsbeispiel wird ein Druckraum 21 durch die Wandungen eines Stahlbehälters 22 gebildet. Durch zwei Gaseinlässe 23 können explosive Gase im richtigen Mischungsverhältnis eingelassen werden, wobei die Vermischung im Druckraum 21 erfolgt. Die Gasein lässe 23 sind in nicht dargestellter Weise verschließbar ausgebildet. Im Druckraum befinden sich wiederum übereinander angeordnet die Matrize 13, die Keramikfolie 19 und die Niederhalterfolie 20, die hier zweckmäßigerweise als Metall- oder Keramikfolie ausgebildet ist. Die Matrize 13, die auch aus einem metallischen Werkstoff bestehen kann, liegt auf einer Stützplatte 24 auf, deren Oberfläche so ausgebildet ist, daß ein ungehinderter Gasdurchtritt aus der Matrize möglich ist, z. B. durch Einbringen feiner Rillen.In the embodiment shown in FIG. 2, a pressure chamber 21 is formed by the walls of a steel container 22 . Explosive gases in the correct mixing ratio can be admitted through two gas inlets 23 , the mixing taking place in the pressure chamber 21 . The Gasein outlets 23 are formed closable in a manner not shown. The die 13 , the ceramic film 19 and the hold-down film 20 , which is expediently designed here as a metal or ceramic film, are in turn arranged one above the other. The die 13 , which can also consist of a metallic material, rests on a support plate 24 , the surface of which is designed in such a way that unimpeded gas passage from the die is possible, for. B. by introducing fine grooves.

In dieser Stützplatte 24 befinden sich wiederum Durchgangs löcher 25 in einem Lochmuster, das dem der Matrize 13 ent spricht, allerdings bei größerem Lochdurchmesser. Die Dicke der Stützplatte 24 wird so gewählt, daß bei guter Anpassung auch ohne zusätzliche Abdichtungsmaßnahmen an den Berandungen ausreichend hohe Strömungswiderstände entstehen.In this support plate 24 there are in turn through holes 25 in a hole pattern that speaks ent of the die 13 , but with a larger hole diameter. The thickness of the support plate 24 is chosen so that, with good adaptation, sufficiently high flow resistances arise at the edges without additional sealing measures.

Eine Seitenwandung des Druckraumes 21 ist als Schieber 26 ausgebildet, der senkrecht zur Zeichenebene verschiebbar ist, um eine schnelle Be- und Entladung des Druckraums 21 zu ermöglichen. Die Entnahme bzw. Einführung der zu lochenden Keramikfolie 19 mit Niederhalterfolie 20, Matrize 13 und Stützplatte 24 kann dadurch in der Pfeilrichtung des Pfeiles A schnell erfolgen.A side wall of the pressure chamber 21 is designed as a slide 26 which can be displaced perpendicularly to the plane of the drawing in order to enable the pressure chamber 21 to be loaded and unloaded quickly. The removal or introduction of the ceramic film 19 to be punched with hold-down film 20 , die 13 and support plate 24 can thus be carried out quickly in the direction of the arrow A.

Zur Zündung des eingeleiteten explosiven Gasgemisches (oder auch Einzelgases) dient eine Zündelektrode 27, durch die mittels Hochspannung ein Zündfunke im Druckraum 21 erzeugbar ist.An ignition electrode 27 is used to ignite the introduced explosive gas mixture (or also individual gas), by means of which an ignition spark can be generated in the pressure chamber 21 by means of high voltage.

Nach Zündung des eingeleiteten explosiven Gases oder Gas gemisches durch die Zündelektrode 27 entsteht eine Druck welle von mehreren hundert N/mm². Beispielsweise bei 1000 N/mm² wirkt auf die Fläche eines Loches mit 200 µm Durchmesser (F = 0,0314 N/mm²) eine Kraft von 31,4 N (bei einem Detonationsdruck von 6000 N/mm² sind es schon nahezu 200 N). Durch entsprechende Dimensionierung des Druckraums 21 unter Füllung mit einem explosiven Mittel läßt sich somit eine für die Folienlochung ausreichende Scherkraft erreichen.After ignition of the introduced explosive gas or gas mixture through the ignition electrode 27 , a pressure wave of several hundred N / mm ² . For example, at 1000 N / mm ^2, a force of 31.4 N acts on the surface of a hole with a diameter of 200 µm (F = 0.0314 N / mm ² ) (at a detonation pressure of 6000 N / mm ² there are almost 200 N). By appropriate dimensioning of the pressure chamber 21 with filling with an explosive agent, a shear force sufficient for the foil perforation can thus be achieved.

Statt eines explosiven Gasgemisches, wie z. B. eines Wasser stoff-/Sauerstoffgemisches, kann auch ein fester Explosiv stoff verwendet werden.Instead of an explosive gas mixture, such as. B. a water substance / oxygen mixture, can also be a solid explosive fabric are used.

Alternativ zu den beschriebenen Ausführungsbeispielen kann im Druckmedium auch eine elektrische Entladung, beispiels weise eine Kondensatorentladung, erfolgen, wobei durch schlagartige Erwärmung ein Druckstoß erzeugt wird. Andere bekannte Verfahren zur Erzeugung von Druckstößen in einem Druckraum sind selbstverständlich ebenfalls verwendbar.As an alternative to the exemplary embodiments described in the print medium also an electrical discharge, for example as a capacitor discharge, take place by sudden heating a pressure surge is generated. Other Known methods for generating pressure surges in one Pressure rooms can of course also be used.

Die erzeugten Durchkontaktierungslöcher in der Keramikfolie 19 können um so präziser erzeugt werden, je größer ihr Durchmesser ist. Es sind allerdings auch sehr kleine Loch durchmesser von bis zu 100 µm möglich.The through holes produced in the ceramic film 19 can be produced more precisely the larger its diameter. However, very small hole diameters of up to 100 µm are also possible.

Um einer Rißbildung in der Matrize 13 aus Keramikmaterial vorzubeugen, wird diese nach der Lochung durch einen Laser bohrer nachgeglüht, beispielsweise bei einer Temperatur über 1450°C.To prevent cracking in the matrix 13 made of ceramic material, this is after-drilled after the perforation by a laser drill, for example at a temperature above 1450 ° C.

Claims

1. A process for punching ceramic films, characterized in that the ceramic film ( 19 ) to be punched is placed on a die ( 13 ) provided with corresponding perforations ( 18 ) and that a pressure surge is applied by means of a gaseous, liquid, flowable or pasty pressure medium the side of the ceramic film ( 19 ) facing away from the die ( 13 ) is exerted.

2. The method according to claim 1, characterized in that the ceramic film ( 19 ) is covered on the pressure side with an accordingly perforated hold-down film ( 20 ).

3. The method according to claim 1 or 2, characterized in that the pressure surge is generated by means of a piston-cylinder arrangement ( 11 , 12 ).

4. The method according to claim 3, characterized in that the pressure surge is generated by the impact of a press or a hammer on the piston ( 12 ).

5. The method according to claim 1 or 2, characterized in that the pressure surge is generated in the manner of an explosive deformation becomes.

6. The method according to claim 1 or 2, characterized in that the pressure surge is generated by an electrical discharge becomes.

7. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that for through-plating as pressure medium a conductive paste is used.

8. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that the filled, non-gaseous Pressure medium is degassed before the punching process.

9. Device for punching ceramic films according to one of the preceding claims, characterized in that a pressure chamber ( 10 ; 21 ) is provided for receiving the ceramic film to be punched, the contact surface for the ceramic film being provided by a die ( 13 ) provided with corresponding perforations ( 18 ) ) is formed, and that the medium filled with a gaseous, liquid, flowable or pasty pressure chamber ( 10 ; 21 ) is provided with means for generating pressure surges.

10. The device according to claim 9, characterized in that the means for generating pressure surges are designed as the pressure space compressing piston ( 12 ) which is guided in a cylinder ( 11 ) slidably.

11. The device according to claim 10, characterized in that a manual or mechanical hammer is provided for pressurizing the piston ( 12 ) or its piston rod ( 14 ).

12. The apparatus of claim 10 or 11, characterized in that the piston ( 12 ) on its pressure side has a conically converging indentation ( 15 ), the uppermost point of which is connected to a vent line ( 16 ).

13. Device according to one of claims 9 to 12, characterized characterized in that the printing medium is a conductive paste.

14. Device according to one of claims 9 to 12, characterized characterized in that the print medium is an inert, not liquid reacting with the ceramic used.

15. The apparatus according to claim 9, characterized in that the pressure chamber ( 21 ) is provided with means for generating an explosive pressure surge.

16. The apparatus according to claim 15, characterized in that the pressure chamber ( 21 ) with gas feeds ( 23 ) for introducing an explosive gas or an explosive gas mixture is provided and that means ( 27 ) are provided for igniting the gas or the gas mixture.

17. The apparatus of claim 15 or 16, characterized in that at least one side wall of the pressure chamber ( 21 ) is designed as the loading and unloading of the pressure chamber ( 21 ) permitted slide ( 26 ).

18. The apparatus according to claim 9, characterized in that the pressure chamber with an electrical discharge pre direction is provided.

19. Device according to one of claims 9 to 18, characterized in that the die ( 13 ) on a gas passage ( 25 ) having support means ( 24 ) is arranged.

20. Device according to one of claims 9 to 19, characterized in that a correspondingly perforated hold-down film ( 20 ) made of metal, ceramic or plastic is provided on the ceramic film ( 19 ) to be punched.

21. Device according to one of claims 9 to 20, characterized in that the die ( 13 ) is designed as a metal or ceramic die.