DE29819856U1 - Steuerglied eines Piezoventils - Google Patents
Steuerglied eines PiezoventilsInfo
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Description
G 18514 - lens 15. Oktober 1998
Die Erfindung betrifft das Steuerglied eines Piezoventils, mit einem länglichen Biegeelement, das im Bereich eines seiner
beiden axialen Enden an einander entgegengesetzten längsseitigen Seitenflächen über jeweils ein eine Dichtfläche aufweisendes
Dichtelement verfügt.
Ein Steuerglied dieser Art geht beispielsweise aus der EPO 170 990 Al hervor. Es ist dort Bestandteil eines zu einer
Unterdruck-Steuervorrichtung gehörenden Piezoventils, wobei es über ein als Biegewandler bezeichnetes längliches Biegeelement
verfügt, das im Bereich seines einen axialen Endes gehäusefest eingespannt ist und im Bereich seines anderen
axialen Endes an einander entgegengesetzten längsseitigen Seitenflächen mit jeweils einem Dichtelement versehen ist,
das der Mündung eines Fluidkanals gegenüberliegt. Durch Anlegen einer Spannung an das Biegeelement wird selbiges verformt,
so daß wahlweise eines der beiden Dichtelemente mit einer an ihm vorgesehenen Dichtfläche an einem die zugeordnete
Kanalmündung umgebenden Ventilsitz anliegt.
Bei dem bekannten Piezoventil sind die beiden Dichtelemente
auf das Biegeelement aufgesetzt und vermutlich angeklebt. Auf diese Weise treten im Bereich beider Dichtelemente Fertigungs-
bzw. Montagetoleranzen auf, die sich addieren und die zur Folge haben, daß die Abstände zwischen den beiden Dichtflächen
variieren können, was die Betriebsgenauigkeit des Piezoventils beeinträchtigt. Weil die im Betrieb auftretende
Auslenkung des Biegeelementes regelmäßig sehr gering ist, machen sich schon geringe Maßtoleranzen sehr negativ bemerkbar
und erfordern beispielsweise eine aufwendige Düsenjustierung mit Bezug zum Biegeelement.
Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Steuerglied
der eingangs genannten Art zu schaffen, das eine einfachere und dennoch präzisere Herstellung gestattet.
Zur Lösung dieser Aufgabe ist vorgesehen, daß die beiden Dichtelemente gemeinsamer Bestandteil eines Dichtkörpers
sind, der einen sich zwischen den beiden Dichtelementen erstreckenden und einstückig mit diesen ausgebildeten Verbindungsabschnitt
aufweist, der eine Durchbrechung des Biegeelementes durchsetzt, wobei die beiden Dichtelemente den die
Durchbrechung begrenzenden Randabschnitt des Biegeelementes übergreifen und im Umfangsbereich der Durchbrechung an der
jeweils zugeordneten längsseitigen Seitenfläche des Biegeelementes anliegen.
Auf diese Weise sind die beiden Dichtelemente in einem gemeinsamen
Dichtkörper zusammengefaßt, wobei sie über den Verbindungsabschnitt untereinander verbunden sind, so daß ein
fester Abstand zwischen den beiden Dichtflächen vorliegt, der bereits bei der Herstellung des Dichtkörpers festgelegt werden
kann. Dabei ist insbesondere auch die Möglichkeit gegeben, den Dichtkörper mit seinen Dichtflächen unabhängig vom
Biegeelement nach Bedarf mechanisch und/oder thermisch zu behandeln, ohne das Material des Biegeelementes zu beeinträchtigen.
Da sich im montierten Zustand, bedingt durch die den die Durchbrechung begrenzenden Randabschnitt des Biegeelementes
übergreifenden Dichtelemente eine mechanische Fixierung des Dichtkörpers am Biegeelement einstellt, ist eine einfache
und präzise Montage möglich, wobei sich gewährleisten läßt, daß der zwischen den beiden Dichtflächen vorhandene Abstand
nicht verändert wird und die Montagetoleranzen gering sind. Es versteht sich, daß das Biegeelement unter Berücksichtigung
der Durchbrechung zweckentsprechend gestaltet wird, wobei insbesondere durch die Lage der zum Betrieb gegebenenfalls
erforderlichen Elektroden (Elektrodenlayout) die Einbringung der Durchbrechung möglich gemacht werden kann.
Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung gehen aus den Unteransprüchen
hervor.
Es wäre prinzipiell möglich, die Durchbrechung als umfangsseitig vollständig geschlossenes Loch auszuführen, in das der
Dichtkörper eingeknöpft wird, der insbesondere in diesem Falle über gummielastische Eigenschaften verfügen sollte. Eine
noch einfachere Bauform sieht allerdings vor, daß die vom Verbindungsabschnitt des Dichtkörpers durchsetzte Durchbrechung
des Biegeelementes zu dessen Rand hin offen ist, um eine einfache Steckmontage des Dichtkörpers über die randseiti-
ge Öffnung hinweg vornehmen zu können. Dabei ist es aus Gründen der Symmetrie von Vorteil, wenn sich die randseitige Öffnung
der Durchbrechung an der axial orientierten Stirnseite des Biegeelementes befindet.
Insbesondere dann, wenn allein durch mechanische Befestigungsmaßnahmen
keine ausreichend sichere Fixierung gewährleistet werden kann, empfiehlt sich eine zusätzliche Klebeverbindung zwischen dem Dichtkörper und dem Biegeelement.
keine ausreichend sichere Fixierung gewährleistet werden kann, empfiehlt sich eine zusätzliche Klebeverbindung zwischen dem Dichtkörper und dem Biegeelement.
Die Abmessungen des Verbindungsabschnittes können so gewählt werden, daß die beiden Dichtelemente mit Vorspannung am Biegeelement
anliegen.
Die Dichtflächen können unmittelbar am jeweils zugeordneten Dichtelement vorgesehen sein, so daß sie einstückiger Bestandteil
des Dichtkörpers sind. Eine hierzu alternative und besonders vorteilhafte Bauform sieht allerdings vor, die
Dichtflächen an separaten Dichtflächenteilen auszubilden und diese Dichtflächenteile am einstückigen Dichtkörper festzulegen. Dies macht es möglich, den Dichtkörper hinsichtlich seiner Haltefunktion am Biegeelement optimal auszulegen und unabhängig davon für die Dichtflächen das sich am besten eignende
Material auszuwählen.
des Dichtkörpers sind. Eine hierzu alternative und besonders vorteilhafte Bauform sieht allerdings vor, die
Dichtflächen an separaten Dichtflächenteilen auszubilden und diese Dichtflächenteile am einstückigen Dichtkörper festzulegen. Dies macht es möglich, den Dichtkörper hinsichtlich seiner Haltefunktion am Biegeelement optimal auszulegen und unabhängig davon für die Dichtflächen das sich am besten eignende
Material auszuwählen.
Nachfolgend wird die Erfindung anhand der beiliegenden Zeichnung näher erläutert. In dieser zeigen:
JlII* I &idigr;* ».
Figur 1 eine erste Bauform des erfindungsgemäßen Steuergliedes
in einer Draufsicht auf eine der längsseitigen Seitenflächen des Biegeelementes,
Figur 2 eine weitere Bauform des Steuergliedes in einer der Figur 1 entsprechenden Ansicht, wobei die Blickrichtung
in Figur 3 durch Pfeil II verdeutlicht ist,
Figur 3 einen Längsschnitt durch das Steuerglied der Figur 2 gemäß Schnittlinie III-III, wobei ergänzend Gehäusebestandteile
eines mit dem Steuerglied ausgestatteten Piezoventils abgebildet sind und wobei der Dichtkörper in einer Querschnittsdarstellung
vor der Montage und in einer Seitenansicht nach der Montage gezeigt ist, und
Figur 4 eine weitere Bauform des Steuergliedes in einer der Figur 2 entsprechenden Darstellungsweise mit einer
abweichenden Formgebung der Dichtelemente.
Alle Figuren der Zeichnung zeigen ein Steuerglied 1, das bei Piezoventilen zum Einsatz gelangen kann. Die Figur 3 zeigt
exemplarisch einige weitere Bestandteile eines solchen Piezoventils 2, welches in der Regel über ein Gehäuse 3 verfügt,
das einen Innenraum 4 definiert, in dem sich das Steuerglied erstreckt.
Das Steuerglied 1 enthält ein längliches plattenartiges Biegeelement
5 mit zweckmäßigerweise rechteckigem Umriß, das im
Bereich eines seines beiden axialen Enden - nachfolgend als rückseitiges Ende 6 bezeichnet - gehäusefest eingespannt ist.
Seine beiden einander entgegengesetzten längsseitigen Seitenflächen 7, 7', die von den voneinander abgewandten größerflächigen
Plattenflächen repräsentiert werden, sind mit elektrischen Leitern 8, 8' kontaktiert, so daß unter Vermittlung einer
strichpunktiert angedeuteten Spannungsquelle 12 eine
Spannung angelegt werden kann, die eine durch Doppelpfeil angedeutete Schwenkbewegung 12 des Biegeelementes 5 bezüglich
der gehäuseseitigen Einspannstelle 13 hervorruft.
Im Bereich des dem rückseitigen Ende 6 entgegengesetzten anderen axialen Endes des Biegeelementes 5 - nachfolgend als
vorderes Ende 14 bezeichnet - ist ein Dichtkörper 15 festgelegt. Dieser enthält zwei scheiben- oder plattenähnliche
Dichtelemente 16, 16', die von entgegengesetzten Seiten her
an den beiden längsseitigen Seitenflächen 7, 71 des Biegeelementes
5 anliegen. Jedes Dichtelement 16, 16' enthält eine vom Biegeelement 5 abgewandte Dichtfläche 17, 17', die einem
gehäusefesten ringförmigen Ventilsitz 18, 18' gegenüberliegt,
der die Mündung eines im Gehäuse 3 verlaufenden Fluidkanals 19, 19' umschließt.
Durch Verschwenken des Steuergliedes 1 läßt sich wahlweise eine der Dichtflächen 17, 17' an den ihr gegenüberliegenden
Ventilsitz 18, 18' anlegen, so daß die Mündung des zugeordneten Fluidkanals 19, 19' verschlossen wird. Gleichzeitig ist
die entgegengesetzt orientierte andere Dichtfläche von dem dieser zugewandten Ventilsitz abgehoben, so daß die Mündung
des zugeordneten Fluidkanals freigegeben ist und eine Fluid-
strömung stattfinden kann. Handelt es sich bei dem Piezoventil
2 um ein 3/2-Wegeventil, kann in den Innenraum 4 ein nicht dargestellter weiterer Fluidkanal einmünden, der in Abhängigkeit
von der Schwenkstellung des Steuergliedes 1 wahlweise mit einem der beiden oben beschriebenen Fluidkanäle 19,
19' verbindbar ist. Denkbar wäre beispielsweise auch eine Ausgestaltung als 2/2-Ventil, wobei eine aus Figur 3 ersichtliche
Schaltstellung möglich ist, in der beide Dichtflächen 17, 17' vom zugeordneten Ventilsitz 18, 18' abgehoben sind,
so daß ein Fluid, beispielsweise Druckluft, durch den Innenraum 4 hinweg zwischen den beiden Fluidkanälen 19, 19' überströmen
kann. Um die Fluidverbindung zu unterbrechen, wird hier der Dichtkörper 15 mit einer seiner Dichtflächen 17, 17'
an einen der Ventilsitze 18, 18' angedrückt.
Die beiden Dichtelemente 16, 16' sind über einen zwischen ihnen
angeordneten Verbindungsabschnitt 22 des Dichtkörpers 15 einstückig miteinander verbunden, wobei der Querschnitt des
Verbindungsabschnittes 22 geringer ist als derjenige der beiden Dichtelemente 16, 16', so daß der Dichtkörper 15 insgesamt
eine klotz- oder scheibenähnliche Form hat und über eine umlaufende Ringnut 23 verfügt. Der Nutgrund 24 der Ringnut 23
ist von der Umfangsflache des Verbindungsabschnittes 22 gebildet, die beiden Nutflanken 25 werden von den den Verbindungsabschnitt
22 radial überragenden Randbereichen der Dichtelemente 16, 16' definiert. Die zwischen den Nutflanken
25, 25' gemessene Breite der Ringnut 23 entspricht zweckmäßigerweise der zwischen den längsseitigen Seitenflächen 7, 7'
gemessenen Dicke des Biegeelementes 5 im Bereich der Befestigungsstelle des Dichtkörpers 15.
Das Biegeelement 5 weist im Bereich der Befestigungsstelle des Dichtkörpers 15 eine zwischen den beiden längsseitigen
Seitenflächen 7, 7' durchgehende Durchbrechung 26 auf. Bei montiertem Dichtkörper 15 greift der Verbindungsabschnitt 22
durch die Durchbrechung 26 hindurch, während die beiden Dichtelemente 16, 16' den die Durchbrechung 26 umfangsseitig begrenzenden
Randabschnitt 27 des Biegeelementes 5 übergreifen und im Umfangsbereich der Durchbrechung 2 6 an der jeweils zugeordneten
längsseitigen Seitenfläche 7, 7' des Biegeelementes 5 anliegen.
Beim Ausführungsbeispxel der Figur 1 ist die Durchbrechung nach Art einer umfangsseitig vollständig geschlossenen Bohrung
ausgeführt, in die der vorzugsweise aus Material mit gummielastischen Eigenschaften bestehende Dichtkörper 15 eingeknöpft
ist.
Hiervon abweichend ist bei den Ausführungsbeispielen der Figuren 2 bis 4 vorgesehen, daß die Durchbrechung 2 6 zu dem relativ
schmalen Rand des Biegeelementes 5 hin offen ist, wobei die randseitige Öffnung 28 zweckmäßigerweise an der axial
orientierten Stirnfläche 32 des vorderen Endes 14 des Biegeelementes 5 liegt. Die Durchbrechung 26 ist hier also nach
Art eines Einschnittes oder einer Aussparung in die vordere Stirnfläche 32 eingebracht.
Die Einbringung der Durchbrechung 26 wird im übrigen bei allen Ausführungsformen zweckmäßigerweise dadurch begünstigt,
daß die in der Zeichnung nicht im Detail dargestellten, mit
den Leitern 8, 8' kontaktierten Elektroden des Biegeelementes
eine entsprechend angepaßte Gestaltung haben.
Die randseitige Öffnung 28 der Durchbrechung 26 ermöglicht eine einfache Steckmontage des Dichtkörpers 15 von der axialen
Vorderseite des Biegeelementes 5 her. Dabei ist zweckmäßigerweise vorgesehen, daß die in der Ausdehnungsebene des
Biegeelementes 5 quer zu dessen Längsrichtung gemessene Breite der randseitigen Öffnung 28 den entsprechend gemessenen
Querabmessungen des Verbindungsabschnittes 22 entspricht. Die Anordnung sollte möglichst so getroffen werden, daß beim Einführen
des Dichtkörpers 15 in die Durchbrechung 26 des Biegeelementes
5 der vor der Montage vorhandene Abstand "a" zwischen den beiden Dichtflächen 17, 17' unverändert bleibt. Somit
kann bei der separat vom Biegeelement 5 erfolgenden Fertigung des Dichtkörpers 15 ein präziser Abstand "a" vorgegeben
werden, der sich auch nach der Montage am Biegeelement 5 nicht geändert hat, so daß insgesamt eine Herstellung mit geringen
Toleranzen möglich ist.
Bei der Einsteckmontage des Dichtkörpers 15 in die Durchbrechung 26 greift der die Durchbrechung 2 6 begrenzende Randabschnitt
27 des Biegeelementes 5 auf entgegengesetzten Seiten in die Ringnut 23 ein, so daß sich der Dichtkörper 15 leicht
und zielgerichtet aufschieben läßt. Hat der Dichtkörper 15 seine Endposition erreicht, ist er sowohl in der Dickenrichtung
als auch in der Querrichtung des Biegeelementes 5 mechanisch formschlüssig fixiert und bereits relativ sicher gehalten.
Dabei würde es die in der Regel gummielastische Ausgestaltung des Dichtkörpers 15 gestatten, die maßliche Abstim-
mung so zu treffen, daß die beiden Dichtelemente 16, 16' mit
zumindest geringer Vorspannung am Biegeleement 5 anliegen, so daß auch noch eine gewisse kraftschlüssige Fixierung vorhanden
ist. Zweckmäßigerweise wird man aber zur endgültigen Befestigung auf eine zusätzliche Klebeverbindung zwischen dem
Dichtkörper 15 und dem Biegeelement 5 zurückgreifen.
Bei den Ausführungsbeispielen der Figuren 1 bis 3 hat der Verbindungsabschnitt 22 eine zylindrische Außenkontur und
auch die Dichtelemente 16, 16' verfügen über einen kreisförmigen
Umriß. Bei der Bauform der Figur 1 entspricht der Durchmesser der Durchbrechung 26 demjenigen des Verbindungsabschnittes
22. Beim Ausführungsbeispiel der Figuren 2 und 3 hat die Durchbrechung 26 eine U-förmige Kontur, wobei sich
die randseitige Öffnung 28 im Bereich der U-Öffnung befindet und der Radius des U-Bogens dem Radius des Verbindungsabschnittes
22 entspricht, so daß dieser am Rand der Durchbrechung 26 satt anliegen kann.
Bei der Ausführungsform der Figur 4 ist sowohl die Durchbrechung
26 als auch der Verbindungsabschnitt 22 rechteckförmig und insbesondere quadratisch konturiert. Auch die Dichtelemente
16, 16' verfügen hier über einen reckteckförmigen und
insbesondere quadratischen Umriß.
Die Figuren 2 bis 4 machen ferner deutlich, daß die in Längsrichtung
des Biegeelementes 5 gemessene Tiefe der Durchbrechung 2 6 durchaus so gewählt sein kann, daß der Dichtkörper
15 im montierten Zustand mit einem Abschnitt seines Umfanges
über die vordere Stirnfläche 32 des Biegeelementes 5 axial hinausragt.
Die Dichtflächen 17, 17' können unmittelbar am jeweils zugeordneten
Dichtelement 16, 16' ausgebildet sein, wie dies exemplarisch
anhand der Figur 1 gezeigt ist. Hier bildet der Dichtkörper 15 einschließlich der Dichtflächen 17, 17' einen
zweckmäßigerweise integralen Körper, der vorzugsweise aus Kunststoffmaterial besteht und der insbesondere über gummielastische
Eigenschaften verfügt.
Bei einer alternativen Bauform, wie sie anhand der Figuren 2 bis 4 verdeutlicht wird, sind die Dichtflächen 17, 17' Bestandteil
separater Dichtflächenteile 33, 33', die im Bereich der Dichtelemente 16, 16' am Dichtkörper 15 unverlierbar befestigt
sind. Die Befestigung der Dichtflächenteile 33, 33' kann beispielsweise durch Verkleben erfolgen oder vorzugsweise
dadurch, daß sie bei einer Spritzgießherstellung des Dichtkörpers 15 vom Dichtkörpermaterial teilweise umspritzt
werden. Auf jeden Fall empfiehlt sich eine Ausgestaltung bei der die Dichtflächenteile 33, 33' flache Scheibenkörper sind,
die an der dem Ventilsitz 18, 18' zugewandten Außenseite in das zugeordnete Dichtelement 16, 16' zumindest teilweise eingelassen
bzw. eingebettet sind. Bei den Ausführungsbeispielen der Figuren 2 bis 4 verlaufen die an den Dichtflächenteilen
33, 33' vorgesehenen Dichtflächen 17, 17' bündig in einer Ebene mit den die Dichtflächenteile 33, 33' umschließenden
Bereichen des Dichtkörpers 15.
Die separate Ausgestaltung der Dichtflächen 17, 17' hat den
Vorteil, daß man das Material des Dichtkörpers 15 hinsichtlich seiner Haltefunktion und das Material der Dichtflächenteile
33, 33' hinsichtlich der zu erfüllenden Dichtfunktion auswählen kann, ohne Kompromisse eingehen zu müssen. Zweckmäßigerweise
bestehen sowohl der Dichtkörper 15 als auch die Dichtflächenteile 33, 33' aus Kunststoffmaterial, dessen Härte
und Elastizität man nach Bedarf auswählt.
Claims (10)
1. Steuerglied eines Piezoventils (2), mit einem länglichen Biegeelement (5), das im Bereich eines seiner beiden axialen
Enden (14) an einander entgegengesetzten längsseitigen Seitenflächen
(7, 7') über jeweils ein eine Dichtfläche (17,
17") aufweisendes Dichtelement (16, 16') verfügt, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Dichtelemente (16, 16') gemeinsamer
Bestandteil eines Dichtkörpers (15) sind, der einen
sich zwischen den beiden Dichtelementen (16, 16') erstreckenden und einstückig mit diesen ausgebildeten Verbindungsabschnitt
(22) aufweist, der eine Durchbrechung (26) des Biegeelementes (5) durchsetzt, wobei die beiden Dichtelemente (16, 16') den die Durchbrechung (26) begrenzenden Randabschnitt
(27) des Biegeelementes (5) übergreifen und im Umfangsbereich der Durchbrechung (26) an der jeweils zugeordneten längsseitigen
Seitenfläche (7, 7') des Biegeelementes (5) anliegen.
(7, 7') über jeweils ein eine Dichtfläche (17,
17") aufweisendes Dichtelement (16, 16') verfügt, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Dichtelemente (16, 16') gemeinsamer
Bestandteil eines Dichtkörpers (15) sind, der einen
sich zwischen den beiden Dichtelementen (16, 16') erstreckenden und einstückig mit diesen ausgebildeten Verbindungsabschnitt
(22) aufweist, der eine Durchbrechung (26) des Biegeelementes (5) durchsetzt, wobei die beiden Dichtelemente (16, 16') den die Durchbrechung (26) begrenzenden Randabschnitt
(27) des Biegeelementes (5) übergreifen und im Umfangsbereich der Durchbrechung (26) an der jeweils zugeordneten längsseitigen
Seitenfläche (7, 7') des Biegeelementes (5) anliegen.
2. Steuerglied nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die vom Verbindungsabschnitt (22) des Dichtkörpers (15)
durchsetzte Durchbrechung (26) zur Ermöglichung einer Steckmontage des Dichtkörpers (15) zum Rand des Biegeelementes (5)
hin offen ist.
3. Steuerglied nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß
die Durchbrechung (26) zur benachbarten, axial orientierten Stirnfläche (32) des Biegeelementes (5) hin offen ist.
4. Steuerglied nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Dichtkörper (15) mit dem Biegeelement
(5) verklebt ist.
5. Steuerglied nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Dichtelemente (16, 16') mit
zumindest geringer Vorspannung am Biegeelement (5) anliegen.
6. Steuerglied nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch
gekennzeichnet, daß der Dichtkörper (15) über eine umlaufende Ringnut (23) verfügt, deren Nutgrund (24) von der Umfangsflache
des Verbindungsabschnittes (22) und deren Nutflanken (25, 25') von den Dichtelementen (16, 16') gebildet sind.
7. Steuerglied nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens eine Dichtfläche (17, 17') unmittelbar
am zugeordneten Dichtelement (16, 16') ausgebildet ist.
I · · · · ·
8. Steuerglied nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens eine Dichtfläche (17, 17') an
einem am zugeordneten Dichtelement (16, 16') festgelegten separaten Dichtflächenteil (33, 33') vorgesehen ist.
9. Steuerglied nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß das Dichtflächenteil (33, 33') am zugehörigen Dichtelement
(16, 16') durch eine Klebeverbindung oder durch Umspritzen bei der Spritzgießherstellung des Dichtkörpers (15) fixiert
ist.
10. Steuerglied nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, daß das Dichtflächenteil (33, 33') zumindest teilweise
in das zugeordnete Dichtelement (16, 16') eingebettet ist.
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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DE29819856U DE29819856U1 (de) | 1998-11-06 | 1998-11-06 | Steuerglied eines Piezoventils |
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DE29819856U1 true DE29819856U1 (de) | 1999-01-14 |
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ID=8064968
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DE19949197A Withdrawn DE19949197A1 (de) | 1998-11-06 | 1999-10-13 | Steuerglied eines Piezoventils |
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DE19949197A Withdrawn DE19949197A1 (de) | 1998-11-06 | 1999-10-13 | Steuerglied eines Piezoventils |
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