DE3940694A1

DE3940694A1 - Strahlengang-einstellvorrichtung

Info

Publication number: DE3940694A1
Application number: DE3940694A
Authority: DE
Inventors: Minoru Suzuki; Kazuo Mera
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1988-12-09
Filing date: 1989-12-08
Publication date: 1990-06-13
Also published as: JPH02155589A; DE3940694C2; US5045679A

Description

Die Erfindung betrifft eine optische Strahlengang-Ein stellvorrichtung und ein Verfahren zur Einstellung des Strah lenganges beispielsweise eines Laserstrahles, um den Strahl parallel zur optischen Achse einer Sammellinse innerhalb der Linse auszurichten.

Ein Laseroszillator wird üblicherweise an einer inneren Elektrode entladen, um ein Lasermedium zur Erzeugung eines Laserstrahles anzuregen. Der Laserstrahl wird zwischen minde stens einem Spiegelpaar einer Resonanzverstärkung unterworfen, wobei der verstärkte Laserstrahl durch einen Austritts-Spiegel parallel ausgerichtet nach außen tritt. Der parallele Laser strahl wird mittels eines Umlenkungs-Spiegels rechtwinklig ab gelenkt, tritt durch eine Sammellinse, und bestrahlt ein Werkstück zum Zweck der Feinbearbeitung, wie beispielsweise Schneiden, Schweißen o.ä. Auf diese Weise erfolgt seit eini ger Zeit die Bearbeitung elektronischer Bauteile mittels La serstrahlen. Um eine derartige Bearbeitung präzise durchzu führen, wird der Laserstrahl auf eine vorgegebene Bearbei tungsstelle genau ausgerichtet.

Der Laseroszillator erzeugt jedoch aufgrund der Entladun gen an der Elektrode eine gewisse Entladungswärme, wobei die hierdurch hervorgerufene Temperatur abhängig vom Bearbeitungs umfang am Werkstück variiert. Als Folge dieses Temperatur wechsels besteht die Gefahr, daß sich verschiedene Teile des Laseroszillators, der Umlenkungs-Spiegel etc. geringfügig ausdehnen/zusammenziehen, so daß die Position des Laserstrahl- Leuchtfleckes etwas schwankt und so eine präzise Bearbeitung erschwert.

Daher wurde in der japanischen Offenlegungsschrift JP-A 61-2 35 091 eine Vorrichtung zur Einstellung der Leuchtfleck position eines Laserstrahles vorgeschlagen. Diese Vorrichtung ist mit einer Vergleichslichtquelle und einem optischen System zum deckungsgleichen Eintritt des Vergleichslichtes in den Laserstrahlengang versehen. Ferner sind eine Videokamera zur Ermittlung der Leuchtfleckposition des Vergleichslichtes als Bildsignal, und Einrichtungen vorgesehen, die die tatsächli chen Positionsdaten des Vergleichslichtes mit den vorher ge speicherten Positionsdaten des Laserleuchtfleckes vergleichen. Eine sich hierbei ergebende Abweichung wird sofort an eine Ablenkvorrichtung zurückgekoppelt, um automatisch die Leucht fleckposition des Vergleichslichtstrahles, und zugleich auch des Laserstrahles zu korrigieren.

Bei einer derartigen Anordnung wird die Ablenkvorrichtung so betrieben, daß die Abweichung bezüglich des Vergleichslich tes zu Null wird. Die Ablenkvorrichtung ist hierzu derart aufgebaut, daß ein Umlenkungsspiegel mit der Welle eines Elek tromotors verbunden ist, und der Elektromotor vor-/zurückge schaltet wird, um den Umlenkungsspiegel nach rechts/links zu verschwenken, und somit das Licht in Übereinstimmung mit dem Leuchtfleck des Vergleichslichtes zu bringen. Wenn beispiels weise der Ablenkungswinkel (Arbeitswinkel) "1" beträgt, dann ist grundsätzlich die tatsächliche Ablenkung des Lichtes "2". Mit anderen Worten, zur Ablenkung des Lichtes um "1" muß der Motor um den Ablenkungswinkel "0,5" gedreht werden. Nachdem also der Ablenkungswinkel des Motors geringer ist als der des Lichtes, muß die Stellvorrichtung für den Ablenkungswinkel zur Verstellung kleiner Winkel mit hoher Präzision geeignet sein. Dementsprechend ist die Stellvorrichtung für den Ablenkungs winkel baulich aufwendig und umständlich zu bedienen. Wenn beispielsweise der Ablenkungswinkel als Arbeitsmaßstab ange zeigt wird, ist es unmöglich, die Maßstabsteilung zu ver größern, und die Ablesung des Maßstabes gestaltet sich schwie rig. Daher ist diese vorgenannte Vorrichtung im Betrieb unpraktisch.

Es ist daher Aufgabe der Erfindung, eine Strahlengang- Einstellvorrichtung anzugeben, die verbesserte Betriebseigen schaften aufweist, und bequem bzw. einfach zu bedienen ist.

Gemäß der Erfindung weist die Strahlengang-Einstellvor richtung das Merkmal auf, daß eine verstellbare keilförmige Ablenkeinrichtung auf der Einfallsseite im Strahlengang einer Sammellinse derart angebracht ist, daß die keilförmige Ablenk einrichtung mittels eines Stellsystemes verstellt werden kann. Die Ablenkeinrichtung kann dabei als reflektorisch wirkender Spiegel, oder als optisch brechendes Prisma ausgebildet sein.

Wenn beim Durchtritt eines Laserstrahles durch die Sam mellinse der Laserstrahl nicht parallel zur optischen Achse der Sammellinse ausgerichtet ist, wird die keilförmige Ablenk einrichtung so verstellt, daß der Laserstrahl parallel zur optischen Achse der Sammellinse ausgerichtet wird, und somit das die Sammellinse verlassende Licht in einem Punkt ohne Streuungen fokussiert wird, und hierdurch ein dünnerer Laser strahl mit verbesserten Betriebseigenschaften erzielt wird. Das heißt, durch die Verwendung der keilförmigen Ablenkein richtung ist ein großer Winkelbereich bei gleichzeitig kleinem Feineinstellungswinkel erzielbar, so daß die Maßstabsteilung des Winkelbereiches vergrößert werden kann und verbesserte Betriebseigenschaften und eine zweckmäßigere Arbeitsweise er zielbar ist.

Weitere Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung sind der nachfolgenden Beschreibung in Verbindung mit den beigefügten Zeichnungen entnehmbar.

Fig. 1(A) und 1(B) zeigen schematisch eine Ausführungs form der Strahlengang-Einstellvorrichtung gemäß der vorliegen den Erfindung,

Fig. 2 zeigt einen Ausschnitt der Strahlengang-Einstell- Vorrichtung der in Fig. 1(A) gezeigten Ausführung,

Fig. 3(A), 3(B) und 3(C) stellen Ansichten zur Erklärung der Wirkungsweise der Strahlengang-Einstellvorrichtung gemäß Fig. 2 dar, und

Fig. 4 ist ein Kennlinien-Diagranm und zeigt die Bezieh ung zwischen dem Arbeitswinkel und dem Stellwinkel beim Be trieb der Strahlengang-Einstellvorrichtung gemäß den Fig. 3(A) bis 3(C).

Bezugnehmend auf die Fig. 1 bis 4 wird eine Ausfüh rungsform der Erfindung nachfolgend beschrieben.

Fig. 1(A) zeigt ein schematisches Schaltbild einer Strah lengang-Einstellvorrichtung, die wie folgt aufgebaut ist. Ein von einem Laseroszillator 1 emittierter Laserstrahl 2 wird durch einen Umlenk-Spiegel 3 rechtwinklig in seiner Richtung umgelenkt, passiert eine keilförmige Ablenkeinrichtung 4 und wird mittels einer Sammellinse 6 auf einem Werkstück 7 fokus siert, nachdem er einen Beobachtungsspiegel 5 passiert hat. Das Werkstück ist auf einem in x- und y-Richtungen bewegbaren Bearbeitungstisch 8 angebracht, wobei der Bearbeitungstisch 8 von einer Tischsteuerung 10 über eine numerisch gesteuerte Vorrichtung 9 bewegbar ist. Die Tischsteuerung 10 ist über einen Oszillatorregler 11 mit dem Laseroszillator 1 verbunden. Obwohl die Tischsteuerung 10 und der Oszillatorregler 11 in der dargestellten Ausführungsform getrennt voneinander ausge führt sind, können selbstverständlich diese beiden Baugruppen 10 und 11 in integrierter Form vorliegen.

Der Beobachtungsspiegel 5 weist ein Wellenlängen-Selek tionsvermögen auf, daß eine für die Beobachtung erforderliche Wellenlängenkomponente des Lichtes reflektiert, und so der Zustand am Bearbeitungspunkt auf dem Werkstück 7 als Bild auf dem Beobachtungsbildschirm 14 (Fernsehempfangsgerät) durch die Vergrößerungslinsen 12 und die Videokamera 13 betrachtet wer den kann. Wie in Fig. 1(B) dargestellt, entspricht ein Abbil dungsanzeigeschirm 14 A des Beobachtungsmonitors 14 der Werk stückoberfläche 7 derart, daß die Koordinaten der x- und y- Achsen auf diesem Anzeigenschirm darstellbar sind. Der Ur sprung des Koordinatensystemes stellt eine Sollwertstrahlen achse (Bezugsposition) 0 dar. Der Beobachtungsmonitor 14 ist mit einer Steuereinheit 15 verbunden.

Die Steuereinheit 15 speichert vorher Daten zur Bezeich nung eines Positionsfehlers, der einer tatsächlich gemessenen Position x 1 in Richtung der x- und y-Achsen von der Sollwert strahlenachse aus entspricht. Wenn dabei beispielsweise die von der korrekten Leuchtfleckposition abweichende Position x 1 des Laserstrahles auf dem Bildschirm 14 A als Position x 1 er mittelt wird, so beaufschlagt die Steuereinheit 15 eine Antriebseinheit 16 mit einem Ausgangssignal, das dem notwen digen Korrekturmaß dieser fehlerhaften Position entlang der x- und y-Achsen entspricht. Die Steuereinheit 15 und die An triebseinheit 16 können dabei in integrierter Form ausgeführt sein. Die Antriebseinheit 16 versorgt einen Elektromotor 17 mit einem Rotationsstellsignal, so daß die Inklination der keilförmigen Ablenkeinrichtung 4 durch die Rotation des Elek tromotors 17 gesteuert wird, um so den Laserstrahl parallel zur optischen Achse der Sammellinse 6 auszurichten.

Bezugnehmend auf Fig. 2 wird der Aufbau der keilförmigen Ablenkeinrichtung 4 im einzelnen beschrieben. Die keilförmige Ablenkeinrichtung 4 besteht aus einer keilförmigen x-Achsen- Ablenkeinheit 4 x und einer keilförmigen y-Achsen-Ablenkeinheit 4 y, die unterhalb der keilförmigen x-Achsen-Ablenkeinheit 4 x und quer zu dieser angeordnet ist. Die keilförmige x-Achsen- Ablenkeinheit 4 x und die keilförmige y-Achsen-Ablenkeinheit 4 y sind drehbar, so daß der Leuchtfleck des Laserstrahles in den x- und y-Richtungen auf der Werkstückoberfläche verschiebbar ist. Der Elektromotor 17 beinhaltet einen x-Achsen-Elektromo tor 17 x und einen y-Achsen-Elektromotor 17 y derart, daß die keilförmige x-Achsen-Ablenkeinheit 4 x und die keilförmige y-Achsen-Ablenkeinheit 4 y auf den entsprechenden Schäften des x-Achsen-Elektromotors 17 x bzw. des y-Achsen-Elektromotors 17 y angebracht sind. Entsprechend den Signalen von der Antriebs einheit 16 rotieren der x-Achsen-Elektromotor 17 x und der y-Achsen-Elektromotor 17 y vorwärts/rückwärts, um die keilför mige x-Achsen-Ablenkeinheit 4 x und die keilförmige y-Achsen- Ablenkeinheit 4 y um die jeweiligen Schäfte des x-Achsen-Elek tromotors 17 x und des y-Achsen-Elektromotors 17 y zur Kor rektur der x- und y-Positionskoordinaten zu drehen. Sowohl die keilförmige x-Achsen-Ablenkeinheit 4 x, als auch die keilför mige y-Achsen-Ablenkeinheit 4 x haben eine Eintrittsfläche und eine Austrittsfläche, die als geneigte Fläche bzw. als paral lele Fläche ausgebildet sind. Die geneigte Fläche 18 kann ent weder auf der Einfallsseite oder der Austrittsseite vorgesehen sein.

Als nächstes wird das Verfahren zur Einstellung des Strahlenganges der Strahlengang-Einstellvorrichtung beschrie ben.

Der Laserstrahl 2 bestrahlt das Werkstück 7. Die Leucht fleckposition 0 wird in diesem Fall als Sollwertstrahlenachse definiert. Diese Sollwertstrahlenachse 0 weist einen Strahlen gang parallel zur optischen Achse der Sammellinse 6 auf, wie in Fig. 3(A) und 3(B) gezeigt. Die optische Achse liegt, wie beispielsweise der Laserstrahl 2, rechtwinklig zur Unterseite der Sammellinse 6. Als nächstes sei angenommen, daß ein Laser strahl 2 A das Werkstück 7 geneigt zum vorherigen Laserstrahl 2 bestrahlt und auf die keilförmige Ablenkeinrichtung 4 auf trifft. Hierbei ist die tatsächlich gemessene Bearbeitungs position die Position x 1, welche gegenüber der Sollwertstrah lenachse 0 versetzt ist. Hierbei wird der Einfallswinkel des Laserstrahles 2 A auf die keilförmige Ablenkeinrichtung 4 gegenüber demjenigen des Laserstrahles 2 um den Winkel ε ver setzt, so daß, wie in Fig. 3A gezeigt, der Laserstrahl 2 A nicht parallel zur optischen Achse der Sammellinse, sondern geneigt hierzu ist.

Die Leuchtfleckposition des Laserstrahls 2 oder 2 A wird auf dem Bildschirm angezeigt und der Steuereinheit 15 zuge führt. Die Steuereinheit 15 berechnet den Positionsfehler des Leuchtfleckes x 1 zur Sollwertstrahlenachse 0 und versorgt die Antriebseinheit mit einem Korrektursignal, um den Laserstrahl 2 A parallel zur optischen Achse auszurichten. Als Reaktion auf dieses Korrektursignal beaufschlagt die Antriebseinheit 16 den x-Achsen-Elektromotor 17 x und den y-Achsen-Elektromotor 17 y mit Rotationsstellsignalen.

Genauer gesagt, wenn der x-Achsen-Elektromotor 17 x um einen Arbeitswinkel Φ entgegen dem Uhrzeigersinn dreht, wie durch den Pfeil X angedeutet, wird der die keilförmige x-Ach sen-Ablenkeinheit 4 x verlassende Laserstrahl 2 A′ so abgelenkt, daß er sich bezüglich des Laserstrahles 2 A entlang der x-Achse in Richtung der Sollwertstrahlenachse bewegt. Hierdurch wird die Leuchtfleckposition x 1 in Richtung zu einer x-Achsen-kor rigierten Bearbeitungsposition x 2 bewegt.

Wenn als nächstes der y-Achsen-Elektromotor 17 y, wie durch den Pfeil Y gezeigt, im Uhrzeigersinn rotiert, wird der die keilförmige y-Achsen-Ablenkeinheit 4 y verlassende Laser strahl 2 A′′ derart abgelenkt, daß er entlang der y-Achse in Richtung der Sollwertstrahlenachse bezüglich des Laserstrahles 2 A′ bewegt wird, so daß hierdurch die x-Achsen-korrigierte Bearbeitungsposition x 2 zu einer y-Achsen-korrigierten Bear beitungsposition y 1 bewegt wird. Jetzt ist der Laserstrahl 2 A′′ derart korrigiert, daß er parallel zum Laserstrahl 2 in der Sammellinse 6 verläuft, wie in Fig. 3(B) gezeigt. Daher werden die beiden parallelen Laserstrahlen 2 und 2 A nach dem Passieren der Sammellinse 6 in einem einzigen Punkt fokussiert, welcher der Sollwertstrahlenachse 0 entspricht und auf diese Weise die Laserbearbeitung stets genau an der richtigen Position durch geführt werden kann.

Daher ist es mittels der Strahlengang-Einstellvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung möglich, daß der Laserstrahl 2 A′′ derart korrigiert wird, daß er parallel zur optischen Achse in der Sammellinse ausgerichtet ist. Hierdurch läßt sich der Laserstrahl 2 A′′ mittels der Sammellinse 6 im Durchmesser verringern, und so in einem Punkt ohne Streuungen fokussieren. Dementsprechend ist es möglich, die Laserleistungsdichte zu erhöhen und eine genaue Bearbeitung zu erzielen. Ferner, da es gelingt, den Laserstrahl 2 A′′ parallel zur optischen Achse in der Sammellinse auszurichten, kann der Einstellbereich ver glichen mit herkömmlichen Techniken, bei denen der Leuchtfleck in Übereinstimmung mit der Sollwertposition gebracht wird, erweitert werden. Hierdurch kann die Einstellung dementspre chend einfach durchgeführt werden und die Genauigkeitstoleran zen der Strahlengang-Einstellvorrichtung können vergrößert werden.

Wenn andererseits, wie in Fig. 3(c) dargestellt, die keilförmige Ablenkeinrichtung 4 um einen Arbeitswinkel Φ ro tiert, so tritt der einfallende Laserstrahl 2 aus der keil förmigen Ablenkeinrichtung als Laserstrahl 2 A′ wieder aus. Dabei kann der Einstellwinkel an dieser parallelen Fläche Δ γ betragen, welches der Bedingung Φ < Δ γ genügt. Diese Eigen schaften werden unter Bezugnahme auf Fig. 4 beschrieben, wel che die Beziehung zwischen dem Arbeitswinkel Φ und dem Einstellwinkel Δ γ angibt. Wenn beispielsweise der Arbeits winkel Φ als 15° (0,262 rad) gewählt wird, so ergibt sich der Einstellwinkel Δ γ zu 1,0 mrad, und das Verhältnis des Arbeits winkels Φ zum Einstellwinkel Δ γ wird ausgedrückt als Φ/Δ γ= 0,262 (rad)/1 (mrad)=0,262×10³=260. Dies bedeutet, daß 1 rad des Einstellwinkels Δ γ auf 260 Grad des Arbeitswinkels Φ vergrößert werden kann. Das heißt, daß es möglich ist, eine genaue Einstellung des Einstellwinkels Δ γ mit dem vergrößerten Maßstab des Arbeitswinkels Φ durchzuführen. Entsprechend kann der Arbeitswinkel Φ leicht abgelesen werden, so daß die Be triebseigenschaften verbessert werden. Ferner gestaltet sich die Benutzung dieser Strahlengang-Einstellvorrichtung beson ders einfach. In der Zeichnung repräsentieren N bzw. N′ Nor malen.

Im Betrieb kann das Bedienungspersonal die auf dem Bild schirm dargestellte Leuchtfleckposition auf eine x-Achsen korrigierte Arbeitsposition x 2 und anschließend auf die y-Ach sen-korrigierte Arbeitsposition y 2 verstellen, indem die keil förmige x-Achsen-Ablenkeinheit 4 x und die keilförmige y-Ach sen-Ablenkeinheit 4 y zur Erzeugung des Laserstrahles 2 A′′ ent sprechend verstellt wird, welcher parallel zum Laserstrahl 2 ausgerichtet ist.

In der obigen Ausführung kann anstelle von Laserstrahlen auch eine andere elektromagnetische Strahlenart, wie bei spielsweise Lichtstrahlen, Röntgenstrahlen, q-Strahlen o.ä. verwendet werden.

Claims

1. Strahlengang-Einstellvorrichtung mit
einer von einem Strahl beaufschlagten Sammellinse (6),
einer keilförmigen Ablenkeinrichtung (4), die verstell bar auf der Einfallsseite der Sammellinse (6) angeordnet ist,
einer Meßeinrichtung (12, 13) zur Feststellung einer Leuchtfleckposition des Strahles,
einer Steuereinrichtung (15, 16), die aus einem Leucht fleck-Positionssignal der Meßeinrichtung (12, 13) ein Korrek tursignal bildet, das die Abweichung der Leuchtfleckposition relativ zu einer Sollposition darstellt, und
einer Stelleinrichtung (17), die in Abhängigkeit des Korrektursignals der Steuereinrichtung (15, 16) die keilför mige Ablenkeinrichtung (4) zur Ausrichtung des Strahles parallel zur optischen Achse der Sammellinse (6) verstellt.

2. Strahlengang-Einstellvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Strahl ein Laserstrahl ist.

3. Strahlengang-Einstellvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die keilförmige Ablenkeinrichtung (4) eine keilförmige x-Achsen-Ablenkeinheit (4 x) und eine keilförmige y-Achsen-Ablenkeinheit (4 y) umfaßt, die gegen einander in einer x-Achse und einer y-Achse einer Werkstück oberfläche (7) mittels der Stelleinrichtung (17) verschiebbar sind.

4. Strahlengang-Einstellvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Eintrittsseite oder Austritts seite der keilförmigen Ablenkeinrichtung (4) eine geneigte Oberfläche (18) aufweist.

5. Strahlengang-Einstellvorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die keilförmige x-Achsen-Ablenkeinheit (4 x) und die keilförmige y-Achsen-Ablenkeinheit (4 y) auf der Eintrittsseite oder der Austrittsseite eine geneigte Ober fläche (18) aufweisen.

6. Strahlengang-Einstellvorrichtung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß eine Anzeigeeinrichtung (14) zwischen der Meßeinrichtung (12, 13) und der Steuereinrichtung (15, 16) zur Anzeige von x- und y-Achsen einer Werkstückoberfläche (7), der Sollposition und der Leuchtfleckposition vorgesehen ist.

7. Verfahren zur Einstellung eines Strahlenganges, gekenn zeichnet durch folgende Schritte:
einen Strahl auf eine Sammellinse (6) ausrichten,
eine keilförmige Ablenkeinrichtung (4) auf der Einfalls seite der Sammellinse (6) anordnen,
die Leuchtfleckposition des Strahles mittels einer Meß einrichtung (12, 13) feststellen, und ein Leuchtfleck-Posi tionssignal an die Steuereinrichtung (15, 16) leiten,
ein aus der Abweichung der Leuchtfleckposition von einem Sollwert ermitteltes Korrektursignal einer Stelleinrichtung (17) zuführen, und
die keilförmige Ablenkeinrichtung (4) zum Ausrichten des Strahles parallel zur optischen Achse der Sammellinse (6) ver stellen.

8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß als Strahl ein Laserstrahl verwendet wird.

9. Verfahren nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Verstellung der keilförmigen Ablenkeinrichtung (4) eine Verstellung einer keilförmigen x-Achsen-Ablenkeinheit (4 x) und einer keilförmigen y-Achsen-Ablenkeinheit (4 y) in Richtung von x- bzw. y-Achsen einer Werkstückoberfläche (7) umfaßt, so daß die keilförmige x-Achsen-Ablenkeinheit (4 x) und die keilförmige y-Achsen-Ablenkeinheit (4 y) von der Stellein richtung (17) zur Ausrichtung des Strahles parallel zur opti schen Achse der Sammellinse (6) verstellt werden.

10. Verfahren nach Anspruch 7, 8 oder 9, dadurch gekennzeich net, daß ferner die Sollposition und die Leuchtfleckposition von der Meßeinrichtung (12, 13) auf der Anzeigeeinrichtung (14) zusammen mit x- und y-Achsen der Werkstückoberfläche (7) angezeigt werden, und die Stelleinrichtung (17) mit einem Korrektursignal beaufschlagt wird, das zur Beseitigung der Abweichung der Leuchtfleckposition vom Sollwert dient.

11. Strahlengang-Einstellvorrichtung mit
einer von einem Laserstrahl beaufschlagten Sammellinse (6),
einer keilförmigen Ablenkeinrichtung (4), die verstellbar auf der Einfallsseite der Sammellinse (6) angeordnet ist, die eine keilförmige x-Achsen-Ablenkeinheit (4 x) und eine keilför mige y-Achsen-Ablenkeinheit (4 y) umfaßt, die gegeneinander in einer x-Achse und einer y-Achse einer Werkstückoberfläche (7) verschiebbar sind,
einer Meßeinrichtung (12, 13) zur Feststellung einer Leuchtfleckposition des Laserstrahles auf der Sammellinse (6),
einer Steuereinrichtung (15, 16), die aus dem Leucht fleck-Positionssignal der Meßeinrichtung (12, 13) ein Korrek tursignal bildet, das die Abweichung der Leuchtfleckposition relativ zu einer Sollposition darstellt,
einer Stelleinrichtung (17), die in Abhängigkeit des Kor rektursignals der Steuereinrichtung (15, 16) die keilförmige x-Achsen-Ablenkeinheit (4 x) und die keilförmige y-Achsen- Ablenkeinheit (4 y) zur Ausrichtung des Laserstrahles parallel zur optischen Achse der Sammellinse (6) verstellt, und
einer Anzeigeeinrichtung (14) zwischen der Meßeinrichtung (12, 13) und der Steuereinrichtung (15, 16) zur Anzeige von x und y-Achsen einer Werkstückoberfläche (7), der Sollposition und der Leuchtfleckposition.

12. Verfahren zur Einstellung eines Strahlenganges, bei dem ein Laserstrahl auf eine Sammellinse (6) ausgerichtet wird,
auf der Einfallsseite der Sammellinse (6) eine keilför mige x-Achsen-Ablenkeinheit (4 x) und eine keilförmige y-Ach sen-Ablenkeinheit (4 y) gegeneinander in x- bzw. y-Achsen einer Werkstückoberfläche (7) bewegbar sind,
die Leuchtfleckposition des Laserstrahles auf der Sammel linse (6) mittels einer Meßeinrichtung (12, 13) ermittelt wird, und eine Steuereinrichtung (15, 16) mit der ermittelten Position beaufschlagt wird,
eine Stelleinrichtung (17) mit einem Korrektursignal ver sorgt wird, das die Abweichung der Leuchtfleckposition von einem Sollwert darstellt, und
die keilförmige x-Achsen-Ablenkeinheit (4 x) und die keilförmige y-Achsen-Ablenkeinheit (4 y) von der Stelleinrich tung (17) in der x- bzw. y-Richtung zur Ausrichtung des Laser strahles parallel zur optischen Achse der Sammellinse (6) ver stellt werden.