DE3037412A1 - Abstandsmesseinrichtung - Google Patents

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Abstandsmeßeinrichtung nach "dem Gattungsbegriff des Anspruches 1, wobei eine derartige Einrichtung insbesondere durch Ultraschall betrieben wird. Aus der US-PS 3 140 612 ist ein Ultraschallfühler für die Messung der Bewegung eines Reflektors bekannt. Mit diesem bekannten Fühler kann die Relativverschiebung eines beweglichen Reflektorelementes gemessen werden; eine direkte Messung des Abstandes zwischen Fühler und Reflektorelement ist jedoch nicht möglich.

Es ist daher die Aufgabe der vorliegenden Erfindung eine Abstandsmeßeinrichtung der eingangs genannten Art so auszubilden, daß eine Abstandsmessung eines beweglichen Reflektors ermöglicht wird, ohne daß hierbei Störreflexionen die Messung beeinträchtigen.

Die Lösung dieser Aufgabe gelingt gemäß der im Anspruch 1 gekennzeichneten Erfindung. Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der erfindungsgemäßen Abstandsmeßeinrichtung sowie eines Anwendungsbeispieles sind den Unteransprüchen entnehmbar.

Anhand von in den Figuren der beiliegenden Zeichnungen dargestellten Ausführungsbeispielen sei im folgenden die Erfindung näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 einen Querschnitt durch einen Differenzdruckfühler, der mit einer erfindungsgemäßen Abstandsmesseinrichtung ausgestattet ist;

Fig. 2 einen Querschnitt durch einen weiteren Differenzdruckfühler;

Fig. 3 einen Querschnitt durch den Fühlerteil eines Differenzdruckfühlers;

Fig. 4 einen Querschnitt durch einen Meßdruckaufnehmer, der mit dem Fühler gemäß Fig. 3 zusammenarbeitet;

Fig. 5 ein Blockdiagramm eines Auswerteschaltkreises für die in den Figuren 1 bis 4 dargestellten Druckwandler; und

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Fig. 6 einen weiteren Auswerteschaltkreis.

Gemäß Fig. 1 ist ein Querschnitt durch einen Differenzdruckwandler dargestellt, der von der erfindungsgemäßen Abstandsmeßeinrichtung Gebrauch macht. Eine erste Platte 2 ist in ihrem Randbereich mit einer Trennmembran 4 verbunden, wobei ein Raum 6 zwischen einer konkaven Oberfläche der Platte 2 unterhalb der Trennmembran 4 mit einer nicht dargestellten inkompressiblen Füllflüssigkeit gefüllt ist.Eine Fluidbohrung erstreckt sich durch die Platte 2 und verbindet den Raum 6 zwischen der Trennmembran 4 und der Platte 2 mit einer Fluidbohrung 12 in einer Trennplatte 10. Die Trennplatte 10 ist auf der Platte 2 auf der von der Trennmembran 4 abgewandten Seite angeordnet. Die Trennplatte 10 besteht aus irgendeinem für die Schallübertragung geeignetem Material und liefert eine akustische Impedanzanpassung zwischen einem akustischen Wandler und einer Befestigungswand, beispielsweise aus Glas. Die Fluidbohrung 12 verbindet die Fluidbohrung 8 mit einer weiteren Fluidbohrung 14 in einem Trägerblock 16, der aus einem Material mit kleinem Temperatur-Ausdehungskoeffizienten besteht, wobei derartige Materialien im Stand der Technik bekannt sind. Ein erster Ultraschallwandler 18 ist in einer Ausnehmung 20 in der Platte 2 angeordnet und mit der Abstandsplatte 10 auf der dem Trägerblock 16 gegenüberliegenden Seite befestigt. Über einen Anschlußdraht 22 wird der ültraschallwandler 18 mit Spannung versorgt. Der elektrische Anschlußdraht 22 tritt durch die Ausnehmung 20 aus der Platte 2 heraus und wird an eine nicht dargestellte elektrische Signalspannungsquelle angeschlossen.

Eine Fühlermembran 24 deckt den Trägerblock 16 auf der der Trennplatte 10 gegenüberliegenden Seite ab, wobei der Trägerblock 16 durch eine konkave Ausnehmung einen mit einer inkompressiblen Füllflüssigkeit gefüllten Raum zwischen sich und der Fühlermembran 24 bildet. Die Fluidbohrung 14 durch den Trägerblock 16 verbindet zusammen mit den Fluidbohrungen 12 und 8

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den Raum 6 unterhalb der Trennmembran 4 mit dem Raum zwischen der Fühlermembran 24 und dem Trägerblock 16. Eine weitere Fluidbohrung 26 befindet sich in dem Trägerblock 16 und erstreckt sich zentral von dem Ort, wo die Ultraschallquelle 18 auf der Trennplatte 10 angeordnet ist_fdurch den Trägerblock 16 in dessen konkav gewölbte Unterseite.

Die andere Hälfte des Druckwandlers ist im wesentlichen symmetrisch zu der eben beschriebenen Hälfte und umfaßt einen zweiten Ultraschallwandler 30, eine zweite Trennmembran 32, eine zweite Platte 34, eine zweite Trennplatte 36 und einen zweiten Stützblock 38. Die zweite Trennmembran 3 2 ist in ihrem Randbereich mit der zweiten Platte 34 verbunden, um ein Volumen 39 zwischen einer konkaven Oberfläche der Platte 34 und der Trennmembran 32 zu bilden. Eine Fluidbohrung 40 verbindet den Raum 39 mit der anderen Seite der Platte 34. Eine Bohrung 4 2 in der Trennplatte 36 dient der Weiterführung der Fluidbohrung 40, während eine weitere Fluidbohrung 44 in dem zweiten Stützkörper 38 die Verbindung mit der anderen Seite des Stützkörpers herstellt.

Der zweite Ultraschallwandler ist in einerAusnehmung 46 in der zweiten Platte 34 angeordnet und über einen Anschlußdraht 48 an eine nicht dargestellte elektrische Signalquelle angeschlossen. Das zweite Wandlerelement 30 ist auf eine Fluidbohrung 50 ausgerichtet, die durch den zweiten Trägerblock 38 verläuft und es sitzt auf der dem Trägerblock 38 abgewandten Seite der Trennwand 36. Die Fühlermembran 24 deckt gleichzeitig eine konkave Oberfläche des Stützblockes 38 auf der der Trennwand 36 gegenüberliegenden Seite ab. Ein Paar herkömmlicher Fluid-Füllanschlüsse 52 und 54 dienen der Zuführung eines Fluides in die entsprechenden Kanäle und Hohlräume des Druckwandlers. Die ersten und zweiten Trägerblöcke 16 und 38 sind mit der Fühlermembran 24 an deren äußerer Kante verbunden, wobei dies durch geeignete Mittel, wie beispielsweise durch Verschweißen geschieht, um einen dichten Aufbau zu erzielen. Die anderen Elemente des Druckwandlers gemäß Fig. 1 werden ebenfalls durch nicht dargestellte herkömmliche Befestigungsmittel zusammengehalten.

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In Fig. 2 ist eine Modifikation des Differenzdruckwandlers gemäß Fig. 1 dargestellt. Für übereinstimmende Elemente werden gleiche Bezugsziffern verwendet. Die ersten und zweiten Schallwandler 18 und 3 0 sind in Ausnehmungen 20 und 46 angeordnet und über Anschlußdrähte 22 und 48 an eine nicht dargestellte Signalspannungsquelle angeschlossen. Die Ausnehmung 20 ist in einer ersten Platte 60 angeordnet, die eine ringförmig gewölbte Oberfläche 64 aufweist, welche mit einer ringförmig gewölbten Trennmembran 62 zusammenwirkt und ein Innenvolumen für eine erste Füllflüssigkeit bildet. Eine erste Trennplatte 66 mit akustischer Impedanzanpassung ist in einer Ausnehmung angeordnet, die sich in der Oberfläche eines ersten Stützkörpers 68 gegenüber dem ersten akustischen Wandler 18 befindet. Eine zweite Trennplatte 70 befindet sich in einer Ausnehmung in der Oberfläche eines zweiten Trägerkörpers 72 gegenüber dem zweiten Wandlerelement Eine Fluidbohrung 74 befindet sich zwischen der Trennplatte 66 und einer gegenüberliegenden konkaven Oberfläche des ersten Trägerblockes 68, wobei sie auf den Wandler 18 ausgerichtet ist. In gleicher Weise befindet sich eine Fluidbohrung 76 in dem zweiten Trägerblock 72 zwischen der Trennplatte 70 und einer gegenüberliegenden konkaven Oberfläche dieses Trägerblockes 72, wobei sie auf den zweiten Wandler 30 ausgerichtet ist. Ferner ist eine zweite ringförmig gewellte Trennmembran 30 im Abstand von einer entsprechend ringförmig gewellten Oberfläche 82 der zweiten Platte angeordnet, um ein Volumen für die zweite Füllflüssigkeit dazwischen vorzugeben.

In Fig. 3 ist ein Querschnitt durch einen Differenzdruckfühler dargestellt, der mit einem Druckwandler gemäß Fig. 4 zusammenarbeitet. Soweit Elemente mit denjenigen in den Figuren 1 und 2 übereinstimmen, werden in den Figuren 3 und 4 die gleichen Bezugszeichen verwendet. So ist das erste akustische Wandlerelement 18 auf einer ersten Trennplatte 66 angeordnet, die ihrerseits in einer Ausnehmung in der Oberfläche eines ersten Trägerkörpers 86 angeordnet ist. Der zweite Wandler 30 ist auf einer zweiten Trennplatte 70 angeordnet, die ihrerseits in einer Ausnehmung in einem zweiten Trägerkörper 88 angeordnet ist. Eine

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erste Platte 90 befindet sich auf dem ersten Trägerkörper 86 und besitzt eine Bohrung 92, über die der Anschlußdraht 22 den ersten Wandler 18 mit einer nicht dargestellten .Signalspannungsquelle verbindet. In gleicher Weise weist eine zweite Platte eine Bohrung 96 auf, über die ein Anschlußdraht 48 den zweiten Wandler 30 mit einer nicht dargestellten Signalspannungsquelle verbindet. Ein erster Fluidkanal 98 verbindet in dem ersten Trägerblock 86 dessen konkave Oberfläche gegenüber der Membran 24 mit einer sich nach außen erstreckenden Tülle 100. In gleicher Weise ist ein zweiter Fluidkanal 102 in dem zweiten Trägerblock 88 vorgesehen, um die konkave Oberfläche gegenüber der Membran mit einer zweiten sich nach außen erstreckenden Tülle 104 zu verbinden.

Der in Fig. 4 dargestellte Druckwandler arbeitet mit dem Druckfühler gemäß Fig. 3 zusammen. Der Druckwandler weist einen Gehäuseblock 106 auf, dessen beide Oberflächen 64 und 82 ringförmig gewellt sind. Diesen gewellten Oberflächen gegenüber sind jeweils ringförmig gewellte Membranen 6 2 und 80 angeordnet. Ein erster Fluidkanal 108 ist in dem Gehäusekörper 106 angeordnet und verbindet den Raum zwischen der ersten Trennmembran 62 und der daran angepaßten Stützfläche 64 mit einer sich von dem Gehäusekörper 106 nach außen erstreckenden Tülle 110. In gleicher Weise ist ein zweiter Fluidkanal 112 in dem Gehäusekörper 106 angeordnet und verbindet den Raum zwischen der zweiten Trennmembran und der daran angepaßten Stützfläche 82 mit einer zweiten sich von dem Gehäusekörper 106 nach außen erstreckenden Tülle 114. Die Tüllen 110 und 114 werden über nicht dargestellte geeignete Verbindungsmittel mit den Tüllen 100 und 104 der Fühleranordnung gemäß Fig. 3 verbunden.

In Fig. 5 ist ein vereinfachtes Blockdiagramm eines Schaltkreises zur Speisung der akustischen Wandler in den Druckwandlern gemäß den Fig. 1 bis 4 und zur Feststellung der von den Druckwandlern empfangenen Signale dargestellt. Der beispielshalber dargestellte Druckwandler benutzt eine externe Meßanordnung, wobei die zu messenden Eingangsdrücke durch P₁ und P₂ veranschaulicht sind. Die dargestellte Anordnung entspricht derjenigen

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Anordnung gemäß den Fig. 3 und 4, wobei hinsichtlich dieser Teile übereinstimmende Bezugsziffern gewählt wurden. Der externe Fühler ist zusätzlich über Fluidleitungen 120 und 122 mit dem Wandler verbunden, wobei diese Fluidleitungen auf die zuvor erwähnten Tüllen geschoben werden. Ein erster Treiber 124 ist an den ersten Wandler 18 angeschlossen und gibt an diesen ein Erregersignal ab. Ein erster Detektorschaltkreis 126 ist ferner an den ersten Wandler 18 angeschlossen und erhält von diesem ein Ausgangssignal zugeführt. Das Ausgangssignal des Detektorschaltkreises wird einem ersten spannungsgesteuerten Oszillator 130 zugeführt, um die Frequenz von dessen Ausgangssignal· einzustellen. Das Ausgangssignal des spannungsgesteuerten Oszillators 130 wird dem Detektorschaltkreis und dem Treiberschaltkreis zugeführt. Ferner wird das Ausgangssignal des spannungsgesteuerten Oszillators 130 einem das Signal analysierenden Rechenschaltkreis 132 aufgeschaltet. Der Rechenschaltkreis 132 liefert an einem Ausgang 133 ein Ausgangssignal, das dem Differentialdruck zwischen den Eingangsdrücken P. und P~ entspricht.

In gleicher Weise ist ein zweiter Treiberschaltkreis 134 mit dem zweiten Wandler 30 verbunden, um an diesen ein Erregersignal zu liefern. Ein zweiter Detektorschaltkreis 136 ist an den zweiten Wandler 30 angeschlossen und erhält ein Ausgangssignal· von diesem zugeführt. Das Ausgangssignal des Detektors 136 wird einem zweiten spannungsgesteuerten Oszillator 138 zugeführt, um dessen Frequenz einzustellen. Das Ausgangssignal des spannungsgesteuerten Oszillators 138 wird dem zweiten Treiberschaltkreis 134 und dem zweiten Detektorschaltkreis 136 sowie dem analysierenden Rechenschaitkreis 132 zugeführt. Ein Zeitsteuerschaltkreis 139 wird benutzt, um Zeittaktsignaie zur Steuerung der Operation der Detektoren 126, 136, der Treiber 124, 134 und des Rechenschaitkreises 132 zu iiefern. Obgieich jeweiis zwei Treiberund Detektorschaitkreise in Fig. 5 dargeste^t sind, iiegt es auf der Hand, daß ein einziger Treiber- und Detektorschaltkreis verwendet werden kann, falls geeignete durch die Zeittaktsteuerung 139 gesteuerte Schalteinrichtungen einen Multiplexbetrieb dieser Treiber und Detektoren zwischen den Wandlern und den

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spannungsgesteuerten Oszillatoren gewährleisten.

Eine schematische Darstellung eines geeigneten Detektorschaltkreises, wie er hinsichtlich der Detektoren 126 und 136 verwendet werden kann, ist in Fig. 6 dargestellt. Ein Ausgangssignal des entsprechenden Wandlers, z. B. des Wandlers 18 wird über ein erstes durch einen Zeittakt gesteuertes Signalgatter 140 dem Eingang eines Signalverstärkers 142 zugeführt. Das Ausgangssignal des Verstärkers 142 wird auf den Eingang eines Nulldurchgangdetektors 144 und auf den Eingang eines Amlitudendetektors 146 geschaltet, wobei derartige Detektoren im Stand der Technik bekannt sind. Ausgangssignale des Nulldurchgangdetektors 144 und des Amplitudendetektors 146 werden den beiden Eingängen eines UND-Gatters 148 zugeführt. Das Ausgangssignal des UND-Gatters 148 ist auf den Eingang eines Monoflops 150 geführt, welches einen einem Phasenvergleicher 152 zugeführten Ausgangsimpuls erzeugt. Der Phasenvergleicher 152 wird benutzt, um die Phase des Impulssignales des Monoflops 150 mit dem Ausgangssignal eines zugeordneten spannungsgesteuerten Oszillators, beispielsweise des Oszillators 130 zu vergleichen. Das Ausgangssignal des spannungsgesteuerten Oszillators 130 wird dem Phasenvergleicher 152 hierbei über einen zweiten durch ein Zeittaktsignal gesteuerten Signalschalter 156 zugeführt. Ein Ausgangssignal des Phasenvergleichers 152 wird einem Abtast- und Speicherschaltkreis 154 zugeführt, dessen Ausgang die Frequenz des spannungsgesteuerten Oszillators 130 steuert. Das Ausgangssignal des spannungsgesteuerten Oszillators 130 wird ebenfalls dem Eingang des Treibers 124 zugeführt, wie dies zuvor im Zusammenhang mit Fig. 5 beschrieben wurde.

Die Wirkungsweise der erfindungsgemäßen Abstandsmeßeinrichtung sei im folgenden kurz erläutert. Bei der Betriebsauslösung, d. h. im Zeitpunkt Null gibt der erste Wandler, beispielsweise einen akustischen Impuls von 100 KHz ab. Dieser akustische Impuls ist auf den Reflektor gerichtet, der sich in einem Abstand X von dem Wandler befinden möge. Zu einem Zeitpunkt 2X, wobei C der Schallgeschwindigkeit in dem Medium zwischen Wandler und Reflektor ent-

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spricht, kommt das reflektierte Signal zu dem ersten Wandler zurück, unmittelbar danach wird ein zweiter akustischer Impuls von dem zweiten Wandler zu dem Reflektor ausgesandt. Der zweite Impuls wird von der anderen Seite des Reflektors reflektiert und gelangt zu dem zweiten Wandler zu einem Zeitpunkt 2 (Χ_ - X),

C wobei X_Q dem Abstand zwischen den beiden Wandlern entspricht.

Werden die beiden Zeitperioden mit TT und T2 bezeichnet, so ergibt sich:

T1 = 2CX = X

. T1 + T2 2C (X₀ - X) + 2CX X_Q

Wenn während der Zeitperiode T1 ein RC-Filter durch eine Steuereinrichtung an eine Bezugsspannung gelegt wird und wenn während der Zeitdauer T2 dieses Filter durch die Steuereinrichtung an Masse geschaltet wird, so liefert der Ausgang des Filters ein Signal entsprechend 2£ , welches ein Maß für die Lage des Reflektors ist. Während si8h bei dieser Betriebsweise eine störungsfreie Messung ergibt, ist dieses Meßverfahren nicht direkt für die Feststellung einer Membranposition in einem relativ kleinen Druckwandler anwendbar, bei welchem Membranauslenkungen in der Größenordnung von μ bei einer Maximalauslenkung von etwa 0,1 mm vorliegen. Hierbei würden sich Differenzen bei der Ankunftszeit der Scha!
ergeben.

-1 2 der Schallimpulse in der Größenordnung von Pikosekunden (10 s)

Um auch in solchen Fällen die Membranauslenkung noch erfassen zu können, wird ein Schaltkreis gemäß Fig. 6 vorgesehen. Der Schaltkreis gemäß Fig. 6 stellt die Phasendifferenz in den reflektierten Signalen auf jeder Seite des Reflektors fest, wobei diese reflektierten Signale mit einem zugeordneten Ausgangssignal eines spannungsgesteuerten Oszillators verglichen werden, der die Wandler auf der entsprechenden Seite des Reflektorelementes speist. Der Detektorschaltkreis auf jeder Seite des Reflektorelementes arbeitet daher nach Art eines Phasenverriegelungsschaltkreises, um die Frequenz eines zugeordneten spannungsgesteuerten Oszillators auf einem Wert zu halten, bei dem

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keine Phasenverschiebung in Bezug auf das reflektierte Signal auf der gleichen Seite des Reflektors vorliegt. Diese Frequenz wird durch die Lage des Reflektorelementes vorgegeben und entspricht daher beispielsweise dem angelegten Eingangsdruck P in dem zuvor erwähnten Beispiel. In gleicher Weise entspricht die Frequenz des zweiten spannungsgesteuerten Oszillators 138 dem zweiten Eingangsdruck P . Ein Abtast- und Speicherschaltkreis 154 kann beispielsweise verwendet werden, um die Frequenz des zugeordneten spannungsgesteuerten Oszillators 130 während des alternierenden Betriebs des Schaltkreises gemäß Fig. 5 aufrechtzuerhalten.

Die beiden Frequenzen F₁ und F„ der spannungsgesteuerten Oszillatoren 124 und 134 werden dem Rechenschaltkreis 132 zur Analysierung zugeführt, um ein Ausgangssignal entsprechend dem Differenzdruck zu erzeugen. Der Rechenschaltkreis 13.2 kann entweder analog arbeiten, wobei er direkt an die Frequenzsignale der spannungsgesteuerten Oszillatoren angeschlossen wird oder er kann digital arbeiten, wobei Analog/Digital-Wandler, digitale Verarbeitungsschaltkreise, wie beispielsweise Digitalcomputer und weitere derartige Elemente zur Anwendung gelangen. In jedem Fall wird die errechnete Lösung auf einer Gleichung f₂ - f.. bzw. f„

- f

^f1 ^{+ f}2 ^f2

basieren, wobei die erste Gleichung vorzuziehen ist, da sie eine geringere Empfindlichkeit bezüglich Temperatureinflüssen gewährleistet und linearisierend hinsichtlich des Membranabstandes beim Aufbau des Druckwandlers wirkt. Die Berechnung nach der zuletzt genannten Gleichung führt jedoch zu einer Kompensation der der Membranauslenkung anhaftenden Nichtlinearität. Beide Rechenverfahren machen von-einer einfachen Differenzbeziehung zwischen den Frequenzen Af Gebrauch, wobei der Differentialdruck durch diese Differenz bestimmt wird. Selbstverständlich können andere Linearisierverfahren, wie beispielsweise eine gespeicherte Tabelle von Linearisierungswerten in einem Digitalspeicher ebenfalls angewendet werden. Das sich ergebende Ausgangssignal des Rechenschaltkreises 132 gibt den relativen Abstand des Reflektors

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von den Wandlern an, wobei dieser Abstand durch die Differenz der Eingangsdrücke P₁ und P„, d. h. durch den Differentialdruck vorgegeben ist.

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Claims (7)

1. HONEYWELL INC. ^ U ν» / t t «» 1. Oktober 198

   Honeywell Plaza 04-4211 Ge

   Minneapolis, Minnesota, USA Hz/de

   Abstandsmeßeinrichtung

   Patentansprüche:

   ( 1.yAbstandsmeßeinrichtung, gekennzeichnet durch

   einen ersten akustischen Signalwandler (18); einen zweiten akustischen Signalwandler (30); einen akustischen Signalreflektor (24) zwischen dem ersten und zweiten Signalwandler zur entsprechenden Ref lektierun<j der akustischen Signale zu den beiden Signalwandlern; eine erste Wandler-Erregereinrichtung (124,130) für die selektive Erregung des ersten Signalwandlers auf Grund eines ersten Steuersignales;

   eine zweite Wandler-Erregereinrichtung (136,138) für die selektive Erregung des zweiten Signalwandlers auf Grund eines zweiten Steuersignales;

   eine Steuereinrichtung (129) zur abwechselnden Zuführung der ersten und zweiten Steuersignale zu der ersten und zweiten Erregereinrichtung; und

   einen an den Ausgang der ersten und zweiten Erregereinrichtung (124,130;136,138) angeschlossenen Signalanalysator (126,132,136) zur Erzeugung eines Ausgangssignales entsprechend dem relativen Abstand zwischen dem Reflektor (24) und dem ersten und zweiten Wandler (18;30).

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2. 2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet , daß die ersten und zweiten Signalwandler (18;30) jeweils einen akustischen Signalsender und Signalempfanger aufweisen.
3. 3. Einrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß an die Signalwandler (18;30) jeweils ein Detektor (126;136) angeschlossen ist, der ein Ausgangssignal entsprechend dem durch den Reflektor (24) reflektierten akustischen Signal liefert.
4. 4. Einrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet , daß die erste und zweite Erregereinrichtung jeweils einen spannungsgesteuerten Oszillator (130;138) und einen Treiber (124;134) aufweisen, wobei dem jeweiligen Oszillator das Ausgangssignal des jeweiligen Detektors (126;136) zugeführt wird und das Ausgangssignal des jeweiligen Oszillators dem jeweiligen Treiber zugeführt wird, der mit seinem Ausgangssignal die Signalwandler (18;30) beaufschlagt.
5. 5. Einrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Signalanalysator (126, 132,136) an die Ausgänge der spannungsgesteuerten Oszillatoren (130;138) angeschlossen ist.
6. 6. Einrichtung nach Anspruch 5, dadurch g e kennzeichnetr daß der Signalanalysator ein Auswertesignal entsprechend der Differenz zwischen dem ersten und zweiten Oszillatorsignal· dividiert durch die Summe aus dem ersten und zweiten Oszillatorsignal bildet.
7. 7. Verwendung einer Abstandsmeßeinrichtung nach Anspruch 1 oder einem der folgenden in einem Differenzdruckwandler, wobei der Signalreflektor durch die Meßmembran (24) vorgegeben ist und die Signalwandler (18;30) im Abstand von der auslenkbaren Meßmembran angeordnet sind.

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