DE3832088A1

DE3832088A1 - Optical probe

Info

Publication number: DE3832088A1
Application number: DE3832088A
Authority: DE
Inventors: Oskar Dipl Ing Gerstorfer
Original assignee: Optische Werke G Rodenstock
Current assignee: FEINPRUEF PERTHEN GMBH, 37073 GOETTINGEN, DE
Priority date: 1988-09-21
Filing date: 1988-09-21
Publication date: 1990-03-22
Also published as: DE3832088C2

Abstract

A description is given of an optical probe having a light source whose light is focused by a scanning lens onto the surface to be scanned, having a focal point sensor which controls the light reflected on the surface by means of the scanning lens displacement, and having a detection device for the scanning lens displacement. The optical probe according to the invention is distinguished in that there is arranged downstream of the scanning lens (on the image side) in the direction of the illuminating beam a fixed lens system having at least two components of positive power which satisfy the following conditions in the basic position of the optical probe: - the object-side focal point of the scanning lens coincides with the image-side focal point of the first (in the direction of the scanning beam) lens component, and - the object-side focal point of the second lens component is on the surface to be scanned.

Description

Die Erfindung bezieht sich auf einen optischen Taster gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.The invention relates to an optical button according to the preamble of claim 1.

Ein derartiger Taster ist beispielsweise aus der Veröf fentlichtung von Dr. R. Brodmann "Ein neuer optischer Feintaster und seine Anwendung" in "Technische Rundschau, Heft 39, 1987" bekannt und wird von der Anmelderin der vorliegenden Anmeldung unter der Bezeichnung "Rodenstock RM 600 Laser Stylus" hergestellt und vertrieben.Such a button is, for example, from Veröf disclosure from Dr. R. Brodmann "A new optical one Feintaster and its application "in" Technische Rundschau, No. 39, 1987 "and is published by the applicant of the present application under the name "Rodenstock RM 600 Laser Stylus "manufactured and distributed.

Bei diesem Taster wird das Licht einer Lichtquelle, bei spielsweise eines Halbleiterlasers, von einem Kollimator kollimiert und von einem Abtastobjektiv auf die abzu tastende Oberfläche fokussiert. Das von der Oberfläche reflektierte Licht passiert erneut das Abtastobjektiv und den Kollimator und wird mittels eines Strahlteilers auf einen sogenannten Brennpunktsensor gelenkt. Ein derartiger Brennpunktsensor besteht beispielsweise aus einem doppel ten Photodioden-Paar, dem ein Biprisma vorgeschaltet ist, so daß jedes Diodenpaar eine Strahlenhälfte erfaßt. Wenn sich die abzutastende Oberfläche exakt im Fokus des Ab tastobjektivs befindet, so trifft auf alle Dioden die gleiche Intensität auf. Liegt die abzutastende Oberfläche nicht im Fokus (Brennebene) des Abtastobjektivs, so ver schiebt sich der Schwerpunkt der Strahlung auf den Dioden. Aus den unterschiedlichen Diodenströmen läßt sich ein Fokusfehlersignal ableiten, das als Eingangssignal an eine Steuerung angelegt wird, die beispielsweise mittels eines Schrittmotors das Abtastobjektiv derart verschiebt, daß sich die abzutastende Oberfläche nunmehr im Fokus des Abtastobektivs befindet. Die Verschiebung des Abtastobjek tivs wird mit einer Erfassungseinrichtung, beispielsweise einem Wegaufnehmer erfaßt. Das Ausgangssignal des Wegauf nehmers wird dann als Maß für die Form der abgetasteten Oberfläche herangezogen.With this button, the light from a light source, at for example a semiconductor laser, from a collimator collimated and from a scanning lens to the groping surface focused. That from the surface reflected light passes through the scanning lens and the collimator and is opened by means of a beam splitter steered a so-called focus sensor. Such one Focus sensor, for example, consists of a double th photodiode pair, which is preceded by a biprism, so that each pair of diodes detects one half of the beam. If the surface to be scanned is exactly in the focus of the Ab is located on all of the diodes same intensity. The surface to be scanned lies not in focus (focal plane) of the scanning lens, so ver the focus of the radiation shifts onto the diodes. One can use the different diode currents Derive focus error signal, which as an input signal to a Control is created, for example, by means of a Stepper motor moves the scanning lens so that the surface to be scanned is now in the focus of the Scanning lens. The displacement of the scan object tivs with a detection device, for example a displacement sensor. The output signal of the way up is then used as a measure of the shape of the sample Surface used.

Bei dem in der genannten Veröffentlichung, auf die im übrigen zur Erläuterung aller hier nicht näher beschriebe nen Details ausdrücklich Bezug genommen wird, beschriebe nen Taster beträgt der Fokusdurchmesser ca. 1,1 µm. Der Meßbereich ist dabei durch den Verstellweg des Objektivs typischer Weise auf ± 0,3 bis 0,5 mm begrenzt, wobei die Auflösung 200 nm beträgt.In the case of the publication mentioned in the the rest for the explanation of all not described here details are expressly referred to NEN button, the focus diameter is approximately 1.1 µm. The The measuring range is due to the adjustment path of the lens typically limited to ± 0.3 to 0.5 mm, the Resolution is 200 nm.

Die Erfindung geht von der Erkenntnis aus, daß es möglich ist, den Meßbereich eines optischen Tasters gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1 durch eine Zusatzoptik zu erhöhen, ohne den eigentlichen Aufbau des Tasters und insbesondere den maximalen Verstellweg des Abtastobjektivs verändern zu müssen.The invention is based on the knowledge that it is possible is the measuring range of an optical probe according to the Preamble of claim 1 by additional optics to increase without the actual structure of the button and in particular the maximum displacement of the scanning lens to have to change.

Demgemäß liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, einen optischen Taster gemäß dem Oberbegriff des Patent anspruchs 1 derart weiterzubilden, daß der Meßbereich ohne Vergrößerung des Verstellwegs des Objektivs vergrößert werden kann.Accordingly, the invention is based on the object an optical button according to the preamble of the patent claims 1 to develop such that the measuring range without Increased lens travel can be.

Eine erfindungsgemäße Lösung dieser Aufgabe ist mit ihren Weiterbildungen in den Patentansprüchen angegeben.An inventive solution to this problem is with their Developments specified in the claims.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß in Richtung des Beleuchtungsstrahls nach dem Abtastobjektiv (bildseitig) ein feststehendes Linsensystem mit wenigstens zwei Gliedern positiver Brechkraft angeordnet ist, die in der Grundstellung des optischen Tasters die folgenden Bedingungen erfüllen:According to the invention this object is achieved in that Direction of the illuminating beam after the scanning lens (image side) a fixed lens system with at least is arranged two members of positive refractive power, which in the basic position of the optical button the following Satisfy conditions:

- The object-side focus of the scanning lens falls with the focal point on the image side (in the direction of Ab scanning beam) first lens member together,
- The object-side focal point of the second lens element lies on the surface to be scanned.

Dabei ist es gemäß Anspruch 5 bevorzugt, wenn das objekt seitig vom Abtastobjektiv angeordnete Linsensystem mit einer Schnellkupplung oder dergleichen mit dem in einem Sensorgehäuse angeordneten Grundaufbau des optischen Tasters verbunden ist.It is preferred according to claim 5 if the object lens system arranged on the side of the scanning lens a quick connector or the like in one Sensor housing arranged basic structure of the optical Button is connected.

Durch das erfindungsgemäße vorgesehene zusätzliche Linsen system kann beispielsweise der Meßbereich ±0,5 mm auf ±2 mm, d.h. über den Verstellweg des Abtastobjektivs hinaus ver größert werden.Through the additional lenses provided according to the invention system, for example, the measuring range ± 0.5 mm to ± 2 mm, i.e. ver beyond the adjustment path of the scanning lens be enlarged.

Die Erfindung wird nachstehend anhand eines Ausführungs beispiels unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher be schrieben, in der zeigen:The invention is based on an embodiment example with reference to the drawing be wrote in the show:

Fig. 1 einen Linsenschnitt durch einen gattungsgemäßen optischen Taster, Fig. 1 shows a lens section through a generic optical switch,

Fig. 2a bis 2c einen Vorsatz zu dem in Fig. 1 gezeigten Taster in verschiedenen Stellungen, FIGS. 2a to 2c a header to the one shown in Fig. 1 switch in different positions,

Fig. 3 eine Abwandlung des in Fig. 2 gezeigten Vor satzes, und Fig. 3 shows a modification of the set shown in Fig. 2, and

Fig. 4a und 4b die Kompensation von Linearitätsfehlern des Wegaufnehmers durch geeignete Auslegung des optischen Vorsatzes. FIGS. 4a and 4b, the compensating linearity errors of the transducer by suitable design of the optical header.

Fig. 1 zeigt einen gattungsgemäßen optischen Taster mit einer Lichtquelle L, beispielsweise einer Laserdiode, die sich in der (bildseitigen) Brennebene F ₁ (Fokus) eines Kollimatorobjektivs O ₁ befindet, das das Licht der Licht quelle L kollimiert. Das parallele Lichtbündel wird von einem Abtastobjektiv O ₂ auf eine abzutastende Oberfläche 1 fokussiert, die sich idealer Weise in der (objektseitigen) Brennebene (Fokus) F ₂′ des Abtastobjektivs O ₂ befinden sollte. Hierzu ist das Objektiv O ₂ in Richtung seiner optischen Achse verschiebbar; dies ist in Fig. 1 schema tisch durch einen Doppelpfeil 2 angedeutet. Fig. 1 shows a generic optical button with a light source L , for example a laser diode, which is located in the (image side) focal plane F ₁ (focus) of a collimator lens O ₁ , which collimates the light from the light source L. The parallel light beam is focused by a scanning lens O ₂ on a surface to be scanned 1 , which should ideally be in the (object-side) focal plane (focus) F ₂ 'of the scanning lens O ₂ . For this purpose, the lens O ₂ is displaceable in the direction of its optical axis; this is indicated schematically in Fig. 1 by a double arrow 2 .

Das von der Oberfläche 1 reflektierte Licht wird durch die Objektive O ₂ und O ₁ sowie ein Strahlteilerprisma 3, das mit einem Biprisma 4 verkittet ist, auf ein Diodenpaar D abgebildet. Das Diodenpaar ist ebenfalls in der bildsei tigen Brennebene F ₁′ des Objektivs O ₁ angeordnet.The light reflected by the surface 1 is imaged onto a pair of diodes D by the objectives O ₂ and O ₁ and a beam splitter prism 3 which is cemented to a biprism 4 . The pair of diodes is also arranged in the focal plane F ₁ 'of the lens O ₁ .

Wenn sich die Oberfläche 1 exakt im Fokus F ₂′ des Abtast objektivs O ₂ befindet, ist die von den Dioden des Dioden paars D empfangene Intensität exakt gleich. Verschiebt sich dagegen die Probe um ± δ x, so verschiebt sich der Schwerpunkt der Strahlung auf den Dioden. Aus den unter schiedlichen Diodenströmen läßt sich somit ein Fokusfeh lersignal ableiten, das zur Verstellung des Abtastobjek tivs O ₂ längs dessen optischer Achse verwendet wird. Grundlage dieses Verfahrens, den geometrischen Ort des Brennpunktes zu finden, ist die Foucault′sche Messer schneidemethode.If the surface 1 is exactly in focus F ₂ 'of the scanning lens O ₂ , the intensity received by the diodes of the diode pair D is exactly the same. If, on the other hand, the sample shifts by ± δ x , the focus of the radiation on the diodes shifts. From the different diode currents under a focus error signal can thus be derived, which is used to adjust the scanning object O ₂ along its optical axis. The basis of this method of finding the geometric location of the focal point is the Foucault knife cutting method.

Die Verstellung des Abtastobjektivs O ₂ längs der optischen Achse erfaßt ein Wegaufnehmer 5, der beispielsweise ein induktiver Wegaufnehmer sein kann.The displacement of the scanning objective O ₂ along the optical axis is detected by a displacement sensor 5 , which can be an inductive displacement sensor, for example.

Die in Fig. 1 dargestellten Elemente sind bei dem bekann ten optischen Taster in einem Gehäuse zusammengefaßt und werden üblicherweise als Sensor bezeichnet.The elements shown in Fig. 1 are combined in the known th optical button in a housing and are usually referred to as a sensor.

Wie bereits einleitend ausgeführt, lassen sich mit einem derartig aufgebauten optischen Taster beispielsweise bei einem Meßbereich ± 300 µm eine Auflösung von 200 nm er zielen.As already mentioned in the introduction, with a such constructed optical buttons, for example a measurement range of ± 300 µm, a resolution of 200 nm aim.

Der maximale Meßbereich des optischen Tasters ist jedoch durch den aufgrund Konstruktion des Tasters vorgegebenen Verstellweg des Objektivs O ₂ begrenzt.The maximum measuring range of the optical button is, however, limited by the adjustment path of the lens O ₂ which is predetermined on the basis of the design of the button.

Im folgenden wird gezeigt werden, daß sich mit dem in Fig. 2 gezeigten Vorsatz zu dem in Fig. 1 dargestellten optischen Taster eine optische Meßbereichserweiterung erzielen läßt, die je nach Auslegung des Vorsatzes typi scher Weise zwischen dem Faktor 4 und dem Faktor 20 be trägt.In the following it will be shown that with the attachment shown in FIG. 2 to the optical probe shown in FIG. 1 an optical measuring range extension can be achieved, which depending on the design of the attachment typically carries between the factor 4 and the factor 20 be .

In den Fig. 2a-2c ist aus Gründen der Übersichtlichkeit von dem in Fig. 1 dargestellten optischen Taster nur noch Objektiv O ₂ gezeigt.In FIGS. 2a-2c of clarity, is shown from that illustrated in Fig. 1 optical switch only Lens O ₂ for reasons.

Der Vorsatz weist zwei Objektive O ₃ und O ₄ mit positiver Brechkraft auf, deren Brennweiten f ₃ bzw. f ₄ betragen und die den AbstandThe attachment has two lenses O ₃ and O ₄ with a positive refractive power, the focal lengths of which are f ₃ and f ₄ and the distance

f′ ₃+ f ₄+ a f ′ ₃ + f ₄ + a

haben.to have.

In der Grundstellung des Tasters, d.h. in der Grundstel lung des Objektvs O ₂ fallen die objektseitige Brennebene F′ ₂ des Objektivs O ₂ und die bildseitige Brennebene F ₃ des Objektivs O ₃ zusammen.In the basic position of the button, ie in the basic position of the object O ₂ , the object-side focal plane F ' _{2 of} the lens O ₂ and the image-side focal plane F _{3 of} the lens O ₃ coincide.

Wenn sich - wie in Fig. 2a gezeigt - die abzutastende Oberfläche 1 im Fokus (Brennebene) F′ ₄ des Objektivs O ₄ befindet, werden sämtliche Dioden des Diodenpaars D mit der gleichen Lichtmenge beaufschlagt, so daß sich kein Fokusfehlersignal ergibt.If - as shown in Fig. 2a - the surface to be scanned 1 in focus (focal plane) F ' _{4 of} the lens O ₄ , all diodes of the diode pair D are exposed to the same amount of light, so that there is no focus error signal.

Fig. 2b zeigt den Fall, daß sich die abzutastende Oberflä che 1 in axialer Richtung um x ₄′ aus dem Fokus F′ ₄ bewegt hat. Fig. 2b shows the case that the surface to be scanned surface 1 has moved in the axial direction by x ₄ 'from the focus F' ₄ .

In diesem Falle wandert der Bildpunkt P ₁ um die Strecke 2x ₃ aus dem Fokus F ₃, so daß der Detektor ein Fokusfehler signal liefert, das beispielsweise über eine nicht näher dargestellte Verschiebeeinheit das Abtastobjektiv O ₂ um die Strecke x ₃ verschiebt, bis dessen Fokus F′ ₂ mit dem neuen Bildpunkt P ₂ zusammenfällt (Fig. 2c).In this case, the image point P ₁ moves by the distance 2 x ₃ from the focus F ₃ , so that the detector delivers a focus error signal which, for example, shifts the scanning lens O ₂ by the distance x ₃ via a displacement unit, not shown, until the latter Focus F ' ₂ coincides with the new pixel P ₂ ( Fig. 2c).

Die axiale Vergrößerung x ₄′/x ₃ erhält man aus der Newton' schen Abbildungsgleichung zuThe axial magnification x ₄ ′ / x ₃ is obtained from Newton's mapping equation

x′ ₄/x ₃ = f′ ₄2/(f′ ₃2 + x ₃ a) (1) x ′ ₄ / x ₃ = f ′ ₄ 2 / (f ′ ₃ 2 + x ₃ a) (1)

wobei a der Abstand der zueinanderliegenden Brennpunkte der Objektive O ₃ und O ₄ ist (Fig. 2).where a is the distance between the focal points of the objectives O ₃ and O ₄ ( FIG. 2).

Aus Gleichung (1) folgt, daß die axiale Vergrößerung x ₄′/x ₃ eine Funktion von x ₃ ist und somit nicht konstant ist.From equation (1) it follows that the axial magnification x ₄ ′ / x _{3 is} a function of x ₃ and is therefore not constant.

Ordnet man dagegen die Objektive O ₃ und O ₄ als afokales System an, so wird a=0 und man erhält als axiale Ver größerung:If, on the other hand, the objectives O ₃ and O _{4 are arranged} as an afocal system, a = 0 and the following is obtained as an axial magnification:

x′ ₄/x ₃ = f′ ₄2/f′ ₃2 (2) x ′ ₄ / x ₃ = f ′ ₄ 2 / f ′ ₃ 2 (2)

Aus Gleichung (2) folgt: Die axiale Vergrößerung bei einem Vorsatz mit einem afokalen optischen System ist so groß wie das Quadrat der Fernrohrvergrößerung f′ ₄/f′ ₃ und somit konstant über den Meßbereich.From equation (2) follows: The axial magnification in the case of an attachment with an afocal optical system is as large as the square of the telescope magnification f ′ ₄ / f ′ ₃ and thus constant over the measuring range.

Ist z.B. die Fernrohrvergrößerung f′ ₄/f′ ₃ = 2, so wird die axiale Vergrößerung x′ ₄/x ₃= 4, d. h. der Meßbereich ± 0,5 mm ohne Vorsatz erhöht sich auf ± 2 mm mit Vorsatz.If, for example, the telescope magnification is f ′ ₄ / f ′ ₃ = 2, the axial magnification becomes x ′ ₄ / x ₃ = 4, ie the measuring range ± 0.5 mm without attachment increases to ± 2 mm with attachment.

Der erfindungsgemäße Vorsatz hat außer der Vergrößerung des Meßbereichs noch eine Reihe weiterer Vorteile:
Er ermöglicht in einfacher Weise die Realisierung eines 90°-Vorsatzes, der wegen seiner kleinen Baugröße besonders für die Messung beispielsweise in Nuten, Bohrungen 7 (Fig. 3) etc. geeignet sind, die mit dem Grundgerät (Sensor) ansonsten nicht erreichbar wären.In addition to enlarging the measuring range, the attachment according to the invention has a number of further advantages:
It enables a 90 ° attachment to be implemented in a simple manner, which, because of its small size, is particularly suitable for measurement, for example, in grooves, bores 7 ( FIG. 3), etc., which would otherwise not be accessible with the basic device (sensor).

Fig. 3 zeigt eine mögliche Realisierung, bei der zwischen die Objektive O ₃ und O ₄ ein Spiegel 6 oder wegen der langen Schnittweite ein Prisma eingebracht ist. Fig. 3 shows a possible implementation in which between the lenses O ₃ and O _4, a mirror 6 or because of the long back focus, a prism is introduced.

Vor allem aber eignet sich der erfindungsgemäße Taster zur Kompensation der Nichtlinearität des Wegaufnehmers:But above all, the button according to the invention is suitable for Compensation of the non-linearity of the displacement sensor:

Fig. 4a zeigt eine typische Kennlinie "Ausgangsspannung U" als Funktion der Verschiebung x ₃ eines induktiven Wegauf nehmers. Fig. 4a shows a typical characteristic "output voltage U" as a function of the displacement x _{3 of} an inductive Wegauf subscriber.

Fig. 4b zeigt x ₃ als Funktion von x′ ₄ (axiale Vergröße rung) für verschiedene Werte von a (a=0 d.h. afokales System, a<0, a<0). Fig. 4b shows x ₃ as a function of x ' ₄ (axial magnification) for different values of a ( a = 0 ie afocal system, a <0, a <0).

Wie den Fig. 4a und 4b zu entnehmen ist, kann durch entsprechende Wahl von a die "Kennlinie", d.h. die axiale Vergrößerung des optischen Vorsatzes so gewählt werden, daß sie der Kennlinie des Wegaufnehmers entgegengesetzt ist und dessen Linearitätsfehler zumindest teilweise kom pensiert.As can be seen from FIGS. 4a and 4b , the "characteristic curve", ie the axial magnification of the optical attachment, can be selected by corresponding selection of a in such a way that it is opposite to the characteristic curve of the displacement transducer and its linearity error is at least partially compensated for.

Vorstehend ist die Erfindung anhand eines Ausführungsbei spiels ohne Beschränkung des allgemeinen Erfindungsgedan kens beschrieben worden, innerhalb dessen selbstverständ lich die verschiedensten Abwandlungen möglich sind:
Selbstverständlich ist es möglich, den erfindungsgemäßen Vorsatz vor einen optischen Taster in beliebiger Weise mit diesem zu verbinden, beispielsweise mittels einer Schnell kupplung etc. Ferner ist es möglich, mehrere unterschied liche optische Taster auf einer "Revolverscheibe" oder dgl. anzuordnen, so daß sie bei Bedarf in den Strahlengang geschwenkt werden können. Auch kann der Vorsatz fest in das Sensorgehäuse integriert und nicht abnehmbar sein.Above, the invention has been described using an exemplary embodiment without restricting the general inventive concept, within which, of course, the most varied modifications are possible:
Of course, it is possible to connect the attachment according to the invention in front of an optical button in any way, for example by means of a quick coupling etc. Furthermore, it is possible to arrange several different optical buttons on a "turret disk" or the like, so that they can be pivoted into the beam path if necessary. The attachment can also be firmly integrated into the sensor housing and cannot be removed.

Weiterhin kann der erfindungsgemäße Vorsatz auch lediglich zur Kompensation des Linearitätsfehlers des Wegaufnehmers verwendet werden, ohne daß er den Meßbereich erhöht.Furthermore, the header according to the invention can also only to compensate the linearity error of the displacement sensor can be used without increasing the measuring range.

Es versteht sich von selbst, daß die einzelnen Objektive keine Einzellinsen - wie vereinfachend in der Zeichnung dargestellt - sein müssen, sondern selbstverständlich aus mehreren Linsen bestehen können. In diesem Falle sind die jeweiligen Abstände von der entsprechenden Hauptebene zu rechnen.It goes without saying that the individual lenses do not have to be individual lenses - as shown in a simplified manner in the drawing - but can of course consist of several lenses. In this case, the respective distances from the corresponding main level must be calculated.

Claims

1. Optical button with a light source ( L ), the light of which is displaceable in the direction of the optical axis, the scanning objective ( L ₂ ) focuses on the surface to be scanned ( 1 ), with a focal point sensor ( D ) which detects the light reflected from the surface by the Scanning lens receives and its output signal controls the displacement of the scanning lens, and with a detection device for the size of the displacement of the scanning lens ( L ₂), characterized in that in the direction of the illumination beam after the scanning lens ( L ₂ ) (object side) a fixed lens system is arranged with at least two links ( L ₃ , L ₄ ) positive refractive power, which fulfill the following conditions in the basic position of the optical button:

- the object-side focal point ( F ′ ₂ ) of the scanning lens ( L ₂ ) coincides with the image-side focal point ( F ₃ ) of the (in the direction of the scanning beam) first lens element ( L ₃ ),
- The object-side focal point ( F ₄ ) of the second lens element ( L ₄ ) lies on the surface to be scanned ( 1 ).

2. Push button according to claim 1, characterized in that a displacement sensor ( 5 ) for detecting the displacement of the scanning lens ( L ₂ ) is provided in a manner known per se, and the distance ( f ₃ + a + f ₄ ) of the two lens elements ( L ₃ , L ₄ ) is selected in such a way that the nonlinearity of the axial magnification which may arise at least partially compensates for the nonlinearity of the displacement transducer.

3. Push button according to claim 2, characterized in that the displacement sensor is an inductive displacement transducer ( 5 ).

4. button according to claim 2, characterized in that the distance between the two lenses members ( L ₃ , L ₄ ) is equal to the sum of their focal lengths ( f ₃ , f ₄ ), so that there is a constant axial magnification.

5. Push button according to one of claims 1 to 4, characterized in that between the two lenses ( L ₃ , L ₄ ) of the fixed lens system, a deflection element ( 6 ), such as a mirror or a prism, is arranged.

6. button according to one of claims 1 to 5, characterized in that the fixed lens system as an attachment in front of the actual sensor in the rays can be inserted and removed again.