DE3934887A1

DE3934887A1 - Deposition of thin magnetic films with constant thickness - uses sputtering method in which substrates perform specified planetary motions

Info

Publication number: DE3934887A1
Application number: DE19893934887
Authority: DE
Inventors: Naoki Kusunoki; Hideaki Takeuchi
Original assignee: Fuji Photo Film Co Ltd
Current assignee: Fujifilm Holdings Corp
Priority date: 1988-10-19
Filing date: 1989-10-19
Publication date: 1990-04-26
Also published as: JP2592311B2; JPH02210636A

Abstract

The active layers of a photomagnetic recording medium are deposited in a sputtering chamber using a metallic target electrode (16a) composed of a Rare Earth element (1a), pref. Tb, a target electrode (16b) made of a transition metal (1b), pref. FeCo, and in which the substrates are suspended from supports (3). The substrates are rotated during depsn. and also the plate (4) holding the substrate supports rotates round an axis which is excentric wrt the substrates. The ratio of rotations per minute for the substrates and that of the plate (4) is 4 or more, pref. not a whole number. The substrate supports (3) are pref. coated before use with a dielectric film, pref. consisting of or containing Si-nitride. USE/ADVANTAGE - The planetary rotation method improves the evenness of the layer thickness, especially after depsn. of several layers. This results in an improved performance of the device. The process is used for the mfr. of optical storage devices using Kerr or Fairchild effects.

Description

Basics of the invention

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen eines photomagnetischen Aufzeichnungsträgers und insbesondere ein solches, bei dem ein dünner, mehrschichtiger Film ununterbrochen auf einer Grundplatte durch eine Zerstäubung ausgebildet wird, während diese rund um ihre Mittelachse gedreht und zugleich um eine Achse geschwenkt wird, die gegenüber der Grund platte versetzt ist.The present invention relates to a method for producing a photomagnetic recording medium and in particular one in which a thin, multilayer film continuously on a base plate atomization is formed while this is around its central axis rotated and at the same time pivoted about an axis that is opposite the bottom plate is offset.

In neuerer Zeit steht ein photomagnetischer Aufzeichnungsträger in Form einer photomagnetischen Scheibe zur Verfügung, auf der bzw. von der unter Benutzung eines Laserlichtstrahles Informationen in hoher Dichte aufge schrieben bzw. ausgelesen werden. Die photomagnetische Scheibe weist eine dielektrische Schicht, eine der Aufzeichnung dienende Schicht und eine Schutzschicht auf, die auf einer durchsichtigen Grundplatte aus Glas, Kunst stoff oder dgl. durch Zerstäuben ausgebildet sind. Bei der der Aufzeichnung dienenden Schicht, die einen photomagnetischen Effekt zeigt, sind mindestens eine Metallschicht aus einer Seltenen Erde und mindestens eine Schicht eines Übergangsmetalls, deren Dicke jeweils mehrere Ångström bis 10 Å und meh rere Ångström beträgt, abwechselnd aufeinander gestapelt. Solch eine der Aufzeichnung dienende Schicht erreicht eine gute Magnetisierung und Koerzi tivkraft und einen guten photomagnetischen Kerr-Effekt. Das Herstellungsver fahren zur Anfertigung der der Aufzeichnung dienenden Schicht kann außerdem leicht beeinflußt werden.More recently, a photomagnetic recording medium is in shape a photomagnetic disc is available, on or from the below Using a laser light beam information in high density be written or read. The photomagnetic disc has one dielectric layer, a recording layer and one Protective layer on a transparent base plate made of glass, art fabric or the like. Are formed by atomization. When recording serving layer that shows a photomagnetic effect are at least a rare earth metal layer and at least one layer of a Transition metal, the thickness of each several angstroms to 10 Å and more rere Ångström is, alternately stacked on top of each other. Such one of the Recording layer achieves good magnetization and Koerzi tivkraft and a good photomagnetic Kerr effect. The manufacturing ver can also drive to make the recording layer be easily influenced.

Bei einem herkömmlichen Verfahren zum Herstellen einer photomagneti schen Platte dieser Art werden eine metallische Gegenelektrode aus einer Seltenen Erde und eine Gegenelektrode aus einem Übergangsmetall in einer der Zerstäubung dienenden Kammer angeordnet und in dieser einer Zerstäubung unterworfen, während eine Grundplatte oder ein Grundplattenhalter, die bzw. der über den Gegenelektroden aufgestellt und ihnen zugekehrt ist, um die Achse der Platte oder des Halters gedreht und rund um eine Achse geschwenkt wird, die von der Plattenachse entfernt ist; auf diese Weise wird ein dünner Film mit einem gleichförmigen Mehrschichtenaufbau erzeugt. Ein derartiges Verfahren ist in den ungeprüften, veröffentlichten Japanischen Patentanmel dungen Nr. 7715/86 und 71 041/87 bekanntgegeben.In a conventional method for producing a photomagneti plate of this type are a metallic counter electrode from a Rare earth and a counter electrode made of a transition metal in one arranged the atomization chamber and in this an atomization subject while a base plate or base plate holder, or which is placed over the counter electrodes and facing them to the Axis of the plate or holder rotated and pivoted around an axis which is distant from the plate axis; this way a thin one Produced film with a uniform multilayer structure. Such a thing The process is described in the unexamined, published Japanese patent applications dated No. 7715/86 and 71 041/87.

Da sowohl eine Drehung als auch die Schwenkung angewendet werden, braucht zwischen der Grundplatte und den Gegenelektroden keine Blende vorge sehen zu sein, um zu verhindern, daß die Dicke des dünnen Filmes sich un gleichförmig verteilt, was auf die Verteilung der Richtungswinkel der zer stäubten Teilchen zurückzuführen ist. So wird der Wirkungsgrad vergrößert, mit dem die zerstäubten Teilchen an der Grundplatte festgehalten werden. Da die zerstäubten Teilchen, die den dünnen Film auf der Grundplatte bilden, nicht an der Blende haften und keinen Staub hervorrufen, der auf die Grund platte gestreut werden könnte und die Bildung feiner Löcher in dem dünnen Film verursachen könnte, ist die Beschaffenheit des Filmes gut.Since both rotation and panning are applied, does not need a screen between the base plate and the counter electrodes to be seen to prevent the thickness of the thin film from changing uniformly distributed, which is due to the distribution of the directional angle of the zer dust particles. So the efficiency is increased, with which the atomized particles are held on the base plate. There the atomized particles that form the thin film on the base plate, does not adhere to the bezel and does not cause dust to get to the bottom plate could be scattered and the formation of fine holes in the thin Film, the nature of the film is good.

Obgleich die Gesamtdicke des dünnen Filmes aus metallischen Schichten der Seltenen Erde und der Schichten des Übergangsmetalles bei dem herkömm lichen Verfahren gleichförmig ausfällt, ist im allgemeinen jedoch die Dicke der einzelnen Schicht nicht so gleichförmig wie die Gesamtdicke des Filmes. Aus jenem Grund ist bei dem photomagnetischen Aufzeichnungsträger, der in solch einem Verfahren angefertigt wird, das Verhältnis von Träger zu Rau schen nicht so groß, wie erwünscht, und die Hüllkurve des aufgezeichneten Signals ist nicht gut.Although the total thickness of the thin film made of metallic layers the rare earth and the layers of the transition metal in the conventional Lichen process is uniform, but is generally the thickness of the individual layer is not as uniform as the total thickness of the film. For this reason, the photomagnetic recording medium which is in such a process is made, the carrier to rough ratio not as large as desired, and the envelope of the recorded Signals is not a good thing.

Als Ergebnis verschiedener Experimente, die von den Erfindern ausge führt wurden, wurde herausgefunden, daß die Gleichförmigkeit der Dicke jeder einzelnen Schicht des dünnen Filmes stark von dem Verhältnis der Drehzahl der Grundplatte oder des Grundplattenhalters zu seiner Anzahl Schwenkungen abhängt. Obgleich bekannt ist, daß die Gleichförmigkeit jeder Schicht des dünnen Filmes im allgemeinen zunimmt, wenn die Drehzahl über die Anzahl Schwenkungen hinaus vergrößert wird, werden die mechanische Kompliziertheit der Einrichtung zur Herstellung des photomagnetischen Aufzeichnungsträgers und die Größe und das Gewicht der Einrichtung vermehrt, wenn die Drehzahl viel höher als die Anzahl der Schwenkungen ist.As a result of various experiments carried out by the inventors , it was found that the thickness uniformity of each single layer of thin film heavily on the ratio of speed the base plate or the base plate holder to its number of swings depends. Although it is known that the uniformity of each layer of the thin film generally increases when the speed over the number Swings are enlarged, the mechanical complexity the device for producing the photomagnetic recording medium and the size and weight of the device increased when the speed is much higher than the number of swings.

Overview of the invention

Die vorliegende Erfindung wurde zur Lösung der oben erläuterten Proble me gemacht. Dementsprechend ist es ein Ziel der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren zur Herstellung eines photomagnetischen Aufzeichnungsträgers vor zusehen, bei dem die Dicke jeder metallischen Schicht aus der Seltenen Erde und jeder Schicht aus dem Übergangsmetall des dünnen Filmes des Aufzeich nungsträgers gleichförmig ausgebildet wird, um dadurch das Verhältnis von Träger zu Rauschen und die Hüllkurve des Aufzeichnungsträgers zu verbessern.The present invention has been made to solve the above-mentioned problems me done. Accordingly, it is an object of the present invention to provide a Process for the production of a photomagnetic recording medium watch the thickness of each metallic layer from the rare earth and each layer of the transition metal of the thin film of the recording is formed uniformly, thereby thereby the ratio of Carrier to noise and to improve the envelope of the record carrier.

Bei dem Verfahren, das gemäß der vorliegenden Erfindung vorgesehen ist, werden eine Gegenelektrode aus Metall einer Seltenen Erde und eine Gegen elektrode aus einem Übergangsmetall in eine Zerstäubungskammer gebracht, und die beiden Gegenelektroden werden einer Zerstäubung unterworfen, während eine den Gegenelektroden gegenüberstehende Grundplatte um die Mittelachse der Platte gedreht und um eine von der Platte entfernte Achse geschwenkt wird. Das Verfahren ist dadurch gekennzeichnet, daß das Verhältnis W ₂/W ₁ = 4 ist oder mehr beträgt.In the method provided in accordance with the present invention, a counter electrode made of a rare earth metal and a counter electrode made of a transition metal are brought into a sputtering chamber, and the two counter electrodes are subjected to sputtering while a base plate opposite to the counter electrodes is placed around the central axis the plate is rotated and pivoted about an axis remote from the plate. The method is characterized in that the ratio W ₂ / W ₁ = 4 or more.

Brief description of the drawings

Fig. 1 ist eine schematische Ansicht des größten Teiles eines Zerstäu bungsgerätes zur Anfertigung eines photomagnetischen Aufzeichnungsträgers gemäß einem Verfahren der vorliegenden Erfindung und Fig. 1 is a schematic view of the majority of an atomizing apparatus for making a photomagnetic recording medium according to a method of the present invention and

Fig. 2 ist eine Auftragung und zeigt das Verhältnis zwischen der Dreh zahl einer gedrehten und geschwenkten Grundplatte zu der Anzahl Schwenkun gen der Platte und der Dickenverteilung eines dünnen Filmes, der auf der Grundplatte ausgebildet ist. Fig. 2 is a plot showing the relationship between the number of rotations of a rotated and pivoted base plate to the number of pivoting conditions of the plate and the thickness distribution of a thin film formed on the base plate.

Description of the preferred embodiments

Bevorzugte Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung werden hiernach ausführlich unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen erläutert.Preferred embodiments of the present invention are hereinafter explained in detail with reference to the accompanying drawings.

Fig. 1 ist eine schematische Ansicht eines großen Teiles eines Zer stäubungsgerätes, um gemäß einer bevorzugten Ausführungsform eines Verfah rens der Erfindung einen photomagnetischen Aufzeichnungsträger herzustellen. In einer Zerstäubungskammer 15 sind Gegenelektroden 1 a und 1 b auf eigenen Kathoden 16 a und 16 b angeordnet, die am Boden der Zerstäubungskammer gelegen sind. Außerhalb der Zerstäubungskammer 15 sind Permanentmagnete 17 a und 17 b an Stellen vorgesehen, welche den Unterseiten der Gegenelektroden 1 a und 1 b entsprechen, damit den Gegenelektroden Magnetfelder aufgeprägt werden. Mit den Kathoden 16 a und 16 b, an die Stromstärken zur Zerstäubung, die für die jeweiligen Gegenelektroden 1 a und 1 b angemessen sind,und zur Bildung des er wünschten dünnen Mehrschichtenfilms angelegt werden, sind Stromquellen 18 für die Gegenelektroden verbunden. Grundplatten 2 aus Kunststoff werden an ro tierenden Haltern 3 festgehalten, die auch als Anoden dienen. Die Grundplat ten 2 sind in etwa gleichem Abstand über den Gegenelektroden 1 a und 1 b ange ordnet. Sich drehende Wellen 7, die mit der Mitte der rotierenden Halter 3 verbunden sind, erstrecken sich durch einen schwenkenden Halter 4 nach oben, der von einem Antriebsmotor 6 gedreht wird. Planetenräder 5 a sind am oberen Ende der Wellen 7 befestigt und greifen in ein Sonnenrad 5 b ein, das an der Welle 8 des Antriebsmotors 6 befestigt ist, damit die Planetenräder um ihre Achse gedreht werden, während sie rund um das Sonnenrad geschwenkt werden. Das Verhältnis der Drehzahl jedes rotierenden Halters 3 zu der des schwen kenden Halters 4 ist auf annähernd 4 eingestellt. Daher ist das Verhältnis W ₂/W ₁ der Drehzahl W ₂ jedes rotierenden Halters 3 zu der Anzahl W ₁ der Schwenkungen annähernd 4. Fig. 1 is a schematic view of a large part of an atomizing apparatus for producing a photomagnetic recording medium according to a preferred embodiment of a method of the invention. In an atomizing chamber 15 , counter electrodes 1 a and 1 b are arranged on their own cathodes 16 a and 16 b , which are located at the bottom of the atomizing chamber. Outside the atomization chamber 15 , permanent magnets 17 a and 17 b are provided at locations which correspond to the undersides of the counter electrodes 1 a and 1 b , so that magnetic fields are impressed on the counter electrodes. With the cathodes 16 a and 16 b , to the current levels for atomization, which are appropriate for the respective counter electrodes 1 a and 1 b , and to form the desired thin multilayer film, current sources 18 are connected for the counter electrodes. Base plates 2 made of plastic are held on ro holder 3 , which also serve as anodes. The Grundplat th 2 are arranged approximately the same distance above the counter electrodes 1 a and 1 b . Rotating shafts 7 connected to the center of the rotating holder 3 extend upward through a pivoting holder 4 which is rotated by a drive motor 6 . Planet gears 5 a are attached to the upper end of the shafts 7 and engage in a sun gear 5 b which is attached to the shaft 8 of the drive motor 6 so that the planet gears are rotated about their axis while being pivoted around the sun gear. The ratio of the speed of each rotating holder 3 to that of the pivoting holder 4 is set to approximately 4. Therefore, the ratio W ₂ / W _{1 of} the speed W _{2 of} each rotating holder 3 to the number W _{1 of} the turns is approximately 4.

Die Gegenelektrode 1 a kann aus einem Übergangsmetall und die andere Gegenelektrode 1 b aus einem Metall der Seltenen Erden sein, damit der dünne, mehrschichtige Film auf jeder Grundplatte 2 aus abwechselnden Schichten des Übergangsmetalls und des Metalls der Seltenen Erden zusammengesetzt wird.The counter electrode 1 a can be made of a transition metal and the other counter electrode 1 b can be made of a rare earth metal, so that the thin, multilayer film on each base plate 2 is composed of alternating layers of the transition metal and the rare earth metal.

In die der Zerstäubung dienende Kammer 15 wird ein Edelgas, z. B. Ar gon, eingebracht. Beiden Gegenelektroden 1 a und 1 b wird Strom zum Zerstäuben zugeleitet. Die Grundplatten 2 aus Kunststoff, auf denen dielektrische Schichten im voraus gebildet werden, werden an den rotierenden Haltern 3 festgehalten. Der zum Schwenken vorgesehene Antriebsmotor 6 wird dann in Gang gesetzt, und es beginnt durch Zerstäubung eine Aufbringung der dünnen mehrschichtigen Filme des Übergangsmetalls und des Metalls der Seltenen Er den auf den Grundplatten 2.In the atomizing chamber 15 , an inert gas, for. B. Ar gon introduced. Current for atomization is fed to both counter electrodes 1 a and 1 b . The base plates 2 made of plastic, on which dielectric layers are formed in advance, are held on the rotating holders 3 . The drive motor 6 provided for pivoting is then started, and an application of the thin multilayer films of the transition metal and the rare metal to the base plates 2 begins by sputtering.

Da das Verhältnis der Drehzahl jedes rotierenden Halters 3 zu der An zahl seiner Schwenkungen auf etwa 4 oder darüberhinaus eingestellt wird, führt jede Grundplatte 2 in dem wirksamen Aufbringungsbereich des Filmes (wo eine sehr hohe Plasmadichte herrscht), und der sich während der Bildung jeder Schicht des dünnen Filmes auf der Grundplatte unter jeder Gegenelek trode 1 a und 1 b befindet, 2 1/2 Umdrehungen oder mehr aus. Aus jenem Grund wird die Dicke jeder Schicht des Übergangsmetalls und des Metalls der Sel tenen Erden des dünnen Filmes gleichförmig hergestellt. Since the ratio of the rotational speed of each rotating holder 3 to the number of its pivots is set to about 4 or more, each base plate 2 leads in the effective application area of the film (where there is a very high plasma density), and which occurs during the formation of each layer the thin film is located on the base plate under each counter electrode 1 a and 1 b , 2 1/2 turns or more. For that reason, the thickness of each layer of the transition metal and the rare earth metal of the thin film is made uniform.

Die jetzigen Erfinder haben durch eine Simulations-Analyse und Experi mente herausgefunden, daß bei dem der Zerstäubung dienenden Gerät das Ver hältnis der Drehzahl jedes rotierenden Halters zu der Anzahl Schwenkungen und der Verteilung der Dicke des niedergeschlagenen, dünnen Filmes zueinan der in einer Beziehung stehen, die in Fig. 2 gezeigt ist.The present inventors have found through simulation analysis and experiments that in the atomizing apparatus, the ratio of the rotational speed of each rotating holder to the number of swings and the distribution of the thickness of the deposited thin film are related, which is shown in Fig. 2.

In dem Experiment wurde die Gegenelektrode aus Terbium in die Mitte einer der Zerstäubung dienenden Kammer gesetzt; die Grundplatten aus Kunst stoff wurden, den Gegenelektroden gegenüberstehend, in dem Abstand von 150 mm (zwischen der Grundplatte und der Gegenelektrode) angeordnet. Der Radius für die Umdrehung jeder Grundplatte betrug 190 mm. Nachdem die der Zerstäu bung dienende Kammer von Gas bis auf einen Druck von 5×10^-7 Torr evakuiert war, wurde gasförmiges Argon in die Kammer bis zu einem Druck von 1,0×1^-3 Torr eingelassen. An der Gegenelektrode aus Terbium wurde eine Leistung von 1 kW angelegt, damit ein Zerstäuben in Gang gesetzt und beibehalten wurde. Die Grundplatten wurden mit 15 Umdrehungen pro Minute geschwenkt und die mehrschichtigen Filme auf den Grundplatten während einer Zeitspanne von 180 Sekunden niedergebracht.In the experiment, the terbium counterelectrode was placed in the middle of a sputtering chamber; the base plates made of plastic were arranged opposite the counter electrodes at a distance of 150 mm (between the base plate and the counter electrode). The radius for the rotation of each base plate was 190 mm. After the atomizing chamber was evacuated from gas to a pressure of 5 × 10 ^-7 torr, gaseous argon was admitted into the chamber to a pressure of 1.0 × 1 ^-3 torr. A power of 1 kW was applied to the counter electrode made of terbium so that atomization was started and maintained. The base plates were pivoted at 15 revolutions per minute and the multilayer films on the base plates were deposited over a period of 180 seconds.

Wie herausgefunden wurde, war die Dicke eines Filmes mit 45 Schichten durchweg gleichförmig, falls das Verhältnis der Drehzahl des rotierenden Halters zu der Anzahl seiner Schwenkungen nicht gleich war oder nicht nahe an einer ganzen Zahl lag. Außerdem wurde jedoch entdeckt, daß die Dicke je der Schicht des mehrschichtigen Filmes sehr ungleichförmig war, wenn das Verhältnis der Drehzahl des rotierenden Halters zu der Anzahl seiner Schwen kungen geringer als ungefähr 4 war.The thickness of a film was found to be 45 layers consistently uniform if the ratio of the rotational speed of the rotating Holder was not the same or not close to the number of his swings was an integer. However, it was also discovered that the thickness ever the layer of the multilayer film was very uneven if that Ratio of the speed of the rotating holder to the number of its turns was less than about 4.

Das Verhältnis von Träger zu Rauschen, die Hüllkurve und andere Beson derheiten des dünnen, mehrschichtigen Filmes können dadurch verbessert wer den, daß die Dicke jeder Schicht des dünnen Filmes gleichförmig ausgebildet wird. Daher können das Verhältnis von Träger zu Rauschen, die Hüllkurve usw. des mehrschichtigen Filmes durch eine Zerstäubung auf sehr gute Werte ge bracht werden, während das Verhältnis der Drehzahl des rotierenden Halters zu der Anzahl Schwenkungen auf 4 oder darüber eingestellt wird.The ratio of carrier to noise, the envelope and other particulars Units of the thin, multilayer film can be improved that the thickness of each layer of the thin film is made uniform becomes. Therefore, the carrier to noise ratio, the envelope, etc. of the multilayer film by atomization to very good values be brought up while the ratio of the speed of rotation of the rotating holder to the number of swings is set to 4 or above.

Bei einem Verfahren zur Herstellung eines photomagnetischen Aufzeich nungsträgers gemäß der vorliegenden Erfindung werden eine metallische Gegen elektrode aus einer Seltenen Erde und eine Gegenelektrode aus einem Über gangsmetall in eine der Zerstäubung dienende Kammer gebracht, um auf einer den Gegenelektroden gegenüberstehenden Grundplatte einen Film aus mindestens einer metallischen Schicht aus Seltener Erde und einer Schicht aus einem Übergangsmetall zu bilden; während der Zerstäubung der Gegenelektroden wird dabei das Verhältnis der Drehzahl der Grundplatte oder des Halters der Grundplatte zu der Anzahl Schwenkungen auf 4 oder darüber eingestellt. In folgedessen wird die Verteilung der Dicke jeder Schicht des Filmes gleich förmig gestaltet, und dementsprechend werden das Verhältnis von Träger zu Rauschen, die Hüllkurve usw. des Filmes auf sehr gute Werte gebracht.In a method for producing a photomagnetic record Mung carrier according to the present invention become a metallic counter electrode from a rare earth and a counter electrode from an over gear metal into an atomizing chamber to be placed on a the base plate opposite the counter electrodes a film of at least a metallic layer of rare earth and a layer of one To form transition metal; during the sputtering of the counter electrodes the ratio of the speed of the base plate or the holder Base plate for the number of swings set to 4 or above. In as a result, the distribution of the thickness of each layer of the film becomes the same shaped, and accordingly the ratio of carrier to Noise, the envelope, etc. of the film brought to very good values.

Nun sei ein tatsächliches Beispiel für die vorliegende Erfindung erläu tert, um die Effekte der Erfindung im Vergleich mit einem ähnlichen Beispiel klarzustellen.An actual example of the present invention will now be explained tert to compare the effects of the invention with a similar example to clarify.

Actual example

Zur Herstellung von der Aufzeichnung dienenden Schichten photomagneti scher Aufzeichnungsträger wurden Filme unter Verwendung eines Zerstäubungs gerätes gebildet, wie in Fig. 1 gezeigt ist. In der der Zerstäubung dienen den Kammer 15 wurden eine Gegenelektrode 1 a aus Terbium von 200 mm (8 Zoll) Durchmesser und eine Gegenelektrode 1 b aus FeCo (Eisenkobalt) vom selben Durchmesser als metallische Gegenelektrode aus der Seltenen Erde bzw. als Gegenelektrode aus einem Übergangsmetall vorgesehen, wobei der Abstand zwi schen der Mitte der Gegenelektroden 200 mm betrug. Zwei rotierende Halter 3 jeweils mit einem Durchmesser von 130 mm (5,25 Zoll), die die Grundplatten 2 festhalten, wurden in der der Zerstäubung dienenden Kammer 15 in der Weise angeordnet, daß die Grundplatten den Gegenelektroden gegenübergestellt wa ren, der Abstand zwischen der Grundplatte und der Gegenelektrode 150 mm be trug und der Schwenkradius jedes Halters um die Achse der Welle 8 des An triebsmotors 6 190 mm war. Auf den beiden Grundplatten wurde ein optischer Film aus Siliciumnitrid (SiN) in einer Dicke von 800 Å ausgebildet, bevor die Grundplatten 2 an den rotierenden Haltern 3 festgemacht wurden. Nachdem die der Zerstäubung dienende Kammer 15 von Gas bis zu einem Druck von 5x10^-7 Torr evakuiert wurde, wurde gasförmiges Argon (35 SCCM) in die Kammer bis zu einem Druck von 2×10^-3 Torr eingelassen. An die Gegenelektrode aus Terbium bzw. an die Gegenelektrode aus Eisenkobalt (FeCo) wurde eine Entladungslei stung von 900 W bzw. 2100 W herangebracht, damit eine Zerstäubung in Gang gesetzt und aufrechterhalten wurde. Die Anzahl W ₁ der Schwenkungen jedes rotierenden Halters 3 um die Achse der Welle 8 des Antriebsmotors 6 und die Drehzahl W ₂ des Halters um seine Achse wurden auf 30 bzw. 128 Umdrehungen je Minute eingestellt; das heißt, das Verhältnis der Drehzahl zu der Anzahl Schwenkungen W ₂/W ₁ betrug 4,27. Das Niederschlagen des Filmes erfolgte 3 Minuten und 20 Sekunden lang, damit die Gesamtdicke der abwechselnd gesta pelten Schichten aus Terbium und Eisenkobalt (FeCo) jedes Filmes 1000 Å betrug.Films were formed using an atomizing apparatus as shown in Fig. 1 to produce recording layers of photomagnetic recording media. In the atomization chamber 15 , a counter electrode 1 a made of terbium of 200 mm (8 inches) in diameter and a counter electrode 1 b made of FeCo (iron cobalt) of the same diameter were used as a metallic counter electrode from rare earth or as a counter electrode made of a transition metal provided, the distance between the rule's center was 200 mm. Two rotating holders 3 each with a diameter of 130 mm (5.25 inches), which hold the base plates 2 , were arranged in the atomizing chamber 15 in such a way that the base plates were opposed to the counter electrodes, the distance between the Base plate and the counter electrode was 150 mm and the swivel radius of each holder around the axis of the shaft 8 of the drive motor 6 was 190 mm. An optical film made of silicon nitride (SiN) was formed on the two base plates in a thickness of 800 Å before the base plates 2 were attached to the rotating holders 3 . After the atomizing chamber 15 was evacuated from gas to a pressure of 5x10 ^-7 Torr, gaseous argon (35 SCCM) was admitted to the chamber to a pressure of 2 × 10 ^-3 Torr. A discharge power of 900 W or 2100 W was applied to the counter electrode made of terbium or the counter electrode made of iron cobalt (FeCo), so that atomization was started and maintained. The number W _{1 of} the rotations of each rotating holder 3 about the axis of the shaft 8 of the drive motor 6 and the speed W _{2 of} the holder about its axis were set to 30 and 128 revolutions per minute; that is, the ratio of the speed to the number of swings W ₂ / W ₁ was 4.27. The film was deposited for 3 minutes and 20 seconds so that the total thickness of the alternately stacked layers of terbium and iron cobalt (FeCo) of each film was 1000 Å.

Dann wurden die dynamischen Eigenschaften fünf derartiger Filme gemes sen. Als Ergebnis fand man, daß das durchschnittliche Verhältnis von Träger zu Rauschen und die Hüllkurven der Filme an einem von der Mitte der Drehach se der Grundplatte 30 mm entfernt liegenden Punkt (bei einer Bitlänge von 0,90 µm) 50 db bzw. 0,5 db oder weniger betrugen. Daher war die Qualität der Filme sehr gut.Then the dynamic properties of five such films were measured sen. As a result, it was found that the average ratio of carriers to noise and the envelopes of the films at one from the center of the rotary axis point of the base plate 30 mm away (with a bit length of 0.90 µm) were 50 db or 0.5 db or less. Hence the quality of the Films very well.

Comparable example

Unter denselben Bedingungen wie beim tatsächlichen Beispiel wurden der Aufzeichnung dienende Schichtenfilme photomagnetischer Aufzeichnungsträger hergestellt, wenn man davon absieht, daß die Drehzahl W ₂ jedes Grundplatten halters 3 da 68 Umdrehungen je Minute und das Verhältnis der Drehzahl zu der Anzahl Schwenkungen W ₁ 2,27 war. Die dynamischen Eigenschaften fünf der artiger Filme wurden gemessen. Wie gefunden wurde, betrugen das mittlere Verhältnis von Träger zu Rauschen und die Hüllkurven der Filme an einem Punkt, der von der Mitte der Drehachse der Grundplatte 30 mm entfernt war, 47 db (bei einer Bitlänge von 0,9 µm) bzw. 1,0 db oder darüberhinaus.Under the same conditions as in the actual example, recording sheet films of photomagnetic recording media were prepared, except that the speed W _{2 of} each base plate holder 3 was 68 revolutions per minute and the ratio of the speed to the number of swings W _{1 was} 2.27 . The dynamic properties of five of the like films were measured. The average carrier to noise ratio and the envelopes of the films at a point 30 mm from the center of the axis of rotation of the base plate were found to be 47 db (at 0.9 µm bit length) and 1, respectively, 0 db or more.

Aus den Meßergebnissen des tatsächlichen und vergleichbaren Beispiels bestätigte sich, daß bei einem Verhältnis der Drehzahl zu der Anzahl Schwen kungen von weniger als 4 das Verhältnis von Träger zu Rauschen und die Hüll kurve der Filme bis zu dem Punkt schlechter wurden, an dem die Qualität der Filme nicht annehmbar war.From the measurement results of the actual and comparable example confirmed that at a ratio of the speed to the number of turns kung less than 4 the carrier to noise ratio and the envelope curve of the films deteriorated to the point where the quality of the Films was unacceptable.

Claims

1. Method for producing a photomagnetic recording medium with the following steps:
to arrange a metallic counter electrode made of rare earth and a counter electrode made of a transition metal in a sputtering chamber, in the sputtering chamber, opposite the counter electrodes, to arrange at least one base plate and
to throw the base plate into an atomization by the counter electrodes, while the base plate is rotated around its central axis and simultaneously pivoted around an axis which is set against the base plate, a ratio of a speed of the base plate to a number of swings of the base plate 4 or greater.

2. Method of making a photomagnetic recording medium gers of claim 1, wherein the ratio of the speed of the reason plate is not close to the number of swings of the base plate integer.

3. Method of making a photomagnetic recording medium gers of claim 1, wherein at least one dielectric film layer in the is formed beforehand on the base plate.

4. Method of making a photomagnetic recording medium gers of claim 3, wherein the dielectric film layer silicon nitride (SiN) contains or is from this.

5. Method of making a photomagnetic recording medium gers of claim 1, wherein the metallic counter electrode made of rare Earth made of terbium and the counter electrode made of the transition metal made of iron cobalt (FeCo) is produced.