DE4205264A1 - Messkopf fuer ein druckmessgeraet mit einem drucksensor zur gleichzeitigen betaetigung eines schaltkontaktes - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft einen Meßkopf für ein Druckmeßgerät für ein Fluid (Gas, Flüssigkeit), von dem über ein Sensorelement ein dem zu erfassenden Druck proportionales Signal abgreifbar ist, indem das Sensorelement als ein flächenhaftes Diaphragma an einem Sensorgehäuse angebracht ist, wodurch eine Druckkammer von einer Referenzkammer abgeteilt ist, und indem es infolge des in der Druckkammer herrschenden Druckes eine dem Druckwert proportionale Verformung erfährt, durch die ein als Druckmeßwert abgreifbares elektrisches Signal erzeugt wird.

Die Beherrschung von Drücken in Gasen und Flüssigkeiten setzt ein genaues Messen voraus und bedeutet auch, daß zur Überwachung bei vorgebbaren Druckwerten Schaltfunktionen ausgeübt werden, welche beispielsweise sicherheitsrelevante Maßnahmen an dafür vorgesehenen Vorrichtungen auslösen. Ein bekanntes Meßgerät der genannten Art ist unter der Bezeichnung Kontaktmanometer in der DE-OS 23 32 249 beschrieben. Derartige Kontaktmanometer besitzen ein mechanisches Druckmeßwerk, durch welches über Zeiger und Zifferblatt der gemessene Druckwert angezeigt wird. Zur Überwachung und Druckregulierung wird dieses mechanische Druckanzeigegerät mit einem aufsetzbaren Schaltkontakt versehen, der je nach Stellung des Zeigers ausgelöst wird (Ruhekontakt oder Arbeitskontakt). Bei Auslösung des Schaltkontakts wird über eine elektrische Signalleitung an eine Zentralstation eine entsprechende Information weitergeleitet, aufgrund der notwendige Maßnahmen zur Steuerung oder auch zur Abschaltung der unter Druck befindlichen Fluidleitungen führen. Bei den mechanisch arbeitenden Anzeigewerken mit einer gekoppelten elektrischen Schaltvorrichtung ist es von Nachteil, daß die Überwachungsstationen in der Regel zentral eingerichtet sind und somit weit entfernt von dem tatsächlichen Meßort liegen. Somit kann eine Überwachung der Druckleitungen und ein gleichzeitiges Messen des tatsächlich vorliegenden Druckes mit Hilfe des bekannten Kontaktmonometers nicht vorgenommen werden. Um diesen Mangel zu überwinden, müßte die Zeigerbewegung mit aufwendigen technischen und elektrischen Mitteln in ein analoges elektrisches Signal umgeformt und weitergeleitet werden. Der dazu notwendige mechanische Aufwand wäre erheblich, und die Anzeigegenauigkeit des mechanischen Anzeigewerkes würde beeinträchtigt.

Ein dem Anmeldegegenstand nächstliegendes Meßgerät zur Erfassung des Druckes eines Fluides ist in dem deutschen Gebrauchsmuster DE-GM 76 06 153 beschrieben. Eine federelastische Membran deckt eine Druckkammer druckdicht ab. Auf der von der Druckkammer wegweisenden Oberfläche ist die Membran mit Dehnungsmeßstreifen versehen, welche die aufgrund des vorherrschenden Druckes in der Druckkammer erzeugte Auslenkung der Membran in ein elektrisches Signal umwandeln, das über elektrische Anschlußleitungen an eine Auswerteeinheit weitergeleitet wird. Mit derartigen Drucksensoren ist es zwar möglich, das erzeugte Drucksignal in seiner Größe derart zu überwachen, daß bei einem vorgebbaren Druckwert eine Schaltfunktion ausgeübt wird, welche die nötigenfalls erforderlichen Schaltvorrichtungen betätigt. Nachteilig bei dieser Art der Signalverarbeitung ist jedoch, daß das elektrische Drucksignal ständig über nachgeschaltete Signalverarbeitungsanlagen ausgewertet und überwacht werden muß, und zwar auch dann, wenn die Druckwerte weit unterhalb des vorgegebenen Schaltdruckwertes liegen. Die ständige Signalüberwachung und -verarbeitung erfordert unnötige Hilfsenergie zum Betreiben von Verstärker- und Komparatorschaltungen, welche an und für sich für die normale Druckmessung nicht erforderlich sind.

Der vorliegenden Erfindung liegt somit die Aufgabe zugrunde, ein Meßgerät der genannten Art so zu verbessern, daß es neben der Abgabe eines elektrisch verarbeitbaren Drucksignals auch in der Lage ist, ohne zusätzliche Hilfsenergie eine Schaltfunktion zu übernehmen, wobei die Druckmessung erst nach Ausführung der Schaltfunktion erfolgt.

Die Lösung der Aufgabe erfolgt dadurch, daß das Diaphragma mit einer Kontaktfläche versehen ist, die nach Zurücklegen einer vorgebbaren Auslenkung des Diaphragmas mit einem relativ zur Bewegung des Diaphragmas feststehenden elektrischen Schaltkontakt in Eingriff gebracht ist, und daß das Diaphragma nach Erreichen der Auslenkung blockiert ist, so daß die nunmehr sich unter der vorherrschenden Druckwirkung in der Druckkammer ausbildende Verformung das als Druckmeßwert abgreifbare elektrische Signal erzeugt.

Der Vorteil der Erfindung liegt im wesentlichen darin, daß die für den normalen Meßbetrieb vorhandenen elektrischen Meßeinrichtungen, angefangen von dem Sensorelement bis hin zur Signalanzeige, ohne zusätzliche Hilfsenergie ständig zur Verfügung stehen. Erst wenn die Auslenkung des Diaphragmas infolge der Druckeinwirkung in der Druckkammer einen solchen Wert annimmt, daß die Kontaktfläche den Schaltkontakt betätigt, wird die Überwachungsfunktion des Meßgerätes aktiviert, und erst dann wird elektrische Energie zur Ausführung der Überwachungsfunktionen erforderlich. Nach erfolgter Schaltfunktion wird der Stromkreis für die Druckmessung in Betrieb genommen, um die Meßfunktionen wahrzunehmen. Vor der Betätigung des Schaltkontaktes ist somit kein Ruhestrom nötig. Durch die bloße Anbringung einer Kontaktfläche wird weder die Genauigkeit noch die Ansprechzeit des den Druck aufnehmenden Sensorelementes beeinträchtigt. Die Kontaktfläche kann den Schaltkontakt nach Zurücklegung der vorgegebenen Wegstrecke entweder schließen oder öffnen, je nach Erfordernis und Auslegung des elektrischen Schaltkreises (Arbeitskontakt, Ruhekontakt).

Ein besonders geeignetes Einsatzgebiet für die Erfindung bietet sich bei druckgasversorgten Geräten (Atemschutzgeräten) an, bei denen elektrische/ elektronische Komponenten automatisch, z. B. nach dem Öffnen von Druckgasflaschen, eingeschaltet werden sollen, um u. a. den Flaschendruck zu überwachen.

Die Kontaktfläche kann zweckmäßigerweise über elektrische Leitungen mit der Auswerteeinheit verbunden sein, so daß bei ihrer Berührung mit dem feststehenden elektrischen Schaltkontakt das Schaltsignal weitergegeben wird. Die Leitungsverbindung zu der Kontaktfläche kann dann in gleicher Weise aufgebracht werden, wie sie z. B. bei Anbringung von Widerstandsschichten für die Druckmessung auf die Oberfläche des Diaphragmas angewendet werden. Will man jedoch jegliche elektrische Kontaktbildung innerhalb des Sensorgehäuses vermeiden, ist es günstig, wenn das Diaphragma mindestens einen Dauermagneten trägt, der beispielsweise als flächenartiger Streifen ausgebildet ist, und der bei Zurücklegen der vorgebbaren Auslenkung mit einem Reedkontakt in Wirkverbindung gebracht ist. Jede elektrische Schaltverbindung innerhalb des Sensorgehäuses wird somit vermieden.

Eine weitere Ausgestaltung des Meßgerätes ist darin zu sehen, daß das Diaphragma als Boden eines topfförmigen Sensorgehäuses ausgebildet ist, welches in der Druckkammer verschiebbar aufgenommen ist und die Druckkammer von der Referenzkammer druckdicht abteilt. Das Sensorgehäuse ist gegen ein federelastisches und dem Druck entgegenwirkendes Element abgestützt und legt die zur Betätigung des Schaltkontaktes erforderliche Wegstrecke unter Einwirkung des Druckes in der Druckkammer zurück. Das Sensorgehäuse kann robust und mechanisch stabil ausgelegt werden, wobei lediglich der Topfboden als feinfühlige Sensormembran ausgebildet zu sein braucht. Die Schaltfunktion und die Sensorfunktion sind wirkungsmäßig voneinander entkoppelt, so daß der Drucksensor selbst entsprechend seiner Meßbestimmung ausgelegt werden kann, ohne daß eine Behinderung oder Einschränkung der Sensoroberfläche wegen der Anbringung einer Kontaktfläche befürchtet werden muß. Die Definition der zurückzulegenden Wegstrecke für die Betätigung des Schaltkontaktes kann unabhängig von der Auslenkung der Diaphragmamembran erfolgen, da lediglich die Bewegung des Sensortopfes zu berücksichtigen ist. Diese Bewegung ist leicht beherrschbar und reproduzierbar, so daß stets gleichbleibende Schaltwege zu überbrücken sind. Das federelastische Element kann als Druckfeder ausgebildet sein, wobei durch einfaches Auswechseln der Feder gegen solche mit unterschiedlichen Federkonstanten unter Beibehaltung desselben Sensortopfes das Meßgerät auf unterschiedliche Druckwerte kalibriert werden kann, bei denen die Betätigung der Schaltkontakte eintreten soll.

Eine einfache Ausbildung des Sensorgehäuses besteht darin, daß es zylinderförmig gestaltet und als Druckkammer axialbeweglich in der Referenzkammer aufgenommen ist, und daß eine der Stirnflächen des Zylinderrandes an einer sich an der Referenzkammer abstützenden Druckfeder anliegt. Die zylinderförmige Druckkammer kann mit einfachen Mitteln, z. B. mit einem O-Ring, in der Referenzkammer aufgenommen sein und durch ihre Axialbewegung, dem Druck in der Druckkammer folgend, entgegen der Druckwirkung der Druckfeder den Schaltkontakt betätigen, indem eine ihrer Stirnflächen an einen Anschlag am Stützring der Referenzkammer stößt. Zur Verwirklichung des Druckschalters braucht dann das Sensorgehäuse nur elektrisch isoliert gegenüber der Referenzkammer ausgebildet zu sein, wobei nach Berührung der Stirnfläche des Zylinderrandes mit dem Stützring ein Masseschluß zum Schaltkontakt gebildet wird und somit der Druckschalter betätigt ist.

Eine weitere günstige Ausbildungsform des Meßgerätes besteht darin, daß das Diaphragma als eine zwischen der Druckkammer und der Referenzkammer druckdicht eingespannte hubbewegliche Membran ausgebildet ist, deren unter der Druckwirkung in der Druckkammer erfolgte Wegauslenkung den Schaltkontakt betätigt, und daß die Verformung der Membranfläche nach Erreichen der vorgegebenen Auslenkung das Maß für den in der Druckkammer vorherrschenden Druck bildet. Eine derartige Ausführungsform zeichnet sich dadurch aus, daß auf zusätzliche bewegliche Teile verzichtet werden kann, und die Auslenkung der Membran als einziges Maß sowohl für die Druckmessung als auch für die Betätigung des Druckschalters herangezogen werden kann. Die Membran besitzt dabei beispielsweise zwischen ihrer Membranfläche und der Einspannstelle im Gehäuse einen biegeelastischen Wulst als Aufhängung, der die Membran bei fehlender Druckeinwirkung in ihrer Ruhestellung beläßt, und sobald sich in der Druckkammer ein Druck aufbaut, wird die Membran entgegen der Rückhaltekraft des Wulstes verschoben, bis sie die erforderliche Auslenkung erfährt, um den Schaltkontakt zu betätigen. Durch geeignete Materialwahl für den Wulst und dessen geeignete Formgebung sowie durch die Befestigungsart der Membran an dem Gehäuse ist eine reversible Biegeelastizität erreichbar, die unter Druckeinwirkung die erforderliche Auslenkung, und bei Druckabfall die Rückkehr der Membran in ihre ursprüngliche Ausgangslage ermöglicht.

Geeignete Materialien für das Diaphragma sind insbesondere Oxidkeramiken, auf welcher Dickschichtwiderstände aufgebracht sind, die elektrisch zu einer Widerstandsmeßbrücke verschaltet sind; zusätzlich können auch noch elektrische Verstärkerschaltungen zur Weiterverarbeitung des Drucksignals in Dünnschichttechnik aufgebracht sein. Wird als Material für das Diaphragma eine Metallmembran gewählt, können auf ihr Dehnungsmeßstreifen zur Erzeugung der der Wegauslenkung proportionalen Signale aufgebracht sein.

Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird anhand einer schematischen Zeichnung dargestellt und im folgenden näher erläutert.

Es zeigen:

Fig. 1 einen Schnitt durch den Meßkopf mit einem verschiebbaren Sensorgehäuse,

Fig. 2 einen Teilschnitt aus dem Meßkopf mit dem Drucksensor als hubbeweglicher Membran,

Fig. 3 eine Detaildarstellung der Membran aus Fig. 2.

Der in Fig. 1 dargestellte Meßkopf besitzt als Grundkörper einen Sensorkopf (1), welcher über einen Gewindeanschluß (2) an einen nicht dargestellten Druckgasbehälter oder an ein druckgasführendes Leitungssystem angeschlossen werden kann. Der zu überwachende Druck wird mittels eines Druckkanals (3) im Gewindeanschluß (2) zu einer Druckkammer (4) geführt. Die Druckkammer (4) enthält ein zylinderförmiges Sensorgehäuse (5), welches topfförmig ausgebildet ist und als Boden ein Sensorelement (6) besitzt, welches im Hinblick auf den zu messenden Druck als ein Diaphragma zwischen der Druckkammer (4) und einer sich anschließenden Referenzkammer (7) angesehen werden kann. Das Sensorgehäuse (5) ist innerhalb des Sensorkopfes (1) axialbeweglich aufgenommen und gegenüber der Druckkammer (4) durch einen O-Ring (8) abgedichtet. Das Sensorelement (6) trägt auf seiner der Referenzkammer (7) zugewandten Oberfläche in Dickschichttechnik aufgetragene Widerstandsbahnen (9), welche zu einer Widerstandsmeßbrücke verbunden sind und den eigentlichen Drucksensor bilden. Die Dickschichtwiderstände (9) sind über Sensorleitungen (10) zur Weiterverarbeitung an eine Leiterplatte (11) angeschlossen. Die Stirnfläche (12) des zylinderförmigen Sensorgehäuses (5) trägt zwei auf dieser ringförmig aufliegenden Kontaktflächen (13, 13a), welche ihrerseits mit einer Kontaktzuführungsleitungen (14, 14a) an die Leiterplatte (11) angeschlossen sind. In die Referenzkammer (7) ist ein Stützring (15) eingeschraubt, welcher mit seinem Hals (16) den elektrischen Schaltkontakt (17) für die Kontaktflächen (13, 13a) bildet. Das Sensorgehäuse (5) ist durch eine Druckfeder (18), die sich gegen den Stützring (15) abstützt, in räumlichem Abstand zu dem Hals (16) gebracht, so daß die Kontaktflächen (13, 13a) von dem elektrischen Schaltkontakt (17) um eine Wegstrecke (19) als Auslenkung entfernt sind. Da der Druckkanal (3) mit einem geringeren Durchmesser in die Druckkammer (4) mündet, als der Durchmesser des Sensorgehäuses (5) beträgt, stützt sich das Sensorgehäuse (5) in der Druckkammer (4) gegen deren Boden ab. Innerhalb des Sensorkopfes (1) ist somit das Sensorgehäuse (5) über die O-Ring-Dichtung (8) gleitend um die Wegstrecke (19) verschiebbbar aufgenommen. Die Sensorzuleitungen (10) sowie die Kontaktzuführungsleitungen (14, 14a) sind auf der Leiterplatte (11) an weitere, der Signalverarbeitung dienende elektronische Baugruppen angeschlossen. Die Leiterplatte (11) ist in einem Platinenraum (20) aufgenommen, der sich an die Referenzkammer (7) anschließt. Die Leiterplatte (11) ist mit einer Bohrung (21) versehen, die eine druckmäßige Verbindung zwischen Platinenraum (20) und einem Anschlußraum (22) herstellt, in welchen ein Signalkabel (23) mit seinen Signalleitungen (24) ebenfalls an die Leiterplatte (11) angeschlossen ist. Das Signalkabel (23) ist durch eine Verschlußkappe (25) geführt, die den Anschlußraum (22) von der Umgebung abtrennt, der jedoch druckmäßig über einen Druckausgleichskanal (26) mit der Umgebung verbunden ist. Die Umgebung kann dem Atmosphärendruck oder einem vom Atmosphärendruck abweichenden Druck unterliegen. Wenn eine Differenz-Druckmessung durchgeführt werden soll, ist der Druckausgleichskanal (26) geöffnet, und wenn eine Absolut-Druckmessung durchgeführt werden soll, ist der Anschlußraum (22) druckdicht abgeschlossen und ggf. evakuiert.

Bei Druckbeaufschlagung durch den in dem nicht dargestellten Druckgasbehälter befindlichen Druck über den Druckkanal (3) wird bei Erreichen eines bestimmten vorgebbaren, durch die Kraft der Druckfeder (18) festgelegten Wertes das Sensorgehäuse (5) im O-Ring (8) gleitend um die Wegstrecke (19) gegen den Hals (16) des Stützringes (15) bewegt. Das Sensorgehäuse (5) ist aus elektrisch isolierendem Material hergestellt, so daß die Kontaktflächen (13, 13a), die über die Kontaktzuführungsleitungen (14, 14a) mit der Leiterplatte (11) verbunden sind, bei Berührung des Schaltkontaktes (17) elektrisch leitend verbunden werden. Der daraus resultierende Stromfluß in den Kontaktzuführungsleitungen (14, 14a) wird der Leiterplatte (11) und über des Signalkabel (23) einer ebenfalls nicht dargestellten Überwachungseinrichtung zugeleitet, die aufgrund des empfangenen Schaltsignals den elektrischen Meß- und Verstärkerkreis für die nachfolgende Druckmessung an die Versorgungsspannung legt.

Nach Zurücklegen der Wegstrecke (19) als Auslenkung des Diaphragmas (6) ist das Sensorgehäuse (5) durch den Anschlag seiner Stirnfläche (12) an den Hals (16) blockiert und an einer weiteren Auslenkung gehindert. Der in der Druckkammer (4) vorherrschende Druck wölbt daher das Diaphragma (6) aus, so daß dessen Krümmung in der Widerstandsbrücke (9) ein dem Druck proportionales Signal erzeugt, welches über die Sensorleitungen (10), die Platine (11) und das Signalkabel (23) an die Überwachungseinrichtung zur Anzeige bzw. Weiterverarbeitung geleitet wird. Bei Über- oder Unterschreitung von vorgebbaren Druckschwellenwerten kann gegebenenfalls die Überwachungseinrichtung entweder eine entsprechende Warnung auslösen, oder das dem Druck proportionale Signal wird dazu benutzt, den Druck im Leitungssystem durch geeignete Stellglieder zu regeln.

In Fig. 2 ist ein Teilschnitt des Sensorkopfes (1) gezeigt, welcher lediglich von dem Druckkanal (3) ausgehend bis zur Referenzkammer (7) dargestellt ist.

Übereinstimmende Einzelheiten mit der Fig. 1 wurden mit denselben Bezugsziffern der Fig. 1 versehen. Die Membran besteht aus einem Einspannrand (41), einer Membransicke (38) aus Elastomer und der Druckmeßmembran (6) aus Metall oder Keramik. Die Membran wird mit dem Einspannrand (41) mit dem Stützring (15), der in den Sensorkopf (1) eingeschraubt ist, gegen den Sensorkopf (1) eingespannt und trennt den Druckraum (4) druckdicht von der Referenzkammer (7) ab. Durch die bewegungselastische Verformbarkeit der Membransicke (38) wird die Auslenkung (19) der Druckmeßmembran (6) möglich, die unter der Druckeinwirkung in der Druckkammer (4) in Richtung der Referenzkammer (7) erfolgt, bis die Druckmeßmembran (6) gegen das ringförmige Auflager (39) am Steg (40) des Stützringes (15) stößt. Der von der Druckmeßmembran (6) aus ihrer Ruhelage gemäß Fig. 2 in die Endlage gemäß Fig. 3 zurückgelegte Wegstrecke bildet die Auslenkung (19), die zur Betätigung des elektrischen Schaltkontaktes (32) führt, der als ein Reedkontakt mit dazugehöriger Kontaktzuführungsleitung (14, 14a) ausgeführt ist.

In Fig. 3 ist in vergrößerter Einzeldarstellung der Fig. 2 die Druckmeßmembran (6) gezeigt, nachdem sie unter Druckeinwirkung in der Druckkammer (4) die Auslenkung (19) durchlaufen hat und an dem Auflager (39) anliegt. An ihrem Randbereich setzt sich die Druckmeßmembran (6) durch die Membransicke (38) fort, deren Einspannrand (41) zwischen dem Sensorkopf (1) und dem Stützring (15) eingeklemmt ist. Der Begrenzer (40) ist Bestandteil des Stützrings (15) und trägt den Reedkontakt (32) als Schaltkontakt, der durch das nahe Heranbringen eines Dauermagneten (31), welcher auf der dem Steg (40) zugewandten Oberfläche der Druckmeßmembran (6) aufgebracht ist, betätigt wird und einen symbolhaft durch die beiden Kontaktzuführungsleitungen (14, 14a) dargestellten Schaltkreis schließt, wodurch die Versorgungsspannung aus einer nicht dargestellten Versorgungseinheit über die Sensorleitungen (10) an die Dehnungsmeßstreifen (9) gelegt wird, die zu einer Meßbrücke verschaltet sind, und deren Ausdehnung infolge der Druckwirkung in der Druckkammer (4) ein dem Druck proportionales Signal erzeugen. Die Druckmeßmembran (6) selbst besteht aus Metall oder Keramik, an deren Randfläche (42) die aus gummielastischem Werkstoff geformte Membransicke (38) anvulkanisiert oder angeklebt ist.

Claims (7)

1. Meßkopf für ein Druckmeßgerät für ein Fluid (Gas, Flüssigkeit), von dem über ein Sensorelement ein dem zu erfassenden Druck proportionales Signal abgreifbar ist, indem das Sensorelement als ein flächenhaftes Diaphragma an einem Sensorgehäuse angebracht ist, wodurch eine Druckkammer von einer Referenzkammer abgeteilt ist, und indem es infolge des in der Druckkammer herrschenden Druckes eine dem Druckwert proportionale Verformung erfährt, durch die ein als Druckmeßwert abgreifbares elektrisches Signal erzeugt wird, dadurch gekennzeichnet, daß das Diaphragma (6) mit Kontaktflächen (13, 13a, 31) versehen ist, die nach Zurücklegen einer vorgebbaren Auslenkung (19) des Diaphragmas (6) mit einem relativ zur Bewegung des Diaphragmas (6) feststehenden elektrischen Schaltkontakt (17, 32) in Eingriff gebracht ist, und daß das Diaphragma (6) nach Erreichen der Auslenkung (19) blockiert ist, so daß die nunmehr unter der vorherrschenden Druckwirkung in der Druckkammer (4) sich ausbildende Verformung des Diaphragmas (6) das als Druckmeßwert abgreifbare elektrische Signal erzeugt.

2. Meßkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Diaphragma (6) mindestens einen Dauermagneten (31) trägt, der bei Zurücklegen der vorgebbaren Auslenkung (19) mit einem Reedkontakt (32) als Schaltkontakt in Wirkverbindung gebracht ist.

3. Meßkopf nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Diaphragma als der Boden (6) eines topfförmigen Sensorgehäuses (5) ausgebildet ist, welches in der Druckkammer (4) verschiebbar aufgenommen ist und die Druckkammer (4) von der Referenzkammer (7) druckdicht abteilt, und daß das Sensorgehäuse (5) bzw. der Boden (6) gegen ein federelastisches und dem Druck entgegenwirkendes Element (18, 38) abgestützt ist und unter Einwirkung des Druckes in der Druckkammer (4) die zur Betätigung des Schaltkontaktes (17, 32) erforderliche Auslenkung (19) in Folge einer Verschiebung erfährt.

4. Meßkopf nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Sensorgehäuse (5) zylinderförmig ausgebildet und als Druckkammer (4) axialbeweglich relativ zur Referenzkammer (7) in dem Sensorkopf (1) aufgenommen ist, daß eine der Stirnflächen (12) des Zylinderrandes an einer Druckfeder (18) anliegt, die sich an einem Stützring (15) der Referenzkammer (7) abstützt, und daß die Stirnfläche (12) einerseits und ein Anschlag (17) am Stützring (15) andererseits jeweils die Kontaktfläche und den Schaltkontakt bilden.

5. Meßkopf nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Diaphragma als eine zwischen der Druckkammer (4) und der Referenzkammer (7) druckdicht eingespannte, hubbewegliche Membran (6, 38) ausgebildet ist, deren unter der Druckwirkung in der Druckkammer (4) erfolgte Wegauslenkung (19) den Schaltkontakt (17, 32) betätigt, und daß die Verformung der Membranfläche (6) nach Erreichen der vorgegebenen Auslenkung (19) das Maß für den in der Druckkammer (4) vorherrschenden Druck bildet.

6. Meßkopf nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß das Diaphragma aus einer Oxidkeramikmembran (6) besteht, auf welcher Dickschichtwiderstände (9), elektrisch zu einer Widerstandsmeßbrücke verschaltet, als Sensor aufgebracht sind, die unter Verformung der Membran (6) das als Druckmeßwert abgreifbare elektrische Signal erzeugen.

7. Meßkopf nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß das Diaphragma (6) aus Metall besteht, auf welcher Dehnungsmeßstreifen (9) als Sensor aufgebracht sind, die unter Verformung der Membran (6) das als Druckmeßwert abgreifbare elektrische Signal erzeugen.