DE3626603A1 - Mikroskopobjektiv - Google Patents
MikroskopobjektivInfo
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Description
Bei einem Mikroskopobjektiv ist es notwendig, daß die verschiedenen
Aberrationen ausreichend gut korrigiert sind.
Gleichzeitig ist es aber notwendig, Erfordernisse zu erfüllen,
die die Freiheitsgrade für die Korrektion von Aberrationen
einschränken. Beispielsweise: um ein hohes Auflösungsvermögen
zu erhalten, ist es notwendig, daß die numerische
Apertur (NA) groß ist. Um einen schädigenden Kontakt zwischen
einem Gegenstand und einem Objektiv zu vermeiden, ist es
notwendig, daß der Arbeitsabstand (WD) groß ist. Um verschiedene
Arten von Objektiven auf dem gleichen Revolver einzusetzen,
um sie wechseln zu können, ist es notwendig, daß
die Baulänge des Objektivs in vorgegebenen Grenzen liegt.
Darüber hinaus ist es, um die optische Tubuslänge konstant
zu halten, notwendig, daß die Entfernung zwischen dem hinteren
Brennpunkt eines Objektivs und der Bildfläche konstant
bleibt, unabhängig von der Vergrößerung.
Es ist sehr schwierig, die verschiedenen Aberrationen ausreichend
zu korrigieren, wenn diese verschiedenen Beschränkungen
zusätzlich zu der Beschränkung gegeben sind, daß
das Objektiv ein Vergrößerungssystem ist.
Um diese Schwierigkeiten zu überwinden, müssen die üblichen
Mikroskopobjektive ein außerordentlich kompliziertes optisches
System enthalten, das aus einer Anzahl von Linsen
mit starken Krümmungen besteht.
Um die Konstruktion zu vereinfachen, sind Mikroskopobjektive
entwickelt worden, bei denen asphärische Linsen oder Linsen
mit sich ändernder Brechzahl (GRIN-Linsen) verwendet sind.
Beispiele, wo eine GRIN-Linse bei einem Mikroskopobjektiv
verwendet ist, sind die japanischen Auslegeschriften 28 057/72
und 37 405/82. Die erstere zeigt jedoch nur die Verwendung
einer Linse mit sich ändernder Brechzahl im bildformenden
System eines Mikroskops und sagt nichts bezüglich der Korrektion
der Aberrationen. Andererseits ist bei der letzteren
eine Linse mit sich ändernder Brechzahl entsprechend der
folgenden Exponentialfunktion
vorgesehen, die in dem optischen System eines Mikroskops
an einer Stellung angeordnet ist, wo die Höhe des axialen
Randstrahles kleiner als die des außeraxialen Strahles ist,
so daß die außeraxialen Aberrationen korrigiert werden.
In der angegebenen Exponentialfunktion bezeichnen
n 0 die Brechzahl im Mittelpunkt der Linse,
k ist der Parameter entsprechend dem Gradienten der Brechzahl und
r ist die Radialentfernung von der optischen Achse.
n 0 die Brechzahl im Mittelpunkt der Linse,
k ist der Parameter entsprechend dem Gradienten der Brechzahl und
r ist die Radialentfernung von der optischen Achse.
Falls die Brechzahl entsprechend der oben angegebenen Funktion
variiert, variiert sie sehr stark, wenn r groß ist.
Wenn daher die Linse mit sich ändernder Brechzahl in der
vorstehend erwähnten Stellung angeordnet ist, wird es nur
möglich sein, die außeraxialen Aberrationen zu korrigieren,
ohne Einfluß auf die axiale Aberration.
Wenn in einem üblichen Mikroskopobjektiv jedoch NA groß
ist, schreiten das axiale Lichtbündel und das außeraxiale
Lichtbündel sich überlappend vor, so daß die Stellung, bei
der beide Bündel sich voneinander trennen, ganz nah an der
bildformenden Stellung ist. In der üblichen Konstruktion
ist es daher notwendig, eine Linse mit sich ändernder Brechzahl
einzeln und hinter einer Objektivlinse anzuordnen.
Wenn jedoch die Stellung, durch die ein Strahl verläuft,
bei jedem Objektiv verschieden ist, und die verschiedenen
Objektive ausgetauscht werden, während die Linse mit sich
ändernder Brechzahl fest ist, ist es unmöglich, alle Aberrationen
gut zu korrigieren.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein
Mikroskopobjektiv anzugeben, das als Konstruktionselement
eine Linse mit sich ändernder Brechzahl (GRIN-Linse) enthält,
deren Brechzahl mit dem Abstand von der optischen Achse
variiert, und bei dem die numerische Apertur groß ist und
trotzdem die verschiedenen Aberrationen gut korrigiert sind.
In einem Mikroskopobjektiv ist es wesentlich, sphärische
Aberration, Koma, Bildfeldkrümmung, Astigmatismus usw. ausreichend
zu korrigieren. Wenn die Brechkraftverteilung bestimmt
ist, um von diesen verschiedenen Aberrationen Bildfeldkrümmung
zu korrigieren, werden die Beschränkungen für
die anderen Aberrationen stark, so daß es schwierig wird,
alle diese Aberrationen gut zu korrigieren.
Wenn ein Objektiv in eine Frontlinsengruppe, die hauptsächlich
zur Vergrößerung beiträgt, oder in der Eintritts- und
Austritts-NA sich stark voneinander unterscheiden, und in
eine hintere Linsengruppe, die den Austrittsstrahl von der
Frontlinsengruppe zum vorgegebenen Bildformungspunkt
(einschließlich Unendlich) überträgt, um alle oben erwähnten
Aberrationen ausreichend zu korrigieren, unterteilt ist,
ist es notwendig, daß die Frontlinsengruppe sowohl zur Korrektur
der Bildfeldkrümmung als auch zur Unterdrückung des
Entstehens von sphärischer Aberration und Koma beiträgt
und starke Brechkraft besitzt.
Um dieser Bedingung zu genügen, wird manchmal eine Konstruktion
mit einer Meniskuslinse, die objektseitig eine starke
konkave Oberfläche besitzt, verwendet. Bei dieser Ausführung
ist es jedoch, wenn die numerische Apertur groß ist, sehr
schwierig, die Aberrationen zufriedenstellend zu korrigieren,
infolge der starken Brechkraft der Frontlinsengruppe, so
daß die restlichen Aberrationen der Frontlinsengruppe
groß werden.
Wenn eine Linse mit sich ändernder Brechzahl (GRIN-Linse)
in der hinteren Linsengruppe angeordnet ist, wird die Korrekturkraft
der hinteren Linsengruppe außerordentlich groß,
so daß es möglich ist, die großen Restaberrationen der Frontlinsengruppe
zu korrigieren, und die Aberrationen des Gesamtsystems
klein zu halten, ohne Komplikationen beim Linsenaufbau.
Wenn andererseits eine Linse mit sich ändernder Brechzahl
(GRIN-Linse) in der Frontlinsengruppe angeordnet ist, wird
es möglich, die restlichen Aberrationen der Frontlinsengruppe
klein zu halten und in ähnlicher Weise ist es möglich,
die Aberrationen des Gesamtsystems gut zu korrigieren.
Bei einem üblichen Mikroskopobjektiv ist der Linsenaufbau
so getroffen, daß die Frontlinsengruppe sowohl für das außeraxiale
Lichtbündel als auch für das axiale Lichtbündel gute
Symmetrie besitzt, so daß das Auftreten von asymmetrischen
Aberrationen so weit wie möglich unterdrückt wird. Wenn
daher eine Linse mit sich ändernder Brechzahl in der Frontlinsengruppe
angeordnet wird, ist es möglich, die symmetrischen
Aberrationen zu korrigieren, ohne Verschlechterung
der asymmetrischen Aberrationen. Infolgedessen ist es möglich,
die restlichen Aberrationen der Frontlinsengruppe
klein zu halten, was bedeutet, daß die Korrektionslast
für die hintere Linsengruppe verringert wird, so daß es
möglich wird, die verschiedenen Aberrationen bei einem einfacheren
Aufbau ausreichend zu korrigieren.
Darüber hinaus wird es möglich, wenn eine Linse mit sich
ändernder Brechzahl sowohl in der Frontlinsengruppe als
auch in der hinteren Linsengruppe angeordnet ist, mit einem
sehr einfachen Aufbau die verschiedenen Aberrationen infolge
des synergistischen Effekts zu korrigieren.
Wenn eine Linse mit sich ändernder Brechzahl statt einer
Meniskuslinse mit stark konkaver Oberfläche gegenstandsseitig
in der Frontlinsengruppe verwendet wird, ist es möglich,
diese Linse plankonvex auszubilden, was vorteilhaft für
die Herstellung der Linse und für die Vergrößerung des freien
Arbeitsabstandes ist. Normalerweise wird, wenn diese Linse
plankonvex ausgebildet ist, die Brechkraft sehr groß. Wenn
die Feldkrümmung korrigiert werden soll, ergeben sich Schwierigkeiten
in der Brechkraftverteilung im Gesamtsystem, so
daß es niemals möglich ist, die verschiedenen Aberrationen
zu korrigieren.
Daher kann bei üblichen Objektiven, bei denen diese Linse
plankonvex ausgebildet ist, die Bildfeldkrümmung nur bei
Ölimmersionssystemen korrigiert werden.
Andererseits ist bei einer GRIN-Linse, deren Brechzahl mit
dem Abstand von der optischen Achse variiert, der Einfluß
der Brechkraft durch das Medium bezüglich der Bildfeldkrümmung
kleiner als bei der brechenden Oberfläche. Selbst wenn
daher die Bildfeldkrümmung mittels starker Brechkraft einer
plankonvexen Linse bei dem Material selbst korrigiert wird,
ist es möglich, Spielraum in der Brechkraftverteilung des
Gesamtsystems zu erhalten und die anderen Aberrationen gut
zu korrigieren.
Bei den nachstehend beschriebenen erfindungsgemäßen Objektiven
wird eine Linse mit sich folgendermaßen ändernder Brechzahl
verwendet. Die Brechzahlverteilung wird durch folgende
Formel gegeben:
wobei mit
n 0 die Brechzahl auf der optischen Achse
r die Entfernung von der optischen Achse
n 1, n 2,. . . jeweils die Koeffizienten 2-ter, 4-ter, . . . Ordnung bezeichnet sind.
n 0 die Brechzahl auf der optischen Achse
r die Entfernung von der optischen Achse
n 1, n 2,. . . jeweils die Koeffizienten 2-ter, 4-ter, . . . Ordnung bezeichnet sind.
Damit eine Linse mit sich ändernder Brechzahl voll die
Korrektion der Aberrationen bewirken kann, wenn sie in der
Frontlinsengruppe angeordnet ist, sollte sie der folgenden
Bedingung genügen:
Wenn eine Linse mit sich ändernder Brechzahl in der hinteren
Linsengruppe angeordnet ist, ist es vorteilhaft, wenn die
folgende Bedingung erfüllt wird:
Wenn der Bedingung (1) oder (2) nicht genügt ist, wird
die Differenz zwischen den Brechzahlen im Mittelpunkt und
am Rand zu gering, und es wird schwierig, die Aberrationen
ausreichend zu korrigieren.
Wenn die Variation der Brechzahlen höherer Ordnung zu groß
wird, wird es schwierig, einen Ausgleich zwischen der Aberration
durch den Strahl, der nahe der optischen Achse durchläuft
und dem Strahl, der den Randbereich der Linse durchläuft,
zu erhalten. Um dies zu vermeiden, ist es vorteilhaft,
wenn der folgenden Bedingung genügt wird:
worin n i den Wert jedes Koeffizienten n i , normalisiert
durch die Brennweite des gesamten Systems
bezeichnet, d. h. i = (n i /f 2i )
Insbesondere ist es vorteilhaft, die Differenz nicht eine
oder zwei Größenordnungen kleiner zu machen zwischen dem
Koeffizienten zweiter Ordnung und jedem Koeffizienten höherer
Ordnung, um die Aberrationen in gutem Ausgleich zu halten.
Die Erfindung wird nun anhand von erfindungsgemäßen Objektiven
mit Bezugnahme auf die Zeichnungen näher erläutert.
In den Zeichnungen zeigen:
Fig. 1 bis 14 Schnittbilder erfindungsgemäßer Mikroskopobjektive
Fig. 15 bis 28 Korrekturkurven der erfindungsgemäßen Objektive
1 bis 14.
In den nachfolgend angeführten Tabellen 1 bis 14 sind die
Daten erfindungsgemäßer Objektive 1 bis 14 angegeben.
In den Tabellen bezeichnen:
r 1, r 2,. . . die Krümmungsradien der Linsenoberflächen
d 1, d 2,. . . die Dicken der Linsen bzw. Luftabstände zwischen diesen
n 01, n 02,. . die Brechzahlen der Linsen bzw. die Brechzahlen der Linsen auf der optischen Achse, wenn in den mit "*" bezeichneten Fällen Linsen mit sich ändernder Brechzahl verwendet werden
n 1, n 2,. . . die Koeffizienten der 2-ten und 3-ten Ordnung
f die Brennweite
WD den Arbeitsabstand
m die Vergrößerung
NA die numerische Apertur.
r 1, r 2,. . . die Krümmungsradien der Linsenoberflächen
d 1, d 2,. . . die Dicken der Linsen bzw. Luftabstände zwischen diesen
n 01, n 02,. . die Brechzahlen der Linsen bzw. die Brechzahlen der Linsen auf der optischen Achse, wenn in den mit "*" bezeichneten Fällen Linsen mit sich ändernder Brechzahl verwendet werden
n 1, n 2,. . . die Koeffizienten der 2-ten und 3-ten Ordnung
f die Brennweite
WD den Arbeitsabstand
m die Vergrößerung
NA die numerische Apertur.
Bei den erfindungsgemäßen Mikroskopobjektiven sind die Koeffizienten
6-ter und höherer Ordnung Null.
Die erfindungsgemäßen Mikroskopobjektive 1 bis 14 haben
den in Fig. 1 bis 14 schematisch dargestellten Aufbau und
enthalten Frontlinsengruppen F und hintere Linsengruppen
R.
Wie sich aus den Daten ergibt, sind sowohl im Mikroskopobjektiv
1 als auch beim Mikroskopobjektiv 2 die Frontlinsengruppen
mit einer Linse mit sich ändernder Brechzahl versehen.
Bei den erfindungsgemäßen Mikroskopobjektiven 3 und 4 enthalten
die hinteren Linsengruppen eine Linse mit sich ändernder
Brechzahl. Bei den erfindungsgemäßen Objektiven 5 bis 14
weisen sowohl die Frontlinsengruppe als auch die hintere
Linsengruppe Linsen mit sich ändernder Brechzahl auf.
In Anbetracht der Rolle der positiven Linse, die im Mittelpunkt
des Objektivs 10 oder 11 angeordnet ist (Fig. 10 oder
11), ist es möglich, daß diese positive Linse zur Frontlinsengruppe
oder zur hinteren Linsengruppe gezählt wird. Das
heißt, wie auch in der Zeichnung angedeutet, die Frontlinsengruppe
F geht bis einschließlich der vorerwähnten positiven
Linse, wobei R die rückwärtige Linsengruppe bezeichnet, während
F′ die Frontlinsengruppe für den Fall bezeichnet, wenn die
positive Linse zur hinteren Linsengruppe R′ gerechnet
wird.
Wie sich daraus ergibt und die erfindungsgemäßen Objektive
im einzelnen belegen, werden mit der vorliegenden Erfindung
Mikroskopobjektive einfacheren Aufbaus angegeben, bei denen
die Aberrationen zufriedenstellend in einem weiten Bereich
von numerischen Aperturen korrigiert sind.
Claims (22)
1. Mikroskopobjektiv mit einer Anzahl von Linsen, dadurch
gekennzeichnet, daß eine der Linsen
eine Linse mit sich entsprechend dem Abstand von der optischen
Achse verändernder Brechzahl und zumindest einer sphärischen
Fläche ist.
2. Mikroskopobjektiv nach Anspruch 1 mit einer Frontlinsengruppe
und einer hinteren Linsengruppe, die durch einen
vorgegebenen Luftspalt als Begrenzung getrennt sind, dadurch
gekennzeichnet, daß die Frontlinsengruppe zumindestens eine
Linse mit sich entsprechend der Formel
n = n 0 + n 1 r 2 + n 2 r 4 + n 3 r 6 + -. . .verändernder Brechzahl ist und der folgenden Bedingung genügt:
wobei
n 0 die Brechzahl auf der optischen Achse,
r die Radialentfernung von der optischen Achse,
n 1, n 2, n 3. . . die Koeffizienten 2-ter, 4-ter, 6-ter. . . Ordnung,
f die Brennweite des Objektivs bezeichnen.
n 0 die Brechzahl auf der optischen Achse,
r die Radialentfernung von der optischen Achse,
n 1, n 2, n 3. . . die Koeffizienten 2-ter, 4-ter, 6-ter. . . Ordnung,
f die Brennweite des Objektivs bezeichnen.
3. Mikroskopobjektiv nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch
eine Frontlinsengruppe und eine hintere Linsengruppe, die
durch einen vorgegebenen Luftabstand als Begrenzung getrennt
sind, dadurch gekennzeichnet, daß die hintere Linsengruppe
zumindestens eine Linse mit sich entsprechend der folgenden
Formel
verändernder Brechzahlverteilung ist, die der folgenden
Bedingung genügt:
wobei
n 0 die Brechzahl auf der optischen Achse,
r die Radialentfernung von der optischen Achse,
n 1, n 2, n 3,. . . jeweils die Koeffizienten 2-ter, 4-ter, 6-ter,. . . Ordnung,
f die Brennweite des Objektivs bezeichnen.
n 0 die Brechzahl auf der optischen Achse,
r die Radialentfernung von der optischen Achse,
n 1, n 2, n 3,. . . jeweils die Koeffizienten 2-ter, 4-ter, 6-ter,. . . Ordnung,
f die Brennweite des Objektivs bezeichnen.
4. Mikroskopobjektiv nach Anspruch 1 mit einer Frontlinsengruppe
und einer hinteren Linsengruppe, die durch einen
vorgegebenen Luftabstand als Begrenzung getrennt sind, dadurch
gekennzeichnet, daß sowohl Frontlinsengruppe als auch hintere
Linsengruppe mindestens eine Linse mit sich entsprechend
folgender Formel
verändernder Brechzahl enthalten, wobei die Linse mit sich
ändernder Brechzahl in der Frontlinsengruppe der Bedingung
und die Linse mit sich ändernder Brechzahl in der hinteren
Linsengruppe der Bedingung
genügen, und
n 0 die Brechzahl auf der optischen Achse,
r die Radialentfernung von der optischen Achse,
n 1, n 2, n 3,. . . die Koeffizienter 2-ter, 4-ter, 6-ter. . . Ordnung und
f die Brennweite des Objektivs bezeichnen.
n 0 die Brechzahl auf der optischen Achse,
r die Radialentfernung von der optischen Achse,
n 1, n 2, n 3,. . . die Koeffizienter 2-ter, 4-ter, 6-ter. . . Ordnung und
f die Brennweite des Objektivs bezeichnen.
5. Mikroskopobjektiv nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet,
daß die Linse mit sich ändernder Brechzahl weiter der folgenden
Bedingung genügt:
wobei i = n i /f 2i .
6. Mikroskopobjektiv nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet,
daß die Linse mit sich ändernder Brechzahl weiter der folgenden
Bedingung genügt:
wobei i = n i /f 2i .
7. Mikroskopobjektiv nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet,
daß die Linsen mit sich ändernder Brechzahl weiter der folgenden
Bedingung genügen:
wobei i = n i /f 2i .
8. Mikroskopobjektiv nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet,
daß dessen Frontlinsengruppe zwei Meniskuslinsen und dessen
hintere Linsengruppe eine bikonvexe Linse und ein meniskusförmiges
Kittglied mit folgenden Daten ±5%: enthält:
Tabelle 1
wobei
r 1, r 2,. . . die Krümmungsradien der Linsenoberflächen,
d 1, d 2,. . . die Dicken der Linsen und Luftabstände zwischen den Linsen,
n 01, n 02,. . die Brechzahlen der Linsen (d. h. die Brechzahlen der Linsen auf der optischen Achse im Falle der mit "*" bezeichneten Linsen mit sich ändernder Brechzahl),
WD den Arbeitsabstand,
m die Vergrößerung
NA die numerische Apertur bezeichnen.
r 1, r 2,. . . die Krümmungsradien der Linsenoberflächen,
d 1, d 2,. . . die Dicken der Linsen und Luftabstände zwischen den Linsen,
n 01, n 02,. . die Brechzahlen der Linsen (d. h. die Brechzahlen der Linsen auf der optischen Achse im Falle der mit "*" bezeichneten Linsen mit sich ändernder Brechzahl),
WD den Arbeitsabstand,
m die Vergrößerung
NA die numerische Apertur bezeichnen.
9. Mikroskopobjektiv nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet,
daß dessen Frontlinsengruppe zwei Meniskuslinsen und dessen
hintere Linsengruppe eine bikonvexe und eine meniskusförmige
Linse mit folgenden Daten ±5% enthält.
Tabelle 2
wobei
r 1, r 2,. . . die Krümmungsradien der Linsenoberflächen,
d 1, d 2,. . . die Dicken der Linsen und Luftabstände zwischen den Linsen,
n 01, n 02,. . die Brechzahlen der Linsen (d. h. die Brechzahlen der Linsen auf der optischen Achse im Falle der mit "*" bezeichneten Linsen mit sich ändernder Brechzahl),
WD den Arbeitsabstand,
m die Vergrößerung
NA die numerische Apertur bezeichnen.
r 1, r 2,. . . die Krümmungsradien der Linsenoberflächen,
d 1, d 2,. . . die Dicken der Linsen und Luftabstände zwischen den Linsen,
n 01, n 02,. . die Brechzahlen der Linsen (d. h. die Brechzahlen der Linsen auf der optischen Achse im Falle der mit "*" bezeichneten Linsen mit sich ändernder Brechzahl),
WD den Arbeitsabstand,
m die Vergrößerung
NA die numerische Apertur bezeichnen.
10. Mikroskopobjektiv nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet,
daß dessen Frontlinsengruppe drei Meniskuslinsen enthält
und dessen hintere Linsengruppe eine bikonvexe und eine
meniskusförmige Linse mit folgenden Daten ±5% aufweist:
Tabelle 3
wobei
r 1, r 2,. . . die Krümmungsradien der Linsenoberflächen,
d 1, d 2,. . . die Dicken der Linsen und Luftabstände zwischen den Linsen,
n 01, n 02,. . die Brechzahlen der Linsen (d. h. die Brechzahlen der Linsen auf der optischen Achse im Falle der mit "*" bezeichneten Linsen mit sich ändernder Brechzahl),
WD den Arbeitsabstand,
m die Vergrößerung,
NA die numerische Apertur bezeichnen.
r 1, r 2,. . . die Krümmungsradien der Linsenoberflächen,
d 1, d 2,. . . die Dicken der Linsen und Luftabstände zwischen den Linsen,
n 01, n 02,. . die Brechzahlen der Linsen (d. h. die Brechzahlen der Linsen auf der optischen Achse im Falle der mit "*" bezeichneten Linsen mit sich ändernder Brechzahl),
WD den Arbeitsabstand,
m die Vergrößerung,
NA die numerische Apertur bezeichnen.
11. Mikroskopobjektiv nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet,
daß dessen Frontlinsengruppe drei Meniskuslinsen enthält
und dessen hintere Linsengruppe eine bikonvexe und
eine meniskusförmige Linse mit folgenden Daten ±5% aufweist:
Tabelle 4
wobei
r 1, r 2,. . . die Krümmungsradien der Linsenoberflächen,
d 1, d 2,. . . die Dicken der Linsen und Luftabstände zwischen den Linsen,
n 01, n 02,. . die Brechzahlen der Linsen (d. h. die Brechzahlen der Linsen auf der optischen Achse im Falle der mit "*" bezeichneten Linsen mit sich ändernder Brechzahl),
WD den Arbeitsabstand,
m die Vergrößerung,
NA die numerische Apertur bezeichnen.
r 1, r 2,. . . die Krümmungsradien der Linsenoberflächen,
d 1, d 2,. . . die Dicken der Linsen und Luftabstände zwischen den Linsen,
n 01, n 02,. . die Brechzahlen der Linsen (d. h. die Brechzahlen der Linsen auf der optischen Achse im Falle der mit "*" bezeichneten Linsen mit sich ändernder Brechzahl),
WD den Arbeitsabstand,
m die Vergrößerung,
NA die numerische Apertur bezeichnen.
12. Mikroskopobjektiv nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet,
daß dessen Frontlinsengruppe zwei Meniskuslinsen und
dessen hintere Linsengruppe eine bikonvexe Linse und eine
meniskusförmige Linse mit folgenden Daten ±5% aufweist:
Tabelle 5
wobei
r 1, r 2,. . . die Krümmungsradien der Linsenoberflächen,
d 1, d 2,. . . die Dicken der Linsen und Luftabstände zwischen den Linsen,
n 01, n 02,. . die Brechzahlen der Linsen (d. h. die Brechzahlen der Linsen auf der optischen Achse im Falle der mit "*" bezeichneten Linsen mit sich ändernder Brechzahl),
WD den Arbeitsabstand,
m die Vergrößerung,
NA die numerische Apertur bezeichnen.
r 1, r 2,. . . die Krümmungsradien der Linsenoberflächen,
d 1, d 2,. . . die Dicken der Linsen und Luftabstände zwischen den Linsen,
n 01, n 02,. . die Brechzahlen der Linsen (d. h. die Brechzahlen der Linsen auf der optischen Achse im Falle der mit "*" bezeichneten Linsen mit sich ändernder Brechzahl),
WD den Arbeitsabstand,
m die Vergrößerung,
NA die numerische Apertur bezeichnen.
13. Mikroskopobjektiv nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet,
daß dessen Frontlinsengruppe eine meniskusförmige Linse
und eine bikonvexe Linse und dessen hintere Linsengruppe
eine meniskusförmige Linse mit folgenden Daten ±5% enthält:
Tabelle 6
wobei
r 1, r 2,. . . die Krümmungsradien der Linsenoberflächen,
d 1, d 2,. . . die Dicken der Linsen und Luftabstände zwischen den Linsen,
n 01, n 02,. . die Brechzahlen der Linsen (d. h. die Brechzahlen der Linsen auf der optischen Achse im Falle der mit "*" bezeichneten Linsen mit sich ändernder Brechzahl),
WD den Arbeitsabstand,
m die Vergrößerung,
NA die numerische Apertur bezeichnen.
r 1, r 2,. . . die Krümmungsradien der Linsenoberflächen,
d 1, d 2,. . . die Dicken der Linsen und Luftabstände zwischen den Linsen,
n 01, n 02,. . die Brechzahlen der Linsen (d. h. die Brechzahlen der Linsen auf der optischen Achse im Falle der mit "*" bezeichneten Linsen mit sich ändernder Brechzahl),
WD den Arbeitsabstand,
m die Vergrößerung,
NA die numerische Apertur bezeichnen.
14. Mikroskopobjektiv nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet,
daß dessen Frontlinsengruppe eine meniskusförmige Linse
und eine bikonvexe Linse enthält und dessen hintere Linsengruppe
eine bikonkave Linse mit folgenden Daten ±5% aufweist:
Tabelle 7
wobei
r 1, r 2,. . . die Krümmungsradien der Linsenoberflächen,
d 1, d 2,. . . die Dicken der Linsen und Luftabstände zwischen den Linsen,
n 01, n 02,. . die Brechzahlen der Linsen (d. h. die Brechzahlen der Linsen auf der optischen Achse im Falle der mit "*" bezeichneten Linsen mit sich ändernder Brechzahl),
WD den Arbeitsabstand,
m die Vergrößerung,
NA die numerische Apertur bezeichnen.
r 1, r 2,. . . die Krümmungsradien der Linsenoberflächen,
d 1, d 2,. . . die Dicken der Linsen und Luftabstände zwischen den Linsen,
n 01, n 02,. . die Brechzahlen der Linsen (d. h. die Brechzahlen der Linsen auf der optischen Achse im Falle der mit "*" bezeichneten Linsen mit sich ändernder Brechzahl),
WD den Arbeitsabstand,
m die Vergrößerung,
NA die numerische Apertur bezeichnen.
15. Mikroskopobjektiv nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet,
daß dessen Frontlinsengruppe eine plankonvexe Linse,
ein konvexes Kittglied und eine bikonvexe Linse enthält,
während die hintere Linsengruppe ein meniskusförmiges Kittglied
mit folgenden Daten ±5% darstellt:
Tabelle 8
wobei
r 1, r 2,. . . die Krümmungsradien der Linsenoberflächen,
d 1, d 2,. . . die Dicken der Linsen und Luftabstände zwischen den Linsen,
n 01, n 02,. . die Brechzahlen der Linsen (d. h. die Brechzahlen der Linsen auf der optischen Achse im Falle der mit "*" bezeichneten Linsen mit sich ändernder Brechzahl),
WD den Arbeitsabstand,
m die Vergrößerung,
NA die numerische Apertur bezeichnen.
r 1, r 2,. . . die Krümmungsradien der Linsenoberflächen,
d 1, d 2,. . . die Dicken der Linsen und Luftabstände zwischen den Linsen,
n 01, n 02,. . die Brechzahlen der Linsen (d. h. die Brechzahlen der Linsen auf der optischen Achse im Falle der mit "*" bezeichneten Linsen mit sich ändernder Brechzahl),
WD den Arbeitsabstand,
m die Vergrößerung,
NA die numerische Apertur bezeichnen.
16. Mikroskopobjektiv nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet,
daß dessen Frontlinsengruppe eine plankonvexe Linse,
zwei meniskusförmige Kittglieder und eine bikonvexe Linse
enthält, während die hintere Linsengruppe aus einer meniskusförmigen
Linse mit folgenden Daten ±5% besteht:
Tabelle 9
wobei
r 1, r 2,. . . die Krümmungsradien der Linsenoberflächen,
d 1, d 2,. . . die Dicken der Linsen und Luftabstände zwischen den Linsen,
n 01, n 02,. . die Brechzahlen der Linsen (d. h. die Brechzahlen der Linsen auf der optischen Achse im Falle der mit "*" bezeichneten Linsen mit sich ändernder Brechzahl),
WD den Arbeitsabstand,
m die Vergrößerung,
NA die numerische Apertur bezeichnen.
r 1, r 2,. . . die Krümmungsradien der Linsenoberflächen,
d 1, d 2,. . . die Dicken der Linsen und Luftabstände zwischen den Linsen,
n 01, n 02,. . die Brechzahlen der Linsen (d. h. die Brechzahlen der Linsen auf der optischen Achse im Falle der mit "*" bezeichneten Linsen mit sich ändernder Brechzahl),
WD den Arbeitsabstand,
m die Vergrößerung,
NA die numerische Apertur bezeichnen.
17. Mikroskopobjektiv nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet,
daß dessen Frontlinsengruppe drei meniskusförmige Linsen
und die hintere Linsengruppe eine bikonvexe Linse und zwei
meniskusförmige Linsen enthält und folgende Daten ±5%:
Tabelle 10
wobei
r 1, r 2,. . . die Krümmungsradien der Linsenoberflächen,
d 1, d 2,. . . die Dicken der Linsen und Luftabstände zwischen den Linsen,
n 01, n 02,. . die Brechzahlen der Linsen (d. h. die Brechzahlen der Linsen auf der optischen Achse im Falle der mit "*" bezeichneten Linsen mit sich ändernder Brechzahl),
WD den Arbeitsabstand,
m die Vergrößerung,
NA die numerische Apertur bezeichnen.
r 1, r 2,. . . die Krümmungsradien der Linsenoberflächen,
d 1, d 2,. . . die Dicken der Linsen und Luftabstände zwischen den Linsen,
n 01, n 02,. . die Brechzahlen der Linsen (d. h. die Brechzahlen der Linsen auf der optischen Achse im Falle der mit "*" bezeichneten Linsen mit sich ändernder Brechzahl),
WD den Arbeitsabstand,
m die Vergrößerung,
NA die numerische Apertur bezeichnen.
18. Mikroskopobjektiv nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet,
daß die Frontlinsengruppe drei Meniskuslinsen und die
hintere Linsengruppe eine konvexe Linse und zwei meniskusförmige
Linsen mit folgenden Daten ±5% enthält:
Tabelle 11
wobei
r 1, r 2,. . . die Krümmungsradien der Linsenoberflächen,
d 1, d 2,. . . die Dicken der Linsen und Luftabstände zwischen den Linsen,
n 01, n 02,. . die Brechzahlen der Linsen (d. h. die Brechzahlen der Linsen auf der optischen Achse im Falle der mit "*" bezeichneten Linsen mit sich ändernder Brechzahl),
WD den Arbeitsabstand,
m die Vergrößerung,
NA die numerische Apertur bezeichnen.
r 1, r 2,. . . die Krümmungsradien der Linsenoberflächen,
d 1, d 2,. . . die Dicken der Linsen und Luftabstände zwischen den Linsen,
n 01, n 02,. . die Brechzahlen der Linsen (d. h. die Brechzahlen der Linsen auf der optischen Achse im Falle der mit "*" bezeichneten Linsen mit sich ändernder Brechzahl),
WD den Arbeitsabstand,
m die Vergrößerung,
NA die numerische Apertur bezeichnen.
19. Mikroskopobjektiv nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet,
daß die Frontlinsengruppe drei Meniskuslinsen und die
hintere Linsengruppe ein meniskusförmiges Kittglied enthält
und folgende Daten ±5% aufweist:
Tabelle 12
wobei
r 1, r 2,. . . die Krümmungsradien der Linsenoberflächen,
d 1, d 2,. . . die Dicken der Linsen und Luftabstände zwischen den Linsen,
n 01, n 02,. . die Brechzahlen der Linsen (d. h. die Brechzahlen der Linsen auf der optischen Achse im Falle der mit "*" bezeichneten Linsen mit sich ändernder Brechzahl),
WD den Arbeitsabstand,
m die Vergrößerung,
NA die numerische Apertur bezeichnen.
r 1, r 2,. . . die Krümmungsradien der Linsenoberflächen,
d 1, d 2,. . . die Dicken der Linsen und Luftabstände zwischen den Linsen,
n 01, n 02,. . die Brechzahlen der Linsen (d. h. die Brechzahlen der Linsen auf der optischen Achse im Falle der mit "*" bezeichneten Linsen mit sich ändernder Brechzahl),
WD den Arbeitsabstand,
m die Vergrößerung,
NA die numerische Apertur bezeichnen.
20. Mikroskopobjektiv nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet,
daß die Frontlinsengruppe drei meniskusförmige Linsen
und die hintere Linsengruppe ein meniskusförmiges Kittglied
enthält und folgende Daten ±5% aufweist:
Tabelle 13
wobei
r 1, r 2,. . . die Krümmungsradien der Linsenoberflächen,
d 1, d 2,. . . die Dicken der Linsen und Luftabstände zwischen den Linsen,
n 01, n 02,. . die Brechzahlen der Linsen (d. h. die Brechzahlen der Linsen auf der optischen Achse im Falle der mit "*" bezeichneten Linsen mit sich ändernder Brechzahl),
WD den Arbeitsabstand,
m die Vergrößerung,
NA die numerische Apertur bezeichnen.
r 1, r 2,. . . die Krümmungsradien der Linsenoberflächen,
d 1, d 2,. . . die Dicken der Linsen und Luftabstände zwischen den Linsen,
n 01, n 02,. . die Brechzahlen der Linsen (d. h. die Brechzahlen der Linsen auf der optischen Achse im Falle der mit "*" bezeichneten Linsen mit sich ändernder Brechzahl),
WD den Arbeitsabstand,
m die Vergrößerung,
NA die numerische Apertur bezeichnen.
21. Mikroskopobjektiv nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet,
daß die Frontlinsengruppe eine meniskusförmige Linse,
eine bikonvexe und eine meniskusförmige Linse und die hintere
Linsengruppe ein meniskusförmiges Kittglied enthält
und folgende Daten ±5% aufweist:
Tabelle 14
wobei
r 1, r 2,. . . die Krümmungsradien der Linsenoberflächen,
d 1, d 2,. . . die Dicken der Linsen und Luftabstände zwischen den Linsen,
n 01, n 02,. . die Brechzahlen der Linsen (d. h. die Brechzahlen der Linsen auf der optischen Achse im Falle der mit "*" bezeichneten Linsen mit sich ändernder Brechzahl),
WD den Arbeitsabstand,
m die Vergrößerung,
NA die numerische Apertur bezeichnen.
r 1, r 2,. . . die Krümmungsradien der Linsenoberflächen,
d 1, d 2,. . . die Dicken der Linsen und Luftabstände zwischen den Linsen,
n 01, n 02,. . die Brechzahlen der Linsen (d. h. die Brechzahlen der Linsen auf der optischen Achse im Falle der mit "*" bezeichneten Linsen mit sich ändernder Brechzahl),
WD den Arbeitsabstand,
m die Vergrößerung,
NA die numerische Apertur bezeichnen.
22. Modifiziertes Mikroskopobjektiv nach einem der Ansprüche
8 bis 21, dadurch gekennzeichnet, daß dessen Korrektionszustand
mit dem eines Mikroskopobjektivs gemäß einer der Datentabellen
hinsichtlich der Bildfehler dritter Ordnung im
wesentlichen übereinstimmt, wobei für jeden dieser Fehler
die folgende Bedingung erfüllt ist:
wobei
S i Flächenteilkoeffizient der i-ten Linsenfläche nach Seidel für die jeweilige tatsächliche Blendenlage und Brennweite
S′ i Flächenteilkoeffizient der i-ten Linsenfläche nach Seidel für das vom Mikroskopobjektiv der angegebenen Datentabelle abweichende Mikroskopobjektiv und
Größen mit Querstrich arithmetische Mittelwerte über alle Linsenflächen (i) bedeuten.
S i Flächenteilkoeffizient der i-ten Linsenfläche nach Seidel für die jeweilige tatsächliche Blendenlage und Brennweite
S′ i Flächenteilkoeffizient der i-ten Linsenfläche nach Seidel für das vom Mikroskopobjektiv der angegebenen Datentabelle abweichende Mikroskopobjektiv und
Größen mit Querstrich arithmetische Mittelwerte über alle Linsenflächen (i) bedeuten.
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP60173870A JPH0711630B2 (ja) | 1985-08-07 | 1985-08-07 | 顕微鏡対物レンズ |
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Date | Code | Title | Description |
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OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
8128 | New person/name/address of the agent |
Representative=s name: WEICKMANN, H., DIPL.-ING. FINCKE, K., DIPL.-PHYS. |
|
8131 | Rejection |