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Die vorliegende Erfindung betrifft einen Galvanikzellen-
Sauerstoffanalysator. Insbesondere betrifft die vorliegende
Erfindung einen Sauerstoffanalysator, bei welchem ein
bestimmtes Metall als Material für eine Wasserelektrolyse-
Elektrode eines Standardgasgenerators für eine Kalibrierung
des Wasserelektrolysetyps verwendet wird.
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Im allgemeinen erhält man Wasserstoff durch Elektrolyse von
Wasser oder in Form eines Gases, welches als Nebenprodukt in
Eisenhütten erzeugt wird. Wird derartiges Wasserstoffgas bei
der Herstellung von Halbleitergeräten verwendet, so kann ein
Spurenanteil an Sauerstoff, der in dem Wasserstoffgas
enthalten ist, die Herstellung von Halbleitergeräten
beeinträchtigen. Es ist daher erforderlich, den
Sauerstoffgehalt in dem Wasserstoffgas zu messen. Bislang
bestand die übliche Praxis darin, einen Galvanikzellen-
Sauerstoffanalysator zur Messung des O&sub2;-Gehaltes des
Wasserstoffgases zu verwenden.
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Figur 1 zeigt schematisch einen bekannten Galvanikzellen-
Sauerstoffanalysator. Nachstehend erfolgt eine Beschreibung
des Prinzips dieses Galvanikzellen-Sauerstoffanalysators.
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Eine Analysatorzelle 1 ist eine Art einer Galvanikzelle,
welche aus einem Kaliumhydroxidelektrolyten (20% KOH), einer
inerten Silberkathode (Ag) 2, einer Schutzelektrode 3 und
einer aktiven Kadmiumanode (Cd) 4 besteht, die sämtlich in
den Elektrolyten eingetaucht sind. Die Silberelektrode 2
besteht aus etwa 10 spiralförmig angeordneten Silberscheiben,
die durch ein zylindrisches Rohr abgedeckt sind. Die Form der
Kadmiumelektrode 4 ist verhältnismäßig lang und schmal. Die
Schutzelektrode 3 weist eine verhältnismäßig lange und
schmale, bandförmige Form auf. Wenn ein Probengas von einem
Gaseinlaß 5 dieser Zelle zugeführt wird, gelangt das Gas
durch ein nasses Rohr im Zentrum der Zelle 1 und erreicht die
Oberfläche der Silberelektrode 2, und eine Sauerstoffmenge,
die proportional zum Sauerstoffpartialdruck in dem Gas ist,
wird auf der Oberfläche der Silberelektrode 2 absorbiert. Die
absorbierten Sauerstoffmoleküle lösen sich in dem
Elektrolyten in Form von Hydroxylionen.
[Silberkathode]
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O&sub2; + 2H&sub2;O + 4e T 4OH&supmin; ... (1)
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Die Hydroxylionen bewegen sich zur Kadmiumanode 4 und
oxidieren Kadmium zur Ausbildung von Kadmiumhydroxid.
[Kadmiumanode]
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2Cd + 4OH&supmin; T 2Cd(OH)&sub2; + 4e ... (2)
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Wenn auf diese Weise die Hydroxylionen ihre negativen
Ladungen verlieren, fließt ein Strom von der Silberelektrode
2 zu einer äußeren Schaltung, die an die Kadmiumelektrode 4
angeschlossen ist. Durch Messung dieses Stroms ist es daher
möglich, die Sauerstoffkonzentration in dem Gas zu messen.
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Ist die Sauerstoffkonzentration besonders hoch, so gehen die
Reaktionen gemäß den Formeln (1) und (2) schnell vor sich, so
daß die Oberfläche der Kadmiumelektrode 4 schnell oxidiert
wird, was zu einer Verringerung der Anodenkapazität führt.
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Die Schutzelektrode 3 ist zu dem Zweck vorzusehen, die
Kadmiumelektrode 4 gegen eine Oxidierung zu schützen.
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Die Schutzelektrode 3 wird mit dem Strom versorgt, welcher
zwischen der Silberelektrode 2 und der Kadmiumelektrode 4
fließt, nachdem er verstärkt wurde.
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Daher werden die meisten Hydroxylionen, die durch die
Reaktion gemäß Formel (1) erzeugt werden, von der
Schutzelektrode 3 angezogen. Da der relativ kleine Strom, der
zwischen der Silberelektrode 2 und der Kadmiumelektrode 4
fließt, und der verhältnismäßig hohe Strom, der zur
Schutzelektrode 3 fließt, einander proportional sind, wird
der zur Schutzelektrode 3 fließende Strom als elektrisches
Ausgangssignal der Zelle 1 verwendet.
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Bei konventionellen Galvanikzellen-Sauerstoffanalysatoren,
welche eine die Anode schützende Elektrode aufweisen, wird
Platin, welches gegen Säuren und Laugen beständig ist, als
Material für die Schutzelektrode verwendet. Allerdings hat
sich gezeigt, daß der Pegel des Ausgangsrauschens in gewisser
Weise ansteigt, wenn ein Spurenanteil an Sauerstoff, welches
in einem wasserstoffreichen Gas enthalten ist, mit einem
Sauerstoffanalysator gemessen wird, bei welchem Platin als
Material für die Schutzelektrode für die Anode verwendet
wird. Je niedriger der Sauerstoffgehalt ist, desto höher ist
der Rauschpegel. Daher war die erfaßbare Minimalgrenze für
die Sauerstoffkonzentration in wasserstoffreichen Gasen
bislang etwas geringer als im Falle anderer Inertgase
(beispielsweise Helium, Argon, Stickstoff usw.), oder
brennbarer Gase (Methan, Ethan, Ethylen, usw.).
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Im allgemeinen wird die Kalibrierung eines Gasanalysators
unter Verwendung eines in einem Behälter eingeführten
Nullgases und eines Standardgases durchgeführt. Im Falle von
Sauerstoff-Standardgasen, insbesondere solchen, die einen
Spurenanteil an Sauerstoff enthalten, also 1 ppm oder
weniger, sinkt der Genauigkeitsgrad mit fortschreitender Zeit
ab, infolge einer Reaktion mit der Oberfläche des Behälters,
von Ausgasen usw. Es gibt eine Art eines allgemein bekannten
Sauerstoffspurenanalysators, der eine Reinigungsvorrichtung
aufweist, um den Sauerstofffanteil aus einem zu messenden Gas
zu entfernen, um hierdurch einen Nullgas- und einen
Standardgas-Generator zur Erzeugung eines
Standardsauerstoffgases durch Elektrolyse von Wasser zu
erhalten. Allerdings leidet diese Art eines
Sauerstoffanalysators an dem Nachteil, daß es schwierig oder
unmöglich sein kann, reinen Sauerstoff stabil in einem
Sauerstoffspurenbereich zu erzeugen, abhängig von der Art des
verwendeten Probengases.
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Wird H&sub2;, N&sub2; oder Ar als Nullgas in einem Kalibrier-
Sauerstoffgenerator verwendet, so bestand bislang ein Risiko
in der Hinsicht, daß O&sub2; normalerweise nicht von der Anode des
Sauerstoffanalysators erzeugt wird. Wird beispielsweise
Platin oder dergleichen als Material für die Anode oder
Kathode des Sauerstoffgenerators verwendet, so wird die Menge
an erzeugtem O&sub2; verringert, obwohl der hierfür
verantwortliche Mechanismus nicht klar ist, so daß es
unmöglich ist, ein O&sub2;-Gas zum Kalibrieren zu erhalten,
welches eine gewünschte Konzentration aufweist.
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Angesichts der Wärmeausdehnung ist es übliche Praxis, einen
Platindraht, der als Anode oder Kathode des
Sauerstoffanalysators dient, über ein weiches Glas zu
befestigen. Wenn allerdings der Platindraht am Boden einer
Detektorzelle befestigt wird, so löst sich infolge der
Tatsache, daß eine alkalische Lösung wie beispielsweise
Kaliumhydroxid, Natriumhydroxid oder
Kaliumhydrogenkarbonatlösung als Elektrolyt verwendet wird,
das weiche Glas im Verlaufe der Zeit auf, was zu der Bildung
eines Spaltes an der Grenzfläche zwischen dem Glas und dem
Platindraht führt. Der reine Sauerstoff, der in diesem Spalt
erzeugt wird, kann Blasen bilden; in diesem Fall wird dann
jedesmal, wenn Blasen freigesetzt werden, das vorbestimmte
Verdünnungsverhältnis zerstört, was es unmöglich macht,
Standardgas in stabilem Zustand zu erhalten. Es gibt Fälle,
in welchem ein Hartglas verwendet wird, von welchem
angenommen wird, daß es in Alkali nur geringfügig löslich
ist. Allerdings entwickelt sich in vielen Fällen ein Spalt an
der Grenzfläche zwischen dem Glas und dem Platindraht zum
Zeitpunkt der Einschmelzung, infolge der Differenz der
thermischen Ausdehnungskoeffizienten. Daher ist die
Produktionsausbeute gering, und besteht die Befürchtung, daß
Blasen erzeugt werden, wie voranstehend erläutert.
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Andererseits besteht eine Restspannung zwischen der Anode und
der Kathode, wenn keine Elektrolyse durchgeführt wird, welche
das Anhaften von Verunreinigungsmetallionen in dem Wasser
oder dem Verdünnungsgas an der Elektrodenoberfläche fördert,
was zu einem Film von Verunreinigungen führt, der sich auf
der Elektrodenoberfläche ausbildet. Der sich ergebende
Verunreinigungsfilm behindert die normale Elektrolyse in
einem Bereich niedriger Sauerstoffkonzentration.
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Die vorliegenden Erfinder haben herausgefunden, daß die
konventionelle, die Anode schützende Elektrode, die unter
Verwendung von Platin oder dergleichen hergestellt wird,
leicht eine Dissoziierung und Absorption von Wasserstoff
während der Analyse eines wasserstoffreichen Gases
hervorruft, was zu einer Erhöhung des Rauschpegels führt.
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Die vorliegenden Erfinder führten umfangreiche Untersuchungen
durch und haben herausgefunden, daß die Verwendung von Gold,
Silber oder Rhenium als eines der Bestandteile der
Schutzelektrode für die Anode eines Sauerstoffanalysators
eine Verringerung des Rauschens ermöglicht, die infolge der
Dissoziierung und der Absorption des Wasserstoffs auftritt.
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Die vorliegende Erfindung und die Erfindung der
Stammanmeldung EP 88 307 035.1 (EP 0 301 897 B1) wurden auf
der Grundlage dieser Erkenntnis entwickelt.
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So beschreibt und beansprucht die EP 0 301 897 B1:
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- einen Sauerstoffanalysator mit einer Galvanikzelle mit
zugehörigen Schaltungen, ausgebildet zur Untersuchung
von Sauerstoff in einem wasserstoffreichen Gas, wobei
die Zelle erste und zweite Meßelektroden aufweist, die
jeweils als Anode bzw. Kathode arbeiten, und zumindest
eine Hilfselektrode, die so angeordnet ist, daß sie
Hydroxylionen abfängt, die an der Kathode erzeugt
werden, um so die Anode gegen eine Oxidation zu
schützen, dadurch gekennzeichnet, daß die Hilfselektrode
eine Schutzelektrode für die Anode aufweist, bei welcher
zumindest ein Oberflächenabschnitt aus Gold, Silber oder
Rhenium gebildet ist.
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- Ein Verfahren zum Analysieren von Sauerstoff in einem
wasserstoffreichen Gas, bei welchem die Erfassung der
Potentialdifferenz zwischen einer Anode und einer
Kathode in Berührung mit einem Elektrolyten, der dem Gas
ausgesetzt ist, vorgesehen ist, wobei zumindest eine
Hilfselektrode in Berührung mit dem Elektrolyten und in
solcher Anordnung vorgesehen ist, daß sie Hydroxylionen
abfängt, die an der Kathode erzeugt werden, um so die
Anode gegen eine Oxidation zu schützen, dadurch
gekennzeichnet, daß zumindest ein Oberflächenabschnitt
der Hilfselektrode Gold, Silber oder Rhenium aufweist.
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Die vorliegende Erfindung stellt einen Sauerstoffanalysator
des Galvanikzellentyps zur Verfügung, der eine
Kalibriervorrichtung aufweist, die eine Anode und eine
Kathode enthält, die im Gebrauch so angeordnet sind, daß sie
einen Elektrolyten berühren, der einem Kalibriergas
ausgesetzt ist, sowie eine Vorrichtung zur Erzeugung des
Kalibriergases durch Elektrolyse von Wasser an einer
Elektrolyseelektrode, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest
ein Oberflächenabschnitt der Elektrode Gold, Silber oder
Rhenium aufweist.
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Weiterhin betrifft die Erfindung ein Verfahren zum
Kalibrieren einer Galvanikzelle zur Analyse von Sauerstoff in
Wasserstoff-, Stickstoff- oder Argongas, mit einer
Feststellung der Potentialdifferenz zwischen einer Anode und
einer Kathode in Berührung mit einem einem Kalibriergas
ausgesetzten Elektrolyten, wobei das Kalibriergas durch
Elektrolyse von Wasser an einer Elektrolyseelektrode erzeugt
wird, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest ein
Oberflächenabschnitt der Elektrode Gold, Silber oder Rhenium
aufweist.
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In den Figuren zeigt:
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Fig. 1 schematisch einen Galvanikzellen-
Sauerstoffanalysator;
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Fig. 2 schematisch ein System zur Zufuhr eines
Probengases;
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Fig. 3 einen Graphen, der den Rauschpegel im Falle
einer unter Verwendung von Platin
hergestellten Schutzelektrode für eine Anode
zeigt; und
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Fig. 4 einen Graphen, der den Rauschpegel in dem
Falle zeigt, in welchem eine Schutzelektrode
für eine Anode unter Verwendung von Gold
hergestellt wird.
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Bevorzugte Beispiele für das Material für die Schutzelektrode
für die Anode eines Sauerstoffanalysators oder einer
Wasserelektrolyseelektrode eines Standardgasgenerators für
eine Kalibrierung des Wasserelektrolyesentyps sind Gold,
Silber und Rhenium. Von diesen ist Gold besonders
vorzuziehen. Daher werden vorzugsweise derartige Elektroden
aus Gold, Silber oder Rhenium hergestellt, oder
Elektrodenmaterialien verwendet, die dadurch gebildet werden,
daß die Reaktionsoberfläche oder die gesamte Oberfläche eines
Metalls (beispielsweise Kupfer oder Nickel), eines
Keramik- oder Kunstharzmaterials mit Gold, Silber oder Rhenium
beschichtet wird, beispielsweise mittels Sputtern.
Selbstverständlich können diese Metalle auch durch andere
Verfahren beschichtet werden.
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Eine Schutzelektrode für eine Anode wurde versuchsweise unter
Verwendung von Gold hergestellt, und der Rauschpegel wurde im
Bereich von 100 PPB gemessen. Der Rauschpegel im Falle der
Schutzelektrode für die Anode aus Gold betrug ± 1 PPB oder
weniger, wogegen der Rauschpegel im Falle einer aus Platin
bestehenden Schutzelektrode für die Anode etwa ± 5 PPB
betrug. Die Meßergebnisse sind in den Figuren 3 und 4
gezeigt. Figur 3 ist ein Graph, welcher den Rauschpegel im
Falle der aus Platin bestehenden Schutzelektrode für die
Anode zeigt, wogegen Figur 4 ein Graph ist, welcher den
Rauschpegel im Falle der aus Gold bestehenden Schutzelektrode
für die Anode zeigt. Wie aus diesen Graphen deutlich wird,
ermöglicht es die Verwendung von Gold als Material für die
Schutzelektrode für die Anode, daß der Rauschpegel auf etwa
ein Fünftel des Wertes einer aus Platin bestehenden
Schutzelektrode für die Anode herabgesenkt wird.
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Wie voranstehend erläutert ermöglicht es die vorliegende
Erfindung, daß das Rauschen, welches bei der Messung von
Sauerstoff erzeugt wird, der in Spurenanteilen in einem
wasserstoffreichen Gas enthalten ist, auf denselben Pegel
abgesenkt wird wie im Falle anderer Inertgase oder brennbarer
Gase. Daher ist es möglich, exakt die Konzentration von
Sauerstoff zu messen, der in Spurenanteilen in einem Gas
enthalten ist, welches reich an Wasserstoff ist.
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Weiterhin wird darauf hingewiesen, daß die in Figur 1
gezeigte Anordnung weiterhin mit einer Kalibrierschaltung 20
zur Erzeugung eines Sauerstoffstandardgases mittels
Elektrolyse von Wasser versehen ist. Die Bezugsziffer 6
bezeichnet eine Anode, 7 eine Kathode, 8 Epoxyharzmuffen, und
9, 10 Verstärker.
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Figur 2 zeigt ein System zum Zuführen eines Probengases für
die Messung. Zum Zeitpunkt der Analyse von O&sub2; wird das
Probengas nicht durch eine O&sub2;-Reinigungsvorrichtung 11
geleitet, sondern dem Gaseinlaß 5 der Zelle 1 über Ventile 14
und 15 zugeführt. Wenn die Kalibrierung des
Sauerstoffanalysators durchgeführt werden soll, wird das
Probengas durch die O&sub2;-Reinigungsvorrichtung 11
hindurchgeleitet, in welcher Sauerstoff vollständig entfernt
wird, und dann von dem Einlaß 5 in die Zelle 1 als ein
"Sauerstoffnullgas" eingeführt. Die Bezugsziffer 12
bezeichnet eine Stromversorgung, und 13 einen Schalter. Wenn
ein Strom durch die Schaltung 20 hindurchgeleitet wird,
werden O&sub2; und H&sub2; von der Anode 6 bzw. der Kathode 7 erzeugt.
Das auf diese Weise erzeugte reine O&sub2; wird mit dem
Sauerstoffnullgas verdünnt, welches von dem Gaseinlaß 5
eingeführt wird, um hierdurch ein Standardgas zu erzeugen,
welches eine vorbestimmte Sauerstoffkonzentration aufweist.
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In Figur 1 weist der Sauerstoffanalysator gemäß der
vorliegenden Erfindung ein Paar von
Wasserelektrolyseelektroden auf, Epoxyharzmuffen und einen
Schalter zum Kurzschließen dieser beiden Elektroden. Die
vorliegende Erfindung wird nachstehend im einzelnen unter
Bezugnahme auf Figur 1 beschrieben, welche den Aufbau des
Sauerstoffanalysators zeigt. Die Bezugsziffern 6 und 7
bezeichnen ein Paar von Wasserelektrolyseelektroden. Der
Abschnitt jeder der Elektroden 6 und 7, der in Berührung mit
einem Elektrolyten steht, wird unter Verwendung von Gold,
Silber oder Rhenium hergestellt, vorzugsweise von Gold,
welches das edelste Metall ist. Die Elektroden 6 und 7 können
jegliche Form aufweisen, beispielsweise eine lineare,
stangen- oder bandförmige Form. Das entfernte Ende jeder
Elektrode kann spulenförmig sein. Weiterhin ist es möglich,
diese Elektroden 6 und 7 dadurch herzustellen, daß ein
elektrisch leitfähiges Material wie beispielsweise Kupfer
oder Nickel mit Gold, Silber oder Rhenium beschichtet wird,
beispielsweise mittels Sputtern, Vakuumverdampfung oder
Elektroplattieren. Osmium ruft eine geringere Dissoziierung
und Absorption von Wasserstoff hervor, ist jedoch schlechter
zu bearbeiten und daher zum Einsatz als Elektrodenmaterial
ungeeignet. Wenn ein elektrolytischer Strom in der
dargestellten Richtung hindurchgeleitet wird, werden von der
Elektrode 6 bzw. 7 reiner Sauerstoff bzw. reiner Wasserstoff
erzeugt. Der reine Sauerstoff, der von der Elektrode 6
erzeugt wird, wird mit dem Sauerstoffnullgas verdünnt,
welches von dem Einlaß 5 eingeführt wird, um hierdurch ein
Sauerstoffstandardgas zu erhalten. Wenn beispielsweise
Wasserstoff als ein Sauerstoffnullgas verwendet wird, so ist
es beispielsweise bei einer Elektrode, die aus Gold, Silber
oder Rhenium hergestellt ist, unwahrscheinlich, daß sie eine
Dissoziierung und Absorption von Wasserstoff an ihrer
Oberfläche hervorruft, und daher zeigt diese Elektrode
hervorragende Waserelektrolyseeigenschaften in einem
Sauerstoffspurenbereich. Zusätzlich ist der Zeitraum von dem
Moment, in welchem das Anlegen eines konstanten Stroms
begonnen wird, bis zur Erzeugung reinen Sauerstoffs kürzer
als im Falle einer Elektrode, die unter Verwendung von Platin
oder anderer Edelmetallegierungen auf Platinbasis hergestellt
wird, und daher zeigt die Elektrode aus Gold, Silber oder
Rhenium eine hervorragende Stabilität.
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Die Bezugsziffer 1 bezeichnet einen Behälter zur Elektrolyse
von Wasser, der auch als Detektorzelle und/oder Befeuchter
dienen kann. Der Behälter wird aus einem Material
hergestellt, welches aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus
Epoxyharzen, Vinylchlorid und Hartglas besteht, vorzugsweise
aus Epoxyharz, welches am festesten an den Epoxyharzmuffen 8
anhaftet, unter Berücksichtigung solcher Aspekte wie
Widerstandsfähigkeit gegen Alkali, Gassperreigenschaften und
Eigenschaften bezüglich elektrischer Isolierung.
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Die Bezugsziffer 21 bezeichnet eine alkalische Lösung,
beispielsweise eine Kaliumhydroxid-, Natriumhydroxid- oder
Kaliumhydrogenkarbonatlösung.
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Die Bezugsziffer 8 bezeichnet Epoxyharzmuffen. Ein
Elektrodenmaterial wird durch jede zylindrische
Epoxyharzmuffe 8 aufgenommen und mit dieser über einen
Epoxyharzkleber verbunden. Darüber hinaus sind die
Epoxyharzmuffen 8 an dem Behälter 1 zur Elektrolyse von
Wasser mit Hilfe eines Epoxyharzklebers befestigt. Bei vielen
Epoxyharzen wird ihre Aushärtetemperatur dadurch auf übliche
Temperatur gebracht, daß sie mit einem Härter gemischt
werden. Daher erfordert die Verwendung eines Epoxyharzes als
Material für den Behälter 1 für die Wasserelektrolyse und die
Muffen 8 keine Erwärmungs oder Abkühlungsschritte beim
Vorgang der Befestigung der Elektroden. Daher werden keine
Spalte an der Grenzfläche zwischen dem Elektrodenmaterial und
dem Epoxyharz erzeugt, welche sich sonst infolge der
Differenz der thermischen Ausdehnungskoeffizienten bilden
könnten. Mit anderen Worten diffundiert der reine Sauerstoff,
der durch die Elektrolyse von Wasser erzeugt wird, wirksam in
den Elektrolyten hinein, ohne daß Blasen erzeugt werden.
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Die Bezugsziffer 13 bezeichnet einen Schalter. Der Schalter
13 ist in der Schaltung zwischen der Anode und der Kathode
vorgesehen, welche durch die Wasserelektrolyseelektroden
gebildet werden. Wird die Elektrolyse durchgeführt, so ist
der Schalter 13 offen, wogegen dann, wenn keine Elektrolyse
durchgeführt wird, der Schalter 13 geschlossen ist. Daher
gibt es keine Restspannung zwischen beiden Elektroden, wenn
keine Elektrolyse durchgeführt wird. Daher ist es möglich,
ein Anhaften von Verunreinigungsmetallionen an der
Elektrodenoberfläche zu verhindern, und daher wird es
leichter, die Wasserelektrolyse im Bereich von
Sauerstoffspurenanteilen durchzuführen.
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Die Bezugsziffer 20 bezeichnet eine Konstantstromschaltung.
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Die vorliegende Erfindung ermöglicht es, daß reiner
Sauerstoff einfach und stabil in einem
Sauerstoffspulenbereich erzeugt werden kann, selbst im Falle
eines Verdünnungsgases, welches reich an Wasserstoff ist.
Zusätzlich ist es möglich, die Erzeugung von Blasen aus
reinem Sauerstoff an der Grenzfläche zwischen dem
Elektrodenmaterial und der Epoxyharzmuffe zu verhindern, und
daher besteht keine Gefahr, daß das vorbestimmte
Verdünnungsverhältnis zerstört wird. Daher ist es möglich,
ein Standardgas mit einer stabilen Sauerstorfkonzentration zu
erhalten. Weiterhin ist es möglich zu verhindern, daß sich
ein Film auf der Elektrodenoberfläche durch
Verunreinigungsemtallebenen bildet, und aus diesem Grunde ist
es möglich, eine stabile Elektrolyse eines wasserstoffreichen
Gases durchzuführen, welches Spurenanteile an Sauerstoff
aufweist.
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Figur 2 zeigt ein System zum Zuführen eines Probengases für
die Messung. Zum Zeitpunkt der Untersuchung von O&sub2; wird das
Probengas nicht durch den O&sub2;-Reiniger 11 geleitet, sondern
wird dem Gaseinlaß 5 der Zelle 1 über Ventile 14 und 15
zugeführt. Wenn die Kalibrierung des Sauerstoffanalysators
durchgeführt werden soll, wird das Probengas durch den
O&sub2;-Reiniger 11 geleitet, in welchem aus ihm O&sub2; vollständig
entfernt wird, und wird dann in die Zelle 1 von dem Einlaß 5
aus als Sauerstoff-Nullgas eingelassen.