[go: up one dir, main page]

DE3916689C1 - Pressure pick=up with two capsule parts - having outer edges forming mounting zone for diaphragm and sealed by two-component adhesive - Google Patents

Pressure pick=up with two capsule parts - having outer edges forming mounting zone for diaphragm and sealed by two-component adhesive

Info

Publication number
DE3916689C1
DE3916689C1 DE19893916689 DE3916689A DE3916689C1 DE 3916689 C1 DE3916689 C1 DE 3916689C1 DE 19893916689 DE19893916689 DE 19893916689 DE 3916689 A DE3916689 A DE 3916689A DE 3916689 C1 DE3916689 C1 DE 3916689C1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
adhesive
membrane
capsule
clamping
capsule parts
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE19893916689
Other languages
German (de)
Inventor
Erwin 7815 Kirchzarten De Halstrup
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Walcher Messtechnik 7815 Kirchzarten De GmbH
Original Assignee
Walcher Messtechnik 7815 Kirchzarten De GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Walcher Messtechnik 7815 Kirchzarten De GmbH filed Critical Walcher Messtechnik 7815 Kirchzarten De GmbH
Priority to DE19893916689 priority Critical patent/DE3916689C1/en
Application granted granted Critical
Publication of DE3916689C1 publication Critical patent/DE3916689C1/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/007Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in inductance
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/0042Constructional details associated with semiconductive diaphragm sensors, e.g. etching, or constructional details of non-semiconductive diaphragms
    • G01L9/0048Details about the mounting of the diaphragm to its support or about the diaphragm edges, e.g. notches, round shapes for stress relief
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/0072Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Abstract

A pressure-connector (1) has a chmber (6) with a pressure-coupling (7) as well as a membrane (4) enclosed in two container-parts (2,3). The outer sides of the container parts (2,3) form a clamping zone (11) for the membrane (4) which is sealed from the outside with a dual-component adhesive. The depth of penetration of the adhesive in the area of the clamping-zone is limited by the width of the grooves (16). Outer and inner clamping areas for the membrane (4) are formed. The inner area constitutes a metallic clamp which is free from any adhesive. ADVANTAGE - Effective seal of container parts in clamping area of membrane and at the same time a metal to metal clamp for the membrane is achieved, with reduction of any thermal after-effects.

Description

Die Erfindung betrifft einen Druckaufnehmer mit einer mit Druckanschlüssen sowie einer Membrane versehenen Kammer, die durch zwei die Membrane einspannende Kapselteile um­ schlossen ist und bei der an wenigstens einem Kapselteil ein mit der Membrane gekuppelter Wegaufnehmer angeordnet ist, wobei die Außenränder der Kapselteile eine Einspann­ zone aufweisen, welche eine Abdichtung aus Kitt, Klebstoff od. dgl. Dichtungsmaterial hat.The invention relates to a pressure sensor with a Pressure connections and a membrane-provided chamber, around the parts of the capsule that clamp the membrane is closed and on at least one capsule part a displacement transducer coupled to the membrane is arranged is, the outer edges of the capsule parts a clamping zone, which have a seal made of putty, adhesive or the like. Has sealing material.

Aus dem DE-GM 19 88 394 ist bereits eine Kapselfeder für ein Druckmeßgerät mit im Randbereich verklebten Membran­ rändern bekannt. Eine solche Verklebung ergibt jedoch in nachteiliger Weise thermische Probleme, die zum einen im Temperaturkoeffizienten des Gerätes bestehen und zum ande­ ren können verschiedene Nachwirkungen auftreten, die sich nach einem Temperaturwechsel durch eine schlechte Null­ punktwiederkehrgenauigkeit auswirken können.From DE-GM 19 88 394 a capsule spring is already for a pressure gauge with membrane glued in the edge area known edges. However, such bonding results in disadvantageous thermal problems, on the one hand in Temperature coefficients of the device exist and the other Various after-effects can occur, which after a temperature change due to a bad zero point return accuracy can affect.

Bei Druckaufnehmern, bei denen eine Membrane zwischen zwei Kapselteilen randseitig eingespannt ist, wird außen im Trennbereich zwischen den Kapselteilen Klebstoff, z. B. Zweikomponentenkleber aufgetragen, der in der Regel eine hohe Kriechfähigkeit und Benetzungsfähigkeit aufweist, so daß er auch in dünnste Kapillarspalte eindringen kann. Einerseits ist dies zum Abdichten erwünscht, andererseits besteht aber dadurch auch die Gefahr, daß der Klebstoff in Bereiche vordringt, wo er unerwünscht ist. Dieser Bereich ist der Innenrandbereich der Membran-Einspannzone, wo im Übergangsbereich der Einspannstelle nach innen zur Kammer eine metallische Einspannung der Membrane vorhanden sein sollte, da sonst die vorerwähnten thermischen Probleme ver­ stärkt auftreten können. Diese thermischen Nachwirkungen treten insbesondere dann auf, wenn sich im Bereich der inneren Einspannzone und auch im Austrittsbereich der Mem­ brane aus dieser Einspannstelle Kunststoff befindet, der z.B. durch eingedrungenen Klebstoff dort vorhanden sein kann. Außerdem können nach Lastwechseln solche Probleme bei der Rückkehrgenauigkeit des Nullpunktes auftreten.For pressure transducers where a diaphragm is between two Capsule parts is clamped on the edge, is in the outside Separation area between the capsule parts of adhesive, e.g. B. Two-component adhesive applied, usually one has high creeping and wetting ability, so  that it can penetrate even the thinnest capillary gaps. On the one hand, this is desirable for sealing, on the other hand but there is also a risk that the adhesive in Areas where it is undesirable. This area is the inner edge area of the membrane clamping zone, where in the Transition area of the clamping point inwards to the chamber there is a metallic clamping of the membrane should, because otherwise the aforementioned thermal problems ver can occur stronger. This thermal aftermath occur in particular if there is in the area of inner clamping zone and also in the outlet area of the mem brane from this clamping point is plastic, the e.g. be present there through penetrated adhesive can. Such problems can also occur after load changes the return accuracy of the zero point occur.

Aus der US-PS 30 40 583 ist ein Druckwandler bekannt, bei dem Membranen durch eine äußere Kapsel gehalten sind. Vor dem Zusammenbau der Teile wird innenseitig bei der Kapsel Klebstoff aufgegeben, und durch einen schrägen Verlauf des Kapselrandes relativ zur Membranebene bildet sich ein nach innen dünner werdender, bis zum Innenrand der Kapsel er­ streckender Klebstoff-Ringkeil. Auch hierbei kann der Kleb­ stoff beim Innenrandbereich durch Kapillarwirkung ein­ dringen und zu den vorerwähnten Problemen, insbesondere auch zu einer verschlechterten Nullpunktwiederkehrgenauig­ keit führen.From US-PS 30 40 583 a pressure transducer is known in the membranes are held by an outer capsule. In front the assembly of the parts is inside the capsule Adhesive abandoned, and through an oblique course of the The capsule edge forms a relative to the membrane level thinner inside, up to the inner edge of the capsule stretching adhesive ring wedge. The adhesive can also be used here in the inner edge area by capillary action penetrate and to the aforementioned problems, in particular also return to a deteriorated zero point lead.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, einerseits eine gute Abdichtung der Kapselteile im Trennbereich bei der Einspannebene der Membrane zu erreichen, andererseits soll die Membrane im Innenrandbereich der Einspannzone eine me­ tallische Einspannung, d. h. direkten Kontakt mit den sie beaufschlagenden Einspannflächen der Kapselteile aufweisen. The object of the present invention is, on the one hand good sealing of the capsule parts in the separation area at the To reach the clamping level of the membrane, on the other hand the membrane in the inner edge area of the clamping zone a me metallic clamping, d. H. direct contact with them have acting clamping surfaces of the capsule parts.  

Zur Lösung dieser Aufgabe wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, daß innerhalb der Breite der Einspannzone und mit Abstand zu ihrem Innenrand als Mittel zum Begrenzen der Eindringtiefe von außen aufgebrachtem Dichtungsmaterial an der Einspannfläche wenigstens eines Kapselteil-Außen­ randbereiches od. dgl. eine Ringnut vorgesehen ist. Bevorzugt ist vorgesehen, daß beide Kapselteil-Außenrandbe­ reiche vorzugsweise durchgehende Ringnuten haben, die sich vorzugsweise deckungsgleich gegenüberliegen.To solve this problem, the invention suggested that within the width of the clamping zone and at a distance from its inner edge as a means of limitation the penetration depth of the sealing material applied from the outside on the clamping surface of at least one capsule part outside edge area or the like. An annular groove is provided. It is preferably provided that both capsule part outer rim rich preferably have continuous ring grooves that are preferably congruent.

Aus der US-PS 34 85 104 ist zwar bereits eine Meßvorrich­ tung mit Gehäuse, einer Deckplatte und dazwischen einge­ spannter Membrane bekannt, wobei die Deckplatte und das Ge­ häuse deckungsgleich gegenüberliegende Ringnuten aufweist. Diese Ringnuten dienen jedoch zur Aufnahme von O-Ringen. Eine Abdichtung mit Hilfe von außen aufgegebenem Klebstoff und eine Aufnahme von überschüssigem Klebstoff in den Ring­ nuten ist hier nicht vorgesehen.From US-PS 34 85 104 is already a measuring device device with housing, a cover plate and inserted in between tensioned membrane known, the cover plate and the Ge housing has congruent opposing ring grooves. However, these ring grooves serve to accommodate O-rings. Sealing with the help of externally applied adhesive and an inclusion of excess adhesive in the ring grooves are not provided here.

Eine andere Ausführungsform der Erfindung, für die selb­ ständiger Schutz beansprucht wird, sieht vor, daß innerhalb der Breite der Einspannzone und mit Abstand zu ihrem Innen­ rand als Mittel zum Begrenzen der Eindringtiefe von außen aufgebrachtem Dichtungsmaterial zumindest ein innerer Be­ reich der Einspannzone eine Beschichtung aus klebstoffab­ weisendem Material, z.B. Wachs od. dgl. aufweist.Another embodiment of the invention, for the same constant protection is claimed, provides that within the width of the clamping zone and at a distance from its inside rand as a means of limiting the depth of penetration from the outside applied sealing material at least one inner Be a coating of adhesive passes from the clamping zone pointing material, e.g. Has wax or the like.

Durch die vorgenannten Maßnahmen wird erreicht, daß außen aufgetragener Klebstoff zum Abdichten in einem genau vorge­ gebenen Bereich verbleibt, so daß insbesondere auch verhin­ dert wird, daß er an den Innenrand der Einspannzone und so­ mit zum Austrittsbereich der Membrane aus ihrer Einspann­ zone gelangt. Einerseits wird somit eine gute Abdichtung erreicht und andererseits bleibt in erwünschter Weise eine metallische Einspannung der Membrane erhalten. Durch die Mittel zum Begrenzen der Eindringtiefe wird auch die Mon­ tage des Druckaufnehmers wesentliche erleichtert, da die Dosierung des Klebstoffes wesentlich unkritischer ist. Dabei bildet die Ringnut bzw. die Ringnuten einen Aufnahme­ raum, in dem eventuell überschüssiger Klebstoff aufgenommen und somit daran gehindert werden kann, weiter nach innen zur metallischen Einspannung der Membrane vorzudringen. Auch die Beschichtung aus klebstoffabweisendem Material ("Stoplack") hindert den Klebstoff am Eindringen über einen bestimmten Dichtungsbereich hinaus nach innen.The above measures ensure that outside applied adhesive for sealing in a precisely pre given area remains, so that in particular also is changed that it to the inner edge of the clamping zone and so with the exit area of the membrane from its clamping zone arrives. On the one hand, this creates a good seal reached and on the other hand remains a desired receive metallic clamping of the membrane. Through the Mon days of the pressure transducer much easier because the  Dosage of the adhesive is much less critical. The ring groove or the ring grooves forms a receptacle room in which any excess adhesive is absorbed and thus can be prevented from going further inside to penetrate the metallic clamping of the membrane. Also the coating made of adhesive-repellent material ("Stop varnish") prevents the adhesive from penetrating through certain sealing area inwards.

Die Erfindung betrifft auch ein Verfahren zum Abdichten und gegebenenfalls Verbinden von zu einem Druckaufnehmer ge­ hörenden Kapselteilen in deren Außenrandbereich mittels aushärtendem Klebstoff, Kitt od. dgl., wobei die Kapsel­ teile in Montagelage fixiert und anschließend der Klebstoff von außen auf den Trennbereich zwischen die Kapselteile aufgebracht wird.The invention also relates to a method for sealing and if necessary connecting ge to a pressure transducer hearing capsule parts in their outer edge area by means of curing adhesive, putty or the like, the capsule parts fixed in the assembly position and then the adhesive from the outside to the separation area between the capsule parts is applied.

Dieses Verfahren ist dadurch gekennzeichnet, daß der Klebstoff od. dgl. bezüglich seiner Aushärtezeit und/oder Viskosität derart hinsichtlich der Temperatur-An­ stiegsgeschwindigkeit oder durch einen stufenförmigen Tem­ peraturverlauf eingestellt wird, daß unter Berücksichtigung der maßlichen Verhältnisse des Kapillarspaltes zwischen den Kapselteilen die Eindringtiefe des Klebstoffes kleiner ist als die Gesamtbreite des Außenrand-Auflage- bzw. Einspann­ bereiches.This process is characterized by that the adhesive or the like with respect to its curing time and / or viscosity in terms of temperature rate of climb or by a stepped tem temperature course is set that taking into account the dimensional relationships of the capillary gap between the Capsule parts the penetration depth of the adhesive is smaller than the total width of the outer edge support or clamping area.

Dabei werden insbesondere einerseits die Eigenschaften des Klebstoffes und andererseits die Kapillarspaltweite und auch die Breite der Einspannzone bzw. die Breite der Dicht­ zone berücksichtigt. Die Eigenschaften des Klebstoffes hin­ sichtlich der Aushärtezeit und Viskosität können beispiels­ weise durch eine geeignete Temperaturführung im vorstehen­ den Sinne beeinfluß werden.The properties of the Adhesive and on the other hand the capillary gap and also the width of the clamping zone or the width of the sealing zone considered. The properties of the adhesive Visually the curing time and viscosity can for example wise through a suitable temperature control in the project affect the senses.

Zusätzliche Ausgestaltungen der Erfindung sind in den wei­ teren Unteransprüchen aufgeführt.Additional embodiments of the invention are in the white other subclaims.

Nachstehend ist die Erfindung mit ihren wesentlichen Ein­ zelheiten anhand der Zeichnungen noch näher erläutert. Below is the invention with its essential one Details explained with reference to the drawings.  

Es zeigt in unterschiedlichen, vergrößerten Maßstäben:It shows in different, enlarged scales:

Fig. 1 einen Querschnitt eines Druckaufnehmers, Fig. 1 a cross section of a pressure sensor,

Fig. 2 eine Aufsicht eines Druckaufnehmers, Fig. 2 is a plan view of a pressure sensor,

Fig. 3 einen Teilquerschnitt eines Druckaufnehmers im äuße­ ren Einspannbereich der Membrane und Fig. 3 is a partial cross section of a pressure transducer in the outer clamping area of the membrane and

Fig. 4 eine etwa Fig. 3 entsprechende Ansicht, hier jedoch zur Verdeutlichung mit auseinandergezogen dargestell­ ten Kapselteilen und dazwischen befindlicher Membrane. Fig. 4 is a view corresponding approximately to FIG. 3, but here for the sake of clarity with the capsule parts shown apart and the membrane located between them.

Ein in Fig. 1 im Querschnitt gezeigter Druckaufnehmer 1 weist im wesentlichen zwei Kapselteile 2, 3, eine Membrane 4 sowie mit der Membrane 4 gekuppelte Wegaufnehmer 5 auf. Zwischen den auf Abstand gehaltenen Kapselteilen 2 u. 3 ist eine Kam­ mer 6 gebildet, in der sich die Membrane 4 befindet. Die Mem­ brane teilt die Kammer 6 in zwei Teilkammern auf, die jeweils mit Druckanschlüssen 7 versehen sind.A shown in Fig. 1 in cross-section transducer 1 has essentially two capsule parts 2, 3, a diaphragm 4, and coupled with the diaphragm 4 transducer. 5 Between the spaced capsule parts 2 u. 3 is a Kam mer 6 formed, in which the membrane 4 is located. The membrane brane divides the chamber 6 into two subchambers, each of which is provided with pressure connections 7 .

Die Kapselteile 2 u.3 sind in den Ausführungsbeispielen nach Fig. 1 und 2 durch Spannelemente 8 zusammengehalten. In die­ sem Ausführungsbeispiel ist zwischen den Kapselteilen 2 u. 3 im Außenrandbereich ein Ring 9 als Abstandhalter vorgesehen. Anstatt dieses Ringes 9 kann aber auch eines der Kapselteile außen einstückig einen solchen Ringansatz aufweisen, wie dies in Fig. 3 u.4 gezeigt ist. Der Ring 9 ist vor der Montage des Druckaufnehmers 1 bereits mit dem Kapselteil 2 z.B. durch Klebung dicht verbunden.The capsule parts 2 and 3 are held together by clamping elements 8 in the exemplary embodiments according to FIGS . 1 and 2. In this embodiment, between the capsule parts 2 u. 3 a ring 9 is provided as a spacer in the outer edge region. Instead of this ring 9 , however, one of the capsule parts can also have such a ring attachment in one piece on the outside, as shown in FIGS . 3 and 4. The ring 9 is already tightly connected to the capsule part 2, for example by gluing, before the pressure transducer 1 is installed .

Die Außenränder der Kapselteile 2 u. 3 bzw. der Ring 9 bilden eine Einspannzone für die Membrane 4, die dort einen flansch­ artigen Einspannring 10 hat. The outer edges of the capsule parts 2 u. 3 and the ring 9 form a clamping zone for the membrane 4 , which has a flange-like clamping ring 10 there.

Der Einspannring 10 der Membrane 4 kann, wie in den Figuren gezeigt, sich über die ganze Breite der Einspannzone er­ strecken oder gegebenenfalls auch nur über einen Teilbereich.The clamping ring 10 of the membrane 4 can, as shown in the figures, extend over the entire width of the clamping zone or, if appropriate, only over a partial area.

Zum Abdichten der Einspannzone 11 und gegebenenfalls auch zum Verbinden der beiden Kapselteile 2 u. 3 wird bei der Ein­ spannzone 11 von außen im Trennbereich zwischen den Kapsel­ teilen 2 u. 3 Klebstoff 12 aufgegeben. Der Klebstoff 12 dringt dann in die Kapillarspalte ein und dichtet damit die­ sen Trennbereich ab. Zur Vermeidung thermischer Nachwirkun­ gen ist es jedoch erwünscht, daß sich der von Klebstoff durchsetzte Dichtbereich nur über einen Teil der Breite der Einspannzone 11 erstreckt. Ein innerer Bereich 13 der Ein­ spannzone 11 soll einen "metallischen" Einspannbereich für die Membrane 4 bilden, wo die Einspannflächen 14 bzw. 15 der Kapselteile 2, 3 bzw. des Ringes 9 unmittelbar auf der Membrane 4 aufliegen. Um dies zu erreichen, kann der verwen­ dete Klebstoff bezüglich seiner Aushärtezeit und Viskosität derart eingestellt werden, daß unter Berücksichtigung der maßlichen Verhältnisse - Kapillarspaltweite, Breite der Ein­ spannzone - die Eindringtiefe des Klebstoffes kleiner ist als die Gesamtbreite der Einspannzone 11. Die Eigenschaften des Klebstoffes können unter anderem auch durch eine geeig­ nete Temperaturführung während der Aushärtezeit beeinflußt werden. Dies kann beispielsweise durch Einstellen einer geeigneten Anstiegsgeschwindigkeit oder durch geeigneten stufenförmigen Temperaturverlauf während der Aushärtezeit erreicht werden.To seal the clamping zone 11 and possibly also to connect the two capsule parts 2 u. 3 is a part of the clamping zone 11 from the outside in the separation area between the capsule 2 u. 3 adhesive 12 abandoned. The adhesive 12 then penetrates into the capillary gap and thus seals this separation area. To avoid thermal effects, however, it is desirable that the sealing area penetrated by adhesive extends only over part of the width of the clamping zone 11 . An inner region 13 of the clamping zone 11 is intended to form a "metallic" clamping region for the membrane 4 , where the clamping surfaces 14 and 15 of the capsule parts 2 , 3 and the ring 9 rest directly on the membrane 4 . In order to achieve this, the adhesive used can be adjusted with regard to its curing time and viscosity in such a way that, taking into account the dimensional relationships - capillary gap width, width of the clamping zone - the depth of penetration of the adhesive is smaller than the overall width of the clamping zone 11 . The properties of the adhesive can also be influenced, inter alia, by suitable temperature control during the curing time. This can be achieved, for example, by setting a suitable rate of rise or by means of a suitable step-like temperature profile during the curing time.

Weiterhin besteht die Möglichkeit, daß zur Begrenzung der Eindringtiefe des von außen aufgebrachten Klebstoffes die Einspannzone 11 nach innen begrenzende Ringnuten 16 vorge­ sehen sind, die bei den Einspannflächen 14, 15 randoffen sind. Dadurch kann sich Klebstoff 12, der von außen aufgetragen wurde und bis zu den Ringnuten 16 vorgedrungen ist, ansam­ meln und wird dadurch am weiteren Vordringen in den inneren Einspann-Bereich 13 gehindert. Die Ringnuten 16, die etwa deckungsgleich in der Mitte der Einspannzone 11 gegenüber­ liegen, bilden hierbei praktisch einen Stauraum für über­ schüssigen Klebstoff 12. Die Dosierung des Klebstoffes 12 bei der Montage des Druckaufnehmers ist dadurch wesentlich unkritischer, so daß die Montage auch vereinfacht ist. Auch bei etwas überschüssiger Dosierung bzw. auch ungleichmäßigem Auftrag des Klebstoffes wird trotzdem eine einwandfreie Ab­ dichtung im Trennbereich der beiden Kapselteile 2 u. 3 und andererseits in erwünschter Weise eine metallische Einspan­ nung der Membrane im inneren Bereich 13 erreicht.There is also the possibility that to limit the penetration depth of the adhesive applied from the outside, the clamping zone 11 inwardly delimiting annular grooves 16 are provided, which are open at the clamping surfaces 14 , 15 . As a result, adhesive 12 which has been applied from the outside and has penetrated as far as the annular grooves 16 can accumulate and is thereby prevented from penetrating further into the inner clamping region 13 . The annular grooves 16 , which are approximately congruent in the center of the clamping zone 11 , practically form a storage space for excess adhesive 12 . The metering of the adhesive 12 during assembly of the pressure transducer is therefore considerably less critical, so that assembly is also simplified. Even with a little excess dosage or even uneven application of the adhesive is still a perfect seal from the separation area of the two capsule parts 2 u. 3 and, on the other hand, a metallic clamping of the membrane in the inner region 13 is achieved in a desired manner.

Erwähnt sei noch, daß die Querschnittsform der Ringnuten 16 sich in erster Linie nach den Fertigungsmöglichkeiten rich­ tet und außer der in Fig. 1 und 2 dargestellten quadratischen Form auch rechteckig, dreieckförmig oder rund sein kann. Es soll in allen Fällen nur sichergestellt sein, daß der bzw. die Kapillarspalte zwischen den Kapselteilen und der Membra­ ne 4 im Verlauf der Breite der Einspannzone 11 eine Unter­ brechung haben. Damit soll die kapillare Transportwirkung auf den von außen aufgetragenen Klebstoff auf den äußeren Dichtbereich 17 begrenzt sein und außerdem soll für über­ schüssigen Klebstoff ein Aufnahmeraum vorhanden sein.It should also be mentioned that the cross-sectional shape of the annular grooves 16 primarily depends on the manufacturing possibilities and, in addition to the square shape shown in FIGS. 1 and 2, can also be rectangular, triangular or round. In all cases, it should only be ensured that the capillary gap (s) between the capsule parts and the Membra ne 4 have an interruption in the course of the width of the clamping zone 11 . Thus, the capillary transport effect is to be limited to the adhesive applied from the outside to the outer sealing area 17 and, moreover, there should be a receiving space for excess adhesive.

Fig. 4 zeigt noch eine abgewandelte Ausführungsform der Er­ findung, wobei das Eindringen des Klebstoffes 12 in den inne­ ren Einspannbereich 13 der Membrane durch eine Beschichtung 18 aus klebstoffabweisendem Material verhindert wird. Die Beschichtung 18 kann sich über einen mittleren Ringbereich der Einspannzone 11 jeweils mit Abstand zum Innenrand 19 bzw. zum Außenrand 20 erstrecken. Die Beschichtung 18 ist zur Verdeutlichung unmaßstäblich dick angedeutet und kann in der Praxis z.B. durch eine aufgedampfte oder anderweitig aufgebrachte, sehr dünne Beschichtung realisiert sein. Die Beschichtungsdicke ist dabei so bemessen, daß einerseits ein "Fließstopring" für den Klebstoff gebildet ist und daß andererseits aber immer noch eine metallische Ein­ spannung der Membrane 4 in dem sich nach innen anschlie­ ßenden Bereich 13 vorhanden ist. Zur Verdeutlichung sind die beiden Kapselteile 2 und 3 etwas auseinandergezogen dargestellt. Fig. 4 shows a modified embodiment of the invention, wherein the penetration of the adhesive 12 into the inner clamping area 13 of the membrane is prevented by a coating 18 of adhesive-repellent material. The coating 18 can extend over a central ring area of the clamping zone 11 at a distance from the inner edge 19 or from the outer edge 20 . The coating 18 is indicated to scale for clarity and in practice can be realized, for example, by a vapor-deposited or otherwise applied, very thin coating. The coating thickness is dimensioned such that on the one hand a "flow stop ring" is formed for the adhesive and that on the other hand a metallic tension of the membrane 4 is still present in the inwardly adjoining area 13 . For clarification, the two capsule parts 2 and 3 are shown somewhat apart.

Anstatt der Aufgabe eines Klebstoffes von außen auf die Trennfuge zwischen den Kapselteilen 2, 3 kann vor dem Zusammenfügen der Kapselteile auch ein nachträglich aus­ härtbarer, sehr dünn aufgetragener Kleber auf eine oder beide Einspannflächen 14, 15 partiell aufgebracht werden. Anstatt dieses Klebers kann auch ein Schmelzkleber, d.h. ein unter Wärmeeinwirkung schmelzender Kleber verwendet werden.Instead of applying an adhesive from the outside to the parting line between the capsule parts 2 , 3, it is also possible to partially apply a subsequently applied, very thinly applied adhesive to one or both clamping surfaces 14 , 15 before the capsule parts are joined together. Instead of this adhesive, it is also possible to use a hot melt adhesive, ie an adhesive which melts under the action of heat.

Der Kleber wird hierbei in einem Außenrandbereich, z.B. in dem äußeren Ringbereich 17 aufgetragen. Auch hierbei kann der Auftrag und das Aushärten bzw. Verbinden so vorgenommen werden, daß ein Vordringen des Klebers in den inneren Bereich 13 ("metallischer" Einspannbereich der Membrane 4) vermieden wird, z.B. durch eine bestimmte Temperaturführung. Besonders in Kombination mit der bzw. den Ringnuten l 6 und/oder der Beschichtung 18 aus klebstoffabweisendem Material läßt sich das Fernhalten des Klebstoffes aus dem inneren Membraneinspannbereich gut bewerkstelligen. Dabei ist auch die Menge des aufge­ tragenen Klebstoffes in weiten Grenzen unkritisch und somit die Montage vereinfacht.The adhesive is applied in an outer edge area, for example in the outer ring area 17 . Here too, the application and curing or bonding can be carried out in such a way that penetration of the adhesive into the inner region 13 ("metallic" clamping region of the membrane 4 ) is avoided, for example by a specific temperature control. Particularly in combination with the annular grooves or the l 6 and / or the coating 18 of anti-adhesive material can be keeping out of the adhesive from the internal Membraneinspannbereich accomplish good. The amount of adhesive applied is not critical within wide limits, thus simplifying assembly.

Claims (6)

1. Druckaufnehmer mit einer mit Druckanschlüssen sowie einer Membrane versehenen Kammer, die durch zwei die Membrane einspannende Kapselteile umschlossen ist und bei der an wenigstens einem Kapselteil ein mit der Mem­ brane gekuppelter Wegaufnehmer angeordnet ist, wobei die Außenränder der Kapselteile eine Einspannzone aufweisen, welche eine Abdichtung aus Kitt, Klebstoff od. dgl. Dichtungsmaterial hat, dadurch gekennzeichnet, daß innerhalb der Breite der Einspannzone (11) und mit Ab­ stand zu ihrem Innenrand (19) als Mittel zum Begrenzen der Eindringtiefe von außen aufgebrachtem Dichtungs­ material (12) an der Einspannfläche (14, 15) wenigstens eines Kapselteil-Außenrandbereiches od. dgl. eine Ring­ nut (16) vorgesehen ist.1.Pressure transducer with a chamber provided with pressure connections and a membrane, which is enclosed by two capsule parts which clamp the membrane and in which a displacement transducer coupled to the membrane is arranged on at least one capsule part, the outer edges of the capsule parts having a clamping zone which have a Sealing made of putty, adhesive or the like. Sealing material, characterized in that within the width of the clamping zone ( 11 ) and with stood from its inner edge ( 19 ) as a means for limiting the depth of penetration from the outside sealing material ( 12 ) on the Clamping surface ( 14 , 15 ) of at least one capsule part outer edge region or the like. An annular groove ( 16 ) is provided. 2. Druckaufnehmer mit einer mit Druckanschlüssen sowie einer Membrane versehenen Kammer, die durch zwei die Membrane einspannenden Kapselteile umschlossen ist und bei der an wenigstens einem Kapselteil ein mit der Mem­ brane gekuppelter Wegaufnehmer angeordnet ist, wobei die Außenränder der Kapselteile eine Einspannzone aufweisen, welche eine Abdichtung aus Kitt, Klebstoff od. dgl. Dichtungsmaterial hat, dadurch gekennzeichnet, daß innerhalb der Breite der Einspannzone (11) und mit Ab­ stand zu ihrem Innenrand (19) als Mittel zum Begrenzen der Eindringtiefe von außen aufgebrachtem Dichtungs­ material (12) zumindest ein innerer Bereich der Ein­ spannzone (11) eine Beschichtung (18) aus klebstoffab­ weisendem Material, z. B. Wachs od. dgl. aufweist.2.Pressure transducer with a chamber provided with pressure connections and a membrane, which is enclosed by two capsule parts which clamp the membrane and in which a displacement transducer coupled to the membrane is arranged on at least one capsule part, the outer edges of the capsule parts having a clamping zone which have a Sealing made of putty, adhesive or the like. Sealing material, characterized in that within the width of the clamping zone ( 11 ) and with from stood to its inner edge ( 19 ) as a means for limiting the depth of penetration from the outside applied sealing material ( 12 ) at least one inner area of a clamping zone ( 11 ) a coating ( 18 ) made of adhesive-repellent material, e.g. B. wax. Like. Has. 3. Druckaufnehmer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß beide Kapselteil-Außenrandbereiche vorzugsweise durchgehende Ringnuten (16) haben, die sich vorzugsweise deckungsgleich gegenüberliegen.3. Pressure sensor according to claim 1, characterized in that both capsule part outer edge regions preferably have continuous annular grooves ( 16 ) which are preferably congruent. 4. Druckaufnehmer nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß sich der Beschichtungsbereich (18) aus klebstoffab­ weisendem Material über einen mittleren Ringbereich der Einspannzone (11) jeweils mit Abstand zum Innenrand (19) bzw. Außenrand (20) erstreckt.4. Pressure sensor according to claim 2, characterized in that the coating area ( 18 ) made of adhesive-facing material extends over a central ring area of the clamping zone ( 11 ) each at a distance from the inner edge ( 19 ) or outer edge ( 20 ). 5. Druckaufnehmer nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß im Außenrandbereich der Einspannzone (11) und mit Abstand zum Innenrand (19) eine Beschichtung der Einspannfläche(n) (14, 15) mit nachträglich aushärtbarem Kleber oder Schmelzkleber vor­ gesehen ist.5. Pressure sensor according to one or more of claims 1 to 4, characterized in that in the outer edge region of the clamping zone ( 11 ) and at a distance from the inner edge ( 19 ) a coating of the clamping surface (s) ( 14 , 15 ) with subsequently curable adhesive or hot melt adhesive is provided. 6. Verfahren zum Abdichten und gegebenenfalls Verbinden von zu einem Druckaufnehmer gehörenden Kapselteilen in deren Außenrandbereich mittels aushärtendem Klebstoff, Kitt od. dgl., wobei die Kapselteile in Montagelage fixiert und anschließend der Klebstoff von außen auf den Trenn­ bereich zwischen die Kapselteile aufgebracht wird, da­ durch gekennzeichnet, daß der Klebstoff (12) od. dgl. bezüglich seiner Aushärtezeit und/oder Viskosität derart hinsichtlich der Temperatur-Anstiegsgeschwindigkeit oder durch einen stufenförmigen Temperaturverlauf eingestellt wird, daß unter Berücksichtigung der maßlichen Verhält­ nisse des Kapillarspaltes zwischen den Kapselteilen (2, 3) die Eindringtiefe des Klebstoffes kleiner ist als die Gesamtbreite des Außenrand-Auflage- bzw. Einspannbe­ reiches (11) .6.Procedure for sealing and, if necessary, connecting capsule parts belonging to a pressure transducer in their outer edge area by means of hardening adhesive, putty or the like, the capsule parts being fixed in the assembly position and then the adhesive being applied from the outside to the separating area between the capsule parts, since characterized in that the adhesive ( 12 ) or the like is adjusted with regard to its curing time and / or viscosity in such a way with regard to the rate of temperature rise or by a step-like temperature curve that taking into account the dimensional ratios of the capillary gap between the capsule parts ( 2 , 3 ) the penetration depth of the adhesive is less than the total width of the outer edge support or Einspannbe rich ( 11 ).
DE19893916689 1989-05-23 1989-05-23 Pressure pick=up with two capsule parts - having outer edges forming mounting zone for diaphragm and sealed by two-component adhesive Expired - Fee Related DE3916689C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19893916689 DE3916689C1 (en) 1989-05-23 1989-05-23 Pressure pick=up with two capsule parts - having outer edges forming mounting zone for diaphragm and sealed by two-component adhesive

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19893916689 DE3916689C1 (en) 1989-05-23 1989-05-23 Pressure pick=up with two capsule parts - having outer edges forming mounting zone for diaphragm and sealed by two-component adhesive

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE3916689C1 true DE3916689C1 (en) 1990-09-27

Family

ID=6381185

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19893916689 Expired - Fee Related DE3916689C1 (en) 1989-05-23 1989-05-23 Pressure pick=up with two capsule parts - having outer edges forming mounting zone for diaphragm and sealed by two-component adhesive

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE3916689C1 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4315962A1 (en) * 1993-04-20 1994-10-27 Landis & Gyr Business Support Capsule for a pressure sensor and method for encapsulating the pressure sensor
DE10336914A1 (en) * 2003-08-07 2005-03-10 Grieshaber Vega Kg Diaphragm Seals

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3040583A (en) * 1959-12-10 1962-06-26 United Aircraft Corp Optical pressure transducer
DE1988394U (en) * 1968-02-16 1968-06-27 Georg Fritz CAPSULE SPRING.
US3485104A (en) * 1967-10-05 1969-12-23 Foxboro Co Differential pressure measuring device

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3040583A (en) * 1959-12-10 1962-06-26 United Aircraft Corp Optical pressure transducer
US3485104A (en) * 1967-10-05 1969-12-23 Foxboro Co Differential pressure measuring device
DE1988394U (en) * 1968-02-16 1968-06-27 Georg Fritz CAPSULE SPRING.

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4315962A1 (en) * 1993-04-20 1994-10-27 Landis & Gyr Business Support Capsule for a pressure sensor and method for encapsulating the pressure sensor
DE10336914A1 (en) * 2003-08-07 2005-03-10 Grieshaber Vega Kg Diaphragm Seals
US7082836B2 (en) 2003-08-07 2006-08-01 Vega Grieshaber Kg Pressure averager

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3523388C1 (en) Connection arrangement with a screw sleeve
DE19632275C2 (en) Sealing and adhesive process for component connections
DE3021366A1 (en) SEPARATION COLUMN FOR THE LIQUID CHROMATOR GRAPHI
DE3828692A1 (en) ARRANGEMENT FOR SEALING A FLOATING ROD
DE2316189A1 (en) CONTAINER
DE3916689C1 (en) Pressure pick=up with two capsule parts - having outer edges forming mounting zone for diaphragm and sealed by two-component adhesive
DE4315962C2 (en) Capsule for a pressure sensor and method for encapsulating the same
EP0130500A2 (en) Water-proof electromagnetic relay
DE4211816A1 (en) Pressure sensor and method for its manufacture
DE10318782A1 (en) Sealing material for seals and flat gasket with such a sealing material
DE2848415A1 (en) SIGNAL HORN FOR A PNEUMATIC ACOUSTIC SIGNAL GENERATOR
DE3144662A1 (en) DENSITY AND PRESSURE-RESISTANT THREAD FOR AN OPTICAL FIBER THROUGH A WALL
DE3844295A1 (en) Connection unit and process for the production of a connection unit
DE3523367C1 (en) Water-tight bottom closure for a plastic or metal hollow body
DE2415774A1 (en) MATRIX FOR THE PRODUCTION OF BARS OR WIRE FROM COMPOSITE MATERIAL WITH A NON-ROUND CROSS SECTION
DE2511726C3 (en) Hydraulic press with a pressure cell with elastic membrane and molded cushion
DE2830247C2 (en) Method and device for shaping workpieces which have a carrier body and an element adhering to it
DE4442407C1 (en) Muff for producing insert connection between two pipe ends
DE3414994A1 (en) Die for extrusion
DE29502931U1 (en) Internally coated aluminum tube
DE2716299A1 (en) PRESSURE COMPENSATION VALVE FOR A PACKAGING CONTAINER
DE10126743A1 (en) Plate with end faces and means for gluing the end face to the end face of another plate
EP4470937A1 (en) Cartridge
EP0580839A1 (en) Method and device for producing a matching fit between components.
DE19938207A1 (en) Sensor, in particular micromechanical sensor, and method for its production

Legal Events

Date Code Title Description
8100 Publication of the examined application without publication of unexamined application
D1 Grant (no unexamined application published) patent law 81
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee