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DE3581755D1 - Behandlungsverfahren fuer integrierte schaltungen durch photolithographie. - Google Patents

Behandlungsverfahren fuer integrierte schaltungen durch photolithographie.

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Publication number
DE3581755D1
DE3581755D1 DE8585114615T DE3581755T DE3581755D1 DE 3581755 D1 DE3581755 D1 DE 3581755D1 DE 8585114615 T DE8585114615 T DE 8585114615T DE 3581755 T DE3581755 T DE 3581755T DE 3581755 D1 DE3581755 D1 DE 3581755D1
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DE
Germany
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photolithography
integrated circuits
treatment method
treatment
circuits
Prior art date
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Expired - Lifetime
Application number
DE8585114615T
Other languages
English (en)
Inventor
James R Sheats
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
HP Inc
Original Assignee
Hewlett Packard Co
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Publication date
Application filed by Hewlett Packard Co filed Critical Hewlett Packard Co
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Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

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    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004—Photosensitive materials
    • G03F7/09—Photosensitive materials characterised by structural details, e.g. supports, auxiliary layers
    • G03F7/095—Photosensitive materials characterised by structural details, e.g. supports, auxiliary layers having more than one photosensitive layer

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  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
  • Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
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DE8585114615T 1984-11-19 1985-11-18 Behandlungsverfahren fuer integrierte schaltungen durch photolithographie. Expired - Lifetime DE3581755D1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US06/673,243 US4705729A (en) 1984-11-19 1984-11-19 Method for photochemically enhancing resolution in photolithography processes

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE3581755D1 true DE3581755D1 (de) 1991-03-21

Family

ID=24701863

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE8585114615T Expired - Lifetime DE3581755D1 (de) 1984-11-19 1985-11-18 Behandlungsverfahren fuer integrierte schaltungen durch photolithographie.

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US (1) US4705729A (de)
EP (1) EP0182332B1 (de)
JP (1) JPS61122644A (de)
DE (1) DE3581755D1 (de)

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