DE3617741A1 - Handling device - Google Patents
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Abstract
Description
Handhabungsvorrichtungen nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 werden vorzugsweise zur Handhabung von Testköpfen verwendet. Diese Testköpfe sind in vollautomatischen Prüfanlagen zur Prüfung und Klassifizierung von elektronischen Bauelementen, wie z. B. integrierten Schaltungen in PLLC-, CLCC-, SO- oder SMD-Bauweise eingesetzt.Handling devices according to the preamble of claim 1 preferably used for handling test heads. These test heads are in fully automatic test systems for testing and classifying electronic components, such as. B. integrated circuits in PLLC, CLCC, SO or SMD construction used.
Diese Testköpfe werden nun mit den besagten Handhabungsvorrichtungen in den Prüfanlagen placiert oder es können die Testköpfe damit in eine ergonomisch günstige Lage für Reparaturen gebracht werden. Eine weitere Verwendung finden die Handhabungsvorrichtungen auch zur Placierung von Testköpfen an sog. Wafer-Probern.These test heads are now in use with said handling devices placed in the test systems or the test heads can be placed in one ergonomically convenient location for repairs. Another The handling devices are also used for the placement of Test heads on so-called wafer probers.
Für die jeweilige Positionierung des Testkopfes ist es notwendig, daß die Handhabungsvorrichtung sowohl eine schnelle als auch eine sehr genaue Höheneinstellung zuläßt, wobei auch in einer horizontalen Ebene Bewe gungen in zwei Koordinatenrichtungen und eine Kippbewegung um eine hori zontale Achse notwendig sind. Eine Drehbewegung um die Mittelachse des Standgehäuses zum schnellen Wegschwenken des Testkopfes von der Prüfein richtung ist erwünscht.For the respective positioning of the test head, it is necessary that the Handling device both fast and very accurate Allows height adjustment, whereby also be in a horizontal plane movements in two coordinate directions and a tilting movement around a hori central axis are necessary. A rotation around the central axis of the Stand housing for swiveling the test head away from the test unit direction is desired.
Eine bekannte Ausführung einer derartigen Handhabungsvorrichtung ist so gestaltet, daß in einem auf Spreizstützen aufgestellten Standgehäuse in Rechteck-Hohlkastenbauweise eine Parallelführung mit zwei Rundsäulen und eine Gewindespindel zur Höheneinstellung eines angeschlossenen Testkopfes vorgesehen sind. Die Gewindespindel ist dabei starr mit einem Querhaupt der Handhabungsvorrichtung verbunden, wobei eine Gewichtsentlastung des Testkopfes, der in einer Aufnahmevorrichtung des Querhauptes aufgenommen ist, nicht erfolgt. Infolge der starren Koppelung ist bei einer Bodener schütterung die Übertragung von vertikal wirkenden Beschleunigungskräften auf die Kontaktierungsstelle zwischen Testkopf und Prüfeinrichtung mög lich.A known embodiment of such a handling device is like this designed that in a stand housing placed on expansion supports in Rectangular hollow box construction, a parallel guide with two round columns and a threaded spindle for height adjustment of a connected test head are provided. The threaded spindle is rigid with a crosshead connected to the handling device, wherein a weight relief of the Test head, which is recorded in a cradle of the crosshead did not happen. As a result of the rigid coupling is with a Bodener vibration the transmission of vertically acting acceleration forces possible on the contact point between the test head and test facility Lich.
Eine andere bekannte Ausführung eines solchen Handhabungsgerätes (US 45 27 942) ist zur Höheneinstellung in einem einseitig offenen Standgehäuse in C-Form mit einer Rundsäule mit klemmbar daran höhenver schiebbaren Testkopfträger ausgestattet. Zur Gewichtsentlastung wird die Gewichtskraft des Testkopfes über eine Umlenkrolle und Gegengewichte aufgefangen. Eine feinfühlige Höhenjustierung ist nicht möglich.Another known version of such a handling device (US 45 27 942) is for height adjustment in an open on one side Free-standing housing in C-shape with a round column with a height-adjustable clamp sliding test head carrier. For weight relief, the Weight of the test head via a deflection roller and counterweights caught. A sensitive height adjustment is not possible.
Die Aufgabe der Erfindung besteht darin, eine Handhabungsvorrichtung der eingangs beschriebenen Bauart so weiterzuentwickeln, daß sowohl eine genaue als auch schnelle Höheneinstellung bei gewichtsentlastetem Testkopf möglich ist.The object of the invention is to provide a handling device to further develop the design described above so that both a precise as well as quick height adjustment with weight-relieved Test head is possible.
Diese Aufgabe wird mit einer Handhabungsvorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst.This task is performed with a handling device with the features of Claim 1 solved.
Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.Advantageous embodiments of the invention are in the subclaims specified.
Bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung wird der Gewichtsausgleich über eine Flaschenzuganordnung mit Gewichtsstücken, die in dem Gehäuse des Standgehäuses angeordnet sind, durchgeführt. Durch die Anordnung des Flaschenzugs (Umlenkung um eine feste und um eine lose Rolle) ist es möglich, bei gleichem Gewicht von Testkopf und Ausgleichsgewichten die Höhe der Standsäule um die Hälfte des erwünschten Höhenverfahrwegs für den Testkopf zu verkürzen. In dem nachfolgend beschriebenen Beispiel ist dieser Flaschenzug als Kettenzug mit Rollenketten ausgeführt. Es ist selbstverständlich auch die Verwendung von z. B. Drahtseilen oder Stahl bändern mit entsprechenden Seil- bzw. Bandrollen möglich.In the device according to the invention, the weight balance is about a pulley assembly with weights that are in the housing of the Stand housing are arranged performed. By arranging the It is pulley system (deflection around a fixed and a loose roller) possible with the same weight of test head and counterweights Height of the pedestal by half of the desired height travel for shorten the test head. In the example described below is this pulley is designed as a chain hoist with roller chains. It is of course, the use of z. B. wire ropes or steel tapes with appropriate rope or tape reels possible.
Die fest angeordnete Flaschenzugrolle ist über eine Klemmvorrichtung sperrbar.The fixed pulley is via a clamping device lockable.
Die beweglich angeordnete Flaschenzugrolle ist mit einer Gewindespindel mit dem Querhaupt der Aufnahmeeinrichtung an der Oberseite der Standsäule verbunden. Hiermit ist eine Feinverstellung des Testkopfes in der Höhe möglich.The movably arranged pulley is with a threaded spindle with the crosshead of the receiver on the top of the pedestal connected. This is a fine adjustment of the test head in height possible.
Durch die erfindungsgemäße Kombination von Gewichtsausgleich mittels Flaschenzugprinzip und Gewindespindel zur Feineinstellung in Höhe sind zwei vorteilhafte Betriebsweisen möglich:The combination of weight balancing according to the invention means Pulley principle and threaded spindle for fine adjustment in height two advantageous modes of operation possible:
- a) Die Testkopfhalterung kann bei nicht geklemmtem Flaschenzug infolge des ausgeglichenen Gewichts durch einfaches Herausziehen oder Hinein schieben in das Standgehäuse grob in der Höhe verfahren werden. Danach wird der Flaschenzug an der festen Rolle geklemmt und der Testkopf mittels der Gewindespindel, die an der beweglichen Rolle über eine Füh rungsplatte befestigt ist, fein in der Höhe eingestellt werden, ohne daß weitere Führungsmittel in der Handhabungsvorrichtung angeordnet werden müssen.a) The test head holder can result if the pulley is not clamped the balanced weight by simply pulling it out or in slide into the stand housing to be moved roughly in height. After that the pulley is clamped to the fixed roller and the test head by means of the threaded spindle, which is attached to the movable roller via a guide tion plate is fixed, can be adjusted in height without further guide means can be arranged in the handling device have to.
- b) Für bestimmte Anwendungszwecke ist es notwendig, den Testkopf schnell in die Höhe heben zu können, wobei aber trotzdem eine genau eingestellte Ausgangslage wieder erreicht werden soll. Hierbei wird die Voreinstellung wie unter a) durchgeführt. Danach kann durch Öffnen der Flaschenzugklemme der Testkopf schnell gehoben und gesenkt werden, wobei das Gewicht des Testkopfes durch entsprechende Gegengewichtsstücke ausgeglichen ist.b) For certain applications, it is necessary to move the test head quickly to be able to lift up, but still a precisely set one Starting position should be reached again. This is the default as under a). Then you can open the pulley clamp the test head can be quickly raised and lowered, the weight of the Test head is balanced by appropriate counterweight pieces.
Als weiterer wesentlicher Vorteil der hier angewendeten kompakten Bau weise ist es möglich, die Aufnahmeeinrichtung über der Standsäule in der horizontalen Ebene um 360° schwenkbar zu gestalten. Der Testkopf läßt sich dadurch z. B. für Reparaturzwecke sehr leicht von der Anschlußstelle in einer Prüfeinrichtung nach hinten weg schwenken und ist dadurch sehr gut zugänglich.Another major advantage of the compact construction used here as it is possible, the receiving device in the column above to make the horizontal plane pivotable by 360 °. The test head leaves thereby z. B. for repair purposes very easily from the junction swivel backwards in a test facility and is therefore very easily accessible.
Zugleich ist bei der erfindungsgemäßen Handhabungsvorrichtung eine tiefe Schwerpunktlage erreicht, was die Standsicherheit der Anordnung erhöht und bei der Handhabung der bis zu 1500 N schweren Testköpfe sehr erwünscht ist.At the same time in the handling device according to the invention low center of gravity reached what the stability of the arrangement increased and when handling the test heads weighing up to 1500 N very much is desired.
Die Anwendung eines zusätzlichen Federausgleichs zwischen dem Querhaupt der Aufnahmeeinrichtung und der Gewindespindel für Feineinstellung ist je nach Handhabungsaufgabe möglich.The application of an additional spring balance between the crosshead the mounting device and the threaded spindle for fine adjustment is each possible after handling task.
Weitere Einzelheiten einer erfindungsgemäßen Handhabungsvorrichtung wer den im folgenden anhand der beigefügten Zeichnungen an einem Ausfüh rungsbeispiel erläutert. Further details of a handling device according to the invention the following with reference to the accompanying drawings on a Ausfü Example explained.
Fig. 1 zeigt eine räumliche Darstellung einer Handhabungsvorrichtung, Fig. 1 shows a perspective view of a handling device,
Fig. 2 und Fig. 3 zeigen den Aufriß bzw. den Seitenriß des Oberteils der Handhabungsvorrichtung nach Fig. 1. FIG. 2 and FIG. 3 show the elevation and the side elevation of the upper part of the handling device according to FIG. 1.
In der räumlichen Darstellung nach Fig. 1 ist der Aufbau der Handha bungsvorrichtung erkennbar.In the spatial representation of FIG. 1, the structure of the handling device can be seen.
Ein vertikales Standgehäuse 1 ist auf dem Boden mit Spreizfüßen 2, die zur vertikalen Justierung mit Stütztellern 3 ausgestattet sind, auf stellbar. In dem Standgehäuse ist ein Rundsäulenpaar 4 zur Parallel führung längsverschieblich aufgenommen. An das Rundsäulenpaar ist am oberen Ende eine Aufnahmeeinrichtung mit Querhaupt 5, Gelenkarmen 6, 7 und eine Aufnahme 8 mit Kippvorrichtung 9 für einen Testkopf angebaut. Eine Gewindespindel 10 ist mit einem Handrad 11 in dem Querhaupt 5 dreh beweglich gelagert. Mit einer Klemme 12 ist die Gewindespindel im Quer haupt klemmbar.A vertical stand housing 1 is adjustable on the floor with spreading feet 2 , which are equipped with support plates 3 for vertical adjustment. In the standing housing, a pair of round columns 4 for parallel guidance is slidably received. At the upper end of the pair of round columns, a holding device with a crosshead 5 , articulated arms 6, 7 and a holding device 8 with a tilting device 9 for a test head are attached. A threaded spindle 10 is rotatably mounted with a handwheel 11 in the crosshead 5 . With a clamp 12 , the threaded spindle can be clamped in the cross at all.
Der weitere Aufbau ist aus den Fig. 2 und 3 ersichtlich:The further structure can be seen from FIGS. 2 and 3:
Das Rundsäulenpaar zur Parallelführung ist in dem Standgehäuse über die Lagerböcke 13 höhenverschieblich gelagert. Zur Lagerung sind Kugelum laufbuchsen oder Kunststoffgleitlager 14 geeignet. Die Flaschenzugrollen 15, 16 sind zweirollig symmetrisch ausgebildet. Die bewegliche Rolle 15 ist über eine Führungsplatte 17 auf den Rundsäulen höhenverschieblich gelagert. Die Gewindespindel ist zwischen Führungsplatte 17 und Querhaupt 5 befestigt, wobei die Gewindespindel in einer in der Führungsplatte befestigten Mutter schraubbar ist.The pair of round columns for parallel guidance is mounted in a height-adjustable manner in the standing housing via the bearing blocks 13 . Ball bearings or plastic plain bearings 14 are suitable for storage. The pulley blocks 15, 16 are symmetrical in two rollers. The movable roller 15 is mounted on the round columns in a height-displaceable manner via a guide plate 17 . The threaded spindle is fastened between the guide plate 17 and the crosshead 5 , the threaded spindle being screwable in a nut fastened in the guide plate.
Die feste Führungsrolle 16 ist ebenfalls zweirollig ausgeführt und mittels Achse 18 in dem Standgehäuse aufgenommen. Diese Achse ist mit den Klemmschrauben 19 in dem Standgehäuse klemmbar.The fixed guide roller 16 is also designed with two rollers and is received in the standing housing by means of axis 18 . This axis can be clamped with the clamping screws 19 in the standing housing.
In dem Standgehäuse sind Gegengewichte 20 vertikal beweglich angeordnet. Zum Auflegen oder Abnehmen der Gewichte ist in dem Standgehäuse eine Türe vorgesehen.Counterweights 20 are arranged so that they can move vertically in the standing housing. A door is provided in the stand housing for placing or removing the weights.
Die Gewichte sind über die feste Flaschenzugrolle und die lose Flaschen zugrolle mit einer doppelt angeordneten Rollenkette mit einem Justier schloß 21 an der Standsäule angelenkt. Das Justierschloß enthält eine Anordnung zur genauen Abstimmung der Kettenlänge. Die Aufhängung der Gewichte an der Rollenkette ist ebenfalls mittels Justierschlössern 21 in der Höhe korrigierbar.The weights are on the fixed pulley and the loose bottles zugrolle with a double roller chain with an adjustment lock 21 articulated on the pedestal. The adjustment lock contains an arrangement for precise adjustment of the chain length. The suspension of the weights on the roller chain can also be corrected in height by means of adjusting locks 21 .
Claims (9)
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---|---|
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Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19517330A1 (en) * | 1995-05-11 | 1996-11-14 | Heigl Helmuth | Handling device for tester heads of wafer testing machine |
EP0918598A1 (en) * | 1996-06-13 | 1999-06-02 | Genmark Automation, Inc. | Universally tiltable z axis drive arm |
DE4007011C2 (en) * | 1990-03-06 | 1999-11-18 | Helmuth Heigl | Positioning device |
US6271657B1 (en) | 1997-07-25 | 2001-08-07 | Advantest Corporation | Test head positioner for semiconductor device testing apparatus |
FR2806022A1 (en) * | 2000-03-13 | 2001-09-14 | Abb Barras Provence | Manipulator for aligning and docking a device for testing integrated circuits with a handling device containing the components under test has a servo-actuator to compensate for the mass of the test device |
DE19847855C2 (en) * | 1997-10-17 | 2003-07-10 | Janome Sewing Machine Co Ltd | Multi-joint robot |
WO2004031782A1 (en) * | 2002-10-02 | 2004-04-15 | Intest Ip Corp. | Test head positioning apparatus |
EP2114634A1 (en) * | 2007-02-23 | 2009-11-11 | Intest Corporation | Test head manipulator |
CN108927373A (en) * | 2018-07-04 | 2018-12-04 | 安徽思源三轻智能制造有限公司 | A kind of device gluing aluminium cleaning for hub mold |
CN109142909A (en) * | 2018-07-06 | 2019-01-04 | 安徽贝昂科技有限公司 | A kind of electronic test equipment micromatic setting |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE29709122U1 (en) * | 1997-05-23 | 1998-09-24 | Upat Gmbh & Co, 79312 Emmendingen | Device for screwing in fasteners |
DE102004026031B3 (en) * | 2004-05-27 | 2005-08-11 | Heigl, Helmuth, Dr.-Ing. | Handling device for positioning a test head on a testing device for testing integrated circuits comprises an adjusting unit which can be moved in the vertical direction by a drive spindle, and a counter plate |
DE102007024949B3 (en) * | 2007-05-30 | 2009-01-22 | Hubertus Heigl | Handling device for positioning a test head, in particular on a test device |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3113185A1 (en) * | 1981-04-01 | 1982-10-28 | Zahnradfabrik Friedrichshafen Ag, 7990 Friedrichshafen | Stop system, especially for handling devices |
US4588346A (en) * | 1982-08-25 | 1986-05-13 | Intest Corporation | Positioner for maintaining an object in a substantially weightless condition |
DE3524348C2 (en) * | 1985-07-08 | 1990-05-10 | Helmuth Dr.-Ing. 8208 Kolbermoor De Heigl |
-
1986
- 1986-05-27 DE DE19863617741 patent/DE3617741A1/en active Granted
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3113185A1 (en) * | 1981-04-01 | 1982-10-28 | Zahnradfabrik Friedrichshafen Ag, 7990 Friedrichshafen | Stop system, especially for handling devices |
US4588346A (en) * | 1982-08-25 | 1986-05-13 | Intest Corporation | Positioner for maintaining an object in a substantially weightless condition |
DE3524348C2 (en) * | 1985-07-08 | 1990-05-10 | Helmuth Dr.-Ing. 8208 Kolbermoor De Heigl |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
DD-B.: Dr. Ludwig Otto, "Der Mikromanipulator und seine Hilfsgeräte", VEB Verlag Technik, Berlin, 1954, S. 57 u. 58 * |
Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4007011C2 (en) * | 1990-03-06 | 1999-11-18 | Helmuth Heigl | Positioning device |
DE19517330C2 (en) * | 1995-05-11 | 2002-06-13 | Helmuth Heigl | handling device |
DE19517330A1 (en) * | 1995-05-11 | 1996-11-14 | Heigl Helmuth | Handling device for tester heads of wafer testing machine |
EP1529607A1 (en) * | 1996-06-13 | 2005-05-11 | Genmark Automation, Inc. | Universally tiltable elevator structure for positioning an apparatus for picking up an article |
EP0918598A1 (en) * | 1996-06-13 | 1999-06-02 | Genmark Automation, Inc. | Universally tiltable z axis drive arm |
EP0918598A4 (en) * | 1996-06-13 | 2000-02-23 | Genmark Automation Inc | Universally tiltable z axis drive arm |
US6271657B1 (en) | 1997-07-25 | 2001-08-07 | Advantest Corporation | Test head positioner for semiconductor device testing apparatus |
DE19833500B4 (en) * | 1997-07-25 | 2004-11-18 | Advantest Corp. | Test head positioning device for a semiconductor component test device |
DE19847855C2 (en) * | 1997-10-17 | 2003-07-10 | Janome Sewing Machine Co Ltd | Multi-joint robot |
FR2806022A1 (en) * | 2000-03-13 | 2001-09-14 | Abb Barras Provence | Manipulator for aligning and docking a device for testing integrated circuits with a handling device containing the components under test has a servo-actuator to compensate for the mass of the test device |
WO2004031782A1 (en) * | 2002-10-02 | 2004-04-15 | Intest Ip Corp. | Test head positioning apparatus |
EP2114634A1 (en) * | 2007-02-23 | 2009-11-11 | Intest Corporation | Test head manipulator |
EP2114634A4 (en) * | 2007-02-23 | 2010-11-17 | Intest Corp | Test head manipulator |
CN108927373A (en) * | 2018-07-04 | 2018-12-04 | 安徽思源三轻智能制造有限公司 | A kind of device gluing aluminium cleaning for hub mold |
CN109142909A (en) * | 2018-07-06 | 2019-01-04 | 安徽贝昂科技有限公司 | A kind of electronic test equipment micromatic setting |
CN109142909B (en) * | 2018-07-06 | 2020-11-27 | 芜湖久尚机电科技有限公司 | Fine adjustment device for electronic test equipment |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE3617741C2 (en) | 1993-05-27 |
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