DE4100556A1 - Abfrageschaltung fuer einen kapazitiven positionsgeber - Google Patents
Abfrageschaltung fuer einen kapazitiven positionsgeberInfo
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Description
Die Erfindung betrifft eine Abfrageschaltung gemäß dem Oberbegriff
des Anspruches 1.
Derartige Maßnahmen sind eingangs in der DE-AS 15 66 847 zur inter
polierenden Richtungspeilung oder in der EP-OS 01 84 584 zur Längen-
und zur Winkel-Messung beschrieben. Im erstgenannten Falle werden
die über kapazitive Kopplungen einlaufenden Informationen zunächst
gruppenweise überlagert und gewichtet, ehe eine abschließende inter
polierende Auswertung erfolgt; während im zweitgenannten Falle eine
Phasenauswertung eines dreiphasig eingespeisten Drehfeldes erfolgt,
um die relative Lage der Kondensator-Paarungen zueinander zu erfas
sen.
Problematisch ist allerdings, daß die auszuwertenden Informationen
über eine kapazitive Reihenschaltung gewonnen werden, hinter der
unvermeidlich die Querkapazität parasitärer Schaltungseinflüsse
wirkt, die größenordnungsmäßig schwer bestimmbar und betriebsabhän
gig veränderlich sind. Am Ausgang dieser kapazitiven Teilerschaltung
steht deshalb für die Weiterverarbeitung eine Spannungsamplitude
an, die nicht nur vom momentanen Überdeckungsgrad der einander zuge
ordneten Kondensatorelektroden und damit von der Meß-Stellung des
Positionsgebers abhängt, sondern auch von betriebsbedingten, zeitlich
nicht konstanten Umwelteinflüssen. Das erschwert die Auswertung
der, wegen der (im Verhältnis zur wirksamen Längskapazität) großen
Querkapazität ohnehin kleinen, Ausgangsspannung am Positionsgeber.
Die relativ großen Einflüsse von eingestreuten elektrischen Störungen
sollen zusätzlich zwar umgebungsabhängig schwankenden Querkapazität
einen wesentlichen Fehlerfaktor im für die Auswertung gelieferten
Abfragesignal dar.
In Erkenntnis dieser Gegebenheiten liegt der Erfindung die Aufgabe
zugrunde, eine Abfrageschaltung gattungsgemäßer Art zu schaffen,
deren Funktion wenig anfällig gegen die typischen Störeinflüsse
eines kapazitiven Positionsgebers ist.
Diese Aufgabe ist erfindungsgemäß im wesentlichen dadurch gelöst,
daß die gattungsgemäße Abfrageschaltung gemäß dem Kennzeichnungsteil
des Anspruches 1 ausgelegt ist.
Die Lösung beruht auf der Erkenntnis, daß die Abfrage des elektrisch
einen kapazitiven Spannungsteiler darstellenden Positionsgebers
weitgehend von den vorbeschriebenen typischen Störeinflüssen befreit
ist, wenn entgegen der üblichen Spannungsabfrage nun eine Stromabfrage
hinter dem Teiler erfolgt, so daß dieser praktisch im Kurzschluß
betrieben wird. Denn der Laststrom ist dann praktisch unabhängig
von Schwankungen der Größe der Querkapazität des Spannungsteilers.
Dadurch ist mittels dieses Kurzschluß-Abfragestromes über den nie
drigen Eingangswiderstand der Folgestufe, dann ein Pegel gewinnbar,
der praktisch nur noch vom momentanen Überdeckungsgrad der Konden
sator-Elektroden des Positionsgebers und damit von der interessie
renden Relativstellung abhängt, aber nicht mehr von der aufbau-be
dingten und nicht konstanten Querkapazität.
Diesem relativ niederohmigen Belastungswiderstand des kapazitiven
Teilers kann dann in herkömmlicher Weise ein Spannungsverstärker
als Lese- oder Auskoppelverstärker nachgeschaltet werden, hinter
dem der repräsentative Pegel als Maß für die aktuelle Elektroden-Über
deckung und damit als Maß für die Momentanstellung des Positionsge
bers abgefragt wird. Der analoge Schaltungsaufwand für diese Abfrage
läßt sich minimieren und zugleich eine weitere Befreiung von Stör
einflüssen realisieren, wenn der (von der, in den kapazitiven Po
sitionsgeber eingespeisten, Signalspannung hervorgerufene) Ausgangs
strom kein differentielles, sondern ein integrales Zeitverhalten
aufweist, also gegen Ende eines Auswerteintervalles jeweils asympto
tisch in einen als das gesuchte Abfragesignal abzufragendes sta
tionären Endwert einläuft. Das wird mit einfachen Mitteln dadurch
erreicht, daß die von einem Taktgenerator für die zentrale Steuerung
gelieferte Rechteckimpulsfolge einerseits über einen Integrierer
in eine symmetrische Dreieckspannung als der einzuspeisenden Signal
spannung umgewandelt wird und andererseits der Takt für die Ausgabe
des Abfragesignales unmittelbar aus der Periodizität dieser Rechteck
impulsfolge abgeleitet wird. Denn der aus der Dreieckspannung hinter
dem kapazitiven Teiler des Positionsgebers gelieferte Strom als
zeitlicher Differentialquotient der Spannung ist rechteckförmig,
so daß der Pegel am niederohmigen Belastungswiderstand dieses kapa
zitiven Teilers gemäß der Zeitkonstante mit dem parasitären Quer
kondensator exponentiell auf einen dann bis zum Ende der Halbperiode
praktisch konstanten Pegelwert ansteigt. Dieser kann, komplikationslos
mittels einer Spannungsfolger-Halteschaltung, als die momentane
Amplitude des Abfragesignales an die weitere Auswerteschaltung über
geben werden.
So ist ein berührungsloses kapazitives Positionsmeßverfahren für
lineare oder rotatorische Bewegung einer Abfrageelektrode relativ
zu einer Gruppe sequentiell angesteuerter ortsfester Elektroden
realisiert, die durch Verzicht auf unmittelbare Spannungsabfrage
am Ausgang des Positionsgebers nicht mehr durch unbekannte, in die
parasitäre Querkapazität eingehende Aufbau- und Betriebs-Größen
gestört wird und auch mit minimalem analogen Schaltungsaufwand eine
störbefreite Ausgabe des stellungsabhängigen Pegels ermöglicht,
indem der Rechteckstromverlauf einer eingespeisten Dreieckspannung
zunächst niederohmig in einen auszuwertenden Pegel umgesetzt wird.
Dieser Pegel wird nicht kurzzeitig abgetastet, sondern von einer
mitlaufenden Halteschaltung zur Ausgabe übernommen, so daß sich
dabei kurzzeitige Störüberlagerungen in Form von Spannungsspitzen
und von Spannungseinbrüchen bei Erreichen des stationären Endwertes
weitgehend kompensiert haben.
Zusätzliche Alternativen und Weiterbildungen sowie weitere Merkmale
und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus den weiteren Ansprüchen
und, auch unter Berücksichtigung der Darlegungen in der Zusammen
fassung, aus nachstehender Beschreibung eines in der Zeichnung unter
Beschränkung auf das Wesentliche nach Art eines Blockschaltbildes
abstrahiert skizzierten bevorzugten Realisierungs- und Anwendungsbei
spiels der erfindungsgemäßen Abfrageschaltung. Es zeigt:
Fig. 1 den Anschluß der Abfrageschaltung an einen kapazitiven
Positionsgeber,
Fig. 2 ein vereinfachtes elektrisches Blockschaltbild für die
an der Abfrageschaltung wirksamen Kapazitäten und
Fig. 3 einen niederohmigen Leseverstärker hinter dem kapazitiven
Teiler.
Der in der Zeichnung in abgebrochener Darstellung skizzierte Posi
tionsgeber 11 weist eine Gruppe von untereinander elektrisch nicht
miteinander verbundenen, auf einem isolierenden Träger 12 angeordneten
Orts-Elektroden 13 auf. Relativ zu diesen ist (wenigstens) eine
Abfrage-Elektrode 14 bewegbar, nämlich je nach der geometrischen
Anordnung der Folge der Ortselektroden 13 linear verschiebbar oder
kreisbogenförmig verschwenkbar gehaltert. Dafür ist die (bzw. jede)
Abfrage-Elektrode 14 isoliert auf einer am Träger (12) geführten
Halterung 15 (in der Zeichnung kreuzschraffiert hervorgehoben) ausge
bildet und über eine Verbindungs-Leiterbahn 16 elektrisch an eine
ebenfalls auf der Halterung 15 angeordnete Auskoppel-Elektrode 17
angeschlossen, die als Streifen parallel zum Bewegungsweg der Halte
rung 15 relativ zum Träger 12 ausgebildet ist. Parallel zu dieser
streifenförmigen Auskoppel-Elektrode 17 verläuft auf dem Träger
12 eine Übernahme-Elektrode 18, von der eine Anschlußleitung 19
an den Eingang 20 einer Abfrageschaltung 21 geführt ist, die relativ
zum Träger 12 mit seinen Orts-Elektroden 13 stationär angeordnet
ist.
Entgegen der vereinfachten Darstellung für vorliegende Zeichnung
braucht die verschiebbare oder verschwenkbare Halterung 15 nicht
in einer Ebene mit den dagegen stationären Elektroden 13, 18 angeord
net (also beispielsweise in eine grabenförmige Vertiefung des Trägers
12 eingelassen) zu sein; für einen gedrängten Aufbau insbesondere
dann, wenn die Längserstreckung der Halterung 15 mit der streifenför
migen Auskoppel-Elektrode 17 sich über ein Kreisbogenstück verschwen
ken lassen soll, kann es zweckmäßiger sein, jeweils das Elektroden
paar 13/14 und 17/18 quer zur Zeichenebene übereinander anzuordnen,
also beispielsweise auf konzentrischen Zylindermantelflächen oder
auf Kreissektoren (in der Zeichnung nicht ausgeführt). Auch ist
es grundsätzlich gleichgültig, ob die Abfrage- und Auskoppel-Elek
troden 14, 17 oder aber die Orts- und Übernahme-Elektroden 13, 18
jeweils relativ zur anderen Elektrodengruppe feststehen oder beweglich
sind.
Die Orts-Elektroden 13 werden nacheinander zyklisch mit einer zeit
periodischen Signalspannung u(t) gespeist. Das erfolgt über eine
Koppelschaltung 22, deren den einzelnen Orts-Elektroden 13 zugeord
neten Schaltstrecken 23 nacheinander vorübergehend geschlossen wer
den. Diese Steuerung erfolgt zweckmäßigerweise aus einem zentralen
Taktgeber 24, der eine Rechteckpulsfolge 25 der Periode T liefert.
Zweckmäßigerweise erfolgt die Fortschaltung von einer zur nächsten
Schaltstrecke 23 auf einer periodisch wiederholten Zählbasis, so
daß in einer der Abfrageschaltung 21 und dem Taktgeber 24 nachgeschal
teten Auswerteschaltung 26 stets bekannt ist, welche der Orts-Elektro
den 13 momentan über ihre geschlossene Schaltstrecke 23 gespeist
wird - und daß demzufolge die dagegen bewegliche Abfrage-Elektrode
14 sich gerade mit dieser hinreichend überlappt, wenn zu diesem
Zeitpunkt von der Abfrageschaltung 21 das Abfragesignal U geliefert
wird.
Die Folge der Schaltstrecken 23 in der Koppelschaltung 22 kann durch
ein aus dem Taktgeber 24 gespeistes Schieberegister realisiert werden,
wenn die aufeinanderfolgende Speisung der Orts-Elektroden 13 mit
einer Rechteckspannung u(t) binär erfolgen soll. Anderenfalls sind
die einzelnen Schaltstrecken 23 als individuell vorübergehend ein
schaltbare Analogschaltungen zu realisieren, etwa als Transistoren.
Der Signalfluß von der Einspeisung der Signalspannung u(t) zum Ab
frage-Eingang 20 findet zwei in Serie geschaltete Kapazitäten Ca
und Ck vor, die sich aus der jeweiligen Paarung der kleinen Elektro
den 13-14 (Abfragekapazität Ca) und der Streifen-Elektroden 17-18
(Koppel-Kapazität Ck) ergeben. Gemäß dem ohmschen Gesetz für kapazi
tive Widerstände resultiert aus dieser Serienschaltung eine insge
samt sehr kleine Meß-Kapazität Cm (siehe Fig. 2), die jedenfalls
kleiner als die kleinste der beiden Serien-Kapazitäten Ca-Ck ist.
Diese Meß-Kapazität Cm liegt im Längspfad eines kapazitiven Spannungs
teilers, dessen Ableitung von einer parasitären Leitungskapazität
Cl von einer Größe gebildet ist, die technologieabhängig und betriebs
abhängig, also schaltungsmäßig schwer vorhersehbar ist und jedenfalls
in der Größenordnung der Meßkapazität Cm oder auch darüber liegen
kann. Deshalb schwankt für eine bestimmte Überdeckung der Abfrage
mit einer Orts-Elektrode 13/14 die am Ausgang des kapazitiven Teilers
27 abgreifbare Spannung nach Maßgabe der aktuellen Verhältnisse
der Leitungskapazität Cl; d. h., die Schwankung der Ausgangsspannung
an diesem Teiler 27 ist nicht unbedingt repräsentativ für den Grad
der Überdeckung der Abfrage- und Orts-Elektroden 13-14, was die
genau und reproduzierbar geforderte Stellungsabfrage mit einem erheb
lichen und nicht-systematischen, deshalb auswerteseitig nicht kompen
sierbaren Fehler belastet.
Diese Meßunsicherheit wird ganz wesentlich eingeschränkt, wenn ent
gegen der üblicherweise anzutreffenden Schaltungstechnik am Ausgang
des Teilers 27 keine Spannung abgefragt wird, sondern ein Stromfluß
i(t). Dieser wird dadurch erzwungen, daß dem kapazitiven Teiler
27 ein Widerstand nachgeschaltet wird, der möglichst klein und jeden
falls klein im Verhältnis zur Größenordnung des komplexen Widerstands
der parasitären Leitungskapazität Cl ist. Dadurch wird der kapazitive
Teiler 27 praktisch auf Kurzschluß belastet, so daß der am kleinen
Widerstand 28 abgreifbare, vom (Kurzschluß-)Strom i(t) als Spannungs
abfall hervorgerufene Pegel p(t) praktisch unabhängig ist von der
aufbaumäßig gegebenen und betriebsabhängig schwankenden Größe der
parasitären Leitungskapazität Cl. Wenn die streifenförmigen Elektro
den 17-18 des Positionsgebers 11 einander als geschlossene konzen
trische Ringflächen gegenüberstehen, die Koppelkapazität Ck also
unabhängig von der momentanen Relativstellung zwischen Halterung 15
und Träger 12 ist, dann hängt der aus der Stromabfrage umgesetzte
Signal-Pegel p(t) in wünschenswerter Weise nur von dem momentanen
Überdeckungsgrad der kleinen Elektroden 13-14, also der variablen
Abfrage-Kapazität Ca, ab, so daß sich eine Interpolationsauswertung
nach Maßgabe der momentanen Positionierung zwischen Abfrage-Elektrode
14 und Orts-Elektrode 13 durch einen üblichen Leseverstärker 29
mit hochohmigen Eingang (etwa realisiert als proportional-beschalteter
Operationsverstärker) hinter dem kapazitiven Teiler 27 realisieren
läßt. Schaltungstechnisch weniger aufwendig ist es, den niederohmigen
Lastwiderstand in den Leseverstärker 29′ einzubeziehen, indem dieser
(Fig. 3) als Transistor-Emitterschaltung ausgelegt wird. Die Umsetzung
des Laststromes i(t) in den auszukoppelnden Pegel p(t) erfolgt dann
in der Basisbeschaltung 36 zur Festlegung des Transistor-Arbeits
punktes. Der in Abhängigkeit von der eingespeisten Signalspannung
u(t) mit der Periode T schwankende Abfrage-Pegel p(t) hinter dem
kapazitiven Teiler 27 erscheint also entsprechend verstärkt am Ausgang
des Leseverstärkers 29 bzw. 29′.
Das Zeitverhalten des Pegels p(t) ist durch den Differentialquotien
ten der Signalspannung u(t) bestimmt, weil der Laststrom i(t) am
Teiler 27 als kapazitiver Strom dem Differentialquotienten des du(t)/dt
proportional ist. Die kapazitive Kopplung im Positionsgeber 11 würde
also bei sinusförmiger Signalspannung u(t) einen phasenverschobenen
sinusförmigen Strom i(t) liefern, was aber für die Positionsbestimmung
erheblichen analogen Schaltungsaufwand und eine gegen Störimpulse
anfällige Spitzenwert-Auswertung des verstärkten Pegels p(t) erfordern
würde. Noch ungünstiger sind auswerteseitig die Verhältnisse, wenn
der kapazitive Positionsgeber 11 mit einer (etwa direkt aus dem
Taktgeber 24 ableitbaren) rechteckförmigen Signalspannung u(t) ge
speist würde, weil die Differentiation der Rechteckspannung in der
Meß-Kapazität Cm zu einer Folge von jeweils umgekehrt gepolten großen
Stromspitzen mit dazwischen steil abklingenden exponentiellen Strom
übergängen führen würde. Die stark von Störungen beeinflußbaren
Differentiationsstromspitzen sind aber zur Amplitudenauswertung
nicht geeignet; und auch im steilen Anfangsbereich des aus der Spitze
abfallenden Stromes treten starke betriebsabhängige Schwankungen
der Momentanamplitude auf, die sich einem Meßwert verfälschend über
lagern. In der Nähe des Nulldurchgangs zum Übergang auf die folgende
Stromspitze umgekehrter Polarität ist die meßtechnische Erfassung
einer Signalamplitude wegen des unterlagerten Rauschspektrums kri
tisch. Es müßte also für den aus dem Stromverlauf abgeleiteten Pegel
ein Abtastzeitpunkt gewählt werden, der etwa bei einem Viertel der
Periode T liegt, um einigermaßen störfreie und für das Meßsystem
repräsentative Amplitudenwerte aus dem Verlauf zwischen den gegen
poligen Spitzenwerten ermitteln zu können. Das würde jedoch erheb
lichen schaltungstechnischen Zusatzaufwand bedeuten und dennoch
von den geschilderten Störeinflüssen nicht frei werden.
Diese Probleme hinsichtlich der Abfrage des auszuwertenden Pegels
p(t) sind gemäß einer weiterführenden Überlegung der Erfindung da
durch überwunden, daß die auszuwertende Information kein differen
tielles, sondern ein integrales Zeitverhalten bekommt. Das läßt
sich schaltungstechnisch sehr einfach dadurch realisieren, daß die
in den Positionsgeber 11 eingespeiste Signalspannung u(t) als Drei
eckspannung vorgegeben wird, wie sie sich einfach über einen Inte
grierer 30 aus der Rechteckimpulsfolge des Taktgebers 24 ergibt.
Das Zeitdifferential der sich abschnittweise zeitlich linear ändern
den Signalspannung u(t) ergibt dann wieder die Rechteckform, also
hinter der Meßkapazität Cm in guter Näherung einen rechteck-impuls
förmigen Stromverlauf i(t). Wegen der dem Widerstand 28 parallel
geschalteten Leitungskapazität Cl folgt der Pegel p(t) der idealen
Rechteckform allerdings nur nach Maßgabe der wirksamen Zeitkonstante
verzögert, aber am Ende jeder ersten Hälfte der Periode T ist ein
Pegelwert p(t) stationär, und aufgrund des integralen Verhaltens
von kurzen Störspitzen praktisch unbeeinflußt, erreicht, der reprä
sentativ für die Amplitude des Rechteckstromes i(t) und damit für
den Überdeckungsgrad der gerade angesteuerten Orts-Elektrode 13
mit der Abfrage-Elektrode 14 ist.
Zum Auskoppeln dieses Spannungswertes bedarf es keiner vollständigen
Abtast-Halte-Schaltung, es genügt eine ähnlich einem Spitzenwert
gleichrichter arbeitende Folge-Halteschaltung 31. Die Spannung an
ihrem Speicherkondensator 32, der größer als im Falle einer Abtast-Hal
teschaltung ausgelegt sein kann und dessen Ladezustand dadurch von
Störimpulsen weniger beeinflußbar ist, folgt praktisch unverzögert
dem zeitlichen Verlauf des Pegels p(t). Jeweils am Ende eines
Takt-Rechteckimpulses wird der Momentanpegel zur Ausgabe des Abfra
gesignales U an die Auswerteschaltung 26 am Speicherkondensator
32 über einen Entkopplungsverstärker 33 abgefragt, der in gegenüber
der Taktgeber-Periode T verschobener Periode T′ kurzzeitig an den
Speicherkondensator 32 geschaltet wird. Diese verschobene Periode
T′ ergibt sich funktional sicher und schaltungstechnisch denkbar
einfach, indem die Ansteuerung des Übergabeschalters 34 über einen
dynamischen Eingang 35 erfolgt, der auf eine differentiell negative
Flanke anspricht, also auf jeweils das Ende eines Rechteckimpulses
zur Halbzeit der Taktgeber-Periode T.
In der Auswerteschaltung 26 wird dann in als solcher bekannter Weise
festgestellt, vor welcher Orts-Elektrode 13 die Abfrage-Elektrode
14 gerade steht, welche Relativposition (lineare Strecke oder Win
kelstellung) die Halterung relativ zum Träger 12 gerade einnimmt;
mit einer Stellungs-Interpolationsmöglichkeit aufgrund des reduzier
ten Abfrage-Signales U bei nur teilweiser Überdeckung dieses Elek
trodenpaares 13-14. In der Zeichnung ist nicht berücksichtigt, daß
in der Praxis zur feineren Interpolation häufig mehrere Abfrage-Elek
troden 14 auf einer Halterung 15 angeordnet sind, die sich in unter
schiedlichem Maße mit unterschiedlichen Orts-Elektroden 13 über
decken; bzw. daß Elektrodengruppen unterschiedlicher Abmessungen
in Meßrichtung vorgesehen sind, um Grob- und Fein-Interpolationen
in der Auswerteschaltung 26 durchführen zu können.
Claims (5)
1. Abfrageschaltung (21) für einen kapazitiven Positionsgeber (11),
der mit einer zeitperiodischen Signalspannung (u(t)) gespeist
ist,
dadurch gekennzeichnet,
daß der kapazitive Ausgangsstrom (i(t)) des Positionsgebers (11)
über einen Widerstand (28) in das auszugebende Abfragesignal
umgewandelt wird, der klein ist im Verhältnis der Größenordnung
des kapazitiven Widerstandes einer aufbauabhängigen parasitären
Leitungskapazität (Cl), die parallel zum Belastungs-Widerstand
(28) und damit quer zur variablen Meßkapazität (Cm) im Positions
geber (11) wirkt.
2. Abfrageschaltung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Pegel (p(t)) über dem kleinen Lastwiderstand (28) hochohmig
über einen Leseverstärker (29) abgefragt ist.
3. Abfrageschaltung nach Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Strom (i(t)) am Ausgang des Positionsgebers (11) von
einer Signalspannung (u(t)) hervorgerufen wird, die einen dreieck
förmigen Verlauf über der Zeit (t) aufweist.
4. Abfrageschaltung nach Anspruch 3,
dadurch gekennzeichnet,
daß sie eine Folge-Halteschaltung (31) enthält, deren Eingangs
größe dem periodisch asymptotisch auf einen Sättigungswert anstei
genden Pegelverlauf (p(t)) folgt, mit Ausgabe dieses stationären
Endwertes als dem Abfragesignal (U).
5. Abfrageschaltung nach Anspruch 4,
dadurch gekennzeichnet,
daß die dreieckförmige Signalspannung (u(t)) aus der Rechteck
impulsfolge (25) eines zentralen Taktgebers (24) über einen Inte
grierer (30) gewonnen ist und jeweils zur Hälfte dessen Periode
(T) die Ausgabe des Abfragesignales (U) aus dem Taktgeber (24)
angesteuert wird.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE4100556A DE4100556A1 (de) | 1991-01-10 | 1991-01-10 | Abfrageschaltung fuer einen kapazitiven positionsgeber |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE4100556A DE4100556A1 (de) | 1991-01-10 | 1991-01-10 | Abfrageschaltung fuer einen kapazitiven positionsgeber |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4100556A1 true DE4100556A1 (de) | 1992-07-16 |
Family
ID=6422792
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE4100556A Withdrawn DE4100556A1 (de) | 1991-01-10 | 1991-01-10 | Abfrageschaltung fuer einen kapazitiven positionsgeber |
Country Status (1)
Country | Link |
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