DE3806955A1 - Glucoseempfindlicher fet-sensor und verfahren zu seiner herstellung - Google Patents
Glucoseempfindlicher fet-sensor und verfahren zu seiner herstellungInfo
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Description
Die Erfindung betrifft einen glucoseempfindlichen FET-
Sensor mit hoher Empfindlichkeit und schnellem Ansprechvermögen
sowie ein Herstellungsverfahren dafür.
Es ist bekannt, daß für die klinische Diagnose die Messung
der Konzentration verschiedener organischer Substanzen in
Körperflüssigkeiten wie Blut oder Urin sehr wichtig ist.
Daher wurden bisher die Anstrengungen darauf gerichtet,
verschiedene quantitative Meßverfahren und Verbesserungen
derselben zu entwickeln. Insbesondere auf dem Gebiet der
klinischen Diagnose besteht ein Bedarf für die Entwicklung
eines quantitativen Meßverfahrens, bei dem ein kleiner
Sensor mit schnellem Ansprechvermögen einsetzbar ist, da
Spurenmengen von Proben zu handhaben oder sehr schnelle
Messungen auszuführen sind. Um diesen Bedarf zu decken,
wurde ein Enzym-FET-Sensor entwickelt, der aus einer Kombination
einer enzymfixierten Membran und eines ionensensitiven
Feldeffekttransistors (ISFET) besteht, wobei letzterer
ein Ionensensor ist, der mit bekannten Halbleiter-Herstellungsverfahren
feinstbearbeitet werden kann.
Fig. 1 ist ein Querschnitt durch einen bekannten glucoseempfindlichen
FET-Sensor. Ein ISFET-Element 1 umfaßt dabei
ein Substrat 2, eine Source-Elektrode 3 und eine Drain-
Elektrode 4, die beide im Substrat 2 ausgebildet sind,
sowie einen auf der Oberfläche des Substrats 2 derart ausgebildeten
wasserstoffionenempfindlichen Film 5, daß dieser
die Source-Elektrode 3 und die Drain-Elektrode 4 überdeckt.
Der wasserstoffionenempfindliche Film 5 ist ein Siliciumnitridfilm,
der außerdem als elektrische Isolierschicht
dient. Ein ionenempfindlicher Abschnitt 5 a ist an demjenigen
Teil der Oberfläche des wasserstoffionenempfindlichen
Films 5 gebildet, der zwischen der Source-Elektrode 3 und
der Drain-Elektrode 4 definiert ist. Eine enzymfixierte
Membran 7, die Glucoseoxidase 6 enthält, ist auf dem empfindlichen
Abschnitt 5 a gebildet. Die enzymfixierte Membran
7 und das ISFET-Element 1 bilden gemeinsam einen glucoseempfindlichen
FET-Sensor 8. Ferner ist eine Bezugselektrode
9 nahe der enzymfixierten Membran 7 angeordnet, so daß
zwischen einen Halbleiterabschnitt des Sensors 8 und eine
wäßrige Lösung durch die wäßrige Lösung eine Gate-Spannung
anlegbar ist.
Der bekannte glucoseempfindliche FET-Sensor 8 ist in der
vorstehend beschriebenen Weise aufgebaut, und das ISFET-
Element 1 ist für Wasserstoffionen in der wäßrigen Lösung
empfindlich und zeigt ein Ansprechvermögen von ca. 50 mV/pH
in einem pH-Bereich von 1-10. Wie z. B. in "Sensors and
Actuators", (1985), Bd. 7, S. 233, angegeben ist, ist Glucoseoxidase
ein Enzym, das selektiv β-D-Glucose oxidiert
und bewirkt, daß β-D-Glucose zu D-Glucono-δ-lacton unter
den Bedingungen der Koexistenz mit Sauerstoff zersetzt
wird, wie dies durch die nachstehende Formel dargestellt
ist. Das so erzeugte D-Glucono-δ-lacton wird in der wäßrigen
Lösung durch eine natürliche hydrolytische Reaktion zu
Gluconsäure.
Wenn β-D-Glucose in einer zu messenden wäßrigen Lösung vorliegt,
findet die in der obigen Formel gezeigte Enzymreaktion
in der enzymfixierten Membran 7 statt, die die Glucoseoxidase
enthält, und somit wird Gluconsäure erzeugt.
Daher wird der pH-Wert in der enzymfixierten Membran 7
klein. Das unter der enzymfixierten Membran 7 befindliche
ISFET-Element 1 erfaßt diese pH-Änderung und spricht dadurch
auf die Glucosekonzentration an.
Da der vorstehend beschriebene glucoseempfindliche FET-
Sensor 8 als Enzym Glucoseoxidase einsetzt, ist die Hydrolyse
des D-Glucono-δ-lactons zu D-Gluconsäure ein geschwindigkeitsbestimmender
Schritt in der durch die obige Formel
dargestellten Reaktion. Daher werden die Empfindlichkeit
und die Ansprechgeschwindigkeit des glucoseempfindlichen
FET-Sensors 8 durch die geringe Geschwindigkeit der hydrolytischen
Reaktion gehemmt. Dies führt zu dem Problem, daß
eine weitere Steigerung der Empfindlichkeit und der Ansprechgeschwindigkeit
des glucoseempfindlichen FET-Sensors
8 nicht möglich ist.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist daher die Bereitstellung
eines kostengünstigen glucoseempfindlichen FET-
Sensors, der mit hoher Empfindlichkeit und hoher Geschwindigkeit
anspricht, sowie eines Herstellungsverfahrens
dafür.
Der glucoseempfindliche FET-Sensor nach der Erfindung, mit
einem Substrat, einer im Substrat gebildeten Source-Elektrode,
einer im Substrat gebildeten Drain-Elektrode und
einem auf dem Substrat die Source- und die Drain-Elektrode
überdeckend gebildeten wasserstoffionenempfindlichen Film
ist gekennzeichnet durch eine auf dem wasserstoffionenempfindlichen
Film gebildete enzymfixierte Membran, die Glucoseoxidase
und Gluconolactonase enthält.
Gemäß der Erfindung wird durch die in der enzymfixierten
Membran enthaltene Gluconolactonase die hydrolytische Umsetzung
von D-Glucono-w-lacton durch die Enzymreaktion
beschleunigt, wobei die Hydrolyse ein geschwindigkeitsbestimmender
Schritt der vorher erwähnten Formel ist. Daher
wird in der enzymfixierten Membran D-Gluconsäure sehr
schnell aus b-D-Glucose erzeugt. Da die in der enzymfixierten
Membran sich ansammelnde Gluconsäuremenge zunimmt, wird
ferner die Empfindlichkeit des glucoseempfindlichen FET-
Sensors verbessert. Da außerdem die Säurebildungsgeschwindigkeit
zunimmt, wird das Ansprechverhalten des Sensors
beschleunigt.
Da ferner nach der vorliegenden Erfindung ein wasserlösliches
lichtempfindliches Harz zur Bildung einer sehr dünnen
enzymfixierten Membran einsetzbar ist, kann ein Sensor
mit sehr hoher Empfindlichkeit und Hochgeschwindigkeits-
Ansprechverhalten hergestellt werden.
Anhand der Zeichnung wird die Erfindung beispielsweise
näher erläutert. Es zeigt
Fig. 1 einen Querschnitt durch einen bekannten glucoseempfindlichen
FET-Sensor,
Fig. 2 einen Querschnitt durch den glucoseempfindlichen
FET-Sensor nach der Erfindung,
Fig. 3 eine Grafik, die das Ansprechverhalten entsprechend
der Aktivität von Gluconolactonase
zu Glucoseoxidase zeigt,
Fig. 4 eine Eichkurve des glucoseempfindlichen FET-
Sensors nach der Erfindung,
Fig. 5 Kennlinien, die die Hydrolyse von D-Glucono-
δ-lacton gemäß der Erfindung unter Einsatz von
Gluconolactonase enthaltender Glucoseoxidase
zeigen, und
Fig. 6 eine Grafik, die zum Vergleich die Ansprechkennlinien
der glucoseempfindlichen FET-Sensoren
nach der Erfindung bzw. nach dem Stand
der Technik zeigt.
Der Querschnitt nach Fig. 2 zeigt eine bevorzugte Ausführungsform
des FET-Sensors. Dabei sind die Teile 1-6 und 9
mit denjenigen des bekannten glucoseempfindlichen FET-Sensors
8 von Fig. 1 identisch und wirken daher in der beschriebenen
Weise. Eine enzymfixierte Membran 7 A, die Glucoseoxidase
6 und Gluconolactonase 10 enthält, ist auf dem
ionenempfindlichen Abschnitt 5 a eines für Wasserstoffionen
empfindlichen Films 5 eines ISFET-Elements 1 gebildet. Die
enzymfixierte Membran 7 A und das ISFET-Element 1 bilden
gemeinsam einen glucoseempfindlichen FET-Sensor 8 A.
Der so aufgebaute glucoseempfindliche FET-Sensor 8 A wurde
wie folgt hergestellt. Eine wäßrige Lösung eines wasserlöslichen
lichtempfindlichen Harzes wurde hergestellt durch
Auflösen eines 2,5-Bis(4′-azid-2′-sulfobenzal)cyclopentanon-Natriumsalzes
(hergestellt von Tokyo Ohkakogyo Co.,
Ltd.) in z. B. einer wäßrigen Lösung, die ein 20 Gew.-%
wasserlösliches Polyvinylpyrrolidonharz mit einem Molekulargewicht
von ca. 360 000 bei ca. 10 Gew.-% Polyvinylpyrrolidon
enthielt.
Glucoseoxidase mit einer Aktivität von 110 U/mg wurde in
einer wäßrigen Lösung gelöst, und die wäßrige Glucoseoxidaselösung
wurde eingeengt zur Herstellung einer konzentrierten
Glucoseoxidaselösung. Die Aktivität dieser konzentrierten
Glucoseoxidaselösung betrug ca. 12 000 U/ml bei
einem pH-Wert von 7,0.
Gluconolactonase, die aus Aspergillus niger getrennt und
gereinigt wurde, wurde in einer wäßrigen Lösung gelöst. Die
die Gluconolactonase enthaltende wäßrige Lösung wurde eingeengt
unter Erhalt einer konzentrierten Gluconolactonase-
Lösung. Die Aktivität dieser konzentrierten Gluconolactonase-Lösung
betrug ca. 60 000 U/ml bei einem pH-Wert von
7,0.
Eine Menge von 15 µl eines geeignet verdünnten Teils der
konzentrierten Gluconolactonase-Lösung wurde 15 µl konzentrierter
Glucoseoxidase-Lösung, die in der vorstehend
beschriebenen Weise erhalten worden war, zugefügt. Das
erhaltene Lösungsgemisch wurde mit 30 µl der wäßrigen Lösung
des wasserlöslichen lichtempfindlichen Harzes, das in
der vorstehend beschriebenen Weise erhalten worden war,
gemischt. So wurde das Lösungsgemisch des enzym-wasserlöslichen
lichtempfindlichen Harzes gewonnen. Das gewonnene
Lösungsgemisch wurde als Überzug auf den für Wasserstoffionen
empfindlichen Film 5 des mit der Souce-Elektrode 3
und der Drain-Elektrode 4 versehenen ISFET-Elements 1 aufgebracht.
Dann wurde der Überzug durch Anwendung einer
Schleuder und anschließendes Trocknen zu einem Film vergleichmäßigt.
Anschließend wurde das Lösungsgemisch des
enzym-wasserlöslichen lichtempfindlichen Harzes unter Anwendung
einer Suprahochspannungs-Quecksilberdampflampe von
250 W für die Dauer von 3 s durch eine Fotomaske mit Licht
bestrahlt, gefolgt von Entwickeln in destilliertem Wasser,
wodurch die ein Muster aufweisende enzymfixierte Membran 7 A
gebildet wurde; so wurde der glucoseempfindliche FET-Sensor
8 A hergestellt.
Anschließend wurden 10 mmol einer PIPES-NaOH-Pufferlösung
(pH-Wert 7,0) eingesetzt, um die bei 30°C erhaltenen Kennlinien
des glucoseempfindlichen FET-Sensors 8 A zu bestimmen.
Die Grafik von Fig. 3 zeigt die Ansprechstärke (in mV) des
glucoseempfindlichen FET-Sensors 8 A, wenn die Aktivität der
Gluconolactonase geändert wurde, während die Aktivität der
Glucoseoxidase konstant war. Diese Ansprechstärke des Sensors
8 A bezeichnet das Meßergebnis bei einer Glucosemenge
von 0,5 mmol. Aus Fig. 3 ist ersichtlich, daß bei einem
Aktivitätsverhältnis von Glucoseoxidase zu Gluconolactonase
von kleiner als 1 : 2 die Ansprechstärke mit zunehmender
Aktivität der Gluconolactonase ansteigt. Wenn dieses Aktivitätsverhältnis
gleich oder größer als 1 : 2 ist, ist die
Ansprechstärke gesättigt. Daraus ergibt sich, daß das vorgenannte
Aktivitätsverhältnis wenigstens 1 : 0,5 sein muß, um
einen Sensor 8 A mit ausreichend hoher Empfindlichkeit zu
erhalten; insbesondere bei einem Aktivitätsverhältnis im
Bereich bis 1 : 10 kann hohe Empfindlichkeit erzielt werden.
Wenn man ferner die hohen Kosten für die Gewinnung von
Enzymproben berücksichtigt, ist es vorteilhaft, die
kleinstmögliche Enzymmenge einzusetzen. Somit liegt ein
besonders vorteilhaftes Zusammensetzungsverhältnis bei
Aktivitätsverhältnissen zwischen 1 : 2 und 1 : 3.
Fig. 4 ist eine Eichkurve des glucoseempfindlichen FET-
Sensors 8 A, die unter der Bedingung erhalten wurde, daß das
Aktivitätsverhältnis von Glucoseoxidase zu Gluconolactonase
1 : 2 war. Aus Fig. 4 geht hervor, daß der Sensor 8 A ein
lineares Ansprechverhalten zeigte, bis die Glucosekonzentration
2 mmol erreichte. Außerdem hatte der Sensor 8 A eine
extrem kurze Ansprechzeit von 5 s. Diese Vorteile ergeben
sich daraus, daß der enzymfixierte Membranfilm 7 A, der aus
dem wasserlöslichen lichtempfindlichen Harz hergestellt
ist, als äußerst dünner Film von ca. 1 µm ausgebildet werden
kann.
Fig. 5 zeigt Verläufe der hydrolytischen Reaktionen von
D-Glucono-δ-lacton, die jeweils mit einer pH-Elektrode
ermittelt wurden. Verwendete Proben waren Glucoseoxidase
(I) (Glucoseoxidase-Aktivität: 133 U/mg) aus hochreinem
Aspergillus niger und Glucoseoxidase (II) (Glucoseoxidase-
Aktivität: 29,3 U/mg), die aus Aspergillus niger stammende
Gluconolactonase enthielt. Dabei bezeichnet die Ordinate
Änderungen des pH-Werts (ΔpH), während auf der Abszisse die
Zeit (min) aufgetragen ist. Kurve I bezeichnet die Ergebnisse
der hydrolytischen Reaktion von Glucoseoxidase (I),
Kurve II diejenigen von Glucoseoxidase (II) mit Gluconolactonase
und Kurve III die natürliche hydrolytische Reaktion
von D-Glucono-δ-lacton ohne Glucoseoxidase (I) oder
(II). Die Messungen wurden unter Einsatz von 10 mmol einer
PIPES-NaOH-Pufferlösung (pH-Wert 6,94) bei 35°C durchgeführt.
Aus Fig. 5 geht hervor, daß Kurve I im wesentlichen
mit Kurve III übereinstimmt. Dagegen ist aus Kurve II
ersichtlich, daß D-Glucono-δ-lacton sehr schnell zu Gluconsäure
hydrolysiert wird, wenn Gluconolactonase enthaltende
Glucoseoxidase (II) eingesetzt wird.
Es wurde eine wäßrige Lösung eines wasserlöslichen lichtempfindlichen
Harzes hergestellt unter Lösen eines
2-5-Bis(4′-azid-2′-sulfobenzal)cyclopentanon-Natriumsalzes
(hergestellt von Tokyo Ohkakogyo Co., Ltd.) in z. B. einer
wäßrigen Lösung, die eine 10 Gew.-% wasserlösliche Harzlösung
aus Polyvinylpyrrolidon mit einem Molekulargewicht
von ca. 360 000 bei ca. 10 Gew.-% Polyvinylpyrrolidon enthielt.
2 mg eines Gemischs aus Glucoseoxidase (I) und Glucoseoxidase
(II) mit Gluconolactonase und 10 mg Rinderserumalbumin
wurden in 0,2 ml der oben beschriebenen wäßrigen
Lösung gelöst unter Erhalt einer einheitlichen Lösung.
Das so hergestellte wäßrige Lösungsgemisch des enzym-wasserlöslichen
lichtempfindlichen Harzes wurde als Überzug
auf den für Wasserstoffionen empfindlichen Film 5, der als
Kanal eines pH-ISFET-Elements 1 mit einer Source-Elektrode
3 und einer Drain-Elektrode 4 dient, aufgebracht. Dann
wurde mittels einer Schleuder der Überzug zu einem Film
vergleichmäßigt und dieser getrocknet. Anschließend wurde
das Lösungsgemisch des enzym-wasserlöslichen lichtempfindlichen
Harzes während 5 s durch eine Fotomaske mittels
einer Suprahochspannungs-Quecksilberdampflampe von 250 W
mit Licht bestrahlt und anschließend in einer wäßrigen 3%
Glutaraldehydlösung entwickelt. Auf diese Weise wurde die
ein Muster aufweisende enzymfixierte Glucoseoxidase-Membran
gebildet, und so wurden die glucoseempfindlichen FET-Sensoren
hergestellt, um als Beispiele für die Erfindung zu
dienen.
Mit dem vorbeschriebenen Verfahren wurden fünf Beispiele
von glucoseempfindlichen FET-Sensoren gemäß der Erfindung
hergestellt unter Einsatz von Glucoseoxidase (I) und von
Gluconolactonase enthaltender Glucoseoxidase (II) mit den
in der folgenden Tabelle aufgeführten Mischungsverhältnissen
(Gewichtsverhältnissen). Zu Vergleichszwecken wurde
ferner Glucoseoxidase (I) allein zur Herstellung eines als
Vergleichsbeispiel dienenden glucoseempfindlichen FET-Sensors
nach dem oben beschriebenen Verfahren eingesetzt. Die
Tabelle zeigt außerdem die Ansprechstärke (mV) jedes dieser
Sensoren in bezug auf 40 mg/dl D-Glucose. Die Messungen
wurden unter Einsatz von 10 mmol eines PIPES-NaOH-Pufferlösung
(pH 7,08) bei 25°C durchgeführt. Fig. 6 zeigt vergleichsweise
die Ansprechkennlinien des glucoseempfindlichen
FET-Sensors nach der Erfindung und des bekannten glucoseempfindlichen
FET-Sensors. Dabei sind auf der Ordinate
die Ansprechstärke (mV) und auf der Abszisse die Zeit (min)
aufgetragen. Die Kurve IV bezeichnet die Ansprechkurve von
Beispiel I der Erfindung, und die Kurve V bezeichnet die
Ansprechkurve des Vergleichsbeispiels.
Aus der vorstehenden Tabelle und aus Fig. 6 ist ersichtlich,
daß die Beispiele, die Glucoseoxidase (II) mit Gluconolactonase
verwenden, sowohl hinsichtlich der Empfindlichkeit
als auch der Ansprechgeschwindigkeit dem Vergleichsbeispiel,
das nur Glucoseoxidase (I) verwendet, weit
überlegen sind. Es ist zu beachten, daß der höchste Empfindlichkeitswert
mit dem glucoseempfindlichen FET-Sensor
erzielt wurde, dessen enzymfixierte Membran aus dem
3 : 2-Gemisch von Glucoseoxidase (I) und Glucoseoxidase (II)
mit Gluconolactonase bestand.
Zum Zweck der Beschreibung wurde in den vorstehend erläuterten
Beispielen Gluconolactonase aus Aspergillus niger
eingesetzt. Es können aber auch die in Hefe enthaltenen
Enzyme, Preudomonas Fluorescens, Sacchoronyces Cerevisias,
Escherichia coli, Schweineleber, Rinderleber od. dgl. aufbereitet
und als Gluconolactonase eingesetzt werden. Auch
in diesem Fall kann eine Auswirkung ähnlich der oben beschriebenen
erzielt werden,.
Bei den vorstehend beschriebenen Beispielen wurde beispielhaft
als Enzymfixierverfahren ein optisches Vernetzungsverfahren
angegeben. Selbstverständlich ist es ebenso möglich,
jedes Enzymfixierverfahren anzuwenden, bei dem sowohl die
stabile Fixierung eines Enzyms als auch die Bildung eines
dünnen Films möglich ist.
Bei den obigen Beispielen wurden Glucoseoxidase und Gluconolactonase
miteinander vermischt zur Herstellung einer
Enzymlösung. Es gibt jedoch einige Fälle, in denen Gluconolactonase
als Verunreinigung in Glucoseoxidase aus Aspergillus
niger vorliegt, und diese Glucoseoxidase kann direkt
eingesetzt werden. Wenn dabei das Aktivitätsverhältnis bei
einem pH-Wert 7 von Glucoseoxidase zu Gluconolactonase im
Bereich von 1 : 0,5 bis 1 : 10 liegt, kann ein solches Enzym
direkt zur Erzeugung eines geeigneten Effektes wie bei den
vorstehend beschriebenen Beispielen eingesetzt werden.
Claims (8)
1. Glucoseempfindlicher FET-Sensor mit
einem Substrat (2);
einer im Substrat gebildeten Source-Elektrode (3); gekennzeichnet durch
einer im Substrat gebildeten Drain-Elektrode (4), einen auf dem Substrat die Source- und die Drain-Elektrode überdeckend gebildeten wasserstoffionenempfindlichen Film (5); und durch eine auf dem wasserstoffionenempfindlichen Film gebildete enzymfixierte Membran (7 A), die Glucoseoxidase und Gluconolactonase enthält.
einer im Substrat gebildeten Source-Elektrode (3); gekennzeichnet durch
einer im Substrat gebildeten Drain-Elektrode (4), einen auf dem Substrat die Source- und die Drain-Elektrode überdeckend gebildeten wasserstoffionenempfindlichen Film (5); und durch eine auf dem wasserstoffionenempfindlichen Film gebildete enzymfixierte Membran (7 A), die Glucoseoxidase und Gluconolactonase enthält.
2. Glucoseempfindlicher FET-Sensor nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß das Aktivitätsverhältnis der Glucoseoxidase zur Gluconolactonase
im Bereich von 1 : 0,5 bis 1 : 10 liegt.
3. Glucoseempfindlicher FET-Sensor nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß das Aktivitätsverhältnis der Glucoseoxidase zur Gluconolactonase
im Bereich von 1 : 2 bis 1 : 3 liegt.
4. Verfahren zur Herstellung eines glucoseempfindlichen
FET-Sensors,
gekennzeichnet durch
folgende Verfahrensschritte:
Herstellen einer enzymfixierten Membran als Glucoseoxidase und Gluconolactonase enthaltender Dünnfilm; und
Ausbilden dieser Membran auf einem für Wasserstoffionen empfindlichen Film, der auf einem Substrat gebildet ist und eine Source-Elektrode und eine Drain-Elektrode, die beide im Substrat ausgebildet sind, überdeckt.
Herstellen einer enzymfixierten Membran als Glucoseoxidase und Gluconolactonase enthaltender Dünnfilm; und
Ausbilden dieser Membran auf einem für Wasserstoffionen empfindlichen Film, der auf einem Substrat gebildet ist und eine Source-Elektrode und eine Drain-Elektrode, die beide im Substrat ausgebildet sind, überdeckt.
5. Verfahren nach Anspruch 4,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Herstellungsschritt für die Membran ferner folgende
Schritte umfaßt:
Herstellen einer wäßrigen Lösung eines wasserlöslichen lichtempfindlichen Harzes, das Glucoseoxidase und Gluconolactonase enthält;
Aufbringen der wäßrigen Lösung des wasserlöslichen lichtempfindlichen Harzes als Überzug auf den für Wasserstoffionen empfindlichen Film, der auf dem Substrat die Source- und die Drain-Elektrode überdeckend gebildet ist; und
Bestrahlen eines vorbestimmten Teils der als Überzug auf das Substrat aufgebrachten wäßrigen Lösung mit Licht unter Bildung einer enzymfixierten Dünnfilm-Membran.
Herstellen einer wäßrigen Lösung eines wasserlöslichen lichtempfindlichen Harzes, das Glucoseoxidase und Gluconolactonase enthält;
Aufbringen der wäßrigen Lösung des wasserlöslichen lichtempfindlichen Harzes als Überzug auf den für Wasserstoffionen empfindlichen Film, der auf dem Substrat die Source- und die Drain-Elektrode überdeckend gebildet ist; und
Bestrahlen eines vorbestimmten Teils der als Überzug auf das Substrat aufgebrachten wäßrigen Lösung mit Licht unter Bildung einer enzymfixierten Dünnfilm-Membran.
6. Verfahren nach Anspruch 4,
dadurch gekennzeichnet,
daß das Aktivitätsverhältnis der Glucoseoxidase zur Gluconolactonase
im Bereich von 1 : 0,5 bis 1 : 10 liegt.
7. Verfahren nach Anspruch 4,
dadurch gekennzeichnet,
daß das Aktivitätsverhältnis der Glucoseoxidase zur Gluconolactonase
im Bereich von 1 : 2 bis 1 : 3 liegt.
8. Verfahren nach Anspruch 4,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Dicke der enzymfixierten Membran in der Größenordnung
von µm liegt.
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