DE3604313A1 - Leistungshalbleitermodul - Google Patents
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf ein Leistungshalbleiter
modul nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1. Ein solches
Leistungshalbleitermodul ist aus dem DE-GM 78 08 801 und
der DE-OS 32 41 508 bekannt. Das bekannte Leistungshalb
leitermodul besteht aus einem Kunststoffgehäuse, das am
Boden offen ist. Als Bodenfläche ist ein Keramiksubstrat
eingesetzt, das auf seiner Oberseite eine strukturierte
Metallisierung aufweist, auf die Leistungshalbleiterbau
elemente und elektrische Verbindungselemente für modul
interne Verbindungen aufgelötet sind. Außerdem sind auf
der Metallisierung des Substrats Anschlußelemente für
äußere Anschlüsse angelötet. Solche äußeren Anschlüsse
sind sowohl laststromführende Hauptanschlüsse als auch
Steueranschlüsse für die Ansteuerung von gesteuerten
Leistungshalbleiterbauelementen. Alle diese äußeren An
schlüsse sind auf der Oberseite des Moduls angeordnet.
Deshalb sind die Anschlußelemente für diese Anschlüsse
im wesentlichen senkrecht nach oben geführt.
Gemäß bekannten Verfahren zur Herstellung solcher Module
werden in einem ersten Schritt die Leistungshalbleiter
bauelemente und die Anschlußelemente für äußere An
schlüsse auf dem Substrat angelötet. In einem zweiten
Schritt werden beispielsweise mit Hilfe einer Drahtbond
einrichtung interne Verbindungsleitungen hergestellt. Je
nach Anordnung der Anschlußelemente und der Halbleiter
bauelemente auf dem Substrat können die hohen, senkrecht
auf dem Substrat stehenden und angelöteten Anschlußele
mente dem Bondwerkzeug im Wege sein. Um diesem Problem
abzuhelfen, wurde bereits vorgeschlagen, die Anschluß
elemente zunächst flach liegend anzulöten und erst nach
dem Bondvorgang nach oben zu biegen, also erst vor dem
Einsetzen des fertig bestückten und verdrahteten Sub
strats in das Kunststoffgehäuse. Es zeigte sich jedoch,
daß die mechanische Beanspruchung des Substrats und der
Lötstellen an den Anschlußelementen durch das Biegen der
Anschlußelemente zu Schäden führen kann. Deshalb wurde
in der Patentanmeldung DE 34 40 925 vorgeschlagen, fle
xible Anschlußelemente aus Fiederblechstreifen vorzuse
hen. Mit solchen Fiederblechstreifen lassen sich außer
dem auf einfache Weise sogenannte außenliegende An
schlüsse herstellen. Damit sind Anschlüsse gemeint, de
ren Projektion von oben auf das Substrat gesehen außer
halb der Substratfläche liegt. Das trifft z.B. auf die
in Fig. 6 der Patentanmeldung 34 40 925 dargestellten
Steueranschlüsse zu. Allerdings sind nach dem Anlöten
der flexiblen Blechstreifen während der Herstellung des
Moduls noch weitere Arbeitsschritte erforderlich, näm
lich Biege- und Schweißschritte bzw. Lötschritte, die
spezieller Vorrichtungen bedürfen und Ursache für Be
schädigungen des Moduls sein können. Vor dem Vergießen
des Moduls mit Weich- und Hartverguß sind außerdem die
Blechstreifen neu auszurichten, um ihre Position mit den
vorgegebenen Abmessungen im Gehäuse in Übereinstimmung
zu bringen. Außerdem erfordern flexible Anschlußelemen
te, beispielsweise die gemäß Fig. 6 der Patentanmeldung
34 40 925 um 90° gedrehten Fiederblechstreifen größere
Abstände zu anderen Bestückungselementen. In mit Bestüc
kungselementen dicht bepackten Modulen können deshalb
flexible Anschlußelemente nicht immer Anwendung finden.
In diesen Fällen müssen starre, speziell geformte An
schlußelemente für außenliegende Anschlüsse vorgesehen
werden. Dabei kann jedoch die Schwierigkeit auftreten,
daß sich das fertig bestückte und gelötete Substrat
nicht mehr in das Kunststoffgehäuse einsetzen läßt. Das
bedeutet, daß bestimmte, z.B. im Hinblick auf wünschens
werte große Abstände zwischen den Haupt- und Steueran
schlüssen oder im Hinblick auf hohe mechanische Festig
keit günstige Anordnungen nicht herstellbar sind.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die genannten
Schwierigkeiten durch eine geeignete Modulgestaltung und
ein geeignetes Herstellverfahren zu überwinden.
Diese Aufgabe wird gelöst durch ein Leistungshalbleiter
modul nach dem Anspruch 1 sowie gemäß Anspruch 5 durch
ein Verfahren zur Herstellung eines Leistungshalbleiter
moduls nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1. Vorteil
hafte Ausgestaltungen sind in Unteransprüchen angegeben.
Mit der Erfindung wird vorgeschlagen, Anschlußelemente
für äußere Anschlüsse, soweit sie während des Drahtbon
dens oder beim Einsetzen des bestückten Substrats in das
Kunststoffgehäuse stören, erst nach dem Einbau des Sub
strats einzusetzen.
Bei einer bevorzugten Modulgestaltung werden an den An
schlußstellen auf dem Substrat Steckhülsen angeordnet,
in die später Anschlußelemente eingesteckt werden. Es
ist jedoch auch möglich, auf solche Steckhülsen zu ver
zichten und die nachträglich zu befestigenden Anschluß
elemente in einem zweiten Lötschritt am Substrat anzu
löten. Beide Varianten haben den Vorteil, daß die nach
träglich einzusetzenden Anschlußelemente beim Drahtbon
den nicht stören und daß bezüglich der Gehäusegestal
tung, der Anschlußelemente-Anordnung und der Möglich
keiten zur Formgebung bei den Anschlußelementen im Ver
gleich zu Modulen nach dem Stand der Technik wenige Ein
schränkungen bestehen.
Die Erfindung wird anhand eines Ausführungsbeispiels und
der Zeichnung näher erläutert.
Es zeigt:
Fig. 1 eine Draufsicht auf ein Leistungshalbleiter
modul, wobei der Gehäusedeckel entfernt ist,
Fig. 2 eine Seitenansicht des Leistungshalbleiter
moduls in der in Fig. 1 eingetragenen Schnitt
ebene A-B,
Fig. 3 eine im Modul eingesetzte Steckhülse und
Fig. 4 ein Anschlußelement für einen Steueranschluß.
Fig. 1 zeigt in Draufsicht ein Leistungshalbleitermodul,
dessen Gehäusedeckel abgenommen ist. Das Modul besteht
aus einem Kunststoffgehäuse 1 und einem Keramiksubstrat
2, das in eine Öffnung am Boden des Gehäuses 1 einge
setzt ist. Dies ist aus Fig. 2 deutlicher zu ersehen.
Fig. 2 zeigt eine Seitenansicht, in der in Fig. 1 ein
getragenen Schnittebene A-B.
Das Substrat 2 ist in das Gehäuse 1 eingeklebt. Zur Auf
nahme von Klebstoffresten weist das Gehäuse 1 eine Nut 3
auf. Auf der Unterseite weist das Substrat 2 eine durch
gehende Metallschicht 4 auf. Das Substrat 2 ist so in
eine Vertiefung des Gehäusebodens eingesetzt, daß es ge
ringfügig aus der Bodenfläche herausragt, wodurch ein
ausreichender Anpreßdruck bei Montage auf einen Kühlkör
per erzielt wird. Auf der Oberseite trägt das Substrat
eine strukturierte Metallisierung 5, auf die Halbleiter
bauelemente 6 und Verbindungselemente 7 in Form von Bü
geln oder Clips für interne Verbindungen aufgelötet
sind. Außerdem sind mit einem Drahtbonder hergestellte
Verbindungsleitungen 8 zwischen Halbleiterbauelementen 6
und der strukturierten Metallisierung 5 zu erkennen.
Weiterhin sind in Fig. 1 auf der strukturierten Metalli
sierung 5 Anschlußpunkte 9 zu erkennen, an denen nicht
dargestellte Anschlußelemente für Hauptanschlüsse ange
lötet werden. Schließlich sind auf der strukturierten
Metallisierung 5 Steckhülsen 10 angelötet, in die an An
schlußelemente 11 angeformte Stecker 12 eingesteckt
sind. An das Anschlußelement 11 ist außerdem ein nach
oben aus dem Gehäuse 1 herausgeführter Steueranschluß 13
angeformt. Weiterhin ist an das Anschlußelement 11 eine
nach unten weisende Verlängerung 14 des Steueranschlus
ses 13 angeformt, die in eine Tasche 15 des Gehäuses 1
gesteckt ist. Das aus einem z.B. 0,8 mm dicken Messing
blech hergestellte Anschlußelement 11 ist in Fig. 4 ver
größert dargestellt. Das Anschlußelement 11 wird somit
an drei Stellen geführt, nämlich in der Durchführungs
öffnung für den Stecker 13 am Gehäusedeckel, in der
Steckhülse 10 und in der Tasche 15 des Gehäuses 1, wobei
die Tasche 15 sowohl eine seitliche Führung als auch
einen Anschlagpunkt bei Druck von oben auf den Stecker
13 bietet. Bei dem Stecker 13 handelt es sich um einen
sogenannten außenliegenden Anschluß, da seine Projektion
auf die Ebene des Substrats 2 außerhalb der Substrat
fläche liegt.
Das rechteckförmige Kunststoffgehäuse 1 weist auf seinen
beiden Schmalseiten Befestigungsflansche 16 mit Bohrun
gen 17 für Befestigungsschrauben auf. Im Bereich der
Flansche 16 sind Schlitze 18 vorgesehen, um die Übertra
gung von mechanischen Spannungen aus dem Bereich der Be
festigungsschrauben auf das Substrat 1 zu verhindern.
Die Befestigungsflansche 16 liegen jeweils zwischen zwei
Gehäusekammern 19, die jeweils zwei Taschen 15 aufwei
sen. Das Gehäuse 1 ist somit zur Aufnahme von bis zu
acht Anschlußelementen 11 mit Steueranschlüssen 13 ge
eignet.
Fig. 3 zeigt die Steckhülse 10, die z.B. aus einem etwa
0,2 mm dicken und etwa 3 mm breiten Metallstreifen, z.B.
aus Federbronze hergestellt sein kann. Die Steckhülse 10
weist einen Dehnungsbogen 20 auf.
Zur Herstellung des Moduls wird zunächst das mit der
strukturierten Metallisierung 5 versehene und vorbelo
tete Substrat 2 mit den Steckhülsen 10, den Halbleiter
bauelementen 6, den Verbindungselementen 7 und Anschluß
elementen für Hauptanschlüsse bestückt und gelötet. Die
Anschlußelemente für die Hauptanschlüsse behindern bei
der gewählten Anordnung nicht die weiteren Arbeits
schritte. Im nächsten Schritt werden mit einem Draht
bonder Verbindungsleitungen 8 zwischen den Halbleiter
bauelementen 6 und der strukturierten Metallisierung 5
hergestellt. Die z.B. nur 6 mm hohen Steckhülsen 10 stö
ren dabei nicht. Anschließend wird das soweit fertigge
stellte Substrat 2 in das Gehäuse 1 eingesetzt und dabei
mit dem Gehäuse 1 verklebt. Schließlich werden die An
schlußelemente 11 zur Herstellung der Steueranschlüsse
10 von oben in das Kunststoffgehäuse 1 eingesteckt, d.h.
jeweils mit ihrem Stecker 12 in die Steckhülse 10 und
mit ihrer Verlängerung 14 in eine Tasche 15 gesteckt.
Zur zusätzlichen Sicherung des Kontaktes zwischen Stec
ker 12 und Steckhülse 10 kann der Stecker 12 vor dem
Einstecken in die Steckhülse 10 in einen elektrisch lei
tenden Kleber getaucht werden. Der Dehnungsbogen 20 un
terhalb der Steckhülse 10 sorgt für eine Zugentlastung
der Klebeverbindung. Geeignet ist ein nickel- oder koh
lenstoffgefüllter Kleber. Falls eine Steckverbindung bei
einem Anschlußelement für einen Hauptanschluß vorgesehen
ist, ist ein silberhaltiger Kleber vorzuziehen, der eine
höhere Leitfähigkeit aufweist.
Alternativ zu dem oben beschriebenen Herstellverfahren
für einen Modul mit gesteckten Anschlußelementen 11 kann
auch nachstehendes Herstellverfahren angewendet werden,
wobei keine Steckverbindung erforderlicht ist. Dabei
wird im ersten Schritt wie zuvor das Substrat 2 bestückt
und gelötet, allerdings werden keine Steckhülsen 10 ein
gesetzt. Im zweiten Schritt werden wie zuvor Verbin
dungsleitungen 8 mit einem Drahtbonder hergestellt und
das Substrat 2 anschließend in das Gehäuse 1 eingeklebt.
Danach folgt ein weiterer Lötvorgang bei z.B. 200°C,
wobei Anschlußelemente 11 mit Hilfe von niedrig
schmelzendem Lot an den vorgesehenen Stellen auf der
Metallisierung 5 des Substrats 2 angelötet werden. Die
Kontaktstellen sind dabei vorbelotet. Das Kunststoffge
häuse 1 wird während dem zweiten Lötvorgang zwar der
Löttemperatur ausgesetzt, nimmt dabei jedoch keinen
Schaden.
Claims (5)
1. Leistungshalbleitermodul mit einem Kunststoffge
häuse und mit Anschlußelementen für äußere Haupt- und
Steueranschlüsse, wobei in die Bodenfläche des Kunst
stoffgehäuses ein Keramiksubstrat eingesetzt ist, das
mindestens auf seiner Oberseite mit einer strukturierten
Metallisierung versehen und mit Halbleiterbauelementen
bestückt ist, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens
eines der Anschlußelemente (11) für äußere Anschlüsse
(13) über eine aus einer Steckhülse (10) und einem Stec
ker (12) bestehende Steckvorrichtung mit der Metallisie
rung (5) des Keramiksubstrats (2) verbunden ist.
2. Leistungshalbleitermodul nach Anspruch 1, da
durch gekennzeichnet, daß die Steckvorrichtung (10,12)
eine Steckhülse (10) aus federndem Metall aufweist.
3. Leistungshalbleitermodul nach Anspruch 2, da
durch gekennzeichnet, daß an die Steckhülse (10) ein
Dehnungsbogen (20) angeformt ist.
4. Leistungshalbleitermodul nach einem der Ansprü
che 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß in die Steck
hülse (10) der an das für einen Steueranschluß (13) vor
gesehene Anschlußelement (11) angeformte Stecker (12)
gesteckt ist, wobei die Projektion des Steueranschlusses
(13) auf die Ebene des Keramiksubstrats (2) außerhalb
der Fläche des Keramiksubstrats (2) liegt.
5. Verfahren zur Herstellung eines Leistungshalb
leitermoduls nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1, ge
kennzeichnet durch die Verfahrensschritte:
- a) Bestücken und Verlöten des Substrats (2) mit Halb leiterbauelementen (6), Verbindungselementen (7) und gegebenenfalls einem Teil der insgesamt benö tigten Anschlußelemente,
- b) Herstellung - soweit erforderlich - von internen Verbindungsleitungen (8) mit einem Drahtbonder, Einsetzen und Verkleben des bestückten und verlö teten Substrats (2) in das Kunststoffgehäuse (1),
- c) Einsetzen von mit niedrigschmelzendem Lot vorbelo teten Anschlußelementen (11) in das Modul und Durchführung einer zweiten Lötung bei gegenüber dem Schritt a) verringerter Löttemperatur.
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