DE3424789C1

DE3424789C1 - Use of a position-sensitive analog radiation detector and device for determining the position of a radiation spot

Info

Publication number: DE3424789C1
Application number: DE19843424789
Authority: DE
Inventors: Bernhard F. Dr. Balgach Gächter
Original assignee: Wild Heerbrugg AG
Current assignee: Leica Geosystems AG
Priority date: 1984-04-25
Filing date: 1984-07-05
Publication date: 1985-07-04
Also published as: CH667742A5

Abstract

A radiation detector of the so-called subdivided or sector type can be used as a radiation detector of the so-called lateral or wallmark type for the purpose of analogue specification of the position of a spot of radiation on an axis lying in a detection plane. A device for determining the position of a spot of radiation in a detection plane of a position-sensitive analogue radiation detector comprises: a radiation detector which is subdivided into detection ranges and is provided in each case with a detection electrode assigned to a detection range and with a base electrode assigned in common to all detection ranges, the detection ranges being split in pairs by a narrow strip-shaped intermediate zone; a circuit for forming a difference value which represents the difference between two photocurrents flowing through one detection electrode each; a circuit for forming an aggregate value which represents the sum of all the photocurrents flowing between the detection electrodes and the base electrode; and a circuit for forming a standardised output signal which represents the quotient of the division of the difference value by the aggregate value. <IMAGE>

Description

Die Erfindung betrifft die Verwendung eines Strahlungsdetektors des sogenannten unterteilten oder Sektoren-Typs als Strahlungsdetektor des sogenannten lateralen oder Wallmark-Typs zur Analogangabe der Position eines Strahlungsflecks auf einer in einer Detektionsebene liegenden Achse sowie eine Vorrichtung zur Bestimmung der Position eines Strahlungsflecks in einer Detektionsebene eines positionsempfindlichen analogen Strahlungsdetektors.The invention relates to the use of a radiation detector of the so-called subdivided or sectored type as radiation detector of the so-called lateral or Wallmark type for the analog indication of the position of a radiation spot on a detection plane lying axis and a device for determining the position of a radiation spot in a Detection plane of a position-sensitive analog radiation detector.

Strahlungsdetektoren des sogenannten unterteilten oder Sektoren-Typs sind beispielsweise aus der DE-PS 09 563 bekannt. Sie sind in Detektionsbereiche unterteilt, die paarweise durch eine schmale bandförmige Zwischenzone getrennt sind; ferner sind sie mit Detektionselektroden versehen, die je einem Detektionsbereich zugeordnet sind, und mit einer Basiselektrode versehen, die allen Detektionsbereichen gemeinsam zugeordnet ist.Radiation detectors of the so-called subdivided or sector type are for example from DE-PS 09 563 known. They are divided into detection areas, which are paired by a narrow band-shaped Intermediate zone are separated; They are also provided with detection electrodes, each with a detection area are assigned, and provided with a base electrode which is assigned to all detection areas in common is.

Strahlungsdetektoren des sogenannten lateralen oder Wallmark-Typs sind bekannt und beispielsweise in der Abhandlung von Fieret, Kwakernaak und Middlehoek in Electronic Letters, Vol. 13 (1977), Heft 14, Seiten 422—424 beschrieben. Sie sind so beschaffen, daß eine örtliche Bestrahlung ihrer Detektionsebene in dieser Ebene eine entsprechende Verteilung eines elektrischen Feldes erzeugt, die mit in der Detektionsebene angeordneten Elektroden und einer geeigneten Schaltung erfaßt werden kann, um die bestrahlte Stelle zu orten. Sie weisen keine zu ihrem Betrieb erforderliche Basiselektrode auf.
In der Distanzmessung sind elektrooptische Methoden weit verbreitet, für die Richtungsbestimmung wurden sie bis heute selten verwendet. Die meisten Methoden zur elektrooptischen Richtungsbestimmung beruhen auf der Bestimmung der Position eines Strahlungsflecks in einer Detektionsebene eines Strahlungsdetek- tors.Radiation detectors of the so-called lateral or Wallmark type are known and are described, for example, in the paper by Fieret, Kwakernaak and Middlehoek in Electronic Letters, Vol. 13 (1977), No. 14, pages 422-424. They are designed so that a local irradiation of their detection plane in this plane produces a corresponding distribution of an electric field, which can be detected with electrodes arranged in the detection plane and a suitable circuit in order to locate the irradiated point. They do not have a base electrode required for their operation.
Electro-optical methods are widespread in distance measurement and have rarely been used to determine direction until today. Most methods for electro-optical direction determination are based on the determination of the position of a radiation spot in a detection plane of a radiation detector.

Bei einer beispielsweise aus der DE-PS 24 09 563 bekannten Methode zur Bestimmung der Position des Strahlungsflecks in der Detektionsebene benutzt man einen Strahlungsdetektor mit mindestens zwei Detektionsbereichen, die, durch eine schmale bandförmige Zwischenzone getrennt, nahe beieinander auf einem Substrat angeordnet sind. Der Strahlungsfleck muß dabei mindestens zwei Detektionsbereiche erfassen. Diese erzeugen je einen Photostrom, der dem auf den betreffenden Detektionsbereich fallenden Teil der Strahlung proportional ist/Bildet man die Differenz der Photoströme zweier Detektionsbereiche, auf die die Strahlung fällt, und dividiert man diese Differenz durch die Summe der Photoströme, so erhält man einen Wert, der die Position des Strahlungsflecks in bezug auf die Mittellinie der Zwischenzone darstellt. Dieser Wert kann im übrigen als Signal benutzt werden, um den Strahlungsdetektor gegenüber den Strahlungsfleck so zu verschieben, daß die Differenz der Photoströme gleich Null wird. Aus der Position des Strahlungsdetektors kann auf die Position des Strahlungsflecks geschlossen werden.In a method known for example from DE-PS 24 09 563 for determining the position of the Radiation spots in the detection plane use a radiation detector with at least two detection areas, which, separated by a narrow band-shaped intermediate zone, close together on one Substrate are arranged. The radiation spot must cover at least two detection areas. These each generate a photocurrent that corresponds to the part of the radiation falling on the relevant detection area is proportional / if one forms the difference of the photocurrents of two detection areas on which the radiation falls, and one divides this difference by the sum of the photocurrents, one obtains a value which is the Represents the position of the radiation spot in relation to the center line of the intermediate zone. This value can be used in the rest are used as a signal to move the radiation detector relative to the radiation spot in such a way that that the difference in the photocurrents is zero. From the position of the radiation detector, on the position of the radiation spot can be closed.

Ein Nachteil dieser Methode und der dazu verwendeten Vorrichtung ist, daß der Strahlungsfleck viel größer als die Breite der Zwischenzone sein muß, wenn die Positionsregelung eindeutig und ohne Totstrecke sein soll. Ein weiterer Nachteil ist, daß der Dynamikbereich der Auslenkung des Strahlungsflecks etwa gleich dem Durchmesser des Strahlungsflecks ist. Wird der Strahlungsfleck um mehr als einen halben Durchmesser von der Mittellinie der Zwischenzone ausgelenkt, so tritt Sättigung ein und das die Auslenkung darstellende Signal bleibt bei jeder weiteren Auslenkung konstant. Zudem variiert das Signal auch über den Dynamikbereich nicht linear mit der Auslenkung des Strahlungsflecks, so daß eine solche Vorrichtung zwar zum Nullabgleich und zur Positionsregelung, jedoch nicht zur direkten Messung der Position des Strahlungsflecks geeignet ist.A disadvantage of this method and the device used for it is that the radiation spot is much larger than the width of the intermediate zone must be if the position control is clear and without dead distance target. Another disadvantage is that the dynamic range of the deflection of the radiation spot is approximately equal to that Is the diameter of the radiation spot. If the radiation spot is more than half a diameter of If the center line of the intermediate zone is deflected, then saturation occurs and the signal representing the deflection remains constant with every further deflection. In addition if the signal does not vary linearly with the deflection of the radiation spot even over the dynamic range, see above that such a device is used for zero balancing and position control, but not for direct measurement the position of the radiation spot is suitable.

Zur Bestimmung der Position eines Strahlungsflecks, dessen Durchmesser kleiner ist als die Breite der Zwischenzöne, wurde beispielsweise in der CH-PS 6 08 626 vorgeschlagen, die Totstrecke mit Hilfe einer speziellen Optik zu überbrücken. Diese Lösung ist sehr aufwendig. Eine andere Lösung wurde beispielsweise in der DE-PS 24 09 563 vorgeschlagen und besteht darin, den Strahlungsfleck durch Defokussierung, Vervielfachung mit seitlicher Verschiebung, Streuung oder ähnlichen Maßnahmen zu vergrößern. Dadurch wird aber die Empfindlichkeit der Positionsbestimmung beeinträchtigt, weil das dem Detektorrauschen äquivalente Auslenken des Strahlungsflecks dem Durchmesser des Strahlungsflecks proportional ist. To determine the position of a radiation spot whose diameter is smaller than the width of the intermediate zones, was proposed, for example, in CH-PS 6 08 626, the dead distance with the help of a special Bridge optics. This solution is very complex. Another solution was, for example, in DE-PS 24 09 563 proposed and consists in the radiation spot by defocusing, multiplication with to increase lateral displacement, scattering or similar measures. But this increases the sensitivity the position determination is impaired because the deflection of the detector noise equivalent to the Radiation spot is proportional to the diameter of the radiation spot.

Zur Bestimmung der Position eines Strahlungsflecks in einer Detektionsebene benutzt man in einer anderen bekannten Methode einen Strahlungsdetektor des sogenannten lateralen oder Wallmark-Typs. In diesem Zusammenhang wird beispielsweise auf die Abhandlung von Peterson in IEEE Journal of Solid State Circuits SC-13, No. 3, June 1978, Seite 392 verwiesen. Bei Wall-To determine the position of a radiation spot in one detection plane, use is made in another known method a radiation detector of the so-called lateral or Wallmark type. In this context see, for example, Peterson's paper in the IEEE Journal of Solid State Circuits SC-13, No. 3, June 1978, p.392. At Wall-

mark-Strahlungsdetektoren ist die dem Detektorrauschen äquivalente Auslenkung des Strahlungsflecks proportional zur Länge des Strahlungsdetektors in einer zur Auslenkung parallelen Richtung, während sie vom Durchmesser des Strahlungsflecks unabhängig ist. Die Linearität eines Wallmark-Strahlungsdetektors ist sehr gut, das Signal ist als Information über die Position des Strahlungsflecks ohne Korrektur verwendbar. Allerdings muß der Durchmesser des Strahlungsflecks wesentlich kleiner sein als die genannte Länge, so daß der Dynamikbereich der Auslenkung des Strahlenflecks etwa gleich der genannten Länge ist. Daraus ergibt sich der Nachteil, daß Wallmark-Strahlungsdetektoren im allgemeinen weniger empfindlich sind als Strahlungsdetektoren des sogenannten unterteilten oder Sektoren-Typs. mark radiation detectors is the detector noise equivalent deflection of the radiation spot proportional to the length of the radiation detector in a direction parallel to the deflection, while it is independent of the diameter of the radiation spot. The linearity of a Wallmark radiation detector is very good, the signal is as information about the position of the radiation spot can be used without correction. However, the diameter of the radiation spot must be substantial be smaller than the length mentioned, so that the dynamic range of the deflection of the beam spot is approximately is equal to the length mentioned. This has the disadvantage that Wallmark radiation detectors in the are generally less sensitive than radiation detectors of the so-called segmented or sectored type.

Zur Bestimmung der Position eines Strahlungsflecks in einer Detektionsebene benutzt man in einer noch anderen bekannten Methode das Prinzip der Modulation der Strahlung durch kontinuierlich veränderte Überlagerung zweier identischer periodischer Strukturen, beispielsweise der Strukturen eines Zielbildes und eines Rasters. Ein Beispiel einer solchen Methode wird in der CH-PS 6 38 057 vorgeschlagen. Nachteilig ist dabei der erforderliche große Aufwand an mechanischen und elektronischen Vorrichtungen.To determine the position of a radiation spot in a detection plane, one also uses one other known method the principle of modulation of the radiation by continuously changing it Superposition of two identical periodic structures, for example the structures of a target image and of a grid. An example of such a method is proposed in CH-PS 6 38 057. This is disadvantageous the great expense required for mechanical and electronic devices.

Aufgabe der Erfindung ist, bei der Bestimmung der Position eines Strahlungsflecks in einer Detektionsebene die Vorteile der Sektoren-Strahlungsdetektoren, insbesondere ihre bessere Empfindlichkeit, mit den Vorteilen der Wallmark-Strahlungsdetektoren, insbesondere ihre bessere Linearität, zu kombinieren.The object of the invention is to determine the position of a radiation spot in a detection plane the advantages of the sector radiation detectors, in particular their better sensitivity, with the advantages of Wallmark radiation detectors, especially their better linearity.

Die Lösung dieser Aufgabe geht aus von der Beobachtung, daß bei einigen Sektoren-Strahlungsdetektoren auch die Zwischenzone strahlungsempfindlich ist. Bei der Erforschung der Eigenschaften dieser besonderen Strahlungsdetektoren wurde gefunden, daß ein Photostrom zwischen zwei Detektionselektroden fließt, wenn der Durchmesser des Strahlungsflecks viel kleiner ist als die Breite der Zwischenzone und der Schwerpunkt des in bezug auf die Strahlungsintensität gewichteten Strahlungsflecks nicht auf der Mittellinie der Zwischenzone liegt. Es wurden Strahlungsdetektoren der genannten Art gefunden, bei denen der Photostrom sowohl der auf die Zwischenzone fallenden Strahlungsintensität als auch dem Abstand zwischen der Mittellinie der Zwischenzone und dem Schwerpunkt des in bezug auf die Strahlungsintensität gewichteten Strahlungsflecks proportional ist. Der Photostrom ist aber unabhängig vom Durchmesser des Strahlungsflecks, solange dieser Durchmesser, wie erwähnt, viel kleiner ist als die Breite der Zwischenzone. Die Linearität des Signals ist noch besser, wenn als Signal anstelle des Differenzwerts, der die Differenz von zwei durch je eine Detektionselektrode fließenden Photoströmen darstellt, ein normiertes Ausgangssignal verwendet wird. Dazu wird die Summe aller zwischen den Detektionselektroden und der Basiselektrode fließenden Photoströme gebildet, und als normiertes Ausgangssignal wird der Quotient des Differenzwerts durch den Summenwert verwendet. Eine solche Normierung ist bekannt und beispielsweise im bereits zitierten Patent DE-24 09 563 erwähnt; entsprechende Schaltungen zur Durchführung dieser Normierung sind also bekannt und brauchen nicht näher beschrieben zu werden. Es wurden Sektoren-Strahlungsdetektoren gefunden, bei denen das normierte Ausgangssignal über einen großen Teil der Zwischenzone eine lineare Funktion der Auslenkung des Schwerpunktes des Strahlungsflecks ist, während der Dynamikbereich der Auslenkung die ganze Breite des Strahlungsdetektors, d.h. die beiden Detektionsbereiche und die Zwischenzone umfaßt. Erfindungsgemäß hat sich aus diesen Betrachtungen überraschenderweise ergeben, daß ein Strahlungsdetektor des sogenannten unterteilten oder Sektoren-Typs als Strahlungsdetektor des sogenannten lateralen oder Wallmark-Typs zur Analogangabe der Position eines Strahlungsflecks auf einer in einer Detektionsebene liegenden Achse verwendbar ist.The solution to this problem is based on the observation that in some sector radiation detectors the intermediate zone is also sensitive to radiation. In researching the properties of this particular Radiation detectors have found that a photocurrent flows between two detection electrodes, when the diameter of the radiation spot is much smaller than the width of the intermediate zone and the center of gravity of the radiation spot weighted with respect to the radiation intensity is not on the center line of the intermediate zone lies. Radiation detectors of the type mentioned have been found in which the photocurrent both the radiation intensity falling on the intermediate zone as well as the distance between the center line is proportional to the intermediate zone and the center of gravity of the radiation spot weighted with respect to the radiation intensity. However, the photocurrent is independent on the diameter of the radiation spot, as long as this diameter, as mentioned, is much smaller than that Width of the intermediate zone. The linearity of the signal is even better if as a signal instead of the difference value, which represents the difference between two photocurrents flowing through one detection electrode each normalized output signal is used. This is done by adding the sum of all between the detection electrodes and the base electrode formed photocurrents flowing, and as a normalized output signal, the quotient of the difference value is used by the sum value. Such a normalization is known and for example mentioned in the patent DE-24 09 563 already cited; corresponding circuits for implementation this normalization are therefore known and do not need to be described in more detail. There were sector radiation detectors found where the normalized output signal covers a large part of the intermediate zone is a linear function of the deflection of the center of gravity of the radiation spot during the Dynamic range of deflection over the entire width of the radiation detector, i.e. the two detection areas and comprises the intermediate zone. According to the invention, it has surprisingly emerged from these considerations that a radiation detector of the so-called subdivided or sectored type as radiation detector of the so-called lateral or Wallmark type for the analog indication of the position of a radiation spot on a detection plane lying axis can be used.

Eine Vorrichtung zur Bestimmung der Position eines Strahlungsflecks auf einer in einer Detektionsebene liegenden Achse eines positionsempfindlichen analogen Strahlungsdetektors ist gekennzeichnet durch die im Anspruch 2 angegebene Kombination von Merkmalen. Eine bevorzugte Ausbildung der Vorrichtung ergibt sich aus dem abhängigen Anspruch 3.A device for determining the position of a radiation spot on a plane lying in a detection plane The axis of a position-sensitive analog radiation detector is characterized by the im Claim 2 specified combination of features. A preferred embodiment of the device results from the dependent claim 3.

Im folgenden werden Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand von Zeichnungen näher erläutert. Es zeigt F i g. 1 bei einem für die erfindungsgemäße Verwendung geeigneten Strahlungsdetektor eine graphische Darstellung des Differenzwerts als Funktion der Position des Strahlungsflecks,The following are exemplary embodiments of the invention explained in more detail with reference to drawings. It shows F i g. 1 in one for the use according to the invention suitable radiation detector a graphical representation of the difference value as a function of position the radiation spot,

F i g. 2 bei einem für die erfindungsgemäße Verwendung geeigneten Strahlungsdetektor eine graphische Darstellung des Summenwerts als Funktion der Position des Strahlungsflecks,
F i g. 3 bei einem für die erfindungsgemäße Verwendung geeigneten Strahlungsdetektor eine graphische Darstellung des normierten Ausgangssignals als Funktion der Position des Strahlungsflecks,F i g. 2 in a radiation detector suitable for the use according to the invention, a graphical representation of the total value as a function of the position of the radiation spot,
F i g. 3 in a radiation detector suitable for the use according to the invention, a graphical representation of the normalized output signal as a function of the position of the radiation spot,

F i g. 4 bei einem für die erfindungsgemäße Verwendung ungeeigneten Strahlungsdetektor eine graphische Darstellung des Differenzwerts als Funktion der Position des Strahlungsflecks,F i g. 4 shows a graph in a radiation detector unsuitable for the use according to the invention Representation of the difference value as a function of the position of the radiation spot,

F i g. 5 bei einem für die erfindungsgemäße Verwendung ungeeigneten Strahlungsdetektor eine graphische Darstellung des Summenwerts als Funktion der Position des Strahlungsflecks,F i g. 5 a graphical illustration of a radiation detector unsuitable for the use according to the invention Representation of the total value as a function of the position of the radiation spot,

F i g. 6 bei einem für die erfindungsgemäße Verwendung ungeeigneten Strahlungsdetektor eine graphische Darstellung des normierten Ausgangssignals als Funktion der Position des Strahlungsflecks.F i g. 6 a graphical illustration of a radiation detector unsuitable for the use according to the invention Representation of the normalized output signal as a function of the position of the radiation spot.

In allen Figuren wird die gleiche Darstellungsart verwendet. Auf der Abszisse wird der Abstand zwischen der Mittellinie der Zwischenzone und dem im vorstehenden definierten Schwerpunkt des Strahlungsflecks aufgetragen; der Abstand Null liegt in der Mitte des Diagramms und die Auslenkung des Strahlungsflecks erfolgt nach beiden Seiten bis über die Grenze der Zwischenzone. Auf der Ordinate wird in F i g. 1 und 4 jeweils der im vorstehenden definierte Differenzwert, in Fig.2 und 5 jeweils der im vorstehenden definierte Summenwert und in F i g. 3 und 6 jeweils das im vorstehenden definierte normierte Ausgangssignal aufgetragen. The same type of representation is used in all figures. On the abscissa is the distance between the center line of the intermediate zone and the center of gravity of the radiation spot defined above applied; the distance zero is in the middle of the diagram and the deflection of the radiation spot takes place on both sides up to the border of the intermediate zone. On the ordinate in FIG. 1 and 4 respectively the difference value defined above, in each case the one defined above in FIGS. 2 and 5 Sum value and in F i g. 3 and 6 each plotted the normalized output signal defined above.

Die in F i g. 3 und 6 angegebenen Werte stellen also den Quotienten der Division der entsprechenden Werte der F i g. 1 und 4 durch die entsprechenden Werte der Fig. 2 und 5 dar. Es ist in Fig. 3 ersichtlich, daß bei einem für die erfindungsgemäße Verwendung geeigneten Sektoren-Strahlungsdetektor das normierte Ausgangssignal mit der Auslenkung des Strahlungsflecks über den größten Teil der Zwischenzone linear variiert. Es ist in F i g. 6 ersichtlich, daß bei einem für die erfindungsgemäße Verwendung ungeeigneten Sektoren-Strahlungsdetektor das normierte Ausgangssignal mitThe in F i g. The values given in 3 and 6 represent the quotient of the division of the corresponding values the F i g. 1 and 4 by the corresponding values of FIGS. 2 and 5. It can be seen in FIG. 3 that at a sector radiation detector suitable for the use according to the invention, the normalized output signal with the deflection of the radiation spot varies linearly over most of the intermediate zone. It is in FIG. 6 it can be seen that in a for the invention Use unsuitable sector radiation detector to use the normalized output signal

der Auslenkung des Strahlungsflecks über den größten Teil der Zwischenzone nicht linear und insbesondere mehrdeutig variiert. In beiden Fällen findet der größte Teil der Variation des Ausgangssignals in einem Bereich der Auslenkung statt, der etwa der Breite der Zwischenzone entspricht: die Empfindlichkeit ist also in diesem Bereich sehr hoch. In Fig.3 findet ein bedeutsamer restlicher Teil der Variation des Ausgangssignals noch statt, wenn der Strahlungsfleck auf die Detektionsbereiche trifft: es tritt also bei diesem für die erfindungsgemäße Verwendung geeigneten Strahlungsdetektor keine Sättigung ein, was in F i g. 6 und beim entsprechenden Strahlungsdetektor nicht der Fall ist.the deflection of the radiation spot over most of the intermediate zone is non-linear and in particular ambiguously varied. In both cases, most of the output signal variation occurs in one area the deflection takes place, which corresponds approximately to the width of the intermediate zone: the sensitivity is therefore in this Area very high. In Fig.3 there is a significant remaining part of the variation of the output signal still takes place when the radiation spot hits the detection areas applies: there is therefore no radiation detector suitable for the use according to the invention Saturation, which is shown in FIG. 6 and is not the case with the corresponding radiation detector.

Die Auswahl der für die erfindungsgemäße Verwendung geeigneten Sektoren-Strahlungsdetektoren erfolgt also anhand des Verlaufs des normierten Ausgangssignals, wobei eine erste Ausscheidung anhand von Mehrdeutigkeiten des Differenzwerts vorgenommen werden kann. Als Beispiel eines geeigneten Strahlungsdetektors kann die Dual-Diode LD 2-5T von Centronics, als Beispiel eines ungeeigneten Strahlungsdetektors die Dual-Diode H PIN lOOD von Hughes zitiert werden: die in F i g. 1 bis 3 dargestellten Meßergebnisse wurden mit der erstgenannten, die in F i g. 3 bis 6 dargestellten Meßergebnisse mit der letztgenannten Diode aufgenommen. Die erstgenannte Diode ist ein gutes Beispiel eines Strahlungsdetektors zur hochempfindlichen Bestimmung der Position eines Strahlungsflecks bei einer Auslenkung über einen Bereich von etwa 40 Micrometer, wobei die Information über die Ablage des Strahlungsflecks dem normierten Ausgangssignal ohne Korrektur entnehmbar ist.The sector radiation detectors suitable for the use according to the invention are selected that is, based on the course of the normalized output signal, a first separation based on ambiguities of the difference value can be made. As an example of a suitable radiation detector can use the dual diode LD 2-5T from Centronics, as an example of an unsuitable radiation detector the dual diode H PIN lOOD by Hughes can be cited: the one shown in FIG. 1 to 3 shown measurement results were with the former, the in F i g. 3 to 6 shown measurement results with the last-mentioned diode recorded. The former diode is a good example of a radiation detector for high sensitivity Determination of the position of a radiation spot with a deflection over a range of about 40 micrometers, the information about the placement of the radiation spot without the normalized output signal Correction can be taken.

Hierzu 3 Blatt ZeichnungenFor this purpose 3 sheets of drawings

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Claims

Patent claims:

1. Using a radiation detector of the so-called split or sector type as Radiation detector of the so-called lateral or Wallmark type for analogue indication of the position of a Radiation spot on an axis lying in a detection plane.

2. Device for determining the position of a radiation spot in a detection plane of a position-sensitive one analog radiation detector, characterized by a circuit for evaluating signals from a radiation detector of the so-called lateral or Wallmark type, which are intended for connection of the radiation detector A radiation detector of the so-called segmented or sector type is connected to the inputs.

3. Apparatus according to claim 2, characterized by a subdivided into detection areas Radiation detector, which is shared with one detection electrode each assigned to a detection area and with one of all detection areas associated base electrode is provided, the detection areas in pairs by a narrow band-shaped intermediate zone are separated, a circuit for the formation of a difference value which the Represents the difference between two photocurrents flowing through one detection electrode each, a circuit to form a sum value which is the sum of all between the detection electrodes and the Base electrode represents flowing photocurrents, and a circuit for forming a normalized Output signal that represents the quotient of dividing the difference value by the total throw.