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DE4216086A1 - Separable multi-part thermal flowmeter - has substrate for carrying temp. dependent measurement and reference resistances and housing parts for substrate with separate cavities for each resistance, one of which is exposed to fluid flow. - Google Patents

Separable multi-part thermal flowmeter - has substrate for carrying temp. dependent measurement and reference resistances and housing parts for substrate with separate cavities for each resistance, one of which is exposed to fluid flow.

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DE4216086A1
DE4216086A1 DE19924216086 DE4216086A DE4216086A1 DE 4216086 A1 DE4216086 A1 DE 4216086A1 DE 19924216086 DE19924216086 DE 19924216086 DE 4216086 A DE4216086 A DE 4216086A DE 4216086 A1 DE4216086 A1 DE 4216086A1
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Abstract

The flowmeter has a foil-shaped, electrically heated temp.-dependent resistance (1) placed in a fluid flow in a measurement channel (3) and connected in series with a similar resistance (2) on a common substrate (4) but not placed in the flow. The substrate has a thin metal film on the reverse and a cap (5) with at least one recess (6) for the resistors. The substrate is joined to a block contg. the flat measurement channel and a compensation chamber (9) via at least two releasable connectors. USE/ADVANTAGE - Simple thermal flowmeter for fluid in measurement channel is cheap to make, enables position-independent measurement with low pressure loss, is insensitive to mechanical stress and is easy to dismantle and clean.

Description

Die Erfindung betrifft einen thermischen Durchflußmesser nach dem Oberbegriff des Hauptanspruchs.The invention relates to a thermal flow meter according to the preamble of the main claim.

Aus der DE-PS-23 50 848 ist ein thermischer Durchflußmesser bekannt, bei dem auf der Außenseite eines rohrförmigen Meß­ kanals zwei in Reihe geschaltete Spulen aufgewickelt sind, die mit zwei weiteren Widerständen Bestandteil einer Brücken­ schaltung sind. Die Brückenschaltung wird von einer Spannungs- oder Stromquelle versorgt,wodurch sich die Spulen erwärmen. Bei Vorhandensein einer Fluidströmung im Meßkanal entsteht eine Temperaturdifferenz zwischen den beiden spulenförmigen- Meßwiderständen und somit Widerstandsänderungen, die von einem Meßinstrument erfaßt werden können und ein Maß für den Massenstrom sind. Um Meßverfälschungen auf Grund von Konvektion oder von Temperaturgradienten über den rohrförmigen Meßkanal zu verhindern, sind die beiden Spulen von einem offenzelligen Schaumstoff umhüllt.From DE-PS-23 50 848 is a thermal flow meter known in which on the outside of a tubular measuring two coils connected in series are wound, which with two further resistors is part of a bridge circuit. The bridge circuit is powered by a voltage or power source, causing the coils to heat up. If there is a fluid flow in the measuring channel a temperature difference between the two coil-shaped Measuring resistances and thus changes in resistance by a measuring instrument can be detected and a measure of the Mass flow are. To falsify measurements due to convection or of temperature gradients via the tubular measuring channel To prevent the two coils from an open cell Foam encased.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen thermischen Durchflußmesser zu schaffen, der einfach im Aufbau und somit kostengünstig zu fertigen ist, der eine lageunabhängige Messung bei geringem Druckverlust erlaubt, der unempfindlich gegen mechanische Beanspruchung, leicht zu zerlegen und zu reinigen ist.The invention has for its object a thermal To create flow meters that are simple in construction and thus is inexpensive to manufacture, the position-independent measurement allowed with low pressure loss, the insensitive to mechanical stress, easy to disassemble and clean is.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die kennzeichnenden Merkmale des Hauptanspruchs in Verbindung mit den Merkmalen des Oberbegriffs gelöst.This object is achieved by the characterizing Features of the main claim in connection with the features of the generic term solved.

Durch das Vorsehen eines Meßkanals, der als flache mit Einlaß und Auslaß versehene Vertiefung in einem Block ausgebildet ist, der einen relativ großen Strömungsquerschnitt aufweist und einer mit einem Einlaß versehenen Kompensationskammer, die ebenfalls als Vertiefung in dem Block ausgebildet ist, der mit einem zwei in Reihe geschalteten elektrisch beheizten Widerständen als Flächenmuster tragendes Substrats abgedeckt ist, wobei der Widerstand im Meßkanal durch das strömende Fluid gekühlt wird, der Widerstand in der Kompensationskammer jedoch durch das Fluid nicht beströmt und nicht gekühlt wird, läßt sich bei geringem Druckverlust ein hoher Meßeffekt erzielen. Der Widerstand in der Kompensationskammer dient nur zur Tempe­ raturkompensation des elektrischen Nullpunktes der Brücken­ schaltung (Fluidströmung Null). Durch die über den Widerständen befindliche Kappe mit mindestens je einer Vertiefung über den Widerständen wird einerseits eine gegen thermische Konvektion und anderseits gegen Strahlung geschirmte und durch den ther­ mischen Kurzschluß um die Widerstände herum eine elektrisch stabile, driftarme Meßanordnung geschaffen.By providing a measuring channel that is flat with inlet and the recess provided in the outlet is formed in a block, which has a relatively large flow cross section and a compensation chamber provided with an inlet, the is also formed as a recess in the block that with a two electrically heated in series Resistors covered as a surface pattern bearing substrate is, the resistance in the measuring channel by the flowing fluid  is cooled, but the resistance in the compensation chamber is not flowed through by the fluid and is not cooled achieve a high measurement effect with a low pressure drop. The resistance in the compensation chamber is only for temperature rature compensation of the electrical zero point of the bridges circuit (zero fluid flow). By over the resistors located cap with at least one recess each over the Resistance becomes thermal convection and on the other hand shielded against radiation and by the ther mix short circuit around the resistors one electrically stable, low-drift measuring arrangement created.

Bei dem in DE-PS 23 50 848 beschriebenen Verfahren wird bei Fluid- Strömung durch das Meßrohr der von der Strömung zuerst durch­ flossene Rohrteil und damit der dort aufgewickelte Widerstand gekühlt, während sich das nachfolgende Rohrteil und der dort aufgewickelte Widerstand in der Temperatur durch das im ersten Rohrteil aufgeheizte Fluid erhöht. Diese Methode führt zu einem gegenläufigen Effekt, so daß sich ein Wärmestrom im Meßrohr ausbildet, der durch das Temperaturgefälle in den Rohrabschnit­ ten versucht, die Temperatur des zuerst gekühlten Rohrabschnittes wieder zu erhöhen. Daraus ergibt sich nur eine geringe Temperatur­ differenz zwischen den beiden Widerstandshälften und damit ein geringer Meßeffekt.In the method described in DE-PS 23 50 848 with fluid Flow through the measuring tube from the flow through first flowed tube part and thus the resistance wound there cooled while the subsequent pipe part and there wound resistance in temperature by that in the first Pipe part heated fluid increased. This method leads to one opposite effect, so that there is a heat flow in the measuring tube trains that due to the temperature gradient in the pipe section tried the temperature of the first cooled pipe section increase again. This results in only a low temperature difference between the two resistance halves and thus a low measuring effect.

In der erfindungsgemäß gelösten Aufgabe wird nur ein Wider­ stand der in Reihe geschalteten Widerstände durch das strömende Fluid gekühlt, was zu einer wesentlich höheren Meßempfindlich­ keit führt (bei gleicher Temperaturkompensation des Nullpunktes). In anderen beschriebenen Verfahren werden zwei beheizte Wider­ stände in zwei Brückenzweigen zusammengeschaltet, was zu einem höheren elektrischen Energiebedarf für maximalen Meßeffekt führt. In der erfindungsgemäß gelösten Aufgabe kann der zweite Brücken­ zweig mit so hochohmig ausgeführten Widerständen gebildet werden daß deren Energiebedarf vernachlässigbar gegen den Energiebedarf im ersten Brückenzweig mit den in Reihe geschalteten beheizten Widerständen ist, was zu einem reduzierten Energiebedarf führt. In the problem solved according to the invention there is only one contradiction stood the resistors connected in series by the flowing Fluid cooled, resulting in a significantly higher measurement sensitivity speed (with the same temperature compensation of the zero point). In other methods described, two heated resistors would be connected in two bridge branches, resulting in one leads to higher electrical energy requirements for maximum measurement effect. In the problem solved according to the invention, the second bridge can branch are formed with such high impedance resistors that their energy requirements are negligible compared to energy requirements in the first bridge branch with the heated ones connected in series Resistance is what leads to a reduced energy requirement.  

Nach der erfindungsgemäß gelösten Aufgabe enthält das Widerstands­ substrat mindestens je einen Durchgang in Form eines Loches zu den Vertiefungen zur Kappe, so daß das, aus thermischen Gründen dünn zu haltende, Substrat beidseitig dem gleichen statischen Fluiddruck unterliegt und somit das Substrat auch bei größeren Fluiddrücken mechanisch nicht beansprucht wird. Die mechanische Konstruktion des Durchflußmessers aus Kappe, Widerstandssubstrat und Block, die durch mindestens zwei lösbare Verbindungselemente zusammengefügt wird, erlaubt ein leichtes Zerlegen und Reinigen des Durchflußmessers. Entgegen üblichen Durchflußmessern mit Kapillaren muß kein Ultraschallbad zur Reinigung desselben ein­ gesetzt werden. Die erfindungsgemäß gelöste Aufgabe mit Strömungs­ querschnitten, die mindestens eine 60-fach größere Strömungsquer­ schnittfläche haben als bei Kapillardurchflußmessern, führt zu einem geringen Druckverlust bei Strömung, so daß auch Fluid­ strömungen mit geringem Vordruck gemessen werden können. After the problem solved according to the invention, the resistance contains substrate at least one passage in the form of a hole the wells to the cap, so that, for thermal reasons thin to keep, substrate on both sides the same static Fluid pressure is subject and therefore the substrate even with larger ones Fluid pressure is not mechanically stressed. The mechanical Construction of the flow meter from cap, resistance substrate and block by at least two releasable fasteners assembled, allows easy disassembly and cleaning of the flow meter. Contrary to the usual flow meters Capillaries do not need an ultrasonic bath to clean them be set. The problem solved according to the invention with flow cross sections that are at least a 60 times larger flow cross cut surface than with capillary flow meters, leads to a low pressure drop in flow, so that fluid flows can be measured with low admission pressure.  

Beschreibungdescription

Ein Fluid strömt, wie in Fig. 2 gezeigt, durch den Einlaßstut­ zen (13) in die Meßkammer (3) und gegebenenfalls durch den Bypass (12) und kühlt dabei den beheizbaren Widerstand (1), was zu einer Verstimmung der in Fig. 4 gezeigten Brückenschal­ tung führt und die Meßwertanzeige (16) aktiviert. Der zweite beheizbare Widerstand (2), der mit dem Widerstand (1) in Reihe geschaltet ist, befindet sich in der Kompensationskammer (9) und hat Wärmekontakt zum Fluid, wird von diesem jedoch nicht beströmt. Bei nicht vorhandener Fluidströmung sind die Wider­ stände (1), (2) im thermischen Gleichgewicht, die Meßwertanzeige (16) in Fig. 4 zeigt Null bei Verwendung einer Brückenschaltung, die aus den Widerständen (1), (2), (17), (18) und der Stromver­ sorgung (15) besteht. Die Löcher (10), (11) im Substrat (4) mit den Widerständen (1), (2) schaffen eine Verbindung zu den Ver­ tiefungen (6), (7) der Kappe (5). Dadurch wird sichergestellt, daß das Substrat (4) beidseitig mit dem gleichen statischen Fluiddruck belastet wird und somit mechanisch durch den Fluid­ druck nicht beansprucht wird.A fluid flows, as shown in Fig. 2, through the inlet connector ( 13 ) into the measuring chamber ( 3 ) and optionally through the bypass ( 12 ) and thereby cools the heatable resistor ( 1 ), which leads to a detuning of the in Fig. 4 shown bridge circuit leads and the measured value display ( 16 ) activated. The second heatable resistor ( 2 ), which is connected in series with the resistor ( 1 ), is located in the compensation chamber ( 9 ) and has thermal contact with the fluid, but is not flowed through by it. If there is no fluid flow, the resistors ( 1 ), ( 2 ) are in thermal equilibrium, the measured value display ( 16 ) in FIG. 4 shows zero when using a bridge circuit, which consists of the resistors ( 1 ), ( 2 ), ( 17 ) , ( 18 ) and the power supply ( 15 ). The holes ( 10 ), ( 11 ) in the substrate ( 4 ) with the resistors ( 1 ), ( 2 ) create a connection to the recesses ( 6 ), ( 7 ) of the cap ( 5 ). This ensures that the substrate ( 4 ) is loaded on both sides with the same static fluid pressure and is therefore not mechanically stressed by the fluid pressure.

Claims (11)

1. Thermischer Durchflußmesser, bei dem ein Fluid durch einen Meßkanal strömt, dadurch gekennzeichnet, daß ein folienför­ miger elektrisch beheizbarer temperarurabhängiger Widerstand (1), der vom Fluid beströmt wird, mit einem beheizbaren tem­ peraturabhängigen Widerstand (2) in Reihe geschaltet ist, der nicht vom Fluid beströmt wird, wobei beide Widerstände gemein­ sam auf einem Substrat (4) aufgebracht sind, daß auf der Rückseite mit einer dünnen Metallschicht bedeckt ist und mit einer Kappe (5), die mindestens je eine Vertiefung (6), (7) über den Widerständen (1), (2) aufweist, sowie mit einem Block (8), der einen relativ flachen zu ihrer Länge und Breite Meßkanal (3) und eine Kompensationskammer (9) enthält, mit mindestens 2 lösbaren Verbindungselementen zusammengefügt ist.1. Thermal flow meter, in which a fluid flows through a measuring channel, characterized in that a folienför miger electrically heated temperature-dependent resistor ( 1 ), which is flowed by the fluid, is connected in series with a heatable temperature-dependent resistor ( 2 ), the is not flowed through by the fluid, both resistors being applied together on a substrate ( 4 ) that is covered on the back with a thin metal layer and with a cap ( 5 ) that has at least one recess ( 6 ), ( 7 ) over the resistors ( 1 ), ( 2 ), and with a block ( 8 ), which contains a relatively flat to their length and width measuring channel ( 3 ) and a compensation chamber ( 9 ), is joined with at least 2 releasable connecting elements. 2. Durchflußmesser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Substrat (4) mit den Widerständen (1), (2) mindestens 2 Löcher (10), (11) aufweist, die für das Fluid mindestens je einen Durchgang vom Meßkanal (3) und der Kompensationskammer (9) zu den Vertiefungen (6), (7) der Kappe (5) schaffen.2. Flow meter according to claim 1, characterized in that the substrate ( 4 ) with the resistors ( 1 ), ( 2 ) has at least 2 holes ( 10 ), ( 11 ) which for the fluid at least one passage from the measuring channel ( 3rd ) and the compensation chamber ( 9 ) to the recesses ( 6 ), ( 7 ) of the cap ( 5 ). 3. Durchflußmesser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der vom strömenden Fluid berührte Widerstand (1) den Meßkanal (3) quer zur Strömungsrichtung soweit überdeckt, daß die Wirkung von Änderungen des Strömungsprofils im Meßkanal (3) durch die integrale Wirkung des quer zur Strömungsrichtung ausgebildeten Widerstandes (1) unterdrückt wird.3. Flow meter according to claim 1, characterized in that the resistance touched by the flowing fluid ( 1 ) covers the measuring channel ( 3 ) transversely to the direction of flow to such an extent that the effect of changes in the flow profile in the measuring channel ( 3 ) by the integral effect of transversely Flow direction trained resistance ( 1 ) is suppressed. 4. Durchflußmesser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Substrat (4) mit der Kappe (5) verklebt ist.4. Flow meter according to claim 1, characterized in that the substrate ( 4 ) with the cap ( 5 ) is glued. 5. Durchflußmesser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Block (8) mit dem Meßkanal (3) einen Bypass (12) ent­ hält, der das einströmende Fluid in einen Teilstrom durch den Meßkanal (3) und den Hauptstrom durch den Bypass (12) teilt. 5. Flow meter according to claim 1, characterized in that the block ( 8 ) with the measuring channel ( 3 ) has a bypass ( 12 ) ent, the inflowing fluid into a partial flow through the measuring channel ( 3 ) and the main flow through the bypass ( 12 ) shares. 6. Durchflußmesser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß Kappe (5) und Block (8) aus Metall bestehen.6. Flow meter according to claim 1, characterized in that the cap ( 5 ) and block ( 8 ) consist of metal. 7. Durchflußmesser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Substrat (4) zum Korrosionsschutz gegen aggressive Fluide und/oder zur Isolierung der elektrischen Zuführungen mit einer isolierenden Schicht abgedeckt ist.7. Flow meter according to claim 1, characterized in that the substrate ( 4 ) for corrosion protection against aggressive fluids and / or for the insulation of the electrical leads is covered with an insulating layer. 8. Durchflußmesser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Substrat (4) so elastisch ist, daß die lösbare Verbindung Kappe (5), Substrat (4), Block (8) nach dem Zusammenfügen mit Hilfe der Verbindungselemente gasdicht ist.8. Flow meter according to claim 1, characterized in that the substrate ( 4 ) is so elastic that the releasable connection cap ( 5 ), substrate ( 4 ), block ( 8 ) after assembly with the help of the connecting elements is gas-tight. 9. Durchflußmesser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die temperaturabhängigen Widerstände (1), (2) und/oder die dünne Metallschicht auf der Rückseite des Substrats (4) durch aufsputtern, aufdampfen oder aufwalzen mit nachfolgen­ dem Ausätzen erzeugt werden.9. Flow meter according to claim 1, characterized in that the temperature-dependent resistors ( 1 ), ( 2 ) and / or the thin metal layer on the back of the substrate ( 4 ) by sputtering, vapor deposition or rolling with subsequent etching are generated. 10. Durchflußmesser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Einlaßstutzen (13) für das Fluid aus einer Schnell­ verschlußkupplung besteht, die in ihrem Inneren die Fluid­ strömung so umlenkt, daß das Strömungsprofil am Bypass (12) und am Meßkanaleinlaß (14) nicht durch dynamisches Biegen oder einen starren Bogen der Fluidzuführungslei­ tungen verändert wird.10. Flow meter according to claim 1, characterized in that the inlet connection ( 13 ) for the fluid consists of a quick-release coupling which deflects the fluid flow in its interior so that the flow profile at the bypass ( 12 ) and at the measuring channel inlet ( 14 ) is not is changed by dynamic bending or a rigid curve of the fluid supply lines. 11. Durchflußmesser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Widerstände (1), (2) annähernd den gleichen elektrischen Widerstandswert bei Strömung Null haben.11. Flow meter according to claim 1, characterized in that the two resistors ( 1 ), ( 2 ) have approximately the same electrical resistance value at zero flow.
DE19924216086 1992-05-15 1992-05-15 Separable multi-part thermal flowmeter - has substrate for carrying temp. dependent measurement and reference resistances and housing parts for substrate with separate cavities for each resistance, one of which is exposed to fluid flow. Ceased DE4216086A1 (en)

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