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DE4136300C1 - Michelson type interferometer using single rotating retroreflector - with aperture receiving split light beam halves deflected against each other by mirrors - Google Patents

Michelson type interferometer using single rotating retroreflector - with aperture receiving split light beam halves deflected against each other by mirrors

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DE4136300C1
DE4136300C1 DE4136300A DE4136300A DE4136300C1 DE 4136300 C1 DE4136300 C1 DE 4136300C1 DE 4136300 A DE4136300 A DE 4136300A DE 4136300 A DE4136300 A DE 4136300A DE 4136300 C1 DE4136300 C1 DE 4136300C1
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Germany
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retroreflector
axis
mirrors
rotation
interferometer
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Volker Dr.-Ing. 8088 Eching De Tank
Peter Dipl.-Ing. 8035 Gauting De Haschberger
Burkhard 4517 Hilter De Jansen
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Deutsches Zentrum fuer Luft und Raumfahrt eV
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Deutsches Zentrum fuer Luft und Raumfahrt eV
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    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/28Investigating the spectrum
    • G01J3/45Interferometric spectrometry
    • G01J3/453Interferometric spectrometry by correlation of the amplitudes

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)

Abstract

A Michelson interferometer contains two plane mirrors (2a,2a';2b,2b') with a rotating retroreflector (1) and associated drive motor, two deflection mirrors (3a,3b'), a beam splitter (4), a collimating lens (5), a detector (6) and a laser reference unit. The retroreflector's rotation axis is laterally offset w.r.t. its triple point. The single retroreflector for both interferometer branches is arranged so that the half beams (100a', 100b') from the splitter are deflected into regions of its aperture which are opposite each other relative to the retroreflector's axis of rotation. The optical axes (10a',10b') of both beam halves are inclined w.r.t. each other by twice the inclination angle (alpha) of each w.r.t. the retroreflector's axis. USE/ADVANTAGE - Fourier transformation spectroscopy. High resolution achieved at relatively low equipment cost.

Description

Die Erfindung betrifft ein Interferometer nach Michelson nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs. Derartige Interferometer nach Michelson werden bei der Fourier-Transform-Spektroskopie (FTS) verwendet, bei welcher optische Wegdifferenzen durch rotierende Retroreflektoren erzeugt werden.The invention relates to an interferometer according to Michelson according to the preamble of the claim. Such Michelson interferometers are used in Fourier transform spectroscopy (FTS) used in which optical path differences due to rotating retroreflectors be generated.

Es sind Michelson-Interferometer, welche auch als "Fourier-Spektrometer" bezeichnet werden bekannt, bei welchen optische Wegdifferenzen durch rotierende Retroreflektoren erzeugt werden (beispielsweise DE 40 05 491 A1). Dabei werden exzentrisch und geneigt "nutierende" Retroreflektoren verwendet. Zur Erzeugung größerer optischer Wegdifferenzen, also einer höheren spektralen Auflösung, werden zwei oder mehr Retroreflektoren in eine - bezogen auf die optische Wegänderung in beiden Interferometerarmen - asynchrone Rotation versetzt, wobei eine feste Phasenbeziehung der verschiedenen Drehbewegungen zueinander eingehalten werden muß.These are Michelson interferometers, which are also called "Fourier spectrometers" are known, in which optical Path differences generated by rotating retroreflectors be (for example, DE 40 05 491 A1). It will be eccentric and inclined "nutating" retroreflectors used. For generating larger optical path differences, So a higher spectral resolution, two or more more retroreflectors in one - based on the optical Path change in both interferometer arms - asynchronous rotation offset, with a fixed phase relationship of the various Rotational movements must be complied with each other.

Die bekannten Michelson-Interferometer mit rotierenden Retroreflektoren weisen jedoch folgende Nachteile auf:The well-known Michelson interferometers with rotating retroreflectors  However, they have the following disadvantages:

  • 1. Zur Erzeugung einer hohen spektralen Auflösung kann das Interferometer nicht mit nur einem Reflektor betrieben werden, sondern es sind zwei oder mehr dieser relativ teuren Elemente notwendig.1. To generate a high spectral resolution, the Interferometers are not operated with just one reflector, but there are two or more of these relatively expensive ones Elements necessary.
  • 2. Zur erforderlichen Einhaltung der festen Phasenbeziehung der verschiedenen Drehbewegungen der zwei oder mehr Retroreflektoren zueinander müssen aufwendige Maßnahmen getroffen werden. Eine sehr vorteilhafte Lösung ist der Antrieb jedes Retroreflektors mit einem eigenen Schrittschaltmotor und die "elektrische Kopplung" aller Motoren untereinander mittels nur eines gemeinsamen Steuertaktes für alle Motoren. Dies wiederum hat aber folgende Nachteile: Die mechanischen Vibrationen durch den Schrittbetrieb der Motoren übertragen sich auf den gesamten Aufbau in einer für das Meßsignal störenden Weise; diese Vibrationen müssen daher durch zusätzliche aufwendige, mechanische Dämpfungsmaßnahmen behoben werden. Ferner wird durch jeden zusätzlichen Antriebsmotor der gesamte Aufwand erhöht. Außerdem sind Schrittschaltmotoren grundsätzlich teurer als vergleichbare Gleichspannungsmotoren, welche für den Betrieb mit nur einem Retroreflektor ausreichen.
    Wenn zwei oder mehr Retroreflektoren von nur einem Motor angetrieben werden, so ist eine Kupplung über ein Getriebe erforderlich. Dadurch wird wiederum der Aufwand größer und durch ein nicht vollständig ausschließbares Getriebespiel und eine -vibration kommen zusätzliche Störquellen in den Aufbau.
    2. Complex measures must be taken to ensure compliance with the fixed phase relationship of the various rotational movements of the two or more retroreflectors. A very advantageous solution is the drive of each retroreflector with its own stepper motor and the "electrical coupling" of all motors with each other by means of only one common control clock for all engines. However, this in turn has the following disadvantages: The mechanical vibrations caused by the stepping operation of the motors are transmitted to the entire structure in a manner which interferes with the measuring signal; These vibrations must therefore be remedied by additional complex, mechanical damping measures. Furthermore, the entire effort is increased by each additional drive motor. In addition, stepper motors are generally more expensive than comparable DC motors, which are sufficient for operation with only a retroreflector.
    When two or more retroreflectors are driven by only one motor, a clutch via a transmission is required. As a result, in turn, the effort is greater and by a not completely excludable gear play and vibration additional sources of interference in the structure.
  • 3. Durch jeden weiteren Retroreflektor führen dessen optische Fehler zu einer zusätzlichen Verschlechterung der Qualität des optischen Signals des Geräts. Dies könnte nur durch Retroreflektoren extrem hoher Güte vermieden werden; die Folge wäre jedoch ein extrem teures Gerät. 3. Through each additional retroreflector perform its optical Error to an additional deterioration of quality the optical signal of the device. This could only be be avoided by retroreflectors extremely high quality; The result would be an extremely expensive device.  
  • 4. Um bei den bekannten Interferometern mit nur einem rotierenden Retroreflektor unerwünscht große, mechanische Dimensionen des Geräts zu vermeiden, ist auch im zweiten Interferometerarm ein (allerdings) fester Retroreflektor installiert, durch welchen vor allem der optische Weg gefaltet wird, und dadurch eine geringe mechanische Baugröße ermöglicht wird. Dadurch ergeben sich jedoch alle vorstehend schon beschriebenen Nachteile, welche auf die Verwendung eines zweiten Retroreflektors zurückzuführen sind.4. To the known interferometers with only one rotating Retroreflector undesirably large, mechanical dimensions to avoid the device is also in the second interferometer installed a fixed retroreflector (however), through which especially the optical path folded is, and thus allows a small mechanical size becomes. This, however, all result in the above already described disadvantages, which are due to the use a second retroreflector are due.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Interferometer nach Michelson zu schaffen, das mit relativ geringem technischen Aufwand eine hohe Auflösung ermöglicht.The invention is based on the object to create an interferometer to Michelson, that with relatively little technical effort high resolution allows.

Gemäß der Erfindung ist dies bei einem Interferometer nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs durch die Merkmale in dessen kennzeichnenden Teil erreicht. According to the invention, this is an interferometer according to the preamble of the claim by the Characteristics achieved in its characterizing part.  

Die erfindungsgemäße Ausführung eines Interferometers enthält somit nur einen rotierenden Retroreflektor; die hohe, mit einem geringen technischen Aufwand erreichte, spektrale Auflösung entspricht derjenigen, welche bisher nur mit zwei rotierenden Retroreflektoren erreichbar war. Trotz des geringen Aufwands sind gleichzeitig die möglichen Störquellen reduziert. Da beide Strahlenhälften durch denselben Reflektor laufen, sind sie "optisch gekoppelt". Daher kann der Antrieb mit einem einfachen Gleichstrommotor ohne ein Störungen bewirkendes Getriebe oder irgendwelche Störungen auslösende Schrittsteuerungen erfolgen und ist damit auch technisch weniger aufwendig.The inventive embodiment of an interferometer contains thus only a rotating retroreflector; the height, achieved with a low technical effort, spectral Resolution corresponds to that, which so far only with two rotating retroreflectors was reached. Despite the low Efforts are also the possible sources of interference reduced. Since both halves of the beam through the same reflector run, they are "optically coupled". Therefore, the drive can with a simple DC motor without any interference causing gearbox or any faults Stepping controls are done and is therefore also technical less expensive.

Nachfolgend wird die Erfindung anhand von bevorzugten Ausführungsformen unter Bezugnahme auf die anliegenden Zeichnungen im einzelnen erläutert. Es zeigtThe invention will be described below with reference to preferred embodiments with reference to the accompanying drawings explained in detail. It shows

Fig. 1 in Draufsicht eine schematische Darstellung einer Ausführungsform des erfindungsgemäßen Interferometers, und Fig. 1 in plan view a schematic representation of an embodiment of the interferometer according to the invention, and

Fig. 2 ebenfalls in Draufsicht eine schematische Darstellung einer weiteren Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Interferometers mit optimiertem Strahlengang. Fig. 2 also in plan view a schematic representation of another embodiment of an interferometer according to the invention with optimized beam path.

In Fig. 1 ist in Draufsicht ein drehbarer Retroreflektor 1 in zwei extremen, ausgezogen bzw. gestrichelt wiedergegebenen Drehstellungen dargestellt, dessen Drehachse 7 bezogen auf den Tripelpunkt des Retroreflektors 1 seitlich um einen Abstand L versetzt ist. Ferner sind zwei Planspiegel 2a und 2b mit je einer konzentrischen Bohrung 2a₁ bzw. 2b₁ sowie zwei Umlenkspiegel 3a und 3b dargestellt. Außerdem sind optische Achsen 10a und 10b eingetragen, sowie ein Strahlteiler 4, eine Sammellinse 5 und ein Detektor 6 wiedergegeben. Der Neigungswinkel der optischen Achsen 10a und 10b gegenüber der Drehachse 7 ist mit α bezeichnet.In Fig. 1, a rotatable retroreflector 1 is shown in two extreme, solid or dashed reproduced rotational positions in plan view, the axis of rotation 7 is offset relative to the triple point of the retroreflector 1 laterally by a distance L. Further, two plane mirrors 2 a and 2 b, each with a concentric bore 2 a₁ and 2 b₁ and two deflecting mirrors 3 a and 3 b shown. In addition, optical axes 10 a and 10 b are registered, as well as a beam splitter 4 , a converging lens 5 and a detector 6 reproduced. The angle of inclination of the optical axes 10 a and 10 b relative to the axis of rotation 7 is denoted by α.

Das Interferometer in Fig. 1 weist ferner die folgenden, aus Gründen der Übersichtlichkeit dort nicht wiedergegebenen Komponenten auf: einen (nicht dargestellten) Antriebsmotor, welcher den Retroreflektor 1 in bekannter Weise um die Drehachse 7 in Rotation versetzt, sowie eine bekannte Laserreferenz, die aus einem Laser, beispielsweise in Form eines HeNe-Lasers und aus einem Laserdetektor in Form einer strahlungsempfindlichen Silizium-Diode besteht.The interferometer in Fig. 1 also has the following, for reasons of clarity there not reproduced components: a (not shown) drive motor which rotates the retroreflector 1 in a known manner about the rotation axis 7 , and a known laser reference, the a laser, for example in the form of a HeNe laser and a laser detector in the form of a radiation-sensitive silicon diode.

Die auf den Strahlteiler 4 beispielsweise unter 45° auftreffende Strahlung wird in zwei zu den beiden optischen Achsen 10a und 10b jeweils symmetrische Hälften 100a und 100b zerlegt, welche auf die Planspiegel 3a bzw. 3b auftreffen, von diesen reflektiert werden, durch die Bohrungen 2a₁ und 2b₁ der Planspiegel 2a und 2b hindurchtreten und auf jeweils verschiedenen Seiten der Drehachse 7 in den Reflektor 1 eintreten. Die Strahlenhälften verlassen den Retroreflektor jeweils parallel zur Eintrittsrichtung, treffen senkrecht auf die Planspiegel 2a bzw. 2b auf, werden von diesen in sich selbst zurückreflektiert und laufen daher auf demselben Weg zurück zum Strahlteiler 4.The incident on the beam splitter 4, for example, at 45 ° radiation is split into two to the two optical axes 10 a and 10 b respectively symmetrical halves 100 a and 100 b, which impinge on the plane mirror 3 a and 3 b are reflected by them through the holes 2 a₁ and 2 b₁ of the plane mirror 2 a and 2 b pass and enter on each of different sides of the axis of rotation 7 in the reflector 1 . The beam halves leave the retroreflector each parallel to the direction of entry, meet perpendicular to the plane mirror 2 a and 2 b, are reflected back by these in itself and therefore run on the same path back to the beam splitter. 4

Am Strahlteiler 4 rekombinieren die beiden Strahlenbündel in bekannter Weise und ihre Summe wird von der Sammellinse 5 auf den Detektor 6 fokussiert. Wegunterschiede zwischen den beiden Bezugsflächen der Strahlenhälften kommen dadurch zustande, daß sich durch die Rotation des Retroreflektors 1 die Weglängen für die beiden Strahlenhälften 100a und 100b gegensinnig ändern, wobei die Spiegelflächen 2a bzw. 2b als Bezugsflächen dienen.At the beam splitter 4, the two beams recombine in a known manner and their sum is focused by the converging lens 5 on the detector 6 . Path differences between the two reference surfaces of the beam halves come about by the fact that change the path lengths for the two beam halves 100 a and 100 b in opposite directions by the rotation of the retroreflector 1 , wherein the mirror surfaces 2 a and 2 b serve as reference surfaces.

Die Anordnung in Fig. 2 entspricht in allen Einzelheiten derjenigen in Fig. 1 bis auf folgende Modifikation:The arrangement in Fig. 2 corresponds in all details to that in Fig. 1 except for the following modification:

In Fig. 2 trifft ein einfallendes Strahlenbündel auf den Strahlteiler 4 unter einem Winkel von 30° zum Lot auf. Daher schließen die optischen Achsen 10a′ und 10b′ der beiden Strahlenbündel beim Verlassen des Strahlteilers 4 einen Winkel von 120° ein. Daher treffen die Strahlenbündel 100a′ und 100b′ unter einem Winkel, der um jeweils 7,5° steiler als bei der Ausführungsform der Fig. 1 ist, auf die Umlenkspiegel 3a′ und 3b′, um unter dem Winkel α gegenüber der Drehachse 7 in den Retroreflektor 1 einzutreten. Auf diese Weise können kleinere Umlenkspiegel 3a′ und 3b′ verwendet und die Polarisationen an diesen reduziert werden.In Fig. 2, an incident beam impinges on the beam splitter 4 at an angle of 30 ° to the solder. Therefore, the optical axes 10 a 'and 10 b' of the two beams when leaving the beam splitter 4 form an angle of 120 °. Therefore, the beams 100 a 'and 100 b' at an angle which is steeper by 7.5 ° than in the embodiment of Fig. 1, on the deflecting mirrors 3 a 'and 3 b' to meet at the angle α the axis of rotation 7 enter the retroreflector 1 . In this way, smaller deflecting mirrors 3 a 'and 3 b' can be used and the polarizations can be reduced at these.

Bei den in Fig. 1 und 2 dargestellten Anordnungen läßt sich die spektrale Auflösung durch Veränderung des seitlichen Versatzes L der Drehachse 7 bezogen auf den Tripelpunkt des Retroreflektors 1 mechanisch einstellen. Bei einer Veränderung des Neigungswinkels α zur Einstellung der spektralen Auflösung müssen die übrigen Komponenten nachjustiert werden, insbesondere müssen auf jeden Fall die optischen Achsen 10a, 10b bzw. 10a′, 10b′ senkrecht auf den Spiegelflächen der Umlenkspiegel 2a, 2b bzw. 2a′, 2b′ stehen. In the arrangements shown in FIGS. 1 and 2, the spectral resolution can be adjusted mechanically by changing the lateral offset L of the axis of rotation 7 relative to the triple point of the retroreflector 1 . When changing the inclination angle α for adjusting the spectral resolution, the other components must be readjusted, in particular the optical axes 10 a, 10 b or 10 a ', 10 b' must in any case be perpendicular to the mirror surfaces of the deflecting mirrors 2 a, 2 b or 2 a ', 2 b' stand.

Nachstehend wird ein Beispiel für die Dimensionierung der wichtigsten Parameter gegeben:Below is an example of the sizing of the given the most important parameters:

Nutzbare Apertur des Retroreflektors|12,7 cmUsable aperture of the retroreflector | 12.7 cm Seitlicher Versatz L der DrehachseLateral offset L of the axis of rotation 21 mm21 mm Winkel α zwischen den optischen Achsen und der DrehachseAngle α between the optical axes and the axis of rotation 18°18 ° Erzielter maximaler WegunterschiedAchieved maximum path difference etwa 10 cmabout 10 cm Erreichte spektrale AuflösungAchieved spectral resolution besser als 0,1 cm-1 better than 0.1 cm -1

Claims (1)

Interferometer nach Michelson, mit zwei Planspiegeln (2a, 2b; 2a′, 2b′) mit einem rotierenden Retroreflektor (1) mit zugeordnetem Antriebsmotor, wobei die Retroreflektor-Drehachse (7) gegenüber dem Tripelpunkt des Retroreflektors (1) seitlich versetzt ist, mit zwei Umlenkspiegeln (3a, 3b; 3a′, 3b′), einem Strahlteiler (4), einer Sammellinse (5), einem Detektor (6) und mit einer Laserreferenz-Einheit mit Laser und Laserdetektor, dadurch gekennzeichnet, daß der rotierende Retroreflektor (1) als einziger Retroreflektor für beide Interferometer-Zweige in der Weise angeordnet ist, daß beide durch den Strahlteiler (4) geteilten und auf je einen Umlenkspiegel (3a, 3b; 3a′, 3b′) auftreffenden Strahlenhälften (100a, 100b; 100a′, 100b′) in Apertur-Teilbereiche des einzigen Retroreflektors (1) gelenkt werden, welche, bezogen auf die Retroreflektor-Drehachse (7), einander gegenüberliegen, wobei die optischen Achsen (10a, 10b; 10a′, 10b′) beider Strahlenhälften (100a, 100b; 100a′, 100b′) gegeneinander um einen Winkel von 2α und gegenüber der Retroreflektor-Drehachse (7) jeweils um einen Neigungswinkel α geneigt sind.Michelson interferometer, comprising two plane mirrors ( 2 a, 2 b; 2 a ', 2 b') with a rotating retroreflector ( 1 ) with associated drive motor, the retroreflector axis of rotation ( 7 ) being laterally opposite the triple point of the retroreflector ( 1 ) is offset, with two deflection mirrors ( 3 a, 3 b, 3 a ', 3 b'), a beam splitter ( 4 ), a converging lens ( 5 ), a detector ( 6 ) and with a laser reference unit with laser and laser detector, characterized in that the rotating retroreflector ( 1 ) is arranged as a single retroreflector for both interferometer branches in such a way that both divided by the beam splitter ( 4 ) and each on a deflecting mirror ( 3 a, 3 b, 3 a ', 3 b ') incident beam halves ( 100 a, 100 b, 100 a', 100 b ') in the aperture portions of the single retroreflector ( 1 ) are directed, with respect to the retroreflector axis of rotation ( 7 ), facing each other, wherein the optical axes ( 10 a, 10 b, 10 a ' , 10 b ') of both beam halves ( 100 a, 100 b; 100 a ', 100 b') are inclined relative to each other by an angle of 2α and relative to the retroreflector axis of rotation ( 7 ) by an inclination angle α.
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