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DE3780321T2 - Strahlungsmessapparat. - Google Patents

Strahlungsmessapparat.

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Publication number
DE3780321T2
DE3780321T2 DE8787101287T DE3780321T DE3780321T2 DE 3780321 T2 DE3780321 T2 DE 3780321T2 DE 8787101287 T DE8787101287 T DE 8787101287T DE 3780321 T DE3780321 T DE 3780321T DE 3780321 T2 DE3780321 T2 DE 3780321T2
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DE
Germany
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charge
signal
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DE8787101287T
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DE3780321D1 (de
Inventor
Dennis J Wilwerding
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Honeywell Inc
Original Assignee
Honeywell Inc
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Publication date
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Publication of DE3780321T2 publication Critical patent/DE3780321T2/de
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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10FINORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
    • H10F39/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one element covered by group H10F30/00, e.g. radiation detectors comprising photodiode arrays
    • H10F39/10Integrated devices
    • H10F39/12Image sensors
    • H10F39/15Charge-coupled device [CCD] image sensors

Landscapes

  • Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
  • Measurement Of Current Or Voltage (AREA)
  • Automatic Focus Adjustment (AREA)
  • Measurement Of Radiation (AREA)

Description

  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Strahlungsmeßvorrichtung nach dem Gattungsbegriff des Patentanspruches 1. Eine solche Vorrichtung ist beispielsweise aus der US-A-4 492 980 und der US-A-4 484 223 bekannt.
  • Die US-A-4 492 980 beschreibt eine Bild-Sensoreinrichtung, die einen gegen das Licht abgedeckten optischen Schwarzsensor umfaßt, um eine Ausgangsladung zu erzeugen, die alleine dem erzeugten Dunkelstrom entspricht. Diese Ladung wird durch ein Schieberegister und eine Schalteinrichtung zu einem Schaltkreis übertragen, der ein Signal erzeugt auf dem Pegel einer Dunkelstromladung für die Zellen einer Festkörpereinrichtung. Diese Zeilen erzeugen Ladungssignale auf Grund von erfaßtem Licht, als auch eine Dunkelstromladung. Das den Zellen zugeführte Signal hat die Auswirkung, daß die Ladung einer jeden Zelle um einen Betrag vermindert wird, der der Dunkelstromladung entspricht. Die verbleibende Ladung der Zelle, von welcher die Dunkelstromladung subtrahiert worden ist, wird über das Schieberegister zu dem Ausgang übertragen
  • Die US-A-4 484 223 beschreibt eine Festkörper-Bildeinrichtung mit sowohl Lichtsensoren, als auch gegen das Licht abgeschirmten Sensoren, welche Ladungen erzeugen, die nur den Dunkelstromladungen entsprechen. Signale von den den Dunkelstrom erzeugenden Zellen werden in einem ersten Schritt durch ein Schieberegister zu einem Ladungs/Spannungs-Wandlerschaltkreis übertragen und sodann zu einem Verriegelungsschaltkreis, dessen Ausgang an einen Anschluß eines Verstärkers angeschlossen ist. Nach der übertragung der Dunkelstromkomponente überträgt das Schieberegister sodann Ladungen von den optischen Sensoren. Diese Ladungen werden in Spannungssignale umgewandelt und dem zweiten Eingang des Verstärkers zugeführt, der sodann die Dunkelstromkomponente, die an den anderen Eingang angelegt wird, von diesem Signal subtrahiert
  • Zusammenfassend ist festzustellen, daß das zuerst zitierte Dokument die Dunkelstromkompensation innerhalb der Zelle selbst auf der Basis einer Ladungskompensation verwirklicht und daß das an zweiter Stelle zitierte Dokument die gleiche Kompensation im Bereich der elektrischen Signale nach Umwandlung der entsprechenden Ladungen ausführt.
  • Ausgehend von diesen bekannten Einrichtungen ist es die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Strahlungsmeßvorrichtung anzugeben, die genauer arbeitet und einen einfacheren Aufbau aufweist. Diese Aufgabe wird gelöst durch die kennzeichnenden Merkmale des Patentanspruches 1. Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der erfindungsgemäßen Vorrichtung können den abhängigen Ansprüchen entnommen werden.
  • Die Signale der einzelnen Detektoreren werden wie in den zuvor erwähnten Patenten parallel einem Schieberegister zugeführt und seriell dem Schieberegister entnommen. In der tatsächlichen Ausgestaltung beinhalten verschiedene erste Verschiebungen des Schieberegisters Verschiebungen von "leeren Zellen", in denen keine Information entsprechend der erfaßten Strahlung vorliegt. Die vorliegende Erfindung schlägt eine Lösung des Dunkelstromproblems vor, bei dem ein Kompensationssignal dem System durch einen der Ausgänge der leeren Zellen des Schieberegisters zugeführt wird. Wenn beispielsweise die dritte leere Zelle des Schieberegisters eine Ladung entsprechend dem Dunkelstrom in den Detektoren enthält, dann kann diese Signalgröße in der dritten Zelle als ein Subtraktionswert für jede Strahlungsinformation in den Zellen verwendet werden, bevor diese Information der Erfassungselektronik zugeführt wird. Ein Weg zur Handhabung dieses Problems liegt in der Abschirmung eines zusätzlichen Sensors gegenüber der Strahlung, wobei er jedoch den gleichen anderen Umgebungsbedingungen wie die anderen Detektoren ausgesetzt ist, so daß er einen Dunkelstromwert erzeugt, der sodann in der dritten Zelle des Schieberegisters abgelegt wird. Wenn sodann dieses Signal aus dem Schieberegister herausgeschoben wird, so wird es in einem Speicher- und Halteschaltkreis gespeichert, der durch die freie Steuerelektrode des Ausgangsschaltkreises gebildet wird und von den anderen Signalen des Schieberegisters subtrahiert.
  • Figur 1 zeigt ein Diagramm der Ausgangssignale verschiedener Detektoren im Vergleich mit der maximalen Sensorfähigkeit der Sensorelektronik im Stand der Technik;
  • Figur 2 zeigt die gleichen Signale von Figur 1, wobei jedoch der Dunkelstrom gemäß der vorliegenden Erfindung substrahiert ist;
  • Figur 3 zeigt einige CCD-Detektoren, die in bezug auf ein Schieberegister angeordnet sind, das deren Ausgangssignale empfängt.
  • Figur 1 zeigt eine graphische Darstellung der Ausgangssignale der ersten 9 Zellen eines CCD-Schieberegisters gemäß dem Stand der Technik. Die Rechteckwelle 10 stellt den Inhalt der Zellen dar, die mit 1 bis 9 durchnumeriert sind. Wie ersichtlich, liegt eine geringe Ladungsgröße in jeder Zelle vor, die auf den allgemeinen Rauschpegel in der Einrichtung zurückzufuhren ist. Dieses kieine Signal wird als Referenzpegel identifiziert und ist im allgemeinen für alle Zellen gleich. Normalerweise ist dieses Signal in dem System kalibriert und verursacht keinerlei Problem. Wenn ein Startsignal auftritt, so werden die Ladungen der CCD-Sensoren wie dies im Zusammenhang mit Figur 3 beschrieben wird, mit ihrem angesammelten Betrag in den Zellen abgelegt, an die die Detektoren angeschlossen sind (im vorliegenden Beispiel empfangen die Zellen mit den Nummern 4, 6 und 8 die Ladung von den ersten drei Detektoren) Die Detektorladungen repräsentieren nicht nur den von jedem Detektor empfangenen Strahlungsbetrag, sondern umfassen auch eine "Dunkelstrom"-Ladung, die sich auf jedem Detektor auf Grund der den Detektor beeinflussenden Umgebungsbedingungen, in erster Linie auf Grund der Temperatur bildet. Während es üblich ist, die ersten drei Zellen leer zu halten, kann auch eine unterschiedliche Anzahl verwendet werden. Ferner kann eines der Signale der leeren Zellen verwendet werden, um das Ausgangssignal im Hinblick auf die geringe Referenz-Pegelladung zu kalibrieren. insbesondere erzeugt in Figur 1 ein Signal, das mit Taktabtastung 12 bezeichnet ist, einen Impuls 14, wenn es erwünscht ist, ein Referenz-Pegelsignal zu bilden (in der dritten Zelle im vorliegenden Beispiel). Der Ladungsbetrag in der dritten Zelle erzeugt sodann das Referenz-Pegelsignal, wie dies in Schieberegistern üblich ist.
  • Beim fortgesetzten Betrieb des Schieberegisters legt der erste Detektor sein Signal in der Zelle 4 ab, wie dies durch den Rechteckimpuls 16 dargestellt ist und wobei dieser gemäß Figur 1 einen schraffierten Bereich 18 entsprechend dem Dunkelstrompegel aufweist. Die nächste Zelle 5 ist eine Leerzelle und der zweite Detektor der Reihe lädt seine Ladung in die Zelle 6, was durch den Rechteckimpuls 20 veranschaulicht ist. Der Rechteckimpuls 20 umfaßt ebenfalls einen Teil 22 entsprechend dem Dunkelstrom. Die nächste Zelle 7 ist eine Leerzelle und der dritte Detektor in der Reihe legt seine Ladung in der Zelle 8 ab, wie dies durch den Rechteckimpuls 26 gezeigt ist, der ebenfalls einen schraffierten Bereich 28 entsprechend dem Dunkelstrom aufweist. Schließlich ist die Zelle 9 erneut eine Leerzelle. Es gibt natürlich eine große Anzahl von Zellen in der Kette aber in Figur 1 sind der Einfachheit halber nur die Ausgangssignale von drei Detektoren dargestellt worden. Es sei vermerkt, daß die Zelle 8 zusätzlich zu der Referenzpegelladung und der Dunkelstromladung eine relativ große Ladung auf Grund der erfaßten Strahlung aufweist, wodurch die Größe der Gesamtladung in der Zelle 8 über dem Maximalpegel der Elektronik liegt, der durch die gestrichelte Linie 30 angedeutet ist. Dies führt zu einem beschnittenen Signal in der Zelle 8, das den Teil 32 oberhalb des Pegels 30 nicht aufweist. infolgedessen ergibt sich eine fehlerhafte Darstellung der erfaßten Strahlung durch den Detektor 8 und es kann möglicherweise eine falsche Scharfeinstell-Situation erzeugt werden.
  • Figur 2 zeigt die Situation, wenn die vorliegende Erfindung verwendet wird. Erneut zeigt die Rechteckwelle 10 die Ladung in den Zellen 1 bis 9 und erneut gibt es eine geringe Ladungsgröße auf Grund des in der Vorrichtung angetroffenen Rauschpegels. Erneut wird ein Takt-Abtastsignal 12 mit einem Impuls 14 benutzt, um das Referenzpegelsignal in der üblichen Weise zu erzeugen. In Figur 2 umfaßt jedoch, was noch später anhand von Figur 3 erläutert wird, die Ladung in der Zelle 3 nicht nur den geringen Rauschpegel, sondern auch einen Dunkelstrom-Signalanteil 15. Dieses Signal wird durch einen zusätzlichen Detektor erzeugt der weiter hinten nach dem ersten regulären Detektor angeordnet ist und gegen die zu erfassende Strahlung abgeschirmt ist. Somit ist das einzige Signal in dem gesonderten Detektor auf den Dunkelstrom zurückzuführen. Dementsprechend beinhaltet der Ladungsbetrag in der Zelle 3 nunmehr das Dunkelstromsignal und dieses kann durch den Schaltkreis verwendet werden, um einen neuen Referenzpegel zu erzeugen, der durch die gestrichelte Linie 40 dargestellt ist. Der Einfluß dieser Maßnahme liegt in der Erhöhung des Erfassungsbereiches der Elektronik, so daß nunmehr der Maximalpegel, der durch die gestrichelte Linie 42 angedeutet ist, höher als der Spitzenwert 32 des Rechteckimpulses 26 ist, da der Maximalpegel der Elektronik den gleichen Abstand von dem Referenzpegel wie in Figur 1 aufweist. Es ist sodann ersichtlich, daß der Teil 32 nicht länger abgeschnitten wird und das sich ergebende Ausgangssignal keinen Fehler aufweist.
  • Bezugnehmend auf Figur 3 wird Strahlung aus einer betrachteten Szene über mehrere Elementarlinsen (nicht dargestellt) gesammelt und auf mehrere Detektorpaare gerichtet, wobei dies entlang den Pfeilen 50 geschieht. Der Einfachheit halber sind nur zwei Paare von Detektoren in Figur 3 dargestellt, wobei das erste Paar einen A-Detektor 52 und einen B-Detektor 54 aufweist und das zweite Paar einen A-Detektor 56 und einen B-Detektor 58 besitzt und schließlich ist ein einziger Detektor als ein Dunkelstromdetektor 60 bezeichnet und dargestellt, der keinen mit ihm gepaarten Detektor aufweist. Obgleich dieser in einer Form wie die B-Detektoren auf der linken Seite eines jeden Paares dargestellt ist, kann der Detektor 60 natürlich die Form eines A-Detektors auf der rechten Seite eines jeden Paares aufweisen.
  • Jeder der Detektoren in Figur 3 ist an ein erstes Gatter 65 angeschlossen, welche alle elektrisch mit einer Signalquelle ΦT verbunden sind Wenn ein ΦT-Startsignal auf das System gegeben wird, so werden alle Ladungen, die sich auf den A- und B-Detektoren 52-58 und jegliche Dunkelstromladung auf dem Detektor 60 in den zugeordneten Gattern 65 abgelegt. Es sei darauf verwiesen, daß der Dunkelstromdetektor 60 eine Strahlungsabschirmung 68 aufweist, die gestrichelt angedeutet ist und die das Licht daran hindert, den Dunkelstromdetektor 60 zu erreichen. Dementsprechend ist jegliche Ladung auf diesem Detektor allein durch den Dunkelstrom des Systems hervorgerufen.
  • Jedes Gatter 65 ist seinerseits an ein Gatter 70 angeschlossen, weiche alle elektrisch miteinander verbunden sind, um ein Φ&sub2;- Signal zugeführt zu erhalten. Wenn das Signal Φ&sub2; ansteigt so fällt das Signal ΦT ab und die Ladung der Detektoren wird nunmehr von den Gattern 65 in den Gattern 70 abgelegt. Jedes Gatter 70 ist an ein Gatter 75 angeschlossen, die alle elektrisch miteinander verbunden sind, um ein Φ&sub3;-Signal zugeführt zu erhalten. Wenn das Signal Φ&sub3; ansteigt so fällt das Signal Φ&sub2; ab und die Detektorladung wird von den Gattern 70 in die Gatter 75 übertragen. Jedes der Gatter 75 ist an ein Gatter 80 angeschlossen, die alle elektrisch miteinander verbunden sind, um ein Φ&sub1;-Signal zugeführt zu erhalten. Wenn das Signal Φ&sub1; ansteigt, so fällt das Signal Φ&sub3; ab und sämtliche Ladungen der Detektoren werden aus den Gattern 75 in die Gatter 80 übertragen.
  • Wie in Figur 3 dargestellt, sind die Gatter 80 an eine Reihe von Gattern angeschlossen, die ein Schieberegister bilden. In der dargestellten Anordnung sind die Gatter 80 mit zugeordneten Gattern verbunden, die mit der Referenzziffer 2 bezeichnet sind. Die Referenzziffer 2 zeigt an, daß alle Gatter mit dieser Ziffer gleichzeitig an das Signal Φ&sub2; angeschlossen sind, um eine weiter unten beschrienene Operation auszuführen. Jedes der Schieberegister-Gatter 2 ist rechts an ein Schieberegister- Gatter 3 angeschlossen und links an ein Schieberegister-Gatter 1, um eine Kette von Gattern zu bilden. Alle Gatter mit der Referenzziffer 1 sind elektrisch an das Signal Φ&sub1; angeschlossen und alle Gatter mit der Referenzziffer 3 sind an das Signal Φ&sub3; angeschlossen, um die weiter unten beschriebene Operation auszuführen.
  • Unterhalb der Gatter 1, 2 und 3 sind mehrere Zellen gezeigt, die mit Ausgang 90 und fortschreitend nach links mit Zellen 91-97 bezeichnet sind. Ganz rechts nach dem letzten Gatter mit der Referenzziffer 3 ist eine Rucksetzzelle 98 dargestellt, die an eine positive Spannungsquelle 99 angeschlossen ist. Eine Ausgangszelle auf der rechten Seite mit der Referenzziffer 100 ist über einen Anschluß 101 an das Gatter eines Feldeffekttransistors 102 angeschlossen, dessen Senke an eine positive Spannungsquelle 103 angeschlossen ist und dessen Versorgung mit dem Ausgangs-Signalanschluß 104 verbunden ist. Der Anschluß 104 dann an eine Erfassungselektronik, wie beispielsweise einen A/D- Wandler (nicht gezeigt) eines Autofokussystems angeschlossen sein. Das Gatter des Transistros 102 ist über eine Verbindung 105 mit der Quelle 106 eines zweiten Feldeffekttransistors 107 verbunden, der mit einem Senkenanschluß 108 an eine Referenzspannung V angeschlossen ist und ein Gatter 109 aufweist, das an ein Takt-Abtastsignal angeschlossen ist.
  • Wenn im Betrieb ein Startsignal ΦT an das System angelegt wird, übertragen alle Detektoren ihre Ladung in die Gatter 65 wie zuvor beschrieben. Sodann werden beim Auftritt des Signales Φ&sub2; die Detektorsignale in die Gatter übertragen, die mit der Bezugsziffer 70 versehen sind. Zu diesem Zeitpunkt stellt sich die Situation wie in Figur 3 gezeigt dar, wobei die einzige Ladung in den Zellen diejenige ist, die unter den Gattern mit der Bezugsziffer 2 vorliegt, d. h. die Ladung auf Grund des Rauschpegels des Systems, welche durch eine Anzahl von Minus- Vorzeichen innerhalb der Zelle veranschaulicht ist.
  • Im nächsten Schritt startet das Signal Φ&sub3;, so daß die Detektorladungen in den Gattern 70 in den Gattern 75 abgelegt werden. In gleicher Weise werden zu diesem Zeitpunkt jegliche Ladungen, die auf den Gattern mit der Bezugsziffer 2 in dem durch die Zellen 91-97 dargestellten Schieberegister vorliegen, in die Gatter mit der Bezugsziffer 3 übertragen. Wenn sodann ein Signal Φ&sub1; auftritt, so wird ein Signal von den Detektoren in den Gattern 80 abgelegt und in dem Schieberegister werden die Signale auf den Gattern mit der Bezugsziffer 3 in diejenigen mit der Bezugsziffer 1 übertragen. Der nächste Schritt ist durch einen zweiten Auftritt eines Signales Φ&sub2; vorgegeben, welches die Ladung von den Gattern 80 in die Gatter 2 des Schieberegisters überträgt. zu diesem Zeitpunkt ist der Inhalt der Zelle mit der Nummer 90 in die Rücksetzzelle 98 übertragen worden, der Inhalt der Zelle 91 wird in eine Position unter dem Ausgangsgatter 100 bewegt und seine Ladung wird über die Verbindung 101 dem Feldeffekttransistor 102 zugeführt und erzeugt ein Ausgangssignal auf der Leitung 104. Der Inhalt der Zelle 92 wird nach rechts bewegt so daß er die Position einnimmt, die nun durch die Zelle 91 vorgegeben ist und das gleiche gilt für alle in Figur 3 dargestellten Zellen. Dementsprechend wird die Dunkelstromladung, die auf dem Gatter 80 vorliegt welches an den Dunkelstromdetektor 60 angeschlossen ist, in die Zelle 93 übertragen, die Ladung des A-Detektors 56 wird in die Zelle 94 übertragen, die Ladung von dem B-Detektor 58 wird in die Zelle 96 übertragen, die Ladung von dem A-Detektor 52 wird in eine Zelle übertragen, die unmittelbar links von der Zelle 97 (nicht dargestellt) liegt und gleiches geschieht mit der Ladung auf dem B-Detektor 54.
  • Beim nächsten Auftritt eines Signales Φ&sub3; wird die Dunkelstromladung in der Zelle 93 nach rechts bewegt die Ladung von dem Detektor 56 in der Zelle 54 wird nach rechts bewegt usw. und wie es im Stand der Technik der Schieberegister bestens bekannt ist, werden die Ladungen progressiv nach rechts bewegt, wenn aufeinanderfolgend Signale mit den Phasen 1, 2 und 3 auftreten. Im Ergebnis werden Signale von dem Dunkelstromdetektor 60 und von den Strahlungsdetektoren 52-56 der Reihe nach dem Feldeffekttransistor 102 und somit dem Ausgang 108 zugeführt.
  • Die Spannung am Anschluß 101 und das Ausgangssignal am Anschluß 104 wird durch die Ladung auf der Leitung 101 sowie durch die Ladung unter dem Schieberegister-Ausgangsgatter 100 festgelegt. Somit wird das Signal, das den Dunkelstrom und die Hintergrundladung umfaßt, an dieser Stelle in ein Spannungssignal umgewandelt. Da die Ladung auf der Leitung 101 die Spannung am Anschluß 101 und das Ausgangssignal am Anschluß 104 beeinflußt, kann die Start- bzw. Referenz-A/D-Spannung am Anschluß 104 über den vorgeladenen Anschluß 101 auf eine vorbestimmte Spannung eingestellt werden. Dies verschiebt wirksam das Ausgangssignal am Anschluß 104 auf den gewünschten A/D-Referenzpegel. Im Stand der Technik wurde diese Rückstellung des Ausgangsschaltkreises durch einen Taktzyklus gemäß Figur 1 verwirklicht. Durch Veränderung der CCD-Struktur, mit der ein Signal proportional zu dem mittleren Dunkelstrom in der Ausgangszelle 90 des Schieberegisters zu dem Zeitpunkt vorgegeben wird, zu dem die Ausgangs- Gatterspannung voreingestellt wird, verschiebt der Schaltkreis wirksam alle Signale um einen Betrag proportional zu dem Dunkelstrom.
  • Das Gatter des Ausgangstransistors 102, das an die Leitung 101 angeschlossen ist, wird auf die A/D-Referenzspannung voreingestellt, indem der zweite Transistor 107 in den leitenden Zustand gesteuert wird. Dies geschieht auf Grund eines Takt-Abtastsignales an dem Anschluß 109, welches das gleiche Signal wie das Takt-Abtastsignal in den Figuren 1 und 2 ist. Wenn der Transistor 107 leitet, so wird der Anschluß 101 an die Referenzspannung V am Anschluß 108 angeschlossen, die eine Gleichspannung von geeignetem Wert ist, um das Ausgangssignal am Anschluß 104 auf den gewünschten A/D-Wandler-Referenzspannungspegel zu bringen. Zu anderen Zeitpunkten, wenn kein Takt- Abtastimpuls am Anschluß 109 vorliegt ist der Transistor 107 nicht leitend und der Anschluß 101 ist frei und kann auf jegliche Änderungen in dem Ladungspegel der Ausgangszelle 90 des Schieberegisters ansprechen.
  • Somit ist der Eingang des A/D-Wandlers frei von dem unerwünschten Dunkelstromsignal und gestattet somit eine größere Genauigkeit und eine geringere Beschneidung gegenüber bekannten Schaltkreisen.

Claims (3)

1. Strahlungsmeßvorrichtung aufweisend: mehrere Strahlung erfassende Sensoren (52-56), welche die Strahlung anzeigende Ladungssignale zu mehreren Empfangszellen (93-97) eines Schieberegisters übertragen und wobei das Schieberegister die Ladungssignale der Reihe nach zu einem Ausgangsgatter überträgt und
ein den Dunkelstrom erfassender Detektor (60), der an eine von mehreren leeren Zellen (90-92) des Schieberegisters angeschlossen ist, wobei die leeren Zellen vor den Empfangszellen angeordnet sind, gekennzeichnet durch
eine Empfangseinrichtung (100-109), der ein Ausgangs-Ladungssignal zugeführt wird, wenn dieses aus der leeren Zelle (90) unter dem Ausgangsgatter des Schieberegisters austritt und die dieses von dem Ladungssignal in den Empfangszellen (93-97) zu dem Zeitpunkt subtrahiert, wenn es aus der leeren Zelle (90) unter dem Ausgangsgatter des Schieberegisters austritt und bevor diese Ladungssignale in Spannungssignale umgewandelt werden.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1 dadurch gekennzeichnet, daß eine leere Zelle (92) benachbart zu den Empfangszellen (93-97) an den den Dunkelstrom erfassenden Detektor (60) angeschlossen ist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 2, wobei die Empfangseinrichtung erste und zweite Feldeffekttransistoren (102,107) aufweist, denen die Ausgangs-Ladungssignale des Schieberegisters zugeführt werden, gekennzeichnet durch Mittel (109) zum Anschluß des Gatters des zweiten Feldeffekttransistors (107) an ein Taktsignal, wenn die leere Zelle (90), die unter dem Ausgangsgatter des Schieberegisters angeordnet ist, ein Ladungssignal gemäß dem Dunkelstrom enthält.
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CA1314601C (en) 1993-03-16
DE3780321D1 (de) 1992-08-20
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