DE4202606A1

DE4202606A1 - Device for focusing a light beam in at least two focus points

Info

Publication number: DE4202606A1
Application number: DE19924202606
Authority: DE
Inventors: Klaus Behler; Eckhard Beyer; Harald Schmidt
Original assignee: Fraunhofer Gesellschaft zur Forderung der Angewandten Forschung eV
Current assignee: Fraunhofer Gesellschaft zur Forderung der Angewandten Forschung eV
Priority date: 1990-07-31
Filing date: 1992-01-30
Publication date: 1993-09-30
Anticipated expiration: 2012-01-31
Also published as: DE4024299A1; DE4202606C2; DE4024299C2

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zum Fokussieren eines Lichtstrahles in wenigstens zwei Fokuspunkten gemäß dem Oberbegriff der Patentansprüche 1 bzw. 3.The invention relates to a device for Focusing a light beam in at least two Focus points according to the preamble of the claims 1 or 3.

Eine derartige Vorrichtung ist in der deutschen Patent anmeldung P 40 24 299.4 beschrieben, zu der die vorlie gende Anmeldung eine Zusatzanmeldung ist. Such a device is in the German patent registration P 40 24 299.4 for which the present registration is an additional registration.

Bei einer Reihe von Anwendungen ist es erforderlich, einen Lichtstrahl in mehr als einem Fokuspunkt bzw. -fleck zu fokussieren; dabei müssen in der Regel die einzelnen Fokuspunkte in einer vorgebbaren Positionsbe ziehung zueinander stehen; ferner ist es häufig erfor derlich, die Intensität des Lichtstrahles in bestimmter Weise auf die einzelnen Fokuspunkte aufzuteilen:A number of applications require a light beam in more than one focus point or - focus spot; usually the individual focus points in a predefinable position area draw to each other; furthermore it is often required derlich, the intensity of the light beam in certain To divide into the individual focus points:

Beispielsweise können die beim Laserstrahl-Schweißen bei hohen Prozeßgeschwindigkeiten auftretenden Nahtfeh ler, wie Nahtaufwurfe, Löcher etc. durch Strahlteilung bzw. Verwendung mehrerer diskreter Fokuspunkte elimi niert werden; (hierbei wird - wie auch in der folgenden Beschreibung - unter einem Fokuspunkt bzw. Fokusfleck kein Punkt im mathematischen Sinne, sondern der Bereich "der kleinsten Einschnürung" des Licht- bzw. Laser strahles verstanden).For example, in laser beam welding seam seam occurring at high process speeds such as seam poses, holes etc. by beam splitting or use of multiple discrete focus points elimi be kidneyed; (Here - as in the following Description - under a focus point or focus spot not a point in the mathematical sense, but the area "the smallest constriction" of the light or laser understood beam).

Zur Fokussierung eines Lichtstrahles in wenigstens zwei Fokuspunkten ist in der Hauptanmeldung P 40 24 299.4 eine Vorrichtung vorgeschlagen worden, die ein Fokus sierelement und ein Spiegelelement aufweist. Das Spie gelelement hat eine wenigstens der Zahl der Fokuspunkte entsprechende Zahl von Spiegelflächen, die sich jeweils längs einer Linie berühren, und deren Flächennormale längs dieser Linie einen Winkel << 0° einschließen, so daß das Spiegelelement den Lichtstrahl in eine der Zahl der Fokuspunkte entsprechende Zahl von Teilstrahlen auf spaltet. Zur Variation der Strahlintensität in den einzelnen Fokuspunkten und des Abstandes der einzelnen Fokuspunkte ist das Spiegelelement relativ zum auftref fenden Lichtstrahl bewegbar. For focusing a light beam in at least two The focus is on the main application P 40 24 299.4 a device has been proposed that has a focus Sierelement and a mirror element. The game gelelement has at least the number of focus points corresponding number of mirror surfaces, each one touch along a line and its surface normal Include an angle << 0 ° along this line, see above that the mirror element converts the light beam into one of the number number of partial beams corresponding to the focus points on splits. For varying the beam intensity in the individual focus points and the distance of the individual The focal point is the mirror element relative to the impact light beam movable.

Bei der in der Hauptanmeldung P 40 24 299.4 beschriebe nen Vorrichtung ändert sich jedoch die Länge des Licht weges bei einer Verschiebung des Spiegelelements. Dies ist bei bestimmten Einsatzfällen nachteilig:In the P 40 24 299.4 described in the main application NEN device, however, changes the length of the light way when the mirror element moves. This is disadvantageous in certain applications:

Beispielsweise dann, wenn der Fokuspunkt der Teilstrah len genau auf der Oberfläche des Werkstucks, das bear beitet wird, liegen soll, ist es bei einer Bewegung des Spiegelelements erforderlich, auch das Fokussierelement und gegebenenfalls den Laser so zu verschieben, daß der Abstand zwischen Fokussierelement und Werkstückoberflä che gleich der Brennweite bzw. der Schnittweite des Fokussierelements bleibt.For example, if the focal point of the partial beam len exactly on the surface of the workpiece, the bear processed, should be, it is with a movement of the Mirror element required, including the focusing element and if necessary to move the laser so that the Distance between focusing element and workpiece surface che equal to the focal length or the focal length of the Focusing element remains.

Darüber hinaus ist es mit der in der Hauptanmeldung P 40 24 299.4 beschriebenen Vorrichtung immer dann, wenn der Lichtstrahl in mehr als zwei Fokuspunkte aufgeteilt wird, nicht möglich, den Abstand zwischen einzelnen Fokuspunkten unabhängig von dem Abstand zwischen ande ren Fokuspunkten zu ändern.In addition, it is with the in the main application P 40 24 299.4 described device whenever the Beam of light divided into more than two focus points will, not possible, the distance between each Focus points regardless of the distance between others change their focus points.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die aus der Hauptanmeldung P 40 24 299.4 bekannte Vorrichtung zum Fokussieren eines Lichtstrahles in wenigstens zwei Fokuspunkten derart weiterzubilden, daß die Länge des Lichtweges bei einer Verschiebung des Spiegelelements konstant bleibt, und/oder bei einer Aufteilung des Lichtstrahles in mehr als zwei Fokuspunkte der Abstand zwischen einzelnen Fokuspunkten unabhängig von dem Abstand zwischen anderen Fokuspunkten geändert werden kann.The invention is based, which from the Main application P 40 24 299.4 known device for Focusing a light beam in at least two Develop focus points such that the length of the Light path when the mirror element is displaced remains constant, and / or if the Beam of light in more than two focus points the distance between individual focus points regardless of that Distance between other focus points can be changed can.

Eine erfindungsgemäße Lösung dieser Aufgabe ist in den Patentansprüchen 1 bzw. 3 gekennzeichnet. An inventive solution to this problem is in the Claims 1 and 3 marked.

Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprü chen angegeben.Developments of the invention are in the dependent claims Chen specified.

Gemäß Anspruch 1 ist im fokussierten Lichtweg ein Um lenkelement vorgesehen, das den Strahlengang derart umlenkt, daß die aufgespaltenen Teilstrahlen in etwa parallel zu dem nicht aufgespaltenen Lichtstrahl vor dem Umlenk- bzw. Spiegelelement verlaufen.According to claim 1 is an order in the focused light path Steering element provided that the beam path in such a way deflects that the split partial beams approximately parallel to the non-split light beam the deflection or mirror element.

Hierdurch kann der Lichtweg bei einer Verschiebung des Spiegelelement zumindest annähernd konstant gehalten werden. Bei der im Anspruch 5 gekennzeichneten Ver schiebung des Umlenkelements gemeinsam mit dem bzw. den Spiegelelement(en) ist sogar eine exakte Konstanthal tung des Lichtweges möglich.As a result, the light path when the Mirror element kept at least approximately constant will. In the marked in claim 5 Ver shift the deflection element together with the or Mirror element (s) is even an exact constant direction of the light path possible.

Selbstverständlich ist es möglich, daß die einzelnen Spiegelflächen des Spiegelelements und/oder des Umlenk elements eine optische Wirkung haben, d. h. die einzel nen Spiegelflächen können Konkav- oder Konvex-Spiegel elemente mit einer gegebenenfalls asphärischen Krümmung sein. Darüber hinaus ist es auch möglich, daß die ein zelnen Spiegelflächen in ihren Hauptschnitten unter schiedliche Krümmungen haben, so daß sie zusätzlich zu einer fokussierenden Wirkung auch eine ana-morphotische Wirkung haben können.Of course, it is possible that the individual Mirror surfaces of the mirror element and / or the deflection elements have an optical effect, d. H. the single Mirror surfaces can be concave or convex mirrors elements with a possibly aspherical curvature be. In addition, it is also possible that the one individual mirror surfaces in their main sections below have different curvatures so that they are in addition to a focusing effect also an ana-morphotic Can have an effect.

Eine besonders einfache Ausbildung des erfindungsgemäßen Spiegelelements erhält man jedoch dann, wenn ein getrenn tes Fokussierelement vorgesehen und das Spiegelelement zwischen diesem Fokussierelement und dem Ort der Fokus punkte angeordnet ist (Anspruch 6). A particularly simple embodiment of the invention However, mirror elements are obtained when a separate one tes focusing element and the mirror element between this focusing element and the location of the focus points is arranged (claim 6).

Dabei ist es nach Anspruch 2 besonders bevorzugt, wenn das Umlenkelement im Lichtweg zwischen dem (separaten) Fokussierelement und dem Spiegelelement vorgesehen ist. Bei der umgekehrten Anordnung werden durch das Umlenk element Abbildungsfehler, wie astigmatische Fehler er zeugt. Darüberhinaus beeinflußt das Umlenkelement ge ringfügig den Abstand der Fokuspunkte.It is particularly preferred according to claim 2 if the deflection element in the light path between the (separate) Focusing element and the mirror element is provided. In the reverse arrangement, the deflection element aberrations like astigmatic errors testifies. In addition, the deflecting element affects ge slightly the distance between the focus points.

Bei der im Anspruch 3 angegebenen Weiterbildung der in der Hauptanmeldung P 40 24 299.4 beschriebenen Erfin dung sind zwei oder mehr Spiegelelemente vorgesehen, von denen jedes den auf es auftreffenden Lichtstrahl bzw. die auf es auftreffenden Lichtstrahlen in eine Zahl von Teilstrahlen aufspaltet, die kleiner als die insgesamt vorgegebene Zahl von Teilstrahlen ist.In the further training specified in claim 3 in the main application P 40 24 299.4 two or more mirror elements are provided, each of them the light beam hitting it or the light rays striking it into one Number of partial beams split smaller than that total number of partial beams.

Hierdurch erhält man nicht nur eine baulich einfache Ausführung, sondern vor allem bei der im Anspruch 4 gekennzeichneten Weiterbildung, bei der die einzelnen Spiegelelemente unabhängig voneinander bewegbar sind, die Möglichkeit, den Abstand und die Intensität einzel ner Fokuspunkte unabhängig von anderen Fokuspunkten einzustellen.This not only gives you a structurally simple Execution, but especially in the case of claim 4 labeled training, in which the individual Mirror elements can be moved independently of one another, the ability to individually distance and intensity focus points independently of other focus points adjust.

Im Anspruch 7 sind einfache bauliche Ausführungen, namlich gefaster Planspiegel und Prisma mit planen Flächen, für das Spiegelelement angegeben. Die Zahl der Fasen ist dabei um eins kleiner als die Zahl der ge wünschten Fokuspunkte. Selbstverständlich ist es aber auch bei Verwendung eines getrennten Fokussierelementes möglich, den Spiegelelementen eine optische Wirkung zu geben, um beispielsweise die Form des "Fokusfleckes" in bestimmter Weise zu beeinflussen. In claim 7 are simple structural designs, namely planed plan mirror and prism with plan Areas specified for the mirror element. The number of Chamfering is one less than the number of ge wanted focus points. Of course it is even when using a separate focusing element possible to give the mirror elements an optical effect give, for example, the shape of the "focus spot" in to influence in a certain way.

Wenn beispielsweise der Lichtstrahl lediglich in zwei Fokuspunkte aufgeteilt werden soll und ein zusätzliches Fokussierelement verwendet wird, ist - wie bereits erwähnt - das Spiegelelement bevorzugt ein einfach gefaster Plan spiegel. Dieser einfach gefaste Planspiegel kann zur Aufteilung der Strahlintensität auf die beiden Fokus punkte senkrecht zum auftreffenden Lichtstrahl sowie zur Fase und zur Variation des Abstandes der beiden Fokuspunkte in Richtung des auftreffenden Lichtstrahles verschoben werden.For example, if the light beam is only in two Focus points should be split and an additional one Focusing element is used - as already mentioned - The mirror element prefers a simple chamfered plan mirror. This simply chamfered plane mirror can be used Distribution of the beam intensity between the two focus points perpendicular to the incident light beam and to chamfer and to vary the distance between the two Focus points in the direction of the incident light beam be moved.

Bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung können das oder die Spiegelelemente in gleicher Weise wie bei der in der Hauptanmeldung beschriebenen Vorrichtung in Rich tung des auf das Spiegelelement auftreffenden Licht strahls sowie senkrecht hierzu verschoben werden (An spruch 8). Dabei ist es besonders vorteilhaft, wenn nach Anspruch 9 das Spiegelelement ein einfach gefaster Planspiegel oder das Prisma ein Dachkantprisma ist, und wenn das Spiegelelement zur Aufteilung der Strahlinten sität auf die beiden Fokuspunkte senkrecht zum auftref fenden Lichtstrahls sowie zur Fase und zur Variation des Abstandes der beiden Fokuspunkte in Richtung des auftreffenden Lichtstrahles verschiebbar ist.In the device according to the invention, the or the mirror elements in the same way as in the the device described in the main application in Rich direction of the light striking the mirror element beam as well as perpendicular to it (An Proverbs 8). It is particularly advantageous if according to claim 9, the mirror element a simply chamfered Plane mirror or the prism is a roof prism, and if the mirror element for dividing the jet inks on the two focus points perpendicular to the impact light beam as well as for chamfering and variation the distance between the two focus points in the direction of the incident light beam is displaceable.

Weiterhin kann die Bewegung des Spiegelelements nicht nur eine translatorische Bewegung in Richtung des auf treffenden Lichtstrahls sowie senkrecht hierzu, sondern auch eine rotatorische Bewegung, d. h. eine Kipp-, Dreh- und/oder Schwenkbewegung (Anspruch 10) sowie eine Kom bination dieser Bewegungen sein.Furthermore, the movement of the mirror element cannot just a translatory movement towards the hitting light beam and perpendicular to it, but also a rotational movement, i.e. H. a tilting, rotating and / or pivoting movement (claim 10) and a comm combination of these movements.

Das Spiegelelement kann dabei sowohl von Hand als auch durch eine an sich bekannte (mehrachsige) Verstellvor richtung bewegt werden, die wiederum von einer Steuer- bzw. Regeleinheit oder dgl. betätigt wird.The mirror element can be done both by hand and through a known (multi-axis) adjustment device direction, which in turn is controlled by a or control unit or the like. is actuated.

Insbesondere dann, wenn als Lichtquelle ein Laser hoher Leistung oder ein im UV-Bereich arbeitender Laser ver wendet wird, ist es von besonderem Vorteil, wenn als Fokussierelement kein transmittierendes Element, son dern ein reflektierendes Element wie beispielsweise ein Konkavspiegel verwendet wird (Anspruch 11).Especially when a high laser is used as the light source Power or a laser working in the UV range is used, it is particularly advantageous if as Focusing element no transmitting element, son a reflective element such as a Concave mirror is used (claim 11).

Die erfindungsgemäße Vorrichtung kann immer dann einge setzt werden, wenn es erforderlich ist, einen Licht strahl in mehrere fokussierte Teilstrahlen aufzuspal ten, wie dies beispielsweise beim Bearbeiten und insbe sondere beim Schweißen einer Oberfläche mittels eines Lasers erforderlich ist.The device according to the invention can then always be turned on be put a light if necessary splitting the beam into several focused partial beams ten, such as when editing and esp especially when welding a surface using a Lasers is required.

Beispielsweise beim Schweißen von Dosen ist es zum Umstellen auf verschiedenen Formate von Vorteil, wenn die Einstellung des Abstandes der einzelnen Fokuspunkte und die Intensitätsaufteilung kontinuierlich erfolgen kann, wie dies bei Verwendung einer erfindungsgemäßen Vorrichtung zum Fokussieren eines Lichtstrahles in wenigstens zwei Fokuspunkten der Fall ist.For example, when welding cans it is Switching to different formats is an advantage if the setting of the distance between the individual focus points and the intensity distribution takes place continuously can, as is the case when using an inventive Device for focusing a light beam in at least two focus points is the case.

Die Erfindung wird nachstehend ohne Beschränkung des allgemeinen Erfindungsgedankens anhand von Ausführungs beispielen unter Bezugnahme auf die Zeichnung exempla risch beschrieben, auf die im übrigen bezüglich der Offenbarung aller im Text nicht näher erläuterten er findungsgemäßen Einzelheiten ausdrücklich verwiesen wird, und deren einzige Figur einen Querschnitt durch eine erfin dungsgemäße Vorrichtung zeigt. The invention is hereinafter without limitation general inventive concept based on execution examples with reference to the drawing exempla risch described on the rest of the Revelation of all not explained in the text explicitly referenced details will, and their only figure a cross section through an invented shows device according to the invention.

In der Figur ist eine Ausführungsform einer erfindungs gemäßen Vorrichtung dargestellt, die ohne Beschränkung des allgemeinen Erfindungsgedankens einen Lichtstrahl 1 mit einer Achse 1′ in zwei Teilstrahlen 11 und 12 auf spaltet, die an getrennten Orten in der Fokusebene F fokussiert werden.In the figure, an embodiment of a device according to the Invention is shown which splits a light beam 1 with an axis 1 'into two partial beams 11 and 12 without restriction of the general inventive concept, which are focused at separate locations in the focal plane F.

Mit s ist der Abstand der "Schwerpunkte" der beiden "Fokuspunkte", d. h. genauer gesagt der beiden Fokus flecke in der Fokusebene F bezeichnet.With s is the distance between the "focal points" of the two "Focus points", i.e. H. more precisely the two focus Marked spots in the focus plane F.

Die erfindungsgemäße Vorrichtung weist hierzu einen Konkavspiegel 2 auf, der den Lichtstrahl 1 fokussiert. Im Lichtweg nach dem Konkavspiegel 2 ist ein Umlenk element 4 angeordnet, das den Lichtstrahl um 90° um lenkt.For this purpose, the device according to the invention has a concave mirror 2 , which focuses the light beam 1 . In the light path after the concave mirror 2 , a deflection element 4 is arranged, which deflects the light beam by 90 °.

Nach dem Umlenkelement 4 ist ein Spiegelelement 3 ange ordnet, das bei der gezeigten Ausführungsform zwei Spiegelflächen 31 und 32 aufweist, die sich längs einer Linie 33 berühren und deren Flächennormale längs dieser Linie (bzw. Fase) einen Winkel << 0° einschließen; anders ausgedrückt ist das Spiegelelement 3 ein gefas ter Planspiegel. Ferner ist das Spiegelelement 3 so ausgebildet, daß es den Lichtstrahl 1 um ca. 90° um lenkt.After the deflecting element 4 , a mirror element 3 is arranged, which in the embodiment shown has two mirror surfaces 31 and 32 which touch along a line 33 and whose surface normal along this line (or chamfer) enclose an angle << 0 °; in other words, the mirror element 3 is a faced plane mirror. Furthermore, the mirror element 3 is designed such that it deflects the light beam 1 by approximately 90 °.

Das Spiegelelement 3 und das Umlenkelement 4 sind an zwei nicht dargestellten Linearführungen in x- und z- Richtung verschiebbar gehalten. Eine in z-Richtung verschobene Stellung der beiden Elemente ist in der Figur gestrichtelt dargestellt. In der gestrichelten Stellung ist der Abstand s′ zwischen den beiden Fokus punkten größer als in der mit ausgezogenen Linien dar gestellten Stellung.The mirror element 3 and the deflection element 4 are held on two linear guides, not shown, in the x and z directions. A position of the two elements displaced in the z direction is shown in broken lines in the figure. In the dashed position, the distance s' between the two focus points is larger than in the position shown with solid lines.

Die beschriebene Vorrichtung hat die Eigenschaft, daß unabhängig von der Stellung des Spiegelelements 3 und des Umlenkelements 4 der Lichtweg und damit der Abstand zwischen der optischen Achse 1′ des Lichtstrahls 1 und der Fokusebene F konstant bleibt, so daß keine Ver schiebung des Fokussierelements zur Fokussierung auf die Fokusebene F erforderlich wird.The device described has the property that regardless of the position of the mirror element 3 and the deflecting element 4, the light path and thus the distance between the optical axis 1 'of the light beam 1 and the focal plane F remains constant, so that no shifting of the focusing element to focus Ver to focus level F is required.

Vorstehend ist die Erfindung anhand eines Ausführungs beispiels ohne Beschränkung des allgemeinen Erfindungs gedankens beschrieben worden, innerhalb dessen selbst verständlich die verschiedensten Modifikationen möglich sind:The invention is based on an embodiment for example without limitation of the general invention has been described, within which itself understandably the most different modifications possible are:

Beispielsweise ist es möglich, das Spiegelelement 3 nicht nur translatorisch, sondern auch rotatorisch, beispielsweise durch Schwenken in einer in der Fase oder außerhalb der Fase liegende Schwenkachse zu bewe gen. Ferner kann das Spiegelelement 3 auch mehr als zwei Spiegelflächen aufweisen, so daß mehr als zwei Fokuspunkte entstehen. Weiterhin können die Spiegelele mente nicht nur Oberflächenspiegel, sondern auch Pris menelemente sein. Als Fokussierelement kann auch ein brechendes Element, wie ein Objektiv verwendet werden.For example, it is possible to move the mirror element 3 not only translationally, but also rotationally, for example by pivoting in a pivot axis lying in the chamfer or outside the chamfer. Furthermore, the mirror element 3 can also have more than two mirror surfaces, so that more than two focus points arise. Furthermore, the Spiegelele elements can not only be surface mirrors, but also prism elements. A refractive element, such as a lens, can also be used as the focusing element.

Auch können dann, wenn der Strahl in mehr als zwei Teilstrahlen aufgespalten werden soll, anstelle des Spiegelelements 3 mehrere getrennte Spiegelelemente verwendet werden.Also, if the beam is to be split into more than two partial beams, several separate mirror elements can be used instead of the mirror element 3 .

Claims

1. Device for focusing a light beam ( 1 ) in at least two focus points, with at least one focusing element ( 2 ) and at least one mirror element ( 3 ),
which has at least the number of focal points corresponding number of mirror surfaces ( 31 , 32 ), each touching along a line and the surface normal along this line enclosing an angle << 0 °, so that the mirror element blocks the light beam ( 1 ) into a number of partial beams ( 11 , 12 ) corresponding to the number of focus points, and
which can be moved relative to the incident light beam ( 1 ) in order to vary the beam intensity in the individual focus points and the distance between the individual focus points,
characterized in that a deflection element ( 4 ) is provided in the focused light path, which deflects the beam path in such a way that the split partial beams ( 11, 12 ) run approximately parallel to the non-split beam of light in front of the deflection or mirror element.

2. Device according to claim 1, characterized in that the deflecting element ( 4 ) is provided in the light path between the focusing element ( 2 ) and the mirror element ( 3 ).

3. Device for focusing a light beam ( 1 ) in at least two focus points, with at least one focusing element ( 2 ) and at least one mirror element ( 3 ),
which has at least the number of focal points corresponding number of mirror surfaces ( 31 , 32 ), each touching along a line and the surface normal along this line enclosing an angle << 0 °, so that the mirror element blocks the light beam ( 1 ) into a number of partial beams ( 11, 12 ) corresponding to the number of focus points, and
which can be moved relative to the incident light beam ( 1 ) in order to vary the beam intensity in the individual focus points and the distance between the individual focus points, or according to claim 1 or 2,
characterized in that two or more Spiegelele elements are provided, each of which splits the light beam striking it or the light beams striking it into a number of partial beams which is smaller than the overall predetermined number of partial beams.

4. The device according to claim 3, characterized in that the individual Spiegelele elements are movable independently of one another, so that the Distance and the intensity of individual focus points are independent are adjustable depending on other focus points.

5. Device according to one of claims 1 to 4, characterized in that the deflecting element ( 4 ) ge together with the or the mirror element (s) ( 3 ) can be pushed ver.

6. Device according to one of claims 1 to 5, characterized in that the or the Spiegelele element (e) between a focusing element ( 2 ) and the location (F) of the focus points are arranged.

7. Device according to one of claims 1 to 6, characterized in that the mirror element chamfered plane mirror or a prism with flat surfaces is.

8. Device according to one of claims 1 to 7, characterized in that the one or more mirror elements te in the direction (x) of the mirror element light beam and perpendicular to it (z) ver is slidable.

9. The device according to claim 8, characterized in that the mirror element simply chamfered plane mirror or the prism a da chkantprisma, and that the mirror element to the on distribution of the beam intensity to the two focus points in direction (x) perpendicular to the incident light beam as well as the chamfer and the variation of the distance of the two focus points in the direction (z) of the incident Beam is displaceable.

10. The device according to one of claims 1 to 9, characterized in that the mirror element pivots bar, rotatable and / or tiltable.

11. Device according to one of claims 1 to 10, characterized in that the focusing element ( 2 ) is a concave mirror.

12. Device according to one of claims 1 to 11, characterized in that the mirror element ( 3 ) and the deflecting element deflect the light beam ( 1 ) by approximately 90 °.