DE3225216A1

DE3225216A1 - Verfahren zum herstellen einer federnden aufhaengung fuer kraftumformer

Info

Publication number: DE3225216A1
Application number: DE19823225216
Authority: DE
Inventors: Kim W. 98004 Bellevue Wash. Atherton
Original assignee: Sundstrand Data Control Inc
Current assignee: Sundstrand Data Control Inc
Priority date: 1981-07-14
Filing date: 1982-07-06
Publication date: 1983-01-27
Also published as: FR2509866B1; SE451900B; CA1191337A; DE3225216C2; FR2509866A1; IT8248777A0; NO822381L; JPS5818131A; IL66178A0; AU554274B2; CH654920A5; SE8204221D0; IT1149012B; US4394405A; IL66178A; JPH049269B2; SE8204221L; AU8491482A

Description

Sundstrand Data Control, inc, Overlake Industrial Park Redmond (Washington 98052) V.St.A.

Verfahren zum Herstellen einer federnden Aufhängung für

Kraftumformer

Die Erfindung bezieht sich auf die Herstellung von federnden Aufhängungen, die in Kraftumformern verwendet werden, insbesondere ein Verfahren zum Herstellen von federnden Aufhängungen, die aus einem einzigen Werkstoffstück, z. B. Quarzglas, bestehen.

In einem Kraftumformer, z. B. einem elektromagnetischen, mit Servoabgleich arbeitenden Beschleunigungsmesser, kann der Fühler bzw. Kraftaufnehmer aus einem einzigen Quarzglasoder Metallteil bestehen, der ein bewegliches Element ist, das über eine auslenkbare federnde Aufhängung mit einem Befestigungsorgan verbunden ist.

Beispiele für einen solchen Kraftumformer sind z.B. in den US-PS'en 3 702 073, 4 182 187 und 4 250 757 angegeben. In

einer gleichzeitig angemeldeten eigenen US-Patentanmeldung sind federnde Aufhängungen für einen Kraftumformer angegeben, wobei Leiterbahnen auf Flächen aufgebracht sind, die im wesentlichen in der neutralen Biegeebene der Aufhängung liegen. Die vorliegende Anmeldung bezieht sich auf ein Verfahren zum Herstellen einer solchen federnden Aufhängung.

Bei der Herstellung eines solchen Kraftumformers ist es erwünscht, die Dickenabmessungen der Aufhängung mit hoher Präzision einzustellen, da hierdurch in großem Ausmaß die Auslenkung des Kraftumformers bestimmt wird, und ferner ist es erwünscht, diese Präzision in einfacher und zuverlässiger Weise zu erzielen. Bisher erfordert die Herstellung solcher federnder Aufhängungen sehr strenge Verfahrenskontrollen in Verbindung mit periodischen Messungen der Dicke der Aufhängung.

Aufgabe der Erfindung ist also die Schaffung eines Verfahrens zum Herstellen einer federnden Aufhängung für Kraftumformer mit hoher Präzision in einfacher und zuverlässiger Weise unter Anwendung eines speziellen Verfahrenselements, und zwar einer Anzeige- bzw. Indikatorfläche.

Bei dem Verfahren nach der Erfindung wird ein Schwingfeder-Rohling für einen Kraftumformer vorgesehen, der einen für die Herstellung einer federnden Aufhängung geeigneten Abschnitt aufweist und bevorzugt parallele Oberflächen hat, die im wesentlichen rechtwinklig zu der Empfindlichkeits-

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achse des bewegten Elements des Kraftumformers verlaufen, und Werkstoff wird von mindestens einem Anzeigeabschnitt einer Oberfläche bis zu einer erwünschten Tiefe abgetragen.

Eine Anzeige- bzw. Indikatorfläche ist eine Oberfläche, die auf einem Anzeigeabschnitt des Schwingfeder-Rohlings, aus dem die Aufhängungen gebildet werden, erzeugt wird. Der Zweck der Anzeigefläche ist die Schaffung einer Anzeige-Bezugsebene, die eine bekannte Beziehung zu den Ebenen von Oberflächen aufweist, die an anderen Abschnitten des Rohlings erzeugt werden.

Ferner wird gemäß dem Verfahren nach der Erfindung Werkstoff von mindestens einem weiteren Abschnitt mindestens einer Oberfläche des Aufhängungsabschnitts gleichzeitig mit der Abtragung von Werkstoff von dem Anzeigeabschnitt oder in im wesentlichen identischer Weise damit abgetragen. Aus der Oberfläche des Umformer-Rohlings hergestellte Abschnitte, die als Anzeigeabschnitt verwendet werden, haben Oberflächen, die mit der Anzeigefläche im wesentlichen koplanar sind. Aus der entgegengesetzten Oberfläche des Rohlings hergestellte Abschnitte haben Oberflächen, die im wesentlichen die gleiche jeweilige Beziehung zu der Fläche aufweisen, aus der sie hergestellt wurden, wie sie die Anzeigefläche zu der Fläche aufweist, aus der sie hergestellt wurde.

Ein weiteres Merkmal der Erfindung liegt darin, daß Anzeigeabschnitte aus einander entgegengesetzten Flächen des Kraftumformer-Rohlings gebildet werden können, so daß sie im wesentlichen oder teilweise miteinander fluchten.

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Wenn der Anzeigeabschnitt im wesentlichen in derselben Weise wie ein anderer Abschnitt auf derselben Fläche des Rohlings wie der Anzeigeabschnitt bearbeitet wird, bleibt die Beziehung zwischen den Ebenen der erzeugten Oberflächen im wesentlichen konstant. Auf diese Weise kann eine vorbestimmte Beziehung zwischen den Ebenen aufrechterhalten werden. Bin spezieller Fall ist, daß Oberflächen, die vor einem Bearbeitungsschritt koplanar waren, nach Durchführung des. Schritts im wesentlichen koplanar bleiben.

Wenn der Anzeigeabschnitt in einer von der Bearbeitung anderer Abschnitte des Rohlings völlig ungleichen Weise bearbeitet wird, erfolgt eine Justierung der Beziehung zwischen Ebenen der erzeugten Oberflächen. Auf diese Weise kann eine vorbestimmte Beziehung zwischen den Ebenen entweder hergestellt oder eingestellt werden.

Ein weiterer Vorteil des angegebenen Verfahrens besteht darin, daß die Erfassung der erwünschten Dickenabmessungen und der erwünschten Nachgiebigkeit der federnden Aufhängung aus dem Teil selbst während der Bearbeitung durch ordnungsgemäße Herstellung der Anzeigeabschnitte und anschließende Beobachtung der Anzeigeflächen bestimmt wird, wobei die Bearbeitung beendet wird, wenn Abschnitte der Anzeigefläche durchbrechen und verschwinden. Bei einem solchen Verfahren werden die richtigen Abmessungen mit hoher Genauigkeit in einer Art und Weise erzeugt, die gegenüber unvermeidlichen Änderungen von Verfahrensgrößen im wesentlichen unempfindlich ist und nicht erfordert, daß das bewegte Element einer einstückigen Kraftumformer-Schwingfeder frei ist -, wodurch

nur die Anfälligkeit der Aufhängungen gegenüber einer Beschädigung erhöht wird -, um die erwünschte Federung der Aufhängung mit hoher Genauigkeit zu erzielen.

Ferner ist gemäß der Erfindung die Beobachtung oder anderweitige Erfassung des Durchbruchs der Anzeigebereiche vorgesehen, wonach die Werkstoffabtragung vom Aufhängungsabschnitt beendet wird.

Gemäß der Erfindung werden die Anzeigeabschnitte, die Anzeigeflächen und weitere Abschnitte mit Oberflächen, die zu den Anzeigeflächen koplanar sind, so bearbeitet, daß beim Durchbruch der Anzeigeflächen diese und die mit ihnen koplanaren Flächen im wesentlichen in der neutralen Biegeebene des Aufhangungsabschnitts liegen. Durch dieses Merkmal eignet sich das Verfahren außerordentlich gut für die Herstellung von federnden Aufhängungen, die in der eingangs genannten US-Patentanmeldung angegeben sind.

Ein spezieller und besonderer Vorteil der Anzeigeflächen-Bearbeitung besteht darin, daß die Koplanarität von Flächen von Aufhängungsabschnitten, die aus zueinander entgegengesetzten Flächen des Rohlings hergestellt sind, in einfacher Weise mit hoher Genauigkeit durch einfache Beobachtung des Rohlings während der Bearbeitung feststellbar ist. Dies wird dadurch erreicht, daß zueinander entgegengesetzte, miteinander ausgerichtete Anzeigeabschnitte verwendet werden und die Koplanarität von entgegengesetzt gerichteten Flächen durch das Verschwinden der Anzeigeflächen, wenn sie während der Werkstoffabtragung zusammenkommen, bestimmt wird. Diese

Möglichkeit beseitigt die Notwendigkeit strenger Bearbeitungskontrollen oder Messungen des Bauteils, die im übrigen notwendig wären, um ähnliche Abmessungstoleranzen für eine solche Aufhängungs-Konfiguration zu erzielen.

Ein weiterer Vorteil besteht darin, daß bei dem Verfahren sowohl durchsichtige als auch undurchsichtige Kraftumformer-Rohlinge austauschbar verwendbar sind.

Anhand der Zeichnung wird die Erfindung beispielsweise näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 eine perspektivische Explosionsansicht eines Beschleunigungsmessers mit Servosystem, wobei ein Kraftumformer mit gemäß der Erfindung hergestellten federnden Aufhängungen gezeigt ist;

Fig. 2 eine größere teilweise Perspektivansicht des Aufhängungsabschnitts längs der Linie 2-2 nach Fig. 1;

Fig. 3, teilweise Schnittansichten längs den Schnitt-

4 und linien 3-3 nach Fig. 2 durch einen Abschnitt

5 eines Kraftumformer-Rohlings, in dem die Aufhängung ausgebildet wird, wobei aufeinanderfolgende Schritte bei der Herstellung gezeigt sind.

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Fig. 1 zeigt einen Kraftumformer in Form eines Beschleunigungsmessers 10 mit Servosystem, der eine federnde Aufhängung 12 der Art aufweist, die nach dem vorliegenden Verfahren herstellbar ist. Der Beschleunigungsmesser 10 ist von dem in den US-PS'en 3 702 073, 4 182 187 und 4 250 757 angegebenen Typ; das Verfahren ist jedoch auch bei der Herstellung von Aufhängungen und anderen federnden Elementen für andere Kraftumformer anwendbar, die eine Winkel- oder eine geradlinige Bewegung eines Fühlers bzw. Kraftaufnehmers verwenden.

Der Beschleunigungsmesser 10 umfaßt zwei zylindrische Gehäusehälften 14a, 14b und ein Feder-Masse-System 16, das zwischen diesen gesichert ist.

Die Gehäusehälften 14a, 14b sind im wesentlichen identisch ausgebildet, und es wird nur die Gehäusehälfte 14a im einzelnen erläutert. Diese umfaßt eine zylindrische Gehäusewand 17 mit einer nach innen verlaufenden Rippe 18, die ein magnetisches Polstück bildet, und weist ferner eine Basis 19 auf. Das Polstück 18 weist eine zylindrische Innenwand auf, die eine Ausnehmung 22 definiert. Auf der Basis 19 innerhalb der Ausnehmung 22 ist ein zylindrischer Dauermagnet 24 gesichert, dessen Außenumfangsflache von der inneren zylindrischen Wand 20 beabstandet ist zur Bildung eines Ringspalts 26 zwischen beiden.

Das Feder-Masse-System 16 umfaßt einen Fühler bzw. Flügel 30, der schwenkbar mittels einer federnden Aufhängung 12 an einem Haltering 32 bzw. Befestigungsorgan gesichert ist.

Bei dem gezeigten Beschleunigungsmesser kann aufgrund der federnden Aufhängung 12 der Fühler 30 sich relativ zu dem Haltering 32 bewegen. Bs ist jedoch zu beachten, daß die Aufhängung 12 auch mit einem anderen Befestigungsorgan verwendbar ist und in einem Kraftumformer vorgesehen werden kann, der eine lineare Bewegung des Fühlers entlang der Umformerachse nutzt.

Auf der Oberseite und der Unterseite 40, 41 des Fühlers 30 sind zwei Rückstell- bzw. Drehmomentspulen 42, 43 angeordnet. Die Rückstellspulen 42, 43 sind auf Spulenkörper gewickelt, die in den Ringspalt 26 einsetzbar sind, der in jeder Gehäusehälfte 14a, 14b gebildet ist, wenn die verschiedenen Bauteile des Beschleunigungsmessers zusammengesetzt werden.

Auf die Oberseite 40 des Fühlers 30 ist eine Schicht aus leitfähigem Werkstoff 45 aufgebracht. Eine ähnliche Schicht aus leitfähigem Werkstoff ist auf die Unterseite 41 des Fühlers 30 aufgebracht. Diese Leiterschichten bilden zwei Kondensatorplatten, die mit einer Fläche 21 des Polstücks und einer entsprechenden Fläche des Polstücks der Gehäusehälfte 14b in noch zu erläuternder Weise in Wechselwirkung treten.

Drei Befestigungs-Druckunterlagen 34 (von denen nur zwei gezeigt sind) sind auf einer Oberfläche 36 des Halterings angeordnet. Drei weitere Befestigungs-Druckunterlagen sind in Axialrichtung entgegengesetzt zu den Druckunterlagen 34 auf einer Unterseite 38 des Halterings 32 angeordnet.

Der Haltering 32 ist zwischen den Gehäusehälften 14a, 14b so gesichert, daß eine Lippe 23 der zylindrischen Gehäusewand 17 und eine entsprechende Lippe der Gehäusehälfte 14b gegen die Befestigungs-Druckunterlasgen 34 wirken, und die Rück¹-stellspulen 42, 43 sind in dem Ringspalt 26 und einem entsprechenden Ringspalt in der Gehäusehälfte 14b aufgenommen.

Zwei Drehkondensatoren 48, 49 sind innerhalb des Beschleunigungsmessers 10 gebildet, von denen der eine aus der Fläche 21 und der Beschichtung auf der Unterseite 38 und der andere aus einer der Fläche 21 des Polstücks der Gehäusehälfte 14b entsprechenden Fläche und der Beschichtung 45 auf der Oberseite 436 des Fühlers 30 besteht.

Die leitenden Beschichtungen auf der Oberseite 40 und der Unterseite 41 sowie die Rückstellspulen 42 und 43 sind über vier Leiterbahnen 47, die sich über die federnde Aufhängung 12 zum Haltering 32 erstrec ken, an externe Schaltkreise angeschlossen. Elektrische Anschlüsse an externe Schaltkreise erfolgen vom Haltering 32 über vier Anschlußstifte (nicht gezeigt), die in den Gehäusewandungen der Gehäusehälften 14a, 14b angeordnet sind.

Wenn der Beschleunigungsmesser 10 mit einer Beschleunigung entlang seiner Achse beaufschlagt wird, verschiebt sich der Fühler 30 relativ zu dem Haltering 32 und den Gehäusehälften 14a, 14b, was wiederum eine Kapazitätsänderung der Kondensatoren 48, 49 bewirkt. Die Kapazitätsänderung wird von einem Servokreis (nicht gezeigt) erfaßt, der dann ein der Kapazi-

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tätsänderung proportionales Signal an die Rückstellspulen 42, 43 anlegt. Das von den Rückstellspulen 42, 43 erzeugte resultierende Magnetfeld gelangt mit dem von den Dauermagneten in den Gehäusehälften 14a, 14b erzeugten Magnetfeld in Wechselwirkung und wirkt der Verschiebung des Fühlers 30 entgegen. Der Strom, den die Rückstellspulen 42, 43 benötigen, um den Fühler 30 in einer Neutrallage zu halten, bezeichnet die Beschleunigungskraft, der der Beschleunigungsmesser ausgesetzt ist.

Eine genaue Beschreibung des Beschleunigungsmessers findet sich in der US-PS 3 702 073.

Fig. 2 zeigt ein Ausführungsbeispiel der federnden Aufhängung 12, die mit dem hier angegebenen Verfahren herstellbar ist.

Die federnde Aufhängung ist von bifilarer, einseitig befestigter Konfiguration und umfaßt zwei Aufhängungsabschnitte 60, 62, die sich zwischen dem Fühler 30 und dem Haltering erstrecken. Die Aufhängungsabschnitte 60, 62 sind durch eine zwischen ihnen befindliche öffnung 63 getrennt, die ebenfalls zwischen dem Fühler 30 und dem Haltering 32 ausgebildet ist.

Die Aufhängungsabschnitte 60 und 62 sind identisch ausgebil^ det, so daß nur der Abschnitt 60 erläutert wird. Der Aufhängungsabschnitt 60 umfaßt eine Oberseite 64 und eine Unterseite 66, die im wesentlichen parallel zueinander verlaufen, sowie ein Paar Randflächen 68, 70.

Der Aufhängungsabschnitt 60 weist zwei Kanäle 71, 73 auf, die sich in ihn von den Flächen 64 bzw. 66 erstrecken. Die Kanäle 71, 73 weisen vertiefte Flächen 72, 74 auf, die im wesentlichen koplanar miteinander und mit dem Flächenmittelpunkt des Aufhängungs-Querschnitts verlaufen und die im wesentlichen mit der neutralen Biegeebene des Aufhängungsabschnitts 60 zusammenfallen.

Die neutrale Biegeebene ist als diejenige Ebene definiert, die bei einer Krümmung der Aufhängung durch einfaches Biegen weder eine mechanische Spannung noch eine Kompression erfährt. Bei einer federnden Aufhängung mit gleichmäßiger Viereckkonfiguration, gebildet durch zwei parallele Flächen und zwei Randflächen entsprechend Fig. 2, besteht die neutrale Biegeebene aus sämtlichen Punkten, die von den Oberflächen der Aufhängung gleichbeabstandet sind. Bei dem Ausführungsbeispiel nach Fig. 2 ist die Hauptebene und damit die neutrale Biegeebene der Aufhängung in bezug auf die Ebene von 71, 72, 73 und 74 geringfügig verdreht, aber die Diskrepanz ist minimal und beeinflußt die Brauchbarkeit des Verfahrens in keiner Weise.

Der Fühler 30, der Haltering 32 und die Aufhängung 12 sind bevorzugt ein einteiliges Element auf einem stabilen homogenen Werkstoff wie Quarzglas. Ein kreisförmiger Rohling mit gleichmäßiger Dicke mit parallelen planen Flächen wird durch selektives Abtragen von Werkstoff bearbeitet zur Erzielung der erwünschten Konfiguration. Die folgende Erläuterung bezieht sich insbesondere auf das bevorzugte Verfahren zur Bildung der Kanäle 71, 73 mit vertieften Flächen 72, 74 im wesentlichen in der neutralen Biegeebene der Aufhängung.

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Bevorzugt wird der Werkstoff von dem Rohling durch Ätzen mit einem geeigneten Quarzlösungsmittel abgetragen. Bei dem Quarzglasrohling werden diejenigen Oberflächen, von denen kein Werkstoff abzutragen ist, mit einem Material maskiert, das den Zutritt von Lösungsmittel zu der Quarzglasoberfläche begrenzt. Der maskierte Rohling wird dann in das Lösungsmittel getaucht. Innerhalb einiger Minuten werden einige hundertstel mm des Quarzglases abgeätzt, wobei die genaue Ätzrate durch die Zusammensetzung des Quarzglases, die Lösungsmittelkonzentration und die Badtemperatur bestimmt ist. Alternativ kann Werkstoff von dem Rohling durch Gasplasma-Ätzen in einer Atmosphäre, die das Quarzglas auflöst, oder durch Elektronenstrahl- oder Ionenstrahl-Fräsen abgetragen werden.

Fig. 3 zeigt einen Querschnitt durch den Teil eines Quarzglasrohlings 80, aus dem eine Hälfte 62 der bifilaren Aufhängung 12 gebildet wird. Der Rohling 80 kann parallele plane Oberflächen 82, 84 aufweisen und hat beispielsweise eine Dicke von 0,76 mm. Strichlinien 86, 88 bezeichnen Werkstoff, der in der ersten Bearbeitungsstufe abzutragen ist unter Bildung der entgegengesetzt orientierten, seitlich versetzten Kanäle, die Kanäle 71', 73' in Fig. 5 werden. Strichlinien 90, 92 bezeichnen Werkstoff, der gleichzeitig in der ersten Bearbeitungsstufe abgetragen wird unter Bildung von zwei zueinander entgegengesetzten Flächen, die während des Verfahrens als Indikatoren der Ebenen der zugeordneten vertieften Flächen dienen, die in Fig. 5 zu Flächen 72', 74· werden.

Von den durch geschweifte Klammern 94 bezeichneten Flächen wird kein Werkstoff während der ersten Verfahrensstufe abgetragen, und die Flächen werden in der vorstehend angegebenen Weise maskiert

Der Rohling 88 wird in das Lösungsmittel während einer Dauer getaucht, die ausreicht zur Bildung von Zwischenkanälen 96, 98 und Zwischen-Anzeigeflachen 100, 102 (Fig. 4), deren Tiefe im wesentlichen der halben Enddicke der ganzen federnden Aufhängung ist. Die Teilstrichlinien in Fig. 4 bezeichnen die Endumrisse der federnden Aufhängung und ihre Beziehung zu den in der ersten Ätzstufe erzeugten Flächen.

Die Beschichtung von maskierendem Material wird von den Flächen 94 entfernt, und der Rohling wird wiederum dem Lösungsmittel zugeführt. Dann wird von sämtlichen Flächen der Aufhängung mit gleichmäßiger Geschwindigkeit Werkstoff abgetragen. Mit fortschreitender Materialabtragung bei gleicher Geschwindigkeit von den oberen und unteren Flächen der federnden Aufhängung treffen die Anzeigeflächen 100, aufeinander und verschwinden, und zwar in derjenigen Ebene, die von den Originalflächen des Rohlings gleichbeabstandet ist, d. h. im wesentlchen koinzident mit der neutralen Biegeebene der Aufhängung. Gleichzeitig wurde eine gleiche Materialtiefe abgetragen unter Bildung von Kanälen 71", 73', so daß die Grundflächen 72', 74' der Kanäle miteinander und mit dem Flächenmittelpunkt des Aufhängungs-Querschnitts koplanar sind und im wesentlichen mit der neutralen Biegeebene der Aufhängung zusammenfallen.

Das Verschwinden des Quarzglasstegs zwischen den Anzeigeflächen 100, 102 wird erfaßt. Wenn der Steg verschwindet, wird der Rohling aus dem Ätzbad entfernt, und die Materialabtragung wird beendet. Mit dieser Vorgehensweise wird typischerweise die Koplanarität der Flächen 72' und 74' im wesentlichen in der neutralen Biegeebene der Aufhängung mit hoher Präzision erzielt, und zwar unabhängig von Verfahrensschwankungen und ohne die Notwendigkeit rigoroser Messungen der Dicke der federnden Aufhängung.

Der Rohling wird gewaschen, um restliches Lösungsmittel zu entfernen, und ist dann für die weitere Bearbeitung bereit, wobei er die gewünschte Konfiguration des Quarzglasstücks für das Feder-Masse-System erhält. Anschließend wird ein geeigneter elektrischer Leiter 47 z. B. durch Aufdampfen oder Zerstäuben im Vakuum auf die Flächen 72', 74' aufgebracht.

Wenn der Ätzvorgang nicht exakt beim Durchbrechen der Anzeigeflächen 100, 102 beendet wird, sind die Kanäle 71', 73' entweder tiefer oder flacher, und die Flächen 72', 74' liegen auf entgegengesetzten Seiten der neutralen Biegeebene im Abstand von dieser, und die Dicke der Aufhängung ändert sich geringfügig in bezug auf die Soll-Abmessungen. Der Abstand dieser Flächen von der neutralen Ebene und die Abweichung bei der Aufhängungsdicke sind jedoch klein im Vergleich mit der Aufhängungsdicke, die z. B. 0,025 mm betragen kann, und derartige Fehler vermindern die Brauchbarkeit oder Wirksamkeit des Verfahrens nicht erheblich.

Das Verfahren ist auch zur Herstellung von federnden Aufhängungen vorbestimmter Dicke anwendbar, wobei zuerst Werkstoff von einer Anzeigefläche abgetragen wird unter Bildung einer Ausnehmung vorbestimmter Tiefe und dann Werkstoff von einem Aufhängungsbereich abgetragen wird, während gleichzeitig Werkstoff von der vertieften Anzeigefläche abgetragen wird. Wenn die einzige Anzeigefläche durchbricht, resultiert eine Aufhängung mit vorbestimmter Dicke.

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Claims

Ansprüche

( 1.) Verfahren zum Herstellen einer federnden Aufhängung für Kraftumformef'zum Verbinden eines Fühlers mit einem Befestigungsorgan,
gekennzeichnet durch

- Bereitstellen eines Rohlings mit zwei zueinander entgegengesetzten Oberflächen;

- Abtragen von Werkstoff von einem ersten Abschnitt und einem ersten Anzeigeabschnitt einer der Oberflächen; Abtragen von Werkstoff von einem zweiten Anzeigeabschnitt in der zweiten Oberfläche, wobei der zweite Anzeigeabschnitt mindestens teilweise mit dem ersten Anzeigeabschnitt ausgerichtet ist; und

- Abbrechen der Werkstoffabtragung von dem ersten Abschnitt, wenn mindestens ein Teil des Werkstoffs des Rohlings zwischen dem ersten und dem zweiten Anzeigeabschnitt verschwindet, so daß mindestens ein Teil der Anzeigeabschnitt-Flächen aufeinandertrifft.

572-B01428-Schö
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Werkstoff, der von dem ersten Abschnitt, dem ersten Anzeigeabschnitt und dem zweiten Anzeigeabschnitt abgetragen wird, in im wesentlichen identischer Weise abgetragen wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite Oberfläche einen zweiten Abschnitt aufweist, und daß Werkstoff von dem zweiten Abschnitt in einer Weise abgetragen wird, die mit der Werkstoffabtragung des ersten Abschnitts im wesentlichen identisch ist.
4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der zweite Abschnitt mit dem ersten Abschnitt nicht ausgerichtet ist.
5. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Oberfläche des ersten Abschnitts mit der neutralen Biegeebene der federnden Aufhängung fluchtet, wenn die Werkstoffabtragung abgebrochen wird.
6: Verfahren nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Oberflächen des ersten und des zweiten Abschnitts mit der neutralen Biegeebene der federnden Aufhängung fluchten, wenn die Werkstoffabtragung abgebrochen wird.
7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1-4, dadurch gekennzeichnet,

daß der Werkstoff durch Ätzen abgetragen wird.
8. Verfahren zum Herstellen einer federnden Aufhängung für Kraftumformer zum Verbinden eines Fühlers mit einem Befestigungsorgan,

gekennzeichnet durch

- Bereitstellen eines Rohlings mit zwei zueinander entgegengesetzten Oberflächen;

- Maskieren des Rohlings mit Ausnahme von Anzeigeabschnitten auf jeder Oberfläche, die miteinander ausgerichtet sind, und mindestens eines Oberflächenabschnitts;

- Abtragen einer vorbestimmten Werkstoffmenge von den unmaskierten Abschnitten des Rohlings;

- Entfernen der Maskierung von dem Rohling;

- fortgesetztes Abtragen von Werkstoff von einem Aufhängungsabschnitt des Rohlings; und

- Abbrechen der Werkstoffabtragung von dem Aufhängungsabschnitt des Rohlings, wenn mindestens ein Teil des Werkstoffs zwischen dem ersten und dem zweiten Anzeigeabschnitt verschwindet, so daß die Anzeigeabschnitte mindestens teilweise aufeinandertreffen.
9. Verfahren nach Anspruch 8,
dadurch gekennzeichnet,

daß beim Maskieren zusätzlich ein zweiter Oberflächenabschnitt in der Rohlingsoberfläche entgegengesetzt derjenigen Oberfläche, die den ersten Oberflächenabschnitt trägt, maskiert wird, und daß der erste und der zweite Oberflächenabschnitt nicht miteinander ausgerichtet sind.
10. Verfahren nach Anspruch 9,
dadurch gekennzeichnet,

daß der Werkstoff derart abgetragen wird, daß die Oberflächen des ersten und des zweiten Oberflächenabschnitts in
derselben Ebene liegen, wenn die Werkstoffabtragung abgebrochen wird.
11. Verfahren nach Anspruch 9,
dadurch gekennzeichnet,

daß die Oberflächen des ersten und des zweiten Oberflächenabschnitts mit der neutralen Biegeebene der federnden
Aufhängung fluchten, wenn die Werkstoffabtragung abgebrochen wird.
12. Verfahren zum Herstellen einer federnden Aufhängung für Kraftumformer, bei denen ein bewegliches Element schwenkbar über eine biegsame Aufhängung mit einem Befestigungsorgan
verbunden ist und ein elektrisches Schaltungsbauteil trägt, gekennzeichnet durch

- Bereitstellen eines Kraftumformer-Rohlings mit einem
Aufhängungsabschnitt mit parallelen Flächen, die im
wesentlichen rechtwinklig zu der Empfindlichkeitsachse
des beweglichen Elements verlaufen;

- Abtragen von Werkstoff von einem Abschnitt mindestens
einer Oberfläche des Aufhängungsabschnitts unter Bildung eines einen Leiter aufnehmenden Kanals, wobei die Bodenfläche des Kanals im wesentlichen in der neutralen
Biegeebene des Aufhängungsabschnitts liegt.
13. Verfahren nach Anspruch 12,
dadurch gekennzeichnet,

daß Werkstoff von Abschnitten jeder Oberfläche des Aufhängungsabschnitts gleichzeitig und mit derselben Geschwindigkeit abgetragen wird unter Bildung von zwei entgegengesetzt zueinander gerichteten Leiteraufnahmekanälen, deren jeder eine Bodenfläche aufweist, die im wesentlichen in der neutralen Biegeebene des Aufhängungsabschnitts liegt.
14. Verfahren nach Anspruch 12,
gekennzeichnet durch

- Abtragen von Werkstoff von zwei miteinander ausgerichteten Anzeigeflächen auf jeder Oberrfläche des Rohlings mit derselben Geschwindigkeit und gleichzeitig mit der Werkstoffabtragung von der Oberfläche des Aufhängungsabschnitts; und

- Abbrechen der Werkstoffabtragung von der Oberfläche des Aufhängungsabschnitts, wenn die miteinander ausgerichteten Anzeigeflächen durchbrechen.
15. Verfahren nach Anspruch 14,
gekennzeichnet durch

Erfassen des Durchbrechens der miteinander ausgerichteten Anzeigeflächen und anschließendes Abbrechen der Werkstoffabtragung von dem Aufhängungsabschnitt.
16. Verfahren nach Anspruch 12,
dadurch gekennzeichnet,

daß die Kanäle seitlich voneinander beabstandet sind.

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17. Verfahren nach Anspruch 12,
dadurch gekennzeichnet,

daß sich die Kanäle über die Länge des Aufhängungsabschnitts von dem Befestigungsorgan zum Fühler erstrecken.
18. Verfahren nach Anspruch 12,
gekennzeichnet durch

Aufbringen eines Leiters auf die Bodenfläche jedes Kanals, wobei sich der Leiter von dem Befestigungsorgan bis zum Fühler erstreckt.
19. Verfahren zum Herstellen einer federnden Aufhängung für Kraftumformer, bei denen ein bewegliches Element schwenkbar über die biegbare federnde Aufhängung mit einem Befestigungsorgan verbunden ist und das bewegliche Element ein elektrisches Schaltungsbauteil trägt, gekennzeichnet durch Bereitstellen eines Kraftumformer-Rohlings mit einem Aufhängungsabschnitt, der parallele Oberflächen aufweist, die sich von dem Befestigungsorgan zum beweglichen Element erstrecken, wobei die parallelen Oberflächen im wesentlichen rechtwinklig zur Empfindlichkeitsachse des beweglichen Elements verlaufen;

- Abtragen von Werkstoff von einem Abschnitt auf mindestens einer Oberfläche des Aufhängungsabschnitts unter Bildung eines einen Leiter aufnehmenden Kanals; Abtragen von Werkstoff von zwei miteinander ausgerichteten Anzeigeflächen auf jeder Rohling-Oberfläche mit derselben Geschwindigkeit und gleichzeitig mit der

Werkstoffabtragung von dem Kanal des Aufhängungsabschnitts; und

- Abbrechen der Werkstoffabtragung von der Oberfläche des Aufhängungsabschnitts, wenn die miteinander ausgerichteten Anzeigeflächen durchbrechen, wobei die Bodenfläche des Kanals im wesentlichen in der neutralen Biegeebene des Aufhängungsabschnitts liegt.
20. Verfahren zum Herstellen einer federnden Aufhängung für Kraftumformer, bei denen ein bewegliches Element schwenkbar über eine biegsame federnde Aufhängung mit einem Befestigungsorgan verbunden ist, wobei das bewegliche Element ein elektrisches Schaltungsbauteil trägt,
gekennzeichnet durch

- Bereitstellen eines Kraftumformer-Rohlings aus Quarzglas, der einen Aufhängungsabschnitt mit parallelen Oberflächen aufweist, die im wesentlichen rechtwinklig zu der Empfindlichkeitsachse des beweglichen Elements verlaufen;

- Abtragen von Werkstoff von einem Abschnitt jeder Oberfläche des Aufhängungsabschnitts unter Bildung von zwei in entgegengesetzte Richtung weisenden, einen Leiter aufnehmenden Kanälen;

- Abtragen von Werkstoff von zwei miteinander ausgerichteten Anzeigeflächen auf jeder Rohlings-Oberfläche mit derselben Geschwindigkeit und gleichzeitig mit der Werkstoffabtragung von den Kanälen des Aufhängungsabschnitts; und

- Abbrechen der Werkstoffabtragung von den Kanälen des Aufhängungsabschnitts, wenn die miteinander ausgerichteten Anzeigeflächen durchbrechen, wobei die Bodenfläche

jedes Kanals im wesentlichen in der neutralen Biegeebene des Aufhängungsabschnitts liegt.
21. Verfahren nach Anspruch 20,
dadurch gekennzeichnet,

daß der Werkstoff durch Ätzen von dem Rohling abgetragen wird.
22. Verfahren nach Anspruch 21,
dadurch gekennzeichnet,

daß die Werkstoffabtragung von dem Rohling durch Säureätzen erfolgt.
23. Verfahren nach Anspruch 21,
dadurch gekennzeichnet,

daß die Werkstoffabtragung von dem Rohling durch Plasmaätzen erfolgt.
24. Verfahren nach Anspruch 21,
dadurch gekennzeichnet,

daß die Werkstoffabtragung von dem Rohling durch Ionenstrahl-Fräsen erfolgt.
25. Verfahren zum Herstellen einer federnden Aufhängung für Kraftumformer zum Verbinden eines Fühlers mit einem Befestigungsorgan,

gekennzeichnet durch Bereitstellen eines Kraftumformer-Rohlings mit zwei

zueinander entgegengesetzten Oberflächen; - Abtragen von Werkstoff von einem ersten Anzeigeabschnitt

einer der Oberflächen unter Bildung einer Anzeigefläche mit vorbestinunter Ausnehmungstiefe;

- Abtragen von weiterem Werkstoff von dem Anzeigeabschnitt und von mindestens einem weiteren Abschnitt auf mindestens einer der Oberflächen unter Bildung eines Aufhängungsbereichs auf dem Rohling; und

- Abbrechen der Werkstoffabtragung von dem Aufhängungsbereich, wenn mindestens ein Teil der Anzeigefläche durchbricht und verschwindet.
26. Verfahren nach Anspruch 25,
dadurch gekennzeichnet,

daß Werkstoff von einem zweiten Anzeigeabschnitt in der anderen der beiden Oberflächen abgetragen wird.
27. Verfahren nach Anspruch 26,
dadurch gekennzeichnet,

daß der erste und der zweite Anzeigeabschnitt mindestens teilweise miteinander ausgerichtet sind, so daß sie während der Bearbeitung aufeinandertreffen und an einem Teil ihrer Anzeigeflächen durchbrechen.
28. Verfahren nach Anspruch 27,
dadurch gekennzeichnet,

daß Werkstoff von mindestens einem Kanalbereich in einer der zueinander entgegengesetzten Oberflächen abgetragen wird, so daß die Oberfläche des Kanalbereichs mit dem Anzeigeabschnitt, der in derselben Oberfläche liegt, im wesentlichen koplanar bleibt.
29. Verfahren nach Anspruch 28,
dadurch gekennzeichnet,

daß die Oberfläche mindestens eines Kanalteils mit der neutralen Biegeebene der Aufhängung fluchtet, wenn die Werkstoffabtragung abgebrochen wird.
30. Verfahren nach einem der Ansprüche 26-28, dadurch gekennzeichnet,

daß die Bearbeitung einander entsprechender Abschnitte auf den zueinander entgegengesetzten Rohlings-Oberflächen im wesentlichen identisch erfolgt und im wesentlichen in einer Symmetrie der entsprechenden Oberflächenebenen in bezug auf die Mittelebene des Schwingfeder-Rohlings des Kraftumformers resultiert.
31. Verfahren nach einem der Ansprüche 28-30, dadurch gekennzeichnet,

daß die im wesentlichen identische Bearbeitung durch gleichzeitige Bearbeitung erreicht wird.