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DE4243421A1 - Opto-electronic component for measuring limited region of ultraviolet radiation - contains fluorescent medium stimulated by ultraviolet, optical and filtering arrangement ensuring narrow spectral stimulation region - Google Patents

Opto-electronic component for measuring limited region of ultraviolet radiation - contains fluorescent medium stimulated by ultraviolet, optical and filtering arrangement ensuring narrow spectral stimulation region

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DE4243421A1
DE4243421A1 DE4243421A DE4243421A DE4243421A1 DE 4243421 A1 DE4243421 A1 DE 4243421A1 DE 4243421 A DE4243421 A DE 4243421A DE 4243421 A DE4243421 A DE 4243421A DE 4243421 A1 DE4243421 A1 DE 4243421A1
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light
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medium
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Henry Deleker
Frank Adler
Gerhard Tuerk
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MEDIUM SENSOR GmbH
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MEDIUM SENSOR GmbH
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Publication date
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Abstract

The arrangement converts energy intensive narrow wavelength regions of ultraviolet light into electrical signals. A fluorescent medium stimulated by the ultraviolet light forms an edge filter. Its absorption edge forms the right side of the fluorescence stimulation spectrum. The right edge of the optical medium is processed to ensure optimal total internal reflection. The left edge of the component's sensitivity graph is produced by a primary filter above the fluorescent medium. USE/ADVANTAGE - Esp. for measurement, medical and environmental use. The arrangement enables narrowing of the stimulation spectrum regions to enable yet narrower regions of the wavelength spectrum to be detected.

Description

Zur Detektion von bestimmten Wellenlängenbereichen des Lichtes ist bekannt, daß Halbleiterphotoempfänger Licht über große Wellenlängenbereiche, meist bis in den Infrarotbereich, detektieren können. Oft wird eine bestimmte Wellenlänge hervorgehoben, bei der das Bauelement eine besondere Empfindlichkeit aufweist. In allen anderen Wellenlängenbereichen hat es jedoch ebenfalls eine beachtliche Empfindlichkeit. Beispielsweise blau- oder ultraviolettempfindliche Bauelemente, deren Empfindlichkeitsmaxima in der Nähe des infraroten Bereiches liegen.For the detection of certain Wavelength ranges of the Light is known to Semiconductor photo receiver light about great Wavelength ranges, mostly up to in the infrared range, can detect. Often a certain wavelength highlighted where the Component a special one Has sensitivity. In all other It has wavelength ranges however also one remarkable sensitivity. For example, blue or ultraviolet sensitive Components whose Sensitivity maxima in the Proximity of the infrared range lie.

Für die meisten, und die der Erfindung gemäßen Anwendung, stellt sich jedoch die große Bandbreite als Mangel heraus.For most, and those of Application according to the invention, however the great turns Bandwidth as a lack.

Ziel ist es, diese Bandbreite zu verringern.The goal is to cover this range to reduce.

Innerhalb des Wandlerbauelementes läßt diese sich jedoch nicht beliebig einengen.Within the Converter component leaves this however not arbitrarily constrict.

Hinsichtlich der Farbselektivität werden unterschiedliche Möglichkeiten angeboten. Dabei befinden sich die PN-Übergänge an der Oberfläche von V-Gräben, in vergrabenen Schichten und sehr dicht unter der Oberfläche (GB 20 34 971). Durch Verkleinerung der Epitaxieschichtdicke wird die Infrarotempfindlichkeit begrenzt (DE-OS 25 29 978; DE-AS 25 12 327).With regard to the Color selectivity different possibilities offered. Here are the PN transitions on the Surface of V-trenches, in buried layers and very just below the surface (GB 20 34 971). By downsizing the epitaxial layer thickness the infrared sensitivity limited (DE-OS 25 29 978; DE-AS 25 12 327).

Um noch geringere Bandbreiten zu erreichen, greift man auf optische Filter, Filterglaskombinationen und Überlagerung einer oder mehrerer Antireflexschichten zurück (bis zu 9 Schichten) (DE-OS 30 12 523; GB 15 90 865).To even lower bandwidths to reach, you take up optical filters, Filter glass combinations and Overlay one or several anti-reflective layers back (up to 9 layers) (DE-OS 30 12 523; GB 15 90 865).

Die genannten Möglichkeiten der Bandbreiten-Verringerung sind aber mit sehr hohem Kosten- und Produktionsaufwand verbunden.The possibilities of Bandwidth reduction are but with very high cost and production effort connected.

Eine Möglichkeit kostengünstig nur die UV-Bereiche detektieren zu können, der auch die Erfindung zugrunde liegt, besteht darin, einfache fotoempfindliche Halbleiterbauelemente mit Fluoreszensmaterialien so zu koppeln, daß beispielsweise kurzwellige elektromagnetische Strahlung in längerwellige elektromagnetische Strahlung umgewandelt wird, für die der Halbleiterdetektor empfindlich ist.An inexpensive way only detect the UV areas to be able to do that too Invention is based, is simple photosensitive Semiconductor components with Fluorescent materials so too couple that for example short-wave electromagnetic Radiation in longer-wave electromagnetic radiation for which the Semiconductor detector sensitive is.

Bekannt ist dies bei der Detektierung von Gamma-, Röntgen- und Ultraviolettstrahlung (EP 03 33 424; EP 03 24 944; EP 02 90 167).This is known at Detection of gamma, X-ray and Ultraviolet radiation (EP 03 33 424; EP 03 24 944; EP 02 90 167).

Der im Patentanspruch 1 angegebenen Erfindung liegt das Problem zugrunde, den Bereich des Lumineszens-Anregungs-Spektrums weiter einzuengen um noch schmalere Wellenlängenbereiche des UV-Spektrums detektieren zu können.The in claim 1 specified invention is the Problem underlying the area of the luminescence excitation spectrum further narrow around even narrower Wavelength ranges of the UV spectrum detect to can.

Dieses Problem wird gemäß Patentanspruch 1 dadurch gelöst, daß ein durch UV-Anregung fluoreszierendes Medium Eigenschaften eines Kantenfilters besitzt, die Absorptionskante die Anregung zur Fluoreszens im Spektrum begrenzt und dadurch der rechte Anstieg der Sensorempfindlichkeit dimensioniert wird.This problem is said to Claim 1 thereby solved that one by UV excitation fluorescent Medium properties of a Has edge filter that Absorption edge the excitation to fluorescence in the spectrum limited and thereby the right one Increase in Sensor sensitivity is dimensioned.

Die mit der Erfindung erzielten Vorteile bestehen insbesondere darin, daß durch eine einfache Filterglasanordnung mit einem Fluoreszensmedium und einem Halbleiterphotoelement, günstig in einem lichtdichten Gehäuse untergebracht, ein kostengünstiges photoelektrisches Bauelement zur Messung von Intensitäten schmaler ultravioletter Wellenlängenbereiche, verfügbar ist.The achieved with the invention There are particular advantages in that by a simple  Filter glass arrangement with a Fluorescent medium and one Semiconductor photocell, cheap in a light-tight housing housed, a inexpensive photoelectric device for measuring intensities narrower ultraviolet Wavelength ranges, available is.

Eine vorteilhafte Ausgestaltung der Erfindung ist im Patentanspruch 5 angegeben.An advantageous embodiment the invention is in Claim 5 specified.

Die Weiterbildung nach Patentanspruch 5-11 ermöglicht den Einbau in einfache Meßgeräte zur Bestimmung von Intensitäten und Dosisleistungen eines dimensionierten Wellenlängenbereiches in Umwelt, Biologie, Medizin, Meßtechnik und in anderen Bereichen.Continuing education after Claim 5-11 allows installation in simple Measuring devices for the determination of Intensities and Dose rates one dimensioned Wavelength range in Environment, biology, medicine, Measurement technology and others Areas.

Ein Ausführungsbeispiel ist unterstützend durch die Abb. 1 so dargestellt, daß ein hoch lichtdichtes Gehäuse mit niedrigem Temperaturkoeffizienten nach Patentanspruch 5 als Halterung für ein optisches Filterglas 1 (Abb. 1) (UV-durchlässig), ein optisches Kantenfilter 2 (Abb. 1) als Medium mit Lumineszenzeigenschaft, ein sekundäres Filtermedium 3 (Abb. 1) (fluoreszenslichtdurchlässig) und einen Halter 4 (Abb. 1) für ein optoelektronisches Halbleiterbauelement mit entsprechendem Element, dient.
Das optische Filterglas 1 (Abb. 1) ist dabei so unter einem Lichteintrittsfenster des Gehäuses angeordnet, daß nur das den Filter vollständig durchwandernde Licht das Innere des Gehäuses erreicht.
Die Seitenkanten sind lichtdicht abgedeckt, so daß schräg einfallendes Licht nicht einen dünneren Filter durchwandern kann und auf diese Weise das Innere des Gehäuses erreicht.
Unter dem optischen Filterglas 1 (Abb. 1) ist das optische Medium 2 (Abb. 1) so angeordnet, daß alles das Innere des Gehäuses erreichende Licht dieses durchwandert, d. h. teilweise absorbiert bzw. durch Lumineszens umgewandelt und das hindurchtretende Licht von einer schwarzen Schicht vollständig absorbiert wird.
Das fluoreszierende Medium hat die Eigenschaft eines Kantenfilters nach Patentanspruch 1 in der Weise, daß sein Fluoreszens-Anregungs-Spektrum durch eine spektrale Absorptionskante begrenzt wird. Dabei ist es günstig, daß die Absorption nicht durch Umwandlung in Wärme, sondern weitestgehend durch lumineszierende Lichtumwandlung entsteht.
An exemplary embodiment is supported by Fig. 1 so that a highly light-tight housing with a low temperature coefficient according to claim 5 as a holder for an optical filter glass 1 ( Fig. 1) (UV-transparent), an optical edge filter 2 ( Fig. 1) serves as a medium with a luminescent property, a secondary filter medium 3 ( Fig. 1) (fluorescent light permeable) and a holder 4 ( Fig. 1) for an optoelectronic semiconductor component with a corresponding element.
The optical filter glass 1 ( Fig. 1) is arranged under a light entry window of the housing so that only the light that completely traverses the filter reaches the inside of the housing.
The side edges are covered in a light-tight manner so that obliquely incident light cannot pass through a thinner filter and in this way reaches the inside of the housing.
Under the optical filter glass 1 ( Fig. 1), the optical medium 2 ( Fig. 1) is arranged so that all the light reaching the interior of the housing passes through it, ie partially absorbed or converted by luminescence, and the light passing through from a black layer is completely absorbed.
The fluorescent medium has the property of an edge filter according to claim 1 in such a way that its fluorescence excitation spectrum is limited by a spectral absorption edge. It is favorable that the absorption is not caused by conversion to heat, but largely by luminescent light conversion.

In dem fluoreszierenden Medium wird Lumineszens durch elektromagnetische Strahlung in der Weise angeregt, daß Photonen auf lumineszierende Partikel stoßen, diese zur Lumineszens anregen und das entstehende Licht nach allen Richtungen gleichverteilt abgestrahlt wird.
Das nach allen Richtungen gleichverteilt abgestrahlte Licht trifft in seiner Folge-Wanderung auf starke Brechungsindexübergänge, an denen es zur Lichtbrechung bzw. -reflexion und -totalreflexion kommt.
In the fluorescent medium, luminescence is excited by electromagnetic radiation in such a way that photons collide with luminescent particles, excite them to luminescence, and the resulting light is emitted evenly distributed in all directions.
In its subsequent migration, the light emitted evenly distributed in all directions encounters strong refractive index transitions at which light refraction or reflection and total reflection occur.

Das Medium ist an allen seinen Kanten so bearbeitet, daß die günstigste Totalreflexion nach innen ermöglicht wird.
Infolge vieler Fluoreszens- Emissions-Strahlung kommt es 90 Grad zur Lichteinfallsrichtung entlang der Dicke des Mediums zu einer Lichtsammelwirkung.
Mit einem Lichtkopplungsmittel ist das Medium mit einem weiteren optischen Medium 3 (Abb. 1) verbunden, welches den Teil des Lichtes herausfiltert, der nicht durch Fluoreszens umgewandelt sondern durch kleinste Oberflächenunebenheiten, Fremdpartikel oder Bläschen im Medium 2 (Abb. 1) zur Seite hinausgestreut wird.
In der Folge leitet das Medium 3 (Abb. 1) nur Fluoreszensemissionslicht auf einen, in einem Gehäuseteil untergebrachten Halbleiterphotoempfänger zur Umwandlung in ein elektrisches Signal.
The medium is machined on all its edges so that the cheapest total internal reflection is possible.
As a result of many fluorescent emission radiation, there is a light collection effect 90 degrees to the direction of light incidence along the thickness of the medium.
With a light coupling medium, the medium is connected to another optical medium 3 ( Fig. 1), which filters out the part of the light that is not converted by fluorescence but scattered to the side by the smallest surface irregularities, foreign particles or bubbles in the medium 2 ( Fig. 1) becomes.
As a result, the medium 3 ( Fig. 1) only conducts fluorescence emission light onto a semiconductor photo receiver housed in a housing part for conversion into an electrical signal.

Claims (10)

1. Optoelektronisches Bauelement zur Umwandlung von Energieintensitäten schmaler Wellenlängenbereiche des ultravioletten Lichtes in elektrische Signale, insbesondere für Meßtechnik, Medizin und Umwelt dadurch gekennzeichnet, daß der rechte Anstieg der spektralen Photoempfindlichkeit des Bauelementes dadurch erzeugt wird, daß ein bei Anregung durch ultraviolettes Licht fluoreszierendes Medium ein Kantenfilter ist und dessen Absorptionskante die rechte Seite des Fluoreszens- Anregungs-Spektrums bestimmt.1. Optoelectronic component for converting energy intensities of narrow wavelength ranges of ultraviolet light into electrical signals, in particular for measurement technology, medicine and the environment, characterized in that the right increase in the spectral photosensitivity of the component is generated by a fluorescent medium when excited by ultraviolet light Edge filter is and its absorption edge determines the right side of the fluorescence excitation spectrum. 2. Optoelektronisches Bauelement nach Patentanspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Seitenkanten des optischen Mediums so bearbeitet sind, daß die optimale Totalreflexion nach innen gewährleistet ist.2. Optoelectronic component according to claim 1, characterized, that the side edges of the optical medium processed in this way are that the optimal Total reflection inside is guaranteed. 3. Optoelektronisches Bauelement nach Patentanspruch 1-2, dadurch gekennzeichnet, daß der linke Anstieg der Empfindlichkeitskurve des Bauelementes durch ein Primärfilter oberhalb des fluoreszierenden Mediums erzeugt wird.3. Optoelectronic component according to claims 1-2, characterized, that the left rise in Sensitivity curve of the Component by one Primary filter above the fluorescent medium is produced. 4. Optoelektronisches Bauelement nach Patentanspruch 1-3, dadurch gekennzeichnet, daß ein optoelektronisches Halbleiterbauelement emittierte Fluoreszens-Strahlung durch einen Sekundärfilter direkt an der Lichtaustrittsfläche des fluoreszierenden Mediums empfängt und in ein elektrisches Signal umwandelt.4. Optoelectronic component according to claims 1-3, characterized, that an optoelectronic Semiconductor device emitted Fluorescence radiation through a secondary filter directly the light exit surface of the fluorescent medium receives and into one converts electrical signal. 5. Optoelektronisches Bauelement nach Patentanspruch 1-4, dadurch gekennzeichnet, daß eine hoch lichtdichte Gehäuseanordnung den Primärfilter, das fluoreszierende Medium, einen Sekundärfilter und das optoelektronische Halbleiterbauelement so aufnimmt, daß nur Licht an einem Lichteintrittsfenster das Primärfilter durchwandert und in das fluoreszierende Medium zur Anregung von Fluoreszenslicht geleitet und das Fluoreszensemissionslicht durch Totalreflexion um 90 Grad von der Lichteintrittsrichtung entlang der Dicke des Fluoreszensmediums durch ein Sekundärfilter auf das optoelektronische Halbleiterbauelement zur Umwandlung in ein elektrisches Signal gebracht wird.5. Optoelectronic component according to claims 1-4, characterized, that a high light density Housing arrangement the Primary filter, that fluorescent medium, a Secondary filter and that optoelectronic Semiconductor device like this picks up only light a light entry window Primary filter traverses and into the fluorescent medium to stimulate Fluorescent light directed and the fluorescent emission light through total reflection by 90 degrees from the direction of light entry along the thickness of the Fluorescent medium through a Secondary filter on that optoelectronic Semiconductor component for Conversion to an electrical one Signal is brought. 6. Optoelektronisches Bauelement nach Patentanspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Gehäuseanordnung aus lichtdichtem Material besteht.6. Optoelectronic component according to claim 5, characterized, that the housing arrangement from there is light-proof material. 7. Optoelektronisches Bauelement nach Patentanspruch 5-6, dadurch gekennzeichnet, daß Abstandhalter zwischen dem Primärfilter, dem optischen Medium und der Bodenplatte so angebracht sind, daß die optimale Totalreflexion gewährleistet ist.7. Optoelectronic component according to claim 5-6, characterized,  that spacer between the Primary filter, the optical Medium and the bottom plate like that are appropriate that the optimal total reflection is guaranteed. 8. Optoelektronisches Bauelement nach Patentanspruch 1-7, dadurch gekennzeichnet, daß das optische Medium mit dem Sekundärfilter und dem optoelektronischen Halbleiterbauelement durch ein Lichtkopplungsmittel verbunden sind, um minimale Verluste beim Lichttransport zu ermöglichen.8. Optoelectronic component according to claims 1-7, characterized, that the optical medium with the Secondary filter and the optoelectronic Semiconductor device through a Light coupling means connected are to minimize losses when To enable light transport. 9. Optoelektronisches Bauelement nach Patentanspruch 1-8, dadurch gekennzeichnet, daß in der Gehäuseanordnung Absorptionswände so angebracht sind, daß Streulicht absorbiert, bzw. schräg einfallendes Licht nicht einen dünneren Filter durchwandern kann.9. Optoelectronic component according to claims 1-8, characterized, that in the housing arrangement Absorption walls so attached are that stray light absorbed, or obliquely incident light not one Pass thinner filter can. 10. Optoelektronisches Bauelement nach Patentanspruch 1-9, dadurch gekennzeichnet, daß das optoelektronische Halbleiterbauelement so in ein Gehäuseteil verklebt werden kann, daß Fremdlicht nicht von einer Rückseite detektiert werden kann.10. Optoelectronic Component after Claims 1-9, characterized, that the optoelectronic Semiconductor device so in one Housing part are glued can that extraneous light not from a back is detected can be.
DE4243421A 1992-12-16 1992-12-16 Opto-electronic component for measuring limited region of ultraviolet radiation - contains fluorescent medium stimulated by ultraviolet, optical and filtering arrangement ensuring narrow spectral stimulation region Ceased DE4243421A1 (en)

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