DE3826581A1

DE3826581A1 - Electronic coordinate measuring stylus

Info

Publication number: DE3826581A1
Application number: DE19883826581
Authority: DE
Inventors: Paul Dipl Ing Seckendorf
Original assignee: FREUND H MORA MESSGERAETE
Current assignee: FREUND H MORA MESSGERAETE
Priority date: 1988-08-04
Filing date: 1988-08-04
Publication date: 1990-02-08

Abstract

In an electronic coordinate measuring stylus, signals which correspond to a deflection of the touch element in the stylus axial direction are obtained by fastening the touch element on a carrier, mounted on a universal joint in a housing, on a slide guided displaceably in the stylus axial direction, and by coupling to the slide a position transmitter element responding to the displacement of the slide in the stylus axial direction, the position transmitter element being opposite a detector element mounted on the carrier or on the housing.

Description

Die Erfindung betrifft einen elektronischen Koordinatenmeß taster zum berührenden Antasten und Erfassen von Prüflings konturen auf Mehrkoordinaten-Meßgeräten, mit einem ein Tast organ aufweisenden Träger, der in einem Gehäuse in zwei Ach sen kardanisch gelagert, um einen Nullpunkt auslenkbar und mit einem ein Lichstrahlenbündel etwa in Tasteraxialrichtung abgebenden optischen Organ versehen ist, das einem gehäuse fest montierten, von Detektorlichtstrahl getroffenen, bezüg lich des Auftreffpunktes des Detektorlichtstrahles empfindli chen optoelektronischen Detektorelement gegenübersteht.The invention relates to an electronic coordinate measurement button for touching probing and capturing test objects contours on multi-coordinate measuring devices, with a one touch organ-bearing, which in a housing in two axes gimbal mounted, deflectable around a zero point and with a bundle of light rays approximately in the key axial direction emitting optical organ is provided that a housing permanently mounted, hit by detector light beam, cover Lich the point of impact of the detector light beam sensitive Chen opposes optoelectronic detector element.

Koordinatenmeßtaster dieser Art sind aus der deutschen Pa tentschrift 28 35 615 bekannt. Das Lichtstrahlenbündel bei dem bekannten Meßtaster von einer auf dem kardanisch gelagerten Träger montierten Lichtquelle erzeugt und trifft auf das optoelektronische Detektorelement, welches ein ta stereigenes ebenes Koordinatensystem bildet, derart, daß von dem optoelektronischen Element Signale ableitbar sind, welche der Tasterauslenkung in zwei zur Tasteraxialrichtung senkrechten Richtungen entsprechen.Coordinate probes of this type are from the German Pa tent writing 28 35 615 known. The bundle of light in the known probe from one on the gimbal Mounted carrier-mounted light source generates and hits on the optoelectronic detector element, which is a ta forms its own plane coordinate system in such a way that signals can be derived from the optoelectronic element, which the stylus deflection in two to the stylus axial direction correspond to vertical directions.

Durch die Erfindung soll die Aufgabe gelöst werden, einen elektronischen Koordinatenmeßtaster der soeben kurz beschrie benen Art so auszugestalten, daß er auch Signale liefert, wel che einer Auslenkung des Tastorganes in Tasteraxialrichtung entsprechen, derart, daß ein Koordinatenmeßtaster der hier an gegebenen Art beispielsweise Signale entsprechend Tasteraus richtungen in drei Richtungen eines rechtwinkligen Koordinaten systems liefert.The object of the invention is to solve a problem electronic coordinate measuring probe which has just been briefly described Aben kind so that it also provides signals, wel che a deflection of the probe in the axial direction correspond, in such a way that a coordinate probe on here given type, for example, signals corresponding to the button directions in three directions of a rectangular coordinate systems supplies.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß das Tastorgan an einem in oder an dem genannten Träger in Taster axialrichtung verschieblich geführten Schlitten befestigt ist und daß mit dem Schlitten ein auf dessen Verschiebung in Ta steraxialrichtung ansprechendes Stellungsgeberelement gekup pelt ist, das einen am Träger oder am Gehäuse montierten De tektorelement gegenübersteht.This object is achieved in that the Probe on a in or on the carrier mentioned in the button axially displaceably guided carriage is attached and that with the carriage on its displacement in Ta Positioner element that is responsive to the axial direction pelt, which is a De faces the detector element.

Bevorzugtermaßen ist bei einem Koordinatenmeßtaster der hier angegebenen Konstruktion an dem Schlitten ein weiteres, ein Lichtstrahlenbündel im wesentlichen senkrecht zur Tasteraxial richtung abgebendes optisches Organ angeordnet, das einem ge häusefest oder am Träger montierten, bezüglich des Auftreff punktes dieses Lichtstrahlenbündels empfindlichen optoelektro nischen Detektorelement gegenüberliegt.For a coordinate probe, this is preferred specified construction on the sled another, a Beams of light essentially perpendicular to the button axial directional optical organ arranged that a ge fixed to the house or mounted on the beam, with regard to the impact point of this beam of light sensitive optoelectro African detector element is opposite.

Zweckmäßig befinden sich das weitere optische Organ und das zugehörige optoelektronische Detektorelement etwa auf dem Niveau der Kardanlagerung des Trägers mit Bezug auf die Ta steraxialrichtung.The other optical organ and the are expedient associated optoelectronic detector element, for example, on the Level of gimbal mounting of the wearer in relation to the Ta steraxial direction.

Die optischen Organe können von Spiegelflächen gebildet sein, welche zur Erzeugung der Lichtstrahlenbündel von einer oder je einer gehäusefest montierten Lichtquelle mit einem Lichtstrahl beaufschlagt werden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform aber sind die optischen Organe von über fle xible Leitungen gespeisten elektrischen Lichtquellen, insbe besondere lichtemittierenden Dioden, mit integrierter Optik, und vorgeschalteten Blenden gebildet, wobei unter Licht hier jede der geometrischen Optik folgende Strahlung zu verstehen ist, also beispielsweise Infrarotstrahlung.The optical organs can be formed by mirror surfaces, which is used to generate the light beams from a or each with a light source that is fixed to the housing Beam of light can be applied. According to a preferred Embodiment but are the optical organs of over fle flexible lines powered electrical light sources, esp special light-emitting diodes, with integrated optics, and upstream shutters formed, under light here to understand each radiation following the geometric optics is, for example infrared radiation.

Im übrigen sind vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbil dungen des vorliegend angegebenen elektronischen Koordinaten meßtasters in den anliegenden Patentansprüchen gekennzeich net, deren Inhalt hierdurch ausdrücklich zum Bestandteil der Beschreibung gemacht wird, ohne an dieser Stelle den Wortlaut zu wiederholen.For the rest, there are advantageous refinements and developments of the electronic coordinates given here measuring probe characterized in the attached claims net, the content of which hereby expressly forms part of the Description is made without the wording at this point to repeat.

Nachfolgend werden Ausführungsformen unter Bezugnahme auf die anliegende Zeichnung näher erläutert. Es stellen dar:In the following, embodiments are described with reference to FIG attached drawing explained in more detail. They represent:

Fig. 1 einen Axialschnitt durch einen Koordinaten meßtaster der vorliegend angegebenen Konstruk tion, Fig. 1 is an axial section tion by a coordinate probe of the presently specified constructive,

Fig. 2 einen Axialschnitt ähnlich Fig. 1 entspre chend einer zu der Schnittebene von Fig. 1 senkrechten Ebene und Fig. 2 shows an axial section similar to FIG. 1 accordingly a plane perpendicular to the sectional plane of FIG. 1 and

Fig. 3 eine schematische Abbildung einer gegenüber den Fig. 1 und 2 abgewandelten Ausfüh rungsform. Fig. 3 is a schematic illustration approximate shape of a comparison with FIGS. 1 and 2 modified exporting.

In Fig. 1 ist eine Halterung eines Mehrkoordinaten-Meßgerätes mit 1 bzeichnet. An ihr ist mittels einer Überwurfmutter 2 ein hülsenförmiges, zweiteiliges Gehäuse 3 befestigt, das an seinem oberen Ende einen Bund trägt, der mittels der Überwurf mutter 2 gegen die Halterung 1 festgespannt ist. Der obere Teil 3 a des Gehäuses ist etwa im Bereich der axialen Gehäusemitte des Gehäuses 3 mit in Fig. 2 dargestellten Lageraugen 4 ver sehen, welche nach innen weisen, und ist in diesem Bereich mittels radial gerichteter Schrauben 5 mit einem unteren Ge häuseteil 3 b verbunden, das nahe seinem unteren Ende eine Um fangsnut 6 aufweist, in die ein Wulst eines Balges 7 eingreift, der zu einem Verankerungspunkt 8 eines Tastorganes 9 reicht, worauf weiter unten noch näher eingegangen wird.In Fig. 1, a bracket of a multi-coordinate measuring device is designated by 1 . A sleeve-shaped, two-part housing 3 is attached to it by means of a union nut 2 , which carries a collar at its upper end, which is clamped against the holder 1 by means of the union nut 2 . The upper part 3 a of the housing is approximately ver in the region of the axial housing center of the housing 3 with bearing eyes 4 shown in FIG. 2, which point inwards, and is in this area by means of radially directed screws 5 with a lower housing part 3 b Ge connected, which has a circumferential groove 6 near its lower end, into which a bead of a bellows 7 engages, which extends to an anchoring point 8 of a sensing element 9 , which will be discussed in more detail below.

Die Lageraugen 4 des oberen Gehäuseteiles 3 a dienen zur Lagerung von Kardanachsen 10 eines Kardanringes 11, der, wie aus den Fig. 1 und 2 ersichtlich, abgeschrägte Außenkonturen in den gegenüber den Lagerachsen 10 um 90 Grad umfangsmäßig versetzten Bereichen und abgeschrägte Innenkonturen in den den Lagerachsen 10 benachbarten Umfangsbereichen aufweist, wobei festzustellen ist, daß der Kardanring 11 vergleichsweise geringen Radialab stand von dem hülsenförmigen Gehäuse 3 hat.The bearing eyes 4 of the upper housing part 3 a serve for mounting gimbal axles 10 of a gimbal ring 11 , which, as can be seen from FIGS . 1 and 2, bevelled outer contours in the areas offset circumferentially by 90 degrees with respect to the bearing axles 10 and bevelled inner contours in the Bearing axes 10 has adjacent peripheral areas, it being noted that the gimbal 11 has a comparatively small radial distance from the sleeve-shaped housing 3 .

Aus Fig. 1 ist zu ersehen, daß in einem gegenüber den Lager achsen 10 um 90 Grad umfangmäßig versetzten Bereich der Kardan ring 11 weitere Kardanachsen 12 aufnimmt, welche in radialer Richtung nach einwärts in einen Träger 13 eingreifen, der sich in axialer Richtung etwa koaxial zu dem hülsenförmigen Gehäuse 13 durch dessen Innenraum erstreckt, derart, daß der Träger 13 relativ zu der Halterung 1 und dem daran festgespannten hülsen förmigen Gehäuse 3 über die Kardanachsen 10, den Kardanring und die Kardanachsen 12 kardanisch gelagert ist. Im Bereich der Kardanachsen vorgesehene Kreuzfederelemente sorgen dafür, daß der Träger 13 gegenüber der Halterung 1 und dem hülsen förmigen Gehäuse 3 eine in den Fig. 1 und 2 wiedergegebene Nullstellung einnimmt und aus dieser Nullstellung unter Über windung einer durch die Kreuzfederelemente vorgegebenen Vor spannung in zwei Koordinatenrichtungen auslenkbar ist, wie in den Fig. 1 und 2 durch strichpunktierte Linien angedeutet ist.From Fig. 1 it can be seen that in an axially offset relative to the bearing 10 by 90 degrees area of the gimbal ring 11 receives further gimbal axles 12 which engage in the radial direction inwards in a carrier 13 which is approximately coaxial in the axial direction extends to the sleeve-shaped housing 13 through its interior such that the carrier 13 is gimbaled relative to the holder 1 and the sleeve-shaped housing 3 clamped thereon via the gimbal axes 10 , the gimbal ring and the gimbal axes 12 . In the area of the cardan axles provided cross spring elements ensure that the carrier 13 relative to the bracket 1 and the sleeve-shaped housing 3 assumes a zero position shown in FIGS . 1 and 2 and from this zero position by overcoming a predetermined by the cross spring elements before tension in two Coordinate directions can be deflected, as indicated in FIGS . 1 and 2 by dash-dotted lines.

Am oberen Ende des Trägers 13 ist eine Infrarotlicht emittierende Diode 14 befestigt, welche über eine integrierte Optik und eine in einer Kapselung vorgesehene Blende ein Lichtstrahlenbündel mit Bezug auf die Nullstellung des Trägers 13 in Axialrichtung abzugeben vermag. Dieses Lichtstrahlenbündel trifft auf ein Detektorelement 15, welches so ausgebildet ist, daß es als tastereigenes ebenes Koordinatensystem entsprechend der je weiligen Stellung des Trägers 13 Signale abgibt, welche der Tasterauslenkung in zwei zur Tasteraxialrichtung senkrechten Richtungen entsprechen. Diese Signale werden von dem Detektor element 15 durch in Fig. 1 dargestellte Leitungen abgeleitet. Das Detektorelement ist an einer am hülsenförmigen Gehäuse 3 im Bereich von dessen oberem Ende befestigten Platte 16 ge halten. Diese Platte besitzt Ausschnitte, über die zu dem elektronischen Koordinatenmeßtaster führende flexible Leitungen zur Speisung der auf dem Träger 13 montierten Lichtquellen sowie der darauf befindlichen Detektorelemente geführt sind. Diese Leitungen sind in Fig. 1 bei 17 angedeutet.At the upper end of the carrier 13 , an infrared light-emitting diode 14 is attached, which is able to emit a light beam with respect to the zero position of the carrier 13 in the axial direction via integrated optics and an aperture provided in an encapsulation. This beam of light strikes a detector element 15 , which is designed such that it emits signals as a push-button plane coordinate system corresponding to the respective position of the carrier 13 , which correspond to the push-button deflection in two directions perpendicular to the push-button axial direction. These signals are derived from the detector element 15 through lines shown in Fig. 1. The detector element is on a sleeve-shaped housing 3 in the region of its upper end plate 16 hold ge. This plate has cutouts via which flexible lines leading to the electronic coordinate measuring probe for feeding the light sources mounted on the carrier 13 and the detector elements located thereon are guided. These lines are indicated at 17 in FIG. 1.

Das Tastorgan 9 ist mit dem Träger 13 über einen an diesem oder in diesem im wesentlichen in Tasteraxialrichtung geführten Schlitten 18 gekuppelt. Der Schlitten 18 weist ein in einer Nische des Trägers 13 befindliches Mittelstück 19 auf, an dem mittels Stellschrauben 20 und 21 nach abwärts bzw. nach auf wärts in Bohrungen des Trägers 13 hineinreichende Zylinder stifte 21 bzw. 22 befestigt sind. Diese Zylinderstifte sind in innerhalb der Bohrungen des Trägers 13 vorgesehenen, in den Fig. 1 und 2 schematisch angegebenen Kugelführungsbuchsen in Axialrichtung geführt.The sensing element 9 is coupled to the carrier 13 by means of a carriage 18 guided thereon or essentially in the sensor axial direction. The carriage 18 has a center piece 19 located in a niche of the support 13 , to which pins 21 and 22 are attached by means of adjusting screws 20 and 21 downwards or upwards into bores of the support 13 . These cylindrical pins are guided in the axial direction in the ball guide bushes provided within the bores of the carrier 13 and shown schematically in FIGS . 1 and 2.

Es versteht sich, daß für die Axialführung des Schlittens 18 bzw. seines Mittelstückes 19 vom Fachmann auch eine Anzahl weiterer Führungskonstruktionen vorgesehen werden kann.It goes without saying that a number of further guide constructions can also be provided by the person skilled in the art for the axial guidance of the slide 18 or its center piece 19 .

Der untere Führungsstift 21 reicht in einen Block 23 des Tast organes 9 hinein und ist von einer Druck-Schraubenfeder 24 umschlungen, welche sich einerseits gegen den Träger 13 und andererseits gegen ein Feder-Widerlager 24 abstützt, das gegen über dem Block 23 des Tastorganes 9 mittels einer Einstell schraube 25 zur Einstellung der Federvorspannung in Axial richtung verschiebbar ist. Die Federvorspannung der Schrauben- Druckfeder 24 zwischen dem Träger 13 und dem Feder-Widerlager 24 a bewirkt, daß das Tastorgan 9 relativ zu den Trägern 13 gegen einen Anschlag vorgespannt wird, der durch das Anlaufen des Mittelstückes 19 des Schlittens 18 gegen eine Wand der Nische des Trägers 13 vorgegeben ist, wie der Fachmann aus den Fig. 1 und 2 ohne weiteres erkennt.The lower guide pin 21 extends into a block 23 of the tactile organ 9 into and is encircled by a compression coil spring 24, which on the one hand is supported against the carrier 13 and on the other hand against a spring abutment 24 which is opposite to the block 23 of the probe member 9 is adjustable by means of an adjusting screw 25 for adjusting the spring preload in the axial direction. The spring preload of the helical compression spring 24 between the carrier 13 and the spring abutment 24 a causes the feeler 9 to be pretensioned relative to the carriers 13 against a stop which is caused by the start of the middle piece 19 of the carriage 18 against a wall of the recess of the carrier 13 is predetermined, as the person skilled in the art will readily recognize from FIGS. 1 and 2.

Von dem Block 23 ragt ein zur Verdrehsicherung dienender Führungsstift 26 in eine achsparallele Bohrung 27 des Trägers 13 hinein und ist in dieser Bohrung mittels einer Kugelführungs buchse oder einer anderen Schiebeführung 28 geführt, derart, daß eine Verdrehung des Schlittens 18 relativ zu dem Träger 13 um die Achse der Führungsstifte 22 und 21 verhindert ist.From the block 23 , a guide pin 26 serving to prevent rotation protrudes into an axially parallel bore 27 of the carrier 13 and is guided in this bore by means of a ball guide bushing or another sliding guide 28 , such that a rotation of the carriage 18 relative to the carrier 13 the axis of the guide pins 22 and 21 is prevented.

Das Mittelstück 19 des Schlittens 18 ist mit einer mit Bezug auf die in den Fig. 1 und 2 gezeigte Stellung horizontal gerichtete Ausnehmung 29 versehen, in welche eine weitere Lichtquelle 30 ähnlich der Lichtquelle 14 eingesetzt ist. Diese Lichtquelle wird wiederum von einer Infrarotlicht emittierenden Diode gebildet und sendet über eine integrierte Optik und eine in dem Träger 13 gebildete Blende ein Lichstrahlenbündel in Richtung auf ein Detektorelement 31 aus, das an der Seitenwand der Nische des Trägers 13 montiert ist. Dieses Detektorelement erzeugt in Abhängigkeit von dem Auftreffpunkt des Lichtstrahlen bündels der Lichtquelle 30 elektrische Signale, welche der axialen Stellung der Blendenöffnung an dem Mittelstück 19 des Schlittens 18 und damit der axialen Stellung des Tastorganes 9 relativ zu dem Träger 13 entsprechen. Es sei darauf hinge wiesen, daß sich mit Bezug auf die in Fig. 1 gezeigte Null stellung des Schlittens 18 relativ zu dem Träger 13 und auch mit Bezug auf mögliche Auslenkstellungen in Richtung einer Ver schiebung des Schlittens 18 relativ zu dem Träger 13 nach auf wärts das Niveau des von der Lichtquelle 30 erzeugten Licht strahlenbündels etwa in der Höhe der Kardanachsen 10 und 12 be findet. Von den Detektorelementen 15 und 31 abnehmbare elektri sche Signale repräsentieren daher bei vergleichweise geringer gegenseitiger Unabhängigkeit die Auslenkstellung der Tastspitze 32 eines Tastfingers 33 des Tastorganes 9 in zwei zueinander senkrechten Koordinatenrichtungen in einer Radialebene zur Tasterlängsachse sowie in Richtung dieser Tasterlängsachse.The center piece 19 of the carriage 18 is provided with a recess 29 which is horizontally directed with respect to the position shown in FIGS. 1 and 2 and into which a further light source 30 similar to the light source 14 is inserted. This light source is in turn formed by an infrared light-emitting diode and emits a light beam in the direction of a detector element 31 , which is mounted on the side wall of the niche of the carrier 13 , via integrated optics and an aperture formed in the carrier 13 . This detector element generates, depending on the point of incidence of the light beam of the light source 30, electrical signals which correspond to the axial position of the aperture on the center piece 19 of the carriage 18 and thus the axial position of the sensing element 9 relative to the carrier 13 . It should be noted that with respect to the zero position of the carriage 18 shown in FIG. 1 relative to the carrier 13 and also with respect to possible deflection positions in the direction of a displacement of the carriage 18 relative to the carrier 13 upwards the level of the light beam 30 generated by the light beam approximately at the height of the gimbal axes 10 and 12 be found. From the detector elements 15 and 31 detachable electrical signals therefore represent, with comparatively little mutual independence, the deflection position of the stylus 32 of a stylus 33 of the stylus 9 in two mutually perpendicular coordinate directions in a radial plane to the longitudinal axis and in the direction of this longitudinal axis.

Kommt es auf eine quantitative Bestimmung der axialen Ver schiebung der Tastorganspitze 32 nicht an und soll in erster Linie ein qualitatives Signal eine Verschiebung der Tastorgan spitze melden, so kann gemäß Fig. 3 der Schlitten 18 vereinfacht ausgebildet und zusätzlich zur oder anstelle der Wirkung der Schraubenfeder 24 mittels einer Blattfeder 35 gegen einen An schlagabsatz des Trägers 13 vorgespannt werden, welche einen Spiegel 36 trägt. Die Blattfeder 35 ist zwischen Federlager 37 am oberen Ende der Nische des Trägers 13 und einem Federlager 38 auf der Oberseite des Schlittens 18 eingesetzt. Im übrigen ist die Konstruktion des Schlittens 18 bezüglich des unteren Führungsstiftes 21, des damit verbundenen Blockes 23 des Tast organes 9 und bezüglich des als Verdrehsicherung dienenden Führungsstiftes 26 derselben Art, wie für das Ausführungsbei spiel nach den Fig. 1 und 2 angegeben.If a quantitative determination of the axial displacement of the probe organ tip 32 is not important and a qualitative signal is primarily intended to report a displacement of the probe organ tip, then the slide 18 can be simplified according to FIG. 3 and in addition to or instead of the effect of the coil spring 24 are biased by means of a leaf spring 35 against an impact shoulder of the carrier 13 , which carries a mirror 36 . The leaf spring 35 is inserted between the spring bearing 37 at the upper end of the niche of the carrier 13 and a spring bearing 38 on the upper side of the carriage 18 . Otherwise, the construction of the carriage 18 with respect to the lower guide pin 21 , the associated block 23 of the sensing element 9 and with respect to the anti-rotation guide pin 26 of the same type, as for the game Ausführungsbei shown in FIGS . 1 and 2.

Eine Lichtquelle 39 ist an der Seitenwand der Nische des Trägers 13 montiert und sendet ein Lichtstrahlenbündel auf den Spiegel 36 der Blattfeder 35. Dieser Lichtstrahl wird von dem Spiegel 36 auf ein Detektorelement 40 reflektiert, welches wiederum an der Seitenwand der Nische des Trägers 13 in der aus Fig. 3 er sichtlichen Weise befestigt ist. Sobald die Tastspitze 32 des Tastfingers 33 gegen eine Prüflingsoberfläche in der Weise an tastet, daß das Tastorgan 9 mit dem Block 23 in Tasteraxial richtung nach aufwärts verschoben wird, erfährt die Blattfeder 35 eine verstärkte Abbiegung gegenüber der in Fig. 3 gezeigten Stellung, so daß das von der Lichtquelle 39 auf den Spiegel 36 gerichtete Lichtstrahlenbündel nunmehr auf einen anderen Auf treffpunkt des Detektorelementes 40 reflektiert wird. Das Detektorelement 40 gibt dann ein der Axialverschiebung des Tastorganes entsprechendes Signal ab, das über flexible Lei tungen von dem Träger zu der Halterung 1 des betreffenden Koordinatenmeßgerätes geführt wird.A light source 39 is mounted on the side wall of the niche of the carrier 13 and sends a light beam onto the mirror 36 of the leaf spring 35 . This light beam is reflected by the mirror 36 onto a detector element 40 , which in turn is attached to the side wall of the niche of the carrier 13 in the manner shown in FIG. 3. As soon as the probe tip 32 of the probe finger 33 probes against a test specimen surface in such a way that the probe element 9 is moved upwards with the block 23 in the probe axial direction, the leaf spring 35 experiences an increased deflection with respect to the position shown in FIG. 3, so that the light beam directed from the light source 39 onto the mirror 36 is now reflected onto another point of impact of the detector element 40 . The detector element 40 then emits a signal corresponding to the axial displacement of the sensing element, which lines is guided via flexible lines from the carrier to the holder 1 of the coordinate measuring machine in question.

Der Fachmann erkennt, daß für die Anregung der Detektorelemente 15 und 31 bzw. 40 eine gemeinsame Lichtquelle zur Erzeugung von Lichtstrahlenbündeln in dem Koordinatenmeßtaster vorgesehen werden kann, wobei geeignete Reflektormittel und Durchtritts kanäle in dem Träger vorzusehen sind. Auch können anstelle der auf dem Träger 13 montierten, über flexible Leitungen gespeisten Lichtquellen an entsprechender Stelle Reflektoren vorgesehen sein, welche von einer gehäusefesten Lichtquelle oder jeweils einer gehäusefesten Lichtquelle beaufschlagt werden und ihr reflektiertes Lichtstrahlenbündel abhängig von der Position des Trägers in drei Koordinatenrichtungen auf zugehörige De tektorelemente lenken.The person skilled in the art recognizes that a common light source for generating light beams can be provided in the coordinate measuring probe for the excitation of the detector elements 15 and 31 or 40 , suitable reflector means and passage channels being provided in the carrier. Also, instead of the light sources mounted on the carrier 13 and fed via flexible lines, reflectors can be provided at an appropriate point, which are acted upon by a light source fixed to the housing or a light source fixed to the housing and their reflected light bundle depending on the position of the carrier in three coordinate directions to associated De direct tector elements.

Claims

1. Electronic coordinate probe for touching Anta most and detecting test specimen contours on multi-coordinate measuring devices, with a probe element ( 9 ) having carrier ( 13 ) which is gimbal-mounted in a housing ( 3 ) in two axes, deflectable around a zero point and with one Bundle of light rays is provided approximately in the pushbutton axial direction, the optical organ ( 14 ) is provided, which is opposed to a housing-mounted optoelectronic detector element ( 15 ) which is fixed to the housing and struck by the light beam and which is sensitive to the point of impact of the light beam bundle, characterized in that the pushbutton element ( 9 ) is connected to an in or on the carrier (13) in Tasteraxial direction displaceably guided slide (18) is fixed, and that means responsive to the displacement thereof in Tasteraxialrichtung position transmitter element (30) is coupled to the carriage (18) which is mounted on the carrier or on the housing detector element (31 ) across from stands.

2. Coordinate probe according to claim 1, characterized in that on the carriage ( 18 ) a further, a light beam essentially perpendicular to the probe axial direction emitting optical organ ( 30 ) is arranged, which is fixed to a housing or mounted on the carrier ( 13 ), with respect to the point of impact of this light beam is sensitive detector element ( 31 ).

3. Coordinate probe according to claim 1 or 2, characterized in that the further optical organ ( 30 ) and the associated detector element ( 31 ) approximately at the level of the cardan bearing ( 10 , 12 ) of the carrier ( 13 ) with respect to the Push button axial direction.

4. Coordinate probe according to one of claims 1 to 3, characterized in that the optical organs of Spie gels ( 36 ) are formed, which are used to generate the light beams from one or each of a housing-mounted light source with a light beam.

5. Coordinate probe according to one of claims 1 to 3, characterized in that the optical organs ( 14 , 30 ) by flexible lines ( 17 ) fed electrical light sources, in particular light-emitting diodes, with integrated optics and upstream aperture are formed.

6. Coordinate probe according to one of claims 1 to 5, characterized in that the carriage ( 18 ) with parallel to the probe axial direction oriented cylindrical pins ( 21 , 22 ) is seen ver, which are guided in ball guide bushes of the carrier ( 13 ).

7. Coordinate probe according to claim 6, characterized in that the carriage ( 18 ) has at least one additional, in the carrier ( 13 ) extending guide pin ( 26 ) as anti-rotation.

8. Coordinate probe according to one of claims 1 to 7, characterized in that the carriage ( 18 ) of spring means ( 24 ) is biased in the probe axial direction against a stop relative to the carrier ( 13 ).

9. Coordinate probe according to claim 8, characterized in that the abutment ( 24 a ) of the spring means ( 24 ) on the side of the carriage ( 18 ) or the sensing element ( 9 ) or on the side of the carrier ( 13 ) by means of an adjusting screw ( 25 ) is adjustable in the button axial direction.

10. Coordinate probe according to one of claims 1 to 9, characterized in that the carrier ( 13 ) is designed as a sleeve-shaped body which at its end facing away from the sensing element ( 9 ) carries the optical organ ( 14 ), approximately in its axia len Center is surrounded by a gimbal ( 11 ) or a gimbal of the gimbal and has a side cutout, over which the other optical element ( 30 ) of the carriage ( 18 ) and the associated optoelectronic detector element ( 31 ) face each other.