DE29510683U1

DE29510683U1 - Device for reading image information from an image template

Info

Publication number: DE29510683U1
Application number: DE29510683U
Authority: DE
Original assignee: THOMS MICHAEL DR
Current assignee: THOMS MICHAEL DR
Priority date: 1995-07-09
Filing date: 1995-07-09
Publication date: 1995-08-31
Anticipated expiration: 2005-07-10

Description

Einrichtung zum Lesen von Bildinformationen einer BildvorlageDevice for reading image information from an image template

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Einrichtung zum Lesen von Bildinformationen einer Bildvorlage.The present invention relates to a device for reading image information of an image original.

Nach der deutschen Patentschrift 29 51 501 ist eine Strahlungsbi Idlesevorrichtung zum Lesen von auf einer stimulierbaren Leuchtstoffplatte aufgezeichneten Strahlungsbildinformationen bekannt, bei welcher die Platte mit einer stimulierenden Strahlung zeilenweise abgetastet wird und ein Photodetektor für das von dem Leuchtstoff emittierte Licht vorgesehen ist.According to German patent specification 29 51 501, a radiation image reading device for reading radiation image information recorded on a stimulable phosphor plate is known, in which the plate is scanned line by line with stimulating radiation and a photodetector is provided for the light emitted by the phosphor.

Die Erfindung stellt sich die Aufgabe, eine Vorrichtung dieser Art zu verbessrn, insbesondere dahingehend, daß ihr Anwendungsbereich erweitert, daß die ausgelesene Bildinformation digital abspeicher- und damit weiterverarbeitbar wird und daß unter Eliminierung von Nebenlichteffekten ein Höchstmaß an detektierbarem Nutzlicht erhalten wird.The invention aims to improve a device of this type, in particular to the extent that its area of application is expanded, that the read-out image information can be digitally stored and thus further processed, and that a maximum amount of detectable useful light is obtained while eliminating secondary light effects.

Die Lösung diesr Aufgabe gelingt erfindungsgemäß mit den in den Ansprüchen wiedergegebenen Merkmalen. Im folgenden wird die Erfindung mit ihren einzelnen Ausbildungen unter Bezugnahme auf die Figuren näher erläutert.This object is achieved according to the invention with the features set out in the claims. In the following, the invention and its individual embodiments are explained in more detail with reference to the figures.

Die Erfindung ist außer in der Medizintechnik insbesondere auch in der Materialanalytik und Diffraktometrie vorteilhaft anwendbar. In der Medizintechnik ist es häufig erwünscht, ei-The invention can be used advantageously not only in medical technology but also in material analysis and diffractometry. In medical technology it is often desirable to have a

nerseits Röntgenaufnahmen , die mit herkömmlichen Röntgenfilmen (Halbtondurchsichsichtvorlagen) hergestellt wurden, abzutasten und zu digitalisieren. Andererseits macht man sich aber auch häufig die vorteilhaften Eigenschaften von Speicherleuchtstoff ilmen zunutze, um mit diesem Medium Röntgenbilder zu erstellen und verwendete bisher ein spezielles Abtastgerät, um die in den Speicherleuchtstoffilmen gespeicherte Röntgeninformation abzutasten und zu digitalisieren, welches Abtastgerät aber keine andere Anwendung zuließ. Des weiteren ist es in der Materialanalytik häufig erwünscht Defektverteilungen in ebenen Proben, wie zum Beispiel Halbleiterkristallscheiben, mit optischen Mitteln zu charakterisieren. Hierzu werden meistens zwei verschiedene Verfahren angewandt. Das erste besteht darin, daß die Photolumineszenzintensität der Probe bei der Anregung mit monochromatischem Licht ortsaufgelöst bestimmt wird, indem die Probenoberfläche mit einem Lichtstrahl angeregt und abgetastet wird. Das zweite Verfahren besteht darin die Absorption des Materials für Licht einer bestimmten Wellenlänge ortsaufgelöst zu bestimmen, indem die Probe mit einem Lichtstrahl abgerastert wird und die Transmission des Lichtstrahls ortsaufgelöst bestimmt wird. Aus den einzelnen Werten der Transmission an den unterschiedlichen Punkten hinter der Probenoberfläche kann nun auf die Absorption des Materials an diesen Stellen zurückgerechnet werden. Auch hierfür bedurfte es spezieller Abtastgeräte.On the one hand, X-ray images that were produced using conventional X-ray films (halftone transparency templates) can be scanned and digitized. On the other hand, the advantageous properties of storage phosphor films are also often used to create X-ray images using this medium, and a special scanning device has previously been used to scan and digitize the X-ray information stored in the storage phosphor films, but this scanning device did not allow any other application. Furthermore, in materials analysis it is often desired to characterize defect distributions in flat samples, such as semiconductor crystal disks, using optical means. Two different methods are usually used for this. The first involves determining the photoluminescence intensity of the sample in a spatially resolved manner when excited with monochromatic light by exciting and scanning the sample surface with a light beam. The second method consists of determining the absorption of the material for light of a certain wavelength in a spatially resolved manner by scanning the sample with a light beam and determining the transmission of the light beam in a spatially resolved manner. The absorption of the material at these points can now be calculated from the individual values of the transmission at the different points behind the sample surface. This also required special scanning devices.

Die hier beschriebene Einrichtung ist erfindungsgemäß in einfacher Weise für alle der vorstehend erwähnten Anwendungsbereiche und für verschiedenartige Bildvorlagen ertüchtigt und macht dadurch den vergleichsweise aufwendigen und teuren Einsatz von mehreren verschiedenen Geräten entbehrlich. Ferner verbessert sie durch besondere Konstruktionsmerkmale, die im einzelnen später beschrieben werden, die Qualität der erzeugten Bilder.The device described here is, according to the invention, easily adapted for all of the above-mentioned areas of application and for various types of image templates, thus making the comparatively complex and expensive use of several different devices unnecessary. Furthermore, it improves the quality of the images produced through special design features, which are described in detail later.

Eine vorteilhafte Ausführungsform der Erfindung ist schematisch in der Figur 1 dargestellt. Zur besseren Erkennbarkeit der in das Gerät eingebauten Komponenten ist das äußere lichtdichte und abnehmbare Gerätegehäuse 25 transparent dargestellt, indem nur se ine. «Kanten: abgetoild.&t-eii-nd. Im Inneren desAn advantageous embodiment of the invention is shown schematically in Figure 1. For better visibility of the components built into the device, the outer light-tight and removable device housing 25 is shown transparent, in that only its edges are visible.

Gehäuses ist ein verschiebbarer Probentisch 8 angeordnet. Er ist auf Wellen 3 verschiebbar gelagert und kann durch eine Rotation der Spindel 2, welche in ein mit dem Probentisch 8 verbundenes Gewinde eingreift, verschoben werden. Die Spindel kann durch einen Motor 1 in Rotation versetzt werden. Dadurch kann der gesamte Verschiebetisch 8 von der Ruheposition in der rechten Gehäusehälfte in die linke Gehäusehälfte und zurück bewegt werden. Verschiedene Motortypen, wie Servomotoren oder Schrittmotoren sind für den Antrieb des Tisches 8 einsetzbar. Jedoch ist erfindungsgemäß ein Schrittmotor zur Bewegung der Spindel besonders gut geignet, um den Probentisch 8 schrittweise mit konstantem Schrittabstand zu verfahren und bei aufeinander folgenden Abtastvorgängen mit hoher Genauigkeit die Abtastpositonen zu reproduzieren. Ferner können innerhalb des Gehäuses 25 mehrere Sensoren, wie z.B. Taster oder Lichtschranken, angeordnet sein, die dazu dienen, bestimmte Positionen des Probentisches zu bestimmen. Der Probentisch 8 besitzt eine Auflageplatte 9, auf deren Oberfläche die abzutastende Filmvorlage, der Speicherleuchtstoffilm bzw. die zu prüfende Probe gelegt wird. Diese Auflageplatte 9 kann je nach Anwendungsgebiet des Gerätes erfindungsgemäß auswechselbar ausgebildet sein und aus einem Glas, welches eine für die jeweilige Anwendung vorteilhafte Färbung besitzen kann, einem Spiegel oder einer festen Speicherleuchtstoffplatte bestehen. Oberhalb der Auflageplatte 9 befindet sich ein mindestens ebensogroßer Ausschnitt 22 für das Wechseln der Filme und Proben in dem Gehäuse 25, welcher mit einem lichtdichten, jedoch vorteilhafterweise erfindungsgemäß für Röntgenstrahlung durchlässigen Fenster abgedeckt wird. Ein derartiges abnehmbares Röntgenfenster, welches sich in der Ruheposition des Verschiebetisches 8 über die gesamte Auflageplatte 9 erstreckt, hat mehrere Vorteile. Einerseits lassen sich die Proben und Filme einfach wechseln. Des weiteren können jedoch auch mehrere Röntgenbestrahlungen nacheinander durchgeführt werden ohne den Speicherleuchtstoffilm zu wechseln, so daß sich die Bildwiederholzeit beträchtlich erhöht und die Abtastpunkte des Films sich bei wiederholten !Röntgenaufnahmen an derselben Position befinden. Dadurch ist es möglich das gesamte Abtastsystem in Verbindung mit dem Speicherleuchtstoffilm mittels einerA movable sample table 8 is arranged in the housing. It is mounted on shafts 3 and can be moved by rotating the spindle 2, which engages in a thread connected to the sample table 8. The spindle can be set in rotation by a motor 1. This allows the entire displacement table 8 to be moved from the rest position in the right half of the housing to the left half of the housing and back. Various types of motor, such as servo motors or stepper motors, can be used to drive the table 8. However, according to the invention, a stepper motor is particularly well suited to moving the spindle in order to move the sample table 8 step by step with a constant step distance and to reproduce the scanning positions with high accuracy during successive scanning processes. Furthermore, several sensors, such as buttons or light barriers, can be arranged within the housing 25, which serve to determine certain positions of the sample table. The sample table 8 has a support plate 9, on the surface of which the film template to be scanned, the storage phosphor film or the sample to be tested is placed. This support plate 9 can be designed to be replaceable according to the invention, depending on the area of application of the device, and can consist of a glass, which can have a color that is advantageous for the respective application, a mirror or a solid storage phosphor plate. Above the support plate 9 there is a cutout 22 of at least the same size for changing the films and samples in the housing 25, which is covered with a light-tight window, but advantageously permeable to X-rays according to the invention. Such a removable X-ray window, which extends over the entire support plate 9 in the rest position of the sliding table 8, has several advantages. On the one hand, the samples and films can be easily changed. Furthermore, several X-ray exposures can be carried out one after the other without changing the storage phosphor film, so that the image repetition time is increased considerably and the scanning points of the film are in the same position during repeated X-ray exposures. This makes it possible to replace the entire scanning system in connection with the storage phosphor film by means of a

gleichmäßigen Röntgenbelichtung zu eichen. Zur Abtastung bzw. optischen Anregung des Films oder der Probe dient eine Lichtquelle 5, deren Intensität modulierbar sein kann. Sie kann beispielsweise aus einem Laser bzw. einem Halbleiterlaser bestehen. Jedoch kann sie auch aus der Auskoppeloptik eines Glasfaserkopplers bestehen, welche von Licht aus einer andernorts aufgestellten Lichtquelle über eine Glasfaser gespeist wird. Von der Abtastlichtquelle 5 geht ein Lichtstrahl 18 aus, welcher von einer Ablenkeinheit, die in dem hier dargestellten Fall aus einem rotierenden Polygonspiegel 4 in Verbindung mit einem Umlenkspiegel 6 und einer linsenartigen Optik 7 besteht, auf einen Punkt in der Abtastebene zwischen den Lichtwandlern 20 und 21 fokussiert wird. Dabei durchquert der Strahl 18 eine schlitzförmige Öffnung 19 in dem Lichtwandler 20. Durch die Rotation des Polygonspiegels 4 wird der Lichtstrahl zellenförmig senkrecht zur Verschieberichtung des Tisches abgelenkt. An dem Endpunkt der Zeile ist ein Photodetektor montiert, der bei Bestrahlung mit dem Abtaststrahl 18 ein Zeilen-Synchronisationssignal für die zellenförmige Ablenkung liefert und der Übersichtlichkeit halber nicht in der Figur 1 abgebildet ist.uniform X-ray exposure. A light source 5 is used to scan or optically excite the film or sample, the intensity of which can be modulated. It can consist of a laser or a semiconductor laser, for example. However, it can also consist of the output optics of a fiber optic coupler, which is fed by light from a light source set up elsewhere via a fiber optic. A light beam 18 emanates from the scanning light source 5, which is focused by a deflection unit, which in the case shown here consists of a rotating polygon mirror 4 in conjunction with a deflection mirror 6 and a lens-like optic 7, onto a point in the scanning plane between the light converters 20 and 21. The beam 18 passes through a slit-shaped opening 19 in the light converter 20. The rotation of the polygon mirror 4 deflects the light beam in a cell-like manner perpendicular to the direction of movement of the table. At the end point of the line, a photodetector is mounted which, when irradiated with the scanning beam 18, provides a line synchronization signal for the cell-shaped deflection and is not shown in Figure 1 for the sake of clarity.

Die vorstehend beschriebene Ausführungsform der Ablenkeinheit hat den Vorteil, daß der Lichtstrahl 18 bei geeigneter Wahl der Linse 7 erfindungsgemäß senkrecht auf die Abtastebene fällt. Dadurch bleibt die Form und Größe des Abtastpunktes über die gesamte abzutastende Zeile gleich. Ferner ist die Länge des Weges, den der Strahl bei der Transmission durch eine ebene Probe zurücklecjt unabhängig von der Position in der Abtastzeile. Dadurch müssen die Ergebnisse, die bei der Messung der Intensität des transmittierten Lichtes gewonnen werden, nicht auf den Einfallswinkel des Lichtstrahls korigiert werden. Die oberhalb und unterhalb der Filmebene angebrachten, erfindungsgemäß auswechselbaren Lichtwandler 20 und 21 haben die Aufgabe, das photostimulierte Emissionslicht des Speicherleuchtstoff ilms, bzw. das von der Halbtondurchsichtvorlage reflektierte bzw. durch sie transmittierte Licht, bzw. das Photolumineszenzlicht einer Probe während des Abtastvorgangs möglichst effizient zu detektieren und in einen Strom zu wandeln, der von einem nicht dargestellten Analog-Digital-Wandler, derThe above-described embodiment of the deflection unit has the advantage that, if the lens 7 is selected appropriately, the light beam 18 falls perpendicularly onto the scanning plane. As a result, the shape and size of the scanning point remain the same over the entire line to be scanned. Furthermore, the length of the path that the beam travels when transmitted through a flat sample is independent of the position in the scanning line. As a result, the results obtained when measuring the intensity of the transmitted light do not have to be corrected for the angle of incidence of the light beam. The light converters 20 and 21, which are arranged above and below the film plane and are replaceable according to the invention, have the task of detecting the photostimulated emission light of the storage phosphor film, or the light reflected from or transmitted through the halftone transparency, or the photoluminescent light of a sample during the scanning process as efficiently as possible and converting it into a current which is fed by an analog-digital converter (not shown) which

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sich auch in einem Computer befinden kann, in digitale Information umgewandelt wird. Es können je nach Anwendungszweck verschiedene Photodetektoren, wie z.B. Photovervielfacherröhren oder Photodioden axis Halbleitermaterial, in den Lichtwandlern (Lichtdetektoren) eingebaut sein. Besonders vorteilhafte Ausführungsformen der Lichtwandler werden weiter unten beschrieben. Neben dem oberen Lichtwandler 20 ist erfindungsgemäß eine Stablampe 23 angeordnet, die aus einer Halogenlampe mit mindestens 500W Leistung besteht. Diese Lampe kann eingeschaltet werden, um die Information des Speicherleuchtstoffilms erfindungsgemäß sowohl durch optische Einstrahlung als auch durch Erwärmung auf Temperaturen oberhalb 50°C zu löschen. Dieses erfinduncfsgemäße kombinierte thermische und optische Löschverfahren hat gegenüber den bekannten rein optischen Verfahren den Vorteil, daß in kurzer Zeit deutlich mehr Information gelöscht wird und somit die Wiederholzeit von Röntgenaufnahmen mit dem Gerät reduziert wird. Um die Lichtintensität der Lampe 23 in der Filmebene zu erhöhen, kann die Lampe 23 erfindungsgemäß mit einem geeigneten Lichtreflektor versehen sein, der zur Abtastebene hin geöffnet ist. Damit der Film oder die Probe sich erfindungsgemäß nach der Erwärmung durch die Einstrahlung von Licht und Wärmestrahlung aus der Lampe 23 wieder abkühlen, bzw. sich die Temperatur während des Einschaltens der Lampe 23 nicht übermäßig erhöht, sind Kühlaggregate 24 in dem Gehäuse angebracht, die z.B. kühle Luft über den Probentisch 8 und die Lampe 23 lenken. Die Kühlaggregate können z.B. aus handelsüblichen Ventilatoren bestehen, die durch Öffnungen in dem Gehäuse 25 kühle Außenluft mit der Luft im Inneren des Gerätes austauschen. Die Luftdurchführungen sind zweckmäßigerweise lichtdicht ausgeführt. Zur Erhöhung der Kühlefffizienz können in dem Gehäuse Vorrichtungen 24 vorgesehen werden, welche die kühle Luft in konzentrierter Form auf den Film lenken. Eine andere erfindungsgemäße Ausfuhrungsform besteht darin, daß mit der Auflageplatte 9 Peltierelemente thermisch verbunden sind, die diese Platte kühlen. Die erfindungsgemäße Kühlung des Probentisches in der Ruheposition hat den Vorteil, daß einmal erzeugte Speicherzentren in dem Speicherleuchtstoffilm mit deutlich reduzierter Geschwindigkeit zerfallen. Bei ungekühlten Geräten nimmt der Informationsge-can also be in a computer, is converted into digital information. Depending on the application, various photodetectors, such as photomultiplier tubes or photodiodes made of semiconductor material, can be installed in the light converters (light detectors). Particularly advantageous embodiments of the light converters are described below. In addition to the upper light converter 20, a rod lamp 23 is arranged according to the invention, which consists of a halogen lamp with at least 500W power. This lamp can be switched on in order to erase the information of the storage phosphor film according to the invention both by optical irradiation and by heating to temperatures above 50°C. This combined thermal and optical erasure method according to the invention has the advantage over the known purely optical methods that significantly more information is erased in a short time and thus the repetition time of X-ray images with the device is reduced. In order to increase the light intensity of the lamp 23 in the film plane, the lamp 23 can be provided with a suitable light reflector that is open towards the scanning plane. In order to ensure that the film or sample cools down again after being heated by the light and heat radiation from the lamp 23, or that the temperature does not increase excessively when the lamp 23 is switched on, cooling units 24 are installed in the housing, which direct cool air over the sample table 8 and the lamp 23, for example. The cooling units can consist of commercially available fans, for example, which exchange cool outside air with the air inside the device through openings in the housing 25. The air ducts are expediently designed to be light-tight. In order to increase the cooling efficiency, devices 24 can be provided in the housing, which direct the cool air in concentrated form onto the film. Another embodiment of the invention consists in that Peltier elements are thermally connected to the support plate 9, which cool this plate. The cooling of the sample table in the rest position according to the invention has the advantage that storage centers in the storage phosphor film, once created, decay at a significantly reduced speed. In uncooled devices, the information storage

halt beispielsweise eines Fuji STIII Films in den ersten zehn Minuten nach einer Röntgenbestrahlung bei 20°C auf 70% ab. Dadurch wird die Empfindlichkeit des Filmes herabgesetzt. Daher ist die erfindungsgemäße gekühlte Ausführungsform gerade bei Langzeitaufnahmen mit Bestrahlungsdauern von mehreren Stunden von Vorteil, wenn der Speicherleuchtstoffilm in dem Gerät durch ein im Ausschnitt 22 befindliches Röntgenfenster bestrahlt wird.The storage capacity of a Fuji STIII film, for example, drops to 70% in the first ten minutes after X-ray irradiation at 20°C. This reduces the sensitivity of the film. Therefore, the cooled embodiment according to the invention is particularly advantageous for long-term exposures with irradiation times of several hours when the storage phosphor film in the device is irradiated through an X-ray window located in the cutout 22.

Zur Steuerung des in Figur 1 abgebildeten Gerätes wird eine nicht dargestellte speicherprogrmmierbare Steuereinrichtung (Kontrolleinheit) verwendet, die von Hand oder durch einen Computer parametrierbar ist. Ihre Steuerfunktionen sind im folgenden für den Vorgang eines Filmabtastzyklus beschrieben: Zunächst wird die Steuerung mit den gewünschten Vorgabewerten (Parametern) für den abzutastenden Bildbereich, für die Größe eines einzelnen Abtastpunktes, für die Zeilengeschwindigkeit des Abtaststrahls in der Filmebene, für die Empfindlichkeit der Lichtwandler,für die Intensität des Lichtstrahls, für die Vorschubgeschwindigkeit des Verschiebetisches während des Abtastvorgangs und für die Abtastrate der von den Photodetektoren gelieferten Intensitätssignale versehen (parametriert). Ferner wird der Ablauf des kompletten Abtastzyklusses, einschließlich der nach erfolgter Abtastung des Bildbereiches noch vorzunehmenden Schritte festgelegt (programmiert). Dann wird durch Tastendruck an dem Rechner oder der Steuereinrichtung der Abtastzyklus gestartet. Zuerst wird der Polygonspiegel 4 auf die der Abtastgeschwindigkeit entsprechende Rotationsfrequenz beschleunigt, die Empfindlichkeit der Lichtwandler, durch Anlegen einer Gleichspannung auf den gewünschten Wert gesetzt und der Lichtstrahl auf die gewünschte Intensität eingestellt. Gleichzeitig wird der Motor in Drehung versetzt und durch eine Positionsregelung, welche vorzugsweise unter Verwendung einer Beschleunigungs- und Bremsrampe zeitoptimal gestaltet werden kann, der Verschiebetisch solange bewegt, bis die erste abzutastende Zeile des Films eine Zeile Abstand zum zellenförmig abtastenden Lichtstrahl 18 hat. Hat der Lichtstrahl die Zeile durchlaufen, wird bei dem nächsten Zeilensynchronisationssignal der Verschiebetisch um einen Zei-To control the device shown in Figure 1, a programmable logic controller (control unit) (not shown) is used, which can be parameterized manually or by a computer. Its control functions are described below for the process of a film scanning cycle: First, the control is provided with the desired default values (parameters) for the image area to be scanned, for the size of an individual scanning point, for the line speed of the scanning beam in the film plane, for the sensitivity of the light converters, for the intensity of the light beam, for the feed speed of the sliding table during the scanning process and for the scanning rate of the intensity signals supplied by the photodetectors. Furthermore, the sequence of the complete scanning cycle, including the steps to be carried out after the image area has been scanned, is determined (programmed). The scanning cycle is then started by pressing a button on the computer or the control device. First, the polygon mirror 4 is accelerated to the rotation frequency corresponding to the scanning speed, the sensitivity of the light converter is set to the desired value by applying a direct voltage and the light beam is set to the desired intensity. At the same time, the motor is set in rotation and the displacement table is moved by a position control, which can preferably be designed to be time-optimized using an acceleration and braking ramp, until the first line of the film to be scanned is one line away from the cell-shaped scanning light beam 18. Once the light beam has passed through the line, the displacement table is moved by one line at the next line synchronization signal.

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lenabstand verschoben. Erreicht der Lichtstrahl 18 in seiner Ablenkrichtung den ersten Abtastpunkt in der Zeile, wird ein Rechtecksignal zur Triggerung der Analog-Digitalwandlung der Ausgangssignale der Lichtwandler erzeugt, bis der Lichtstrahl über den abzutastenden Bereich hinausgewandert ist. Hierbei legt die Frequenz des Rechtecksignals in Verbindung mit der Rotationsgeschwindigkeit des Polygonspiegels 4 die Größe eines Bildpunktes in der Ablenkrichtung des Lichtstrahls fest. Bei dem nächsten Zeilen-Synchronisationssignal wird der Verschiebetisch 9 wieder um einen Zeilenabstand verschoben und die Datenwandlung in der nächsten Zeile in gleicher Weise wie bei der ersten Zeile fortgesetzt. Ist die letzte Zeile abgetastet, wird der Polygonspiegel 4 angehalten, der Lichtstrahl 18 abgeschaltet und die Lichtwandler 20 und 21 ausgeschaltet. Nun bestimmt das gewählte Fahrprogramm, wie der Verschiebetisch 9 in seine Ruheposition gefahren wird. Falls auf eine möglichst schnelle Wiederholrate der Bildauslesung Wert gelegt wird, kann der Verschiebetisch wiederum nach einer Beschleunigungsund Bremsrampe in seine Ruheposition verfahren werden. Hierbei schaltet die Steuerung, je nachdem, ob die Probe optisch und thermisch gelöscht werden soll, die Lampe 23 und die Kühlaggregate 24 ein. Bei Erreichen der Ruheposition wird die Lampe 23 ausgeschaltet und der Motor 1 angehalten. Ein anderes Fahrprogramm, das für das Löschen des gesamten Films geeignet ist, verschiebt den Verschiebetisch in die linke Gehäusehälfte des Abtastgerätes, bis der rechte Rand der Auflageplatte 9 sich unter dem Schlitz 19 des Lichtwandlers 20 befindet. Dann werden die Lampe 23 und die Kühlaggregate 2 4 eingeschaltet, und der Verschiebetisch mit einer Beschleunigungs- und Bremsrampe zur der Ruheposition verschoben. Wenn er diese erreicht hat wird die Lampe ausgeschaltet und der Motor angehalten. Durch die Verwendung der Kühlaggregate 24 erreicht die Temperatur des Films wenige Sekunden nach dem Ausschalten der Lampe wieder Normaltemperatur.line spacing. If the light beam 18 reaches the first scanning point in the line in its deflection direction, a square wave signal is generated to trigger the analog-digital conversion of the output signals of the light converters until the light beam has moved beyond the area to be scanned. The frequency of the square wave signal in conjunction with the rotation speed of the polygon mirror 4 determines the size of a pixel in the deflection direction of the light beam. With the next line synchronization signal, the displacement table 9 is again shifted by one line spacing and the data conversion in the next line is continued in the same way as with the first line. Once the last line has been scanned, the polygon mirror 4 is stopped, the light beam 18 is switched off and the light converters 20 and 21 are switched off. The selected travel program now determines how the displacement table 9 is moved to its rest position. If it is important to have the fastest possible repetition rate for image reading, the sliding table can be moved to its rest position after an acceleration and braking ramp. Depending on whether the sample is to be erased optically or thermally, the control system switches on the lamp 23 and the cooling units 24. When the rest position is reached, the lamp 23 is switched off and the motor 1 is stopped. Another travel program, which is suitable for erasing the entire film, moves the sliding table into the left half of the housing of the scanner until the right edge of the support plate 9 is under the slot 19 of the light converter 20. Then the lamp 23 and the cooling units 24 are switched on and the sliding table is moved to the rest position using an acceleration and braking ramp. When it has reached this position, the lamp is switched off and the motor is stopped. By using the cooling units 24, the temperature of the film returns to normal temperature a few seconds after the lamp is switched off.

Mit dieser erfindungsgemäßen Steuerung ergeben sich folgende Vorteile:This control system according to the invention provides the following advantages:

1. Die Ausleuchtdauer eines Bildpunktes kann durch die Wahl der Abtastgeschwindigkeit des Polygonspiegels an die Nach-1. The illumination duration of a pixel can be adapted to the background by selecting the scanning speed of the polygon mirror.

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leuchtzeitkonstante des jeweiligen Speicherleuchtstoffmaterials oder die jeweilige Photolumineszenznachleuchtdauer unterschiedlicher Proben angepaßt werden. Ohne diese Anpassung der Abtastgeschwindigkeit würde bei einer Nachleuchtzeit, die langer ist als die Ausleuchtdauer eines Bildpunktes die Bildinformation mehrerer Bildpunkte verschwimmen, da während der Abtastung eines Bildpunktes zuvor abgetastete Bildpunkte nachleuchten. The luminescence time constant of the respective storage phosphor material or the respective photoluminescence afterglow time of different samples must be adjusted. Without this adjustment of the scanning speed, the image information of several pixels would become blurred if the afterglow time was longer than the illumination time of a pixel, since previously scanned pixels would continue to glow during the scanning of a pixel.

2. Die Einstellmöglichkeit der Größe eines Bildpunktes bietet die Möglichkeit die Bildauflösung an die jeweiligen Anforderungen anzupassen. Insbeisondere bei der Messung von Lumineszenz und photostimulierter Lumineszenz an unterschiedlichen Proben bzw. Speicherleuchtstoffilmen, die den Abtaststrahl innerhalb der Probe bzw. des Films zu unterschiedlich großen Aufstreukegeln aufweiten _t. kann die Bildauflösung an die Größe der Aufstreukegel angepaßt und so das Bild in kürzester Zeit abgetastet werden ohne die Bildauflösung zu reduzieren.2. The ability to adjust the size of a pixel makes it possible to adapt the image resolution to the respective requirements. In particular, when measuring luminescence and photostimulated luminescence on different samples or storage phosphor films, which expand the scanning beam within the sample or film to form scattering cones of different sizes _, the image resolution can be adapted to the size of the scattering cones and the image can be scanned in the shortest possible time without reducing the image resolution.

3. Die Möglichkeit, die Empfindlichkeit der Lichtwandler von Messung zu Messung variieren zu können, hilft die Ausgangssignalhöhe der Lichtwandler bei nacheinander abzutastenden Proben oder Filmen mit sehr unterschiedlichem Informationsgehalt an die Eingangsbereiche der Analog-Digital-Wandler anzupassen.3. The ability to vary the sensitivity of the light converters from measurement to measurement helps to adapt the output signal level of the light converters to the input ranges of the analog-digital converters when samples or films with very different information content are scanned one after the other.

4. Die Wahl der Intensität des Abtastlichtes ermöglicht eine Vorabtastung von Speicherleuchtstoffilmen mit reduzierter Intensität, bei der die Bildinformation nur geringfügig gelöscht wird, um aus den Bilddaten die optimal an den Analog-Digital-Wandler angepaßten Einstellungen für die Empfindlichkeit der Lichtwandler und Abtastlichtintensität zu ermitteln. Ferner ist bekannt, daß eine zu hohe Abtastlichtintensität bei der Abtastung von Speicherleuchtstoffilmen zu einer Reduktion der Bildauflösung führt. Um diesen Effekt, der in unterschiedlichen Speicherleuchtstoffilmen bei verschiedenen Lichtintensitäten einsetzt zu vermeiden, ist eine Anpassung der Abtastlichtintensität an den Filmtyp zweckmäßig.4. The choice of the intensity of the scanning light enables pre-scanning of storage phosphor films with reduced intensity, in which the image information is only slightly erased in order to determine from the image data the settings for the sensitivity of the light converter and scanning light intensity that are optimally adapted to the analog-digital converter. Furthermore, it is known that too high a scanning light intensity when scanning storage phosphor films leads to a reduction in the image resolution. In order to avoid this effect, which occurs in different storage phosphor films at different light intensities, it is advisable to adapt the scanning light intensity to the film type.

Der detaillierte Aufbau der erfindungsgemäßen Lichtwandler 20 und 21 geht schematisch aus ihren Querschnittsdarstellungen gemäß den Figuren 2, 3, 5, 6 und 7 hervor. Die räumliche Darsellung eines oberen Lichtwandlers 20 gemäß Figur 2 ist in derThe detailed structure of the light converters 20 and 21 according to the invention is shown schematically in their cross-sectional representations according to Figures 2, 3, 5, 6 and 7. The spatial representation of an upper light converter 20 according to Figure 2 is shown in the

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Figur 4 wiedergegeben. Der Aufbau der Lichtwandler unterscheidet sich je nach Anwendungsbereich des Gerätes.Figure 4 shows the structure of the light converters. The structure of the light converters differs depending on the application area of the device.

Zunächst seien die erfindungsgemäßen Ausfuhrungsformen der Lichtwandler für die Abtastung von Halbtondurchsichtvorlagen als Bildvorlagen beschrieben, die mit den Lichtwandlern, die für die Bestimmung der von einer Probe reflektierten und durch eine Probe transmittierten Lichtintensität des Abtaststrahls 18 eingesetzt werden, identisch sind. In dieser Anwendung wird für den oberen Lichtwandler 20 die in Figuren 2 und 4 dargestellten Ausführungsform verwendet. Der abtastende Lichtstrahl 18 tritt durch eine Schlitzblende 19 eines elliptisch oder parabelförmig gekrümmten Spiegels 12 in den oberen Lichtwandler 20 ein. In der Brennpunktslinie des Spiegels 12 befindet sich die abzutastende Zeile der Bildvorlage. Im weiteren Verlauf tritt der Lichtstrahl durch eine Durchtrittsöffnung in der optischen Filterplatte 10. Der Lichtwandler 20 ist so in dem Gehäuse 25 auswechselbar befestigt, daß sich die Durchtrittsöffnung während des Abtastvorgangs nur wenig mhr als einen Millimeter oberhalb der Bildvorlage befindet. Die Filterplatte 10 ist erfindungsgemäß auswechselbar an dem Lichtwandlergehäuse 14 und dem Spiegel 12 befestigt und besitzt die Eigenschaft, für das Abtastlicht möglichst geringe Absorption und für Photolumineszenzlicht der Probe bzw. Halbtondurchsichtvorlage möglichst hohe Absorption aufzuweisen. Diese spektralen Eigenschaften haben verschiedene Farbgläser und mit Farbstoffen eingefärbte Kunststoffe. Die gleichen spektralen Eigenschaften besitzt der erfindungsgemäß ebenfalls auswechselbare optische Filter 11, der mit dem Gehäuse 14 bündig und lichtdicht abschließt. Hinter dem Filter 11 befindet sich die lichtempfindliche Fläche eines öder mehrerer Photodetektoren 13, die aus Photovervielfacherröhren oder Halbleiterdetektoren, wie z.B. Photodioden bestehen können. Häufig besitzen die Photodetektoren an verschiedenen Orten ihrer photoempfindlichen Flächen unterschiedliche Empfindlichkeiten. Um das von der Probe reflektierte Licht möglichst gleichmäßig auf die photoempfindliche Fläche der Photodetektoren 13 zu verteilen und damit die Empfindlichkeit des Lichtwandlers möglichst unabhängig von der Abstrahlcharakteristik des von der ProbeFirst, the embodiments of the light converters according to the invention for scanning halftone transparency templates as image templates will be described, which are identical to the light converters that are used to determine the light intensity of the scanning beam 18 reflected by and transmitted through a sample. In this application, the embodiment shown in Figures 2 and 4 is used for the upper light converter 20. The scanning light beam 18 enters the upper light converter 20 through a slit diaphragm 19 of an elliptically or parabolically curved mirror 12. The line of the image template to be scanned is located in the focal line of the mirror 12. The light beam then passes through a passage opening in the optical filter plate 10. The light converter 20 is exchangeably mounted in the housing 25 in such a way that the passage opening is only a little more than a millimeter above the image template during the scanning process. According to the invention, the filter plate 10 is replaceably attached to the light converter housing 14 and the mirror 12 and has the property of having the lowest possible absorption for the scanning light and the highest possible absorption for the photoluminescent light of the sample or halftone transparency. These spectral properties are found in various colored glasses and plastics colored with dyes. The optical filter 11, which is also replaceable according to the invention and which is flush with the housing 14 and light-tight, has the same spectral properties. Behind the filter 11 is the light-sensitive surface of one or more photodetectors 13, which can consist of photomultiplier tubes or semiconductor detectors, such as photodiodes. The photodetectors often have different sensitivities at different locations on their photosensitive surfaces. In order to distribute the light reflected from the sample as evenly as possible over the photosensitive surface of the photodetectors 13 and thus to make the sensitivity of the light converter as independent as possible from the radiation characteristics of the light reflected from the sample

reflektierten Lichtes zu machen, ist es zweckmäßig die optischen Filter 10 und 11 als Streuscheiben auszulegen. Dies kann z.B. dadurch geschehen, daß die Filteroberflächen aufgerauht werden. Die spezielle Formgebung des Spiegels 12 ist zweckmäßig, um möglichst effizient das Licht, welches während des Abtastvorgangs von der Probe reflektiert wird, auf die Photodetektoren 13 zu lenken. Die Photodetektoren sind elektrisch mit einer Einrichtung 15 mit Ausgängen 16 und 17 verbunden, die deren Ausgangsströme in eine ihnen proportionale Spannung umwandelt und die Dynodenspannungen für die Photovervielfacherröhren bereitstellt. Diese lineare Strom-Spannungswandlung ist an sich bekannt. Erfindungsgemäß enthält die Einrichtung 15, vorzugsweise zusätzlich zu einem linearen Strom-Spannungswandler, einen oder mehrere zuschaltbare nichtlineare Strom-Spannungswandler 29, welche in Abhängigkeit von den Ausgangsströmen der Photodetektoren hierzu nichtlineare Spannungen erzeugen. Die nichtlinearen Strom-Spanungswandler können erfindungsgemäß z;B. wurzeiförmige oder logarithmische Kennlinien besitzen.Diese Kennlinien sind von Vorteil, wenn Bildinformation, die niedrige Intensitätswerte enthält, mit großer Genauigkeit mit einem Analog-Digital-Wandler geringer bit-Zahl digitalisiert werden soll, dessen Quantisierungsstufen vergleichsweise groß sind, so daß niedrige Spannungswerte nur mit einem großen Quantisierungsfehler und damit großer relativer Ungenauigkeit bestimmt werden können. Eine lineare Kennlinie würde hier zu einer ebenso großen relativen Ungena.uigkeit der Strom- und damit der Lichtintensitätsmessung führen. Da die Steilheit einer nichtlinearen Kennlinie, wie der Wurzel- und der logarithmischen Kennlinie, mit abnehmendem Eingangsstrom jedoch zunimmt, wird in diesem Bereich die relative Ungenauigkeit der Strommessung reduziert. Ein Beispiel soll dies verdeutlichen: Wird ein Analog-Digital-Wandler mit einem Eingangsspannungsbereich von 0 bis 1 Volt und einer Auflösung von 12 bit, d.h. 2^2=4096 Stufen entsprechend, verwendet, beträgt der Quantisierungsfehler iv/2l2=o.24 Millivolt. Damit werden Stromwerte von 2.4 Milliampere bei einer linearen Kennlinie 1 VoIt=I Ampere mit einer Ungenauigkeit von 10% gewandelt. Wird hingegen eine Wurzelkennlinie beispielsweise der Form u = /i (u ist die Spannung,In order to make the reflected light more uniform, it is expedient to design the optical filters 10 and 11 as diffusing disks. This can be done, for example, by roughening the filter surfaces. The special shape of the mirror 12 is expedient in order to direct the light, which is reflected from the sample during the scanning process, onto the photodetectors 13 as efficiently as possible. The photodetectors are electrically connected to a device 15 with outputs 16 and 17, which converts their output currents into a voltage proportional to them and provides the dynode voltages for the photomultiplier tubes. This linear current-voltage conversion is known per se. According to the invention, the device 15 contains, preferably in addition to a linear current-voltage converter, one or more switchable non-linear current-voltage converters 29, which generate non-linear voltages for this purpose depending on the output currents of the photodetectors. According to the invention, the non-linear current-voltage converters can, for example, have root-shaped or logarithmic characteristics. These characteristics are advantageous when image information containing low intensity values is to be digitized with great accuracy using an analog-digital converter with a low number of bits, whose quantization levels are comparatively large, so that low voltage values can only be determined with a large quantization error and thus a large relative inaccuracy. A linear characteristic would lead to an equally large relative inaccuracy in the current and thus the light intensity measurement. However, since the steepness of a non-linear characteristic, such as the root and logarithmic characteristic, increases with decreasing input current, the relative inaccuracy of the current measurement is reduced in this area. An example should make this clear: If an analog-digital converter is used with an input voltage range of 0 to 1 volt and a resolution of 12 bits, i.e. 2^2=4096 steps corresponding to, the quantization error is iv/2l2=o.24 millivolts. This means that current values of 2.4 milliamperes with a linear characteristic curve 1 VoIt=I ampere are converted with an inaccuracy of 10%. On the other hand, if a root characteristic curve of the form u = /i (u is the voltage,

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i ist der Strom) für die Strom-Spannungswandlung verwendet, beaufschlagt bei einem gleichen Eingangsstrom von 2.4 Milliampere eine Spannung von 49.4 Millivolt den Analog-Digital-Wandler, welche dann mit einer Ungenauigkeit von 0.5% gewandelt werden kann. Damit beträgt die Ungenauigkeit der Strommessung unter Verwendung dieser Wurzelkennlinie 1%. Im Fall einer logarithmischen Kennlinie z.B.der Form u = l+o,16651og(i), mit welcher Stromwerte zwischen &Igr;&mgr;&Agr; und IA in Spannungen zwischen ImV und IV umgewandelt werden, ist die relative Ungenauigkeit der Strommessung unabhängig vom absoluten Stromwert und beträgt 0,24mV/0,1665V=0,14%. Um eine gleiche Genauigkeit mit einer linearen Kennlinie zu erreichen wäre ein Analog-Digital-Wandler mit einem Quantisierungsfehler von 3,4&mgr;&ngr; erforderlich, was einer Auflösung von mindestens bit entspricht.i is the current) is used for the current-voltage conversion, with an equal input current of 2.4 milliamperes, a voltage of 49.4 millivolts is applied to the analog-digital converter, which can then be converted with an inaccuracy of 0.5%. The inaccuracy of the current measurement using this root characteristic is therefore 1%. In the case of a logarithmic characteristic, e.g. of the form u = l+o,16651og(i), with which current values between λμα and IA are converted into voltages between ImV and IV, the relative inaccuracy of the current measurement is independent of the absolute current value and is 0.24mV/0.1665V=0.14%. To achieve the same accuracy with a linear characteristic, an analog-digital converter with a quantization error of 3.4μν would be required. required, which corresponds to a resolution of at least bit.

Mit erfindungsgeraäß verwendeten nichtlinearen Strom-Spannungswandlern ergibt sich der Vorteil, daß Analog-Digitalwandler mit geringerer bit-Auflösung verwendet werden können. Sie sind mit höheren maximalen Wandlungsfreguenzen und zu geringerem Preis erhältlich, als diejenigen höherer bit-Auflösung. Aufgrund der höheren maximal möglichen Wandlungsfrequenz der Datenwerte kann eine geringere Bildpunktgröße und damit verbunden eine höhere Ortsauflösung der Bildinformation erreicht werden. Eine erfindungsgemäße Integration der elektrischen Schaltung 15 in dem Gehäuse 14 verhindert die Einkopplung von elektrischen StörSignalen, da lange Signalwege von den Photodetektoren zum Strom-Spannungswandler vermieden werden.Using non-linear current-voltage converters according to the invention has the advantage that analog-digital converters with lower bit resolution can be used. They are available with higher maximum conversion frequencies and at a lower price than those with higher bit resolution. Due to the higher maximum possible conversion frequency of the data values, a smaller pixel size and thus a higher spatial resolution of the image information can be achieved. An inventive integration of the electrical circuit 15 in the housing 14 prevents the coupling of electrical interference signals, since long signal paths from the photodetectors to the current-voltage converter are avoided.

Der untere Lichtwandler 21 (siehe Figur 3) ist bis auf den Spiegel 12, welcher nicht geschlitzt ist, und den optischen Filter 10 genauso wie der vorstehend beschriebene obere Lichtwandler 20 (siehe Figur 2) aufgebaut. Der optische Filter 10 weist bei der Benutzung des Lichtwandlers 21 zur Abtastung von Halbtondurchsichtvorlagen und Proben durch Messung der transmittierten Lichtintensität keine Durchtrittsöffnung wie der Filter 10 des oberen Lichtwandlers 20 auf. Er kann aber zur Probenseite eine schlitzförmige Blende besitzen, die AbtastThe lower light converter 21 (see Figure 3) is constructed in the same way as the above-described upper light converter 20 (see Figure 2) except for the mirror 12, which is not slit, and the optical filter 10. When the light converter 21 is used to scan halftone transparency templates and samples by measuring the transmitted light intensity, the optical filter 10 does not have a passage opening like the filter 10 of the upper light converter 20. However, it can have a slit-shaped aperture on the sample side, which scans

licht, welches keine Richtungsänderung in der Probe erfährt durchlässt und Licht, welches eine Richtungsänderung in der Probe erfährt, zurückhält. Die öffnung dieser Schlitzblende, welche in einem Spalt einer lichtundurchlässigen Abdeckung 26 bestehen kann, entspricht dem Durchmesser des Abtastlichtstrahls 18. Die Abdeckung 26 mit der Schlitzblende, der damit verbundene optische Filter 10 und Lichtwandler 21 sind so in dem Gehäuse 25 montiert, daß der abtastende Lichtstrahl 18, wenn sich der Verschiebetisch 8 in seiner Ruheposition (Ausgangsposition) befindet, mit seiner gesamten Intensität die Schlitzblende passiert,, Da in der Probe gestreutes Licht einen längeren Weg in der Probe zurücklegt, bis es in den Lichtwandler eintritt, hat die erfindungsgemäße Verwendung dieser Schlitzblende den Vorteil, daß gestreutes Licht die Messung der ortsaufgelösten Absorption des Abtastlichtes durch die Probe nicht verfälscht,, weil es die Schlitzblende nicht passiert. lets through light that does not change direction in the sample and holds back light that does change direction in the sample. The opening of this slit diaphragm, which can consist of a gap in an opaque cover 26, corresponds to the diameter of the scanning light beam 18. The cover 26 with the slit diaphragm, the optical filter 10 connected to it and the light converter 21 are mounted in the housing 25 in such a way that the scanning light beam 18, when the sliding table 8 is in its rest position (starting position), passes through the slit diaphragm with its entire intensity. Since light scattered in the sample travels a longer path in the sample until it enters the light converter, the use of this slit diaphragm according to the invention has the advantage that scattered light does not distort the measurement of the spatially resolved absorption of the scanning light by the sample because it does not pass through the slit diaphragm.

In der Anwendung als Lese- bzw. Abtastgerät für Speicherleuchtstoff filme ist der obere Lichtwandler 20 erfindungsgemäß mit optischen Filtern 10 und 11 bestückt, die den abtastenden Lichtstrahl besonders effizient absorbieren, während das photostimulierte Emissionslicht des Speicherleuchtstofffilms mit möglichst geringer Schwächung diese Filter passiert. Bei einer Wellenlänge des Abtastlichtes von 635 Nanometern eignen sich als Filter 10 und 11 Platten aus einem Blauglas von 2 Millimetern Dicke, deren Oberflächen erfindungsgemäß durch kurzes Ätzen aufgerauht ist. Bei dieser Anwendung ist der Filter 10 mit einer Durchtrittsöffnung für den Abtaststrahl 18 versehen, welche erfindungsgemäß wesentlich größer als der Durchmesser des Abtaststrahls IS ist. Bei einem lichten Abstand von ungefähr einem Millimeter zwischen dem Filter 10 und der Bildvorlage sowie bei einem Durchmesser des Abtaststrahles von 0,1 mm im Durchtrittsbereich hat es sich als zweckmäßig erwiesen, die Durchtrittsöffnung quer zur Abtastzeile wesentlich größer, nämlich etwa zu 2 Millimeter zu wählen. Dies bedeutet einen deutlichen Unterschied zu der Dimensionierung der Schlitzblenden 19 bzw. 26, welche möglichst genau an den jeweiligen Durchmesser des Abtastlichtstrahls anzupassen sind. AllgemeinWhen used as a reading or scanning device for storage phosphor films, the upper light converter 20 is equipped according to the invention with optical filters 10 and 11, which absorb the scanning light beam particularly efficiently, while the photostimulated emission light of the storage phosphor film passes through these filters with as little attenuation as possible. With a wavelength of the scanning light of 635 nanometers, plates made of blue glass 2 millimeters thick, the surfaces of which are roughened according to the invention by brief etching, are suitable as filters 10 and 11. In this application, the filter 10 is provided with a passage opening for the scanning beam 18, which according to the invention is significantly larger than the diameter of the scanning beam IS. With a clearance of approximately one millimeter between the filter 10 and the image template and with a diameter of the scanning beam of 0.1 mm in the passage area, it has proven to be useful to choose a much larger passage opening across the scanning line, namely approximately 2 millimeters. This represents a significant difference to the dimensions of the slit diaphragms 19 and 26, which must be adapted as precisely as possible to the respective diameter of the scanning light beam. General

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läßt sich der nachfolgend geschilderte Vorteil erzielen, wenn der sich in der quer zur Abtastzeile ergebende Öffnungswinkel des von der Bildvorlage reflektierten Abtastlichts in einem Bereich zwischen 70 und 120 Grad liegt. Der untere Lichtwandler 21 (siehe Figur 5) ist bei dieser Anwendung ebenso wie der obere Lichtwandler 20 (siehe Figur 2) aufgebaut; es ist aber dem Spiegel 12 keine Schlitzblende und dem Filter 10 keine Durchtrittsöffnung zugeordnet, damit möglichst viel des emittierten Lichtes gesammelt wird. Die hier beschriebene Ausführungsform des Lichtwandlers hat gegenüber dem Stand der Technik gemäß der eingangs erwähntenin deutschen Patentschrift 29 51 501 einen wesentlichen Vorteil, der im folgenden kurz erläutert werden soll: Speicherleuchtstoffe besitzen im Vergleich zu herkömmlichen Röntgenfilmen den Vorteil, daß die Intensität der photostimulierten Lumineszenz über ungefähr 6 Größenordnungen proportional zu der zuvor applizierten Röntgendosis ist. Wird ein Speicherleuchtstofffilm in verschiedenen räumlichen Bereichen mit sehr unterschiedlicher Röntgendosis bestrahlt, muß bei der Auslesung des Films mit dem abtastenden Lichtstrahl sichergestellt sein, daß von dem Film reflektiertes Licht des abtastenden Lichtstrahls nicht wieder an anderer Stelle auf den Film trifft. Ist dies nämlich der Fall, gelangt bei der Abtastung eines Bildpunktes, der zuvor überhaupt nicht mit Röntgenstrahlung bestrahlt wurde, das abtastende Licht an andere Punkte des Films, die zumindest teilweise mit Röntgenstrahlung belichtet wurden. Dort wird photostimulierte Lumineszenz von dem Film emittiert und von dem Lichtwandler in ein Signal umgewandelt, welches nicht mit der applizierten Röntgendosis des abgetasteten Bildpunktes übereinstimmt.The advantage described below can be achieved if the opening angle of the scanning light reflected from the original image, which is perpendicular to the scanning line, is in a range between 70 and 120 degrees. The lower light converter 21 (see Figure 5) is constructed in this application in the same way as the upper light converter 20 (see Figure 2); however, the mirror 12 is not assigned a slit diaphragm and the filter 10 is not assigned a passage opening so that as much of the emitted light as possible is collected. The embodiment of the light converter described here has a significant advantage over the state of the art according to the German patent specification 29 51 501 mentioned at the beginning, which will be briefly explained below: Storage phosphors have the advantage over conventional X-ray films that the intensity of the photostimulated luminescence is proportional to the previously applied X-ray dose over approximately 6 orders of magnitude. If a storage phosphor film is irradiated in different spatial areas with very different X-ray doses, it must be ensured when reading the film with the scanning light beam that light from the scanning light beam reflected by the film does not hit the film again at another point. If this is the case, when scanning an image point that was not previously irradiated with X-rays at all, the scanning light reaches other points on the film that were at least partially exposed to X-rays. Photostimulated luminescence is emitted from the film there and converted by the light converter into a signal that does not match the applied X-ray dose of the scanned image point.

Bei dem in der deutschen Patentschrift 29 51 501 beschriebenen Lesegerät leitet ein sich im Querschnitt verjüngender Lichtleiter das von der Abtastzeile emittierte Licht zu einem Photodetektor, der, falls er für die stimulierende Strahlung lichtempfindlich ist mit einem optischen Filter versehen wird, welcher nur für die photostimulierte Lumineszenz durchlässig ist. Die Effizienz für die Lichtsammlung dieser Anordnung kann erhöht werden, indem zusätzlich ein Spiegel mit parabelförmi-In the reading device described in German patent specification 29 51 501, a light guide tapering in cross-section guides the light emitted by the scanning line to a photodetector which, if it is light-sensitive to the stimulating radiation, is provided with an optical filter which is only permeable to the photostimulated luminescence. The efficiency of the light collection of this arrangement can be increased by additionally using a mirror with a parabolic shape.

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gem oder ellipsoidem Querschnitt angebracht wird, der das von der Zeile emittierte Licht in Richtung des Lichtleiters reflektiert. Da die Oberflächen optischer Materialien für das ungerichtete Lumineszenzlicht einen Reflektionsgrad in der Größenordnung von 5% besitzen, führt eine derartige Anordnung dazu, daß ca. 5% des von der Probe emittierten Lichtes wieder andernorts auf den Film fällt. In der Praxis werden ungefähr 30% des auf den Film gestrahlten Abtastlichtes wieder von der Filmoberfläche abgestrahlt. Dies hat zur Folge, daß eine derartige Anordnung ca. 1.5% des Abtastlichtes an einem anderen ort als dem Abtastpunkt auf den Film zurückwirft. Daher können mit diesem bekannten Gerät keine genauen Messungen an Bildpunkten gemacht werden, die mit einer im Vergleich zu anderen Bildpunkten um etwa 2 Größenordnungen niedrigeren Röntgendosis bestrahlt wurden. Dies ist jedoch besonders in der Diffraktometrie, wo die Intensitäten der Röntgenreflexe einer Beugungsaufnahme über mehrere Größenordnungen variieren, von großem Nachteil. Im Vergleich hierzu hat die in den Figuren 2 und 5 dargestellte Ausführuncjsformen der Lichtwandler 20 und 21 keine derartigen Nachteile. Das von dem Film zurückgetreute Anregungslicht passiert zunächst die Durchtrittsöffnung in dem optischen Filter 10, um anschließend von dem Spiegel 12 auf den optischen Filter 11 gelenkt zu werden. In diesem Filter wird bereits ein Großteil des Abtastlichtes absorbiert. Dasjenige Abtastlicht, welches von dem Filter 11 zurückreflektiert wird, trifft anschließend zu einem Großteil entweder direkt, oder auf dem Umweg über den Spiegel 12, auf das Filter 10 und wird dort absorbiert. Nur ein zu vernachlässigender Teil des reflektierten Anregungslichtes kann durch die Durchtrittsöffnung zurück auf die Probe gelangen. Daher ist eine Messung der applizierten Röntgendosis von auch an nur mit niedriger Dosis bestrahlten Bildpunkten des Films möglich. Ein wesentliches Merkmal der Filteranordnung ist daher der zur Abtastzeile offene Hohlraum, der in dieser Ausführungsform von dem Spiegel 12 sowie den Filtern 10 und 11 begrenzt wird, deren Flächen mehr als 50% der Begrenzungsfläche dieses Hohlraums ausmachen. Auch hier kann der Filter 10 des unteren Lichtwandlers 21 mit einer Schlitzblende zur Reduzierung von Nebenlichteffekten (Sekundärstrahlung) versehen werden. Auf dieser Filmseite wirdor ellipsoidal cross-section which reflects the light emitted by the line in the direction of the light guide. Since the surfaces of optical materials have a reflection factor of the order of 5% for the undirected luminescence light, such an arrangement leads to around 5% of the light emitted by the sample falling onto the film at another location. In practice, around 30% of the scanning light radiated onto the film is re-radiated by the film surface. This means that such an arrangement reflects around 1.5% of the scanning light back onto the film at a location other than the scanning point. Therefore, this known device cannot be used to make precise measurements on image points which have been irradiated with an X-ray dose which is around 2 orders of magnitude lower than other image points. However, this is a major disadvantage, particularly in diffractometry, where the intensities of the X-ray reflections in a diffraction image vary over several orders of magnitude. In comparison, the embodiments of the light converters 20 and 21 shown in Figures 2 and 5 have no such disadvantages. The excitation light reflected back from the film first passes through the passage opening in the optical filter 10 and is then directed by the mirror 12 onto the optical filter 11. A large part of the scanning light is already absorbed in this filter. The scanning light which is reflected back from the filter 11 then largely hits the filter 10 either directly or via the mirror 12 and is absorbed there. Only a negligible part of the reflected excitation light can get back to the sample through the passage opening. It is therefore possible to measure the applied X-ray dose even at pixels of the film which have only been irradiated with a low dose. An essential feature of the filter arrangement is therefore the cavity open to the scanning line, which in this embodiment is delimited by the mirror 12 and the filters 10 and 11, whose areas make up more than 50% of the delimitation area of this cavity. Here too, the filter 10 of the lower light converter 21 can be provided with a slit diaphragm to reduce secondary light effects (secondary radiation). On this side of the film

jedoch im Vergleich zu der dem oberen Lichtwandler 20 zugewandten Filmseite ein sehr viel geringerer Teil des abtastenden Lichtes von dem Film abgestrahlt, so daß eine dem Filter 10 des unteren Lichtwandlers 21 zugeordnete Schlitzblende nur bei recht hohen Anforderungen bezüglich der Nebenlichtunterdrückung vorgesehen wird. Im Sinne der Erfindung ist es zweckmäßig, wenn die auswechselbare Auflageplatte 9 aus einem optischen Filtermaterial besteht, wie es für die Filter 10 und verwendet wird. In diesem Fall wird das aus dem eng aufliegenden Film austretende Abtastlicht entweder in der Auflageplatte 9 absorbiert, oder es gelangt nach Reflektion wieder zu dem Austrittspunkt zurück, ohne sich über einen größeren Bereich der Probe auszubreiten. Auf den Lichtwandler 21 kann verzichtet werden, wenn erfindungsgemäß der z.B. für die photostimulierte Lumineszenz ausreichend durchlässig und die Auflageplatte 9 auf der dem Film entgegengesetzten Seite mit einer Spiegelschicht versehen ist, welche die photostimulierte Lumineszenz in Richtung des Lichtwandlers 20 zurückreflektiert. In diesem Fall wird praktisch die gesamte photostimulierte Lumineszenz von dem oberen Lichtwandler 20 detektiert. Diese Anordnung hat den Vorteil, daß sich daß Dunkelrauschen des unteren Lichtwandlers 21 nicht zu dem Meßsignal addiert.However, compared to the film side facing the upper light converter 20, a much smaller proportion of the scanning light is emitted from the film, so that a slit diaphragm associated with the filter 10 of the lower light converter 21 is only provided if there are very high requirements with regard to the suppression of secondary light. In the sense of the invention, it is expedient if the exchangeable support plate 9 consists of an optical filter material such as that used for the filters 10 and 12. In this case, the scanning light emerging from the tightly fitted film is either absorbed in the support plate 9 or, after reflection, it returns to the exit point without spreading over a larger area of the sample. The light converter 21 can be dispensed with if, according to the invention, it is sufficiently permeable for the photostimulated luminescence, for example, and the support plate 9 is provided with a mirror layer on the side opposite the film, which reflects the photostimulated luminescence back in the direction of the light converter 20. In this case, practically all of the photostimulated luminescence is detected by the upper light converter 20. This arrangement has the advantage that the dark noise of the lower light converter 21 is not added to the measurement signal.

In der Anwendung des Gerätes zur Messung der ortsaufgelösten Photolumineszenzeffizienz von Proben, wie z.B. Halbleiterkristallscheiben, sind die Lichtwandler wie in der Anwendung zur Abtastung von Speicherleuchtstofffilmen aufgebaut. Jedoch bestehen die optischen Filter der Lichtwandler 20 und 21 dann aus einem optischen Filtermaterial, welches für das zu messende Photolumineszenzlicht durchlässig ist und das Abtastlicht absorbiert. Zur Abtastung der Photolumineszenz von GaAs-Scheiben eignen sich in Verbindung mit einer Halbleiterlaserdiode als Lichtquelle 5, die Licht bei 635 Nanometer emittiert, z.B. Kantenfilter mit einer Stärke von 2mm. Auch in dieser Anwendung kann es sich als zweckmäßig erweisen, wenn die Auflageplatte 9 erfindungsgemäß aus dem gleichen Filtermaterial wie die Filter 10 und 11 besteht.When the device is used to measure the spatially resolved photoluminescence efficiency of samples, such as semiconductor crystal disks, the light converters are constructed in the same way as when used to scan storage phosphor films. However, the optical filters of the light converters 20 and 21 then consist of an optical filter material that is transparent to the photoluminescence light to be measured and absorbs the scanning light. For scanning the photoluminescence of GaAs disks, edge filters with a thickness of 2 mm, for example, are suitable in conjunction with a semiconductor laser diode as the light source 5 that emits light at 635 nanometers. In this application too, it can prove useful if the support plate 9 is made of the same filter material as the filters 10 and 11 according to the invention.

Da mehrere unterschiedliche Anwendungsformen des Gerätes mög-Since several different applications of the device are possible,

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lieh sind, können diese erfindungsgemäß auch in anderer Weise kombiniert werden und führen so zu neuen Anwendungen. Beispielsweise ist es möglich, die ortsaufgelöste Messung des Lichtes, welches die Probe transmittiert, mit dem Lichtwandler 21 in obiger Ausführungsform durchzuführen, während mit einem dem Meßprinzip entsprechend ausgeführten Lichtwandler 20 simultan die Photolumineszenz detektiert wird., these can also be combined in a different way according to the invention and thus lead to new applications. For example, it is possible to carry out the spatially resolved measurement of the light transmitted by the sample with the light converter 21 in the above embodiment, while the photoluminescence is simultaneously detected with a light converter 20 designed in accordance with the measuring principle.

Um die Qualität der mit Speicherleuchtstofffilmen erzeugten Röntgenbilder zu verbessern, ist es günstig einen Speicherleuchtstoffilm mit folgender erfindungsgemäßen Schichtfolge einzusetzen: In der Einfausrichtung des abtastenden Lichtstrahls 18 gesehen besteht der Film zunächst aus einer für sichtbares Licht transparenten Schicht, in welche der Speicherleuchtstoff eingebettet ist. Diese Schicht kann je nach Anwendungszweck eine Stärke zwischen 20 und 500&mgr;&idiagr;&eegr; aufweisen. Dieser zweiten Schicht folgt eine zweite Schicht, die das abtastende Licht absorbiert und für die photostimulierte Lumineszenz durchlässig ist. Diese zweite Schicht kann z.B. aus einem handelsüblich erhältlichen Blauglas bestehen. Die dritte hierauf folgende Schicht ist eine Spiegelschicht. Sie kann z.B. aus einem Glas bestehen, welches auf der Rückseite verspiegelt ist. In einer anderen Ausführungsform kann diese Schicht erfindungsgemäß direkt in Form einer Aluminiumschicht auf die zweite Schicht aufgedampft worden sein. Diese funktionelle Schichtfolge hat cfegenüber herkömmlichen Filmen folgende Vorteile: Erstens wird die Intensität des abtastenden Licht-' Strahls in der Speicherleuchtstoff enthaltenden Schicht nicht durch Färbemittel reduziert und dadurch die Empfindlichkeit der Schicht für Anregungsucht erhöht. Zweitens wird durch die zweite Schicht, die das Abtastlicht absorbiert, ein Auflösungsverlust durch weitreichende Lichthöfe des Abtastlichts verhindert, die bei einer transparenten Schicht auftreten. Drittens wird die photostimulierte Lumineszenz, welche die zweite Schicht durchtritt, durch die dritte Schicht reflektiert, so daß diese Lumineszenz auf der Abtastseite nachgewiesen werden kann. Wenn nur ein Detektor auf der Abtastseite zum Nachweis verwendet wird, kann dadurch die Empfindlichkeit des Films gegenüber herkömmlichen Filmen im Grenzfall verdoppeltIn order to improve the quality of the X-ray images produced with storage phosphor films, it is advantageous to use a storage phosphor film with the following layer sequence according to the invention: Seen in the direction of the scanning light beam 18, the film initially consists of a layer that is transparent to visible light and in which the storage phosphor is embedded. Depending on the application, this layer can have a thickness of between 20 and 500 μηι. This second layer is followed by a second layer that absorbs the scanning light and is transparent to the photostimulated luminescence. This second layer can consist, for example, of a commercially available blue glass. The third layer following this is a mirror layer. It can consist, for example, of a glass that is mirrored on the back. In another embodiment, this layer can be vapor-deposited directly onto the second layer in the form of an aluminum layer. This functional layer sequence has the following advantages over conventional films: Firstly, the intensity of the scanning light beam in the layer containing the storage phosphor is not reduced by colorants, thereby increasing the sensitivity of the layer to excitation. Secondly, the second layer, which absorbs the scanning light, prevents a loss of resolution due to long-range halos of the scanning light, which occur with a transparent layer. Thirdly, the photostimulated luminescence which passes through the second layer is reflected by the third layer, so that this luminescence can be detected on the scanning side. If only one detector on the scanning side is used for detection, the sensitivity of the film can be doubled compared to conventional films in the limiting case.

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werden. Mit dem Entfallen des Detektors 21 kann sein unvermeidbares Dunkelrauschen auch nicht zu einer Verschlechterung der Bildqualität beitragen.By eliminating the detector 21, its unavoidable dark noise cannot contribute to a deterioration in the image quality.

Ein wesentlicher Nachteil herkömmlicher Bildlesegeräte besteht darin, daß die Messung schwacher Lichtsignale, die von der Probe bzw. dem Film ausgesendet werden, dadurch verfälscht wird, daß Störsignale, wie Nebenlicht, das Dunkelsignal der Lichtwandler oder ein kontinuierliches Leuchten der Probe, sich dem nachzuweisenden Signal überlagern. Um den Einfluß dieser Störsignale zu reduzieren wird erfindungsgemäß die Strahlintensität der Abtastlichtquelle periodisch mit einer Frequenz f moduliert und die Amplitude der periodischen Schwankungen des Meßsignals bei der Frequenz f als Bildsignal verwendet. Eine Ausführungsform diese Verfahrens kann erfindungsgemäß darin bestehen, den abtastenden Lichtstrahl mit einer festen Frequenz periodisch ein- und auszuschalten und mit gleicher Frequenz jeweils zwei Ausgangssignale der Lichtwandler zu speichern, und zwar das erste Ausgangssignal wenn der Laser eingeschaltet ist und das zweite Ausgangssignal wenn der Laser ausgeschaltet ist. Das zweite Ausgangssignal enthält nun das Störsignal. Nach der Speicherung wird das zweite Ausgangssignal von dem ersten subtrahiert. Das Ergebnis ist nun weitgehend von Störsignalen bereingt und wird zur Bilderstellung gezeigt.A significant disadvantage of conventional image reading devices is that the measurement of weak light signals emitted by the sample or film is distorted by interference signals such as secondary light, the dark signal of the light converter or a continuous glow of the sample superimposing themselves on the signal to be detected. In order to reduce the influence of these interference signals, the beam intensity of the scanning light source is periodically modulated with a frequency f and the amplitude of the periodic fluctuations of the measurement signal at the frequency f is used as an image signal. One embodiment of this method can consist of periodically switching the scanning light beam on and off at a fixed frequency and storing two output signals from the light converter at the same frequency, namely the first output signal when the laser is switched on and the second output signal when the laser is switched off. The second output signal now contains the interference signal. After storage, the second output signal is subtracted from the first. The result is now largely cleaned of interference signals and is shown for image creation.

Figur 6 zeigt eine Ausführungsvariante zu dem in der Figur 2 dargestellten oberen Lichtwandler 20. Dabei ist der Filter 10 der Krümmung des Spiegels 12 angepaßt und ihm unmittelbar benachbart angeordnet. Die Filter 10 und 11 besitzen an ihren der Bildvorlage zugewandten Seiten keine Streuwirkung und sind bezüglich ihrer Spektraleigenschaften so beschaffen, daß sie nur für das zu detektierende Licht durchlässig sind, welches gesammelt aus einem Raumwinkel von annähernd 2&pgr; - fast vollständig auf die photoempfindliche Fläche des Photodetektors 13 gelangt. Das ungewünschte, nicht zu detektierende Kebenlicht dagegen wird fast vollständig von den Filtern 10 und 11 absorbiert, und der nicht von den Filtern 10 und 11 absorbierte sondern auf die Bildvorlage zurückflektierte Anteil des Neben-Figure 6 shows a variant of the upper light converter 20 shown in Figure 2. The filter 10 is adapted to the curvature of the mirror 12 and is arranged immediately adjacent to it. The filters 10 and 11 have no scattering effect on their sides facing the image template and are designed in such a way with regard to their spectral properties that they are only transparent to the light to be detected, which is collected from a solid angle of approximately 2π - almost completely reaches the photosensitive surface of the photodetector 13. The unwanted, undetectable side light, on the other hand, is almost completely absorbed by the filters 10 and 11, and the portion of the side light that is not absorbed by the filters 10 and 11 but is reflected back onto the image template.

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lichts wird ungefähr vernachlässigbare 2,5 °/oo (Promille) betragen, was sich daraus ergibt, daß das Nebenlicht bei dieser Ausführungsvariante erfindungsgemäß immer mindestens zweimal an den Oberflächen der Filter 10 bzw. 11 reflektiert wird und dies bekanntermaßen zu jeweils 5%.light will be approximately a negligible 2.5 °/oo (per mille), which results from the fact that the secondary light in this embodiment is always reflected at least twice on the surfaces of the filters 10 and 11, respectively, and this is known to be 5% in each case.

Figur 7 zeigt eine gegenüber der Ausführung gemäß Figur 6 modifizierte und herstellungstechnisch einfachere Variante. Hier besteht der dem Filter 10 der Figur 6 entsprechende Filter aus zwei gegeneinander geneigten Filterplatten 27 und 28 mit sonst gleichen Eigenschaften wie der Filter 10, welche mit ihren Kanten den Spiegel 12 berühren. Die Effizienz der Ausführung nach Figur 7 bezüglich der Unterdrückung von Nebenlicht kann hier grudsätzlich nicht erreicht werden, läßt sich jedoch durch Vergrößerung der Anzahl der Filterplatten entsprechend steigern.Figure 7 shows a variant that is modified compared to the design according to Figure 6 and is simpler to manufacture. Here, the filter corresponding to filter 10 in Figure 6 consists of two filter plates 27 and 28 that are inclined towards one another and have otherwise the same properties as filter 10, and whose edges touch mirror 12. The efficiency of the design according to Figure 7 with regard to the suppression of secondary light cannot be achieved here in principle, but can be increased accordingly by increasing the number of filter plates.

Claims

..'...· 95/160 — 1 —. Claims

1. Device for reading image information from an image template with a focused light beam (18) scanning the template line by line and with at least one light detector (light converter 20), with an analog-digital converter arranged downstream of the latter.

2. Device according to claim 1 with a mirror (12) having a slit diaphragm (19) for the scanning beam (18), which runs straight in the direction of the scanning line and has parabolic or ellipsoidal cross sections that are congruent perpendicularly to it with the respective scanning point as the focal point, wherein a first filter (11) that is only permeable to the light to be detected is arranged in front of the light detector (20) and perpendicularly to the parabolic or ellipsoid axes, and a second filter (10) that is also only permeable to the light to be detected is arranged in the beam path of the light emitted from the respective scanning point.

3. Device according to claim 2, characterized in that the second filter (10) is adapted to the curvature of the mirror surface and is arranged immediately adjacent to it.

4. Device according to claim 3, characterized in that the second filter (10) has an opening corresponding to the slit diaphragm of the mirror (12).

5. Device according to claim 3, characterized in that the second filter (10) consists of at least two plates (27, 28) inclined towards one another.

6. Device according to claim 2, characterized in that the second filter (10) is plate-shaped, is arranged parallel and in the immediate vicinity of the image original and has a passage opening for the scanning beam (18) along the scanning line, which is substantially larger transversely to the scanning line than

is the diameter of the scanning beam (18).

7. Device according to claim 6, characterized in that the opening angle of the scanning light reflected from the image original, which angle is transverse to the scanning line, is in a range between 70 and 120 degrees.

8. Device according to claim 6, characterized in that the passage opening transverse to the scanning line is at least ten times larger than the diameter of the scanning beam (18).

9. Device according to claims 2 to 8, characterized by a further light detector (21) arranged on the side of the image template facing away from the scanning light source (5), to which a mirror (12) without a slit diaphragm, a further first filter (11) and a further second filter (10) are assigned.

10. Device according to claim 9, characterized in that for halftone transparency originals as image originals, a plate-shaped cover (26) with a slit diaphragm for the scanning beam (18) is assigned to the further second filter (10).

11. Device according to one of the preceding claims, characterized in that all filters have a scattering effect for the light to be detected.

12. Device according to one of the preceding claims, characterized by a powerful lamp (23), preferably of at least 500 watts, for erasing the image information stored in the image template by optical and thermal stimulation.

13. Device according to one of the preceding claims, characterized in that in order to avoid a distortion of the cross section of the scanning light beam (18) dependent on the scanning position for the line-by-line scanning, a polygon mirror (4) with a downstream optics (6,7) is provided.

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which allows the scanning light beam (18) to fall perpendicularly onto the image template.

14. Device according to one of the preceding claims, characterized in that for the introduction of an image template consisting of a storage phosphor film, a window (22) is provided in the device housing (25) which corresponds in its dimensions to the image template and which is light-tight but permeable to X-rays.

15. Device according to one of the preceding claims, characterized in that means (29) are provided to make the output signal of at least one light converter (20, 21) non-linearly dependent on the intensity of the detected light.

16. Device according to claim 15, characterized by a current-voltage converter with a non-linear, parabolic or logarithmic characteristic curve, which is acted upon by the output current of a photodetector (13).

17. Device according to one of the preceding claims, characterized in that a laser beam is provided for scanning the radius of which in the plane of the image original is less than 50 μm.

18. Device according to claim 17, characterized in that a semiconductor laser beam is provided for scanning.

19. Device according to one of the preceding claims, characterized in that, in order to eliminate secondary light effects, an electrical control device is provided for quickly switching the scanning light beam (18) on and off.

20. Device according to one of the preceding claims, characterized by a programmable logic controller (control unit) for the sequence of the scanning process, which

can be parameterized manually or automatically with regard to characteristic sizes, such as the area to be scanned and possibly erased, the sensitivity of the light detectors (light converters), the size of the individual scanning point, scanning speed, feed speed of the image template, scanning frequency of the analog-digital converters connected downstream of the light detectors.

21. Device according to one of the preceding claims, characterized by a transparent support plate (9) for the image template.

22. Device according to claim 21, characterized in that the support plate (9) is colored.

23. Device according to claim 21 or 22, characterized in that the support plate (9) is mirrored on its underside.

24 Device according to one of claims 21 to 23, characterized in that means for exchanging the support plate (9) are provided.

25. Device according to one of the preceding claims, characterized in that the storage phosphor film used as an image template has the following layer sequence in the direction of the scanning light beam (18) in conjunction with a transparent support plate: a scattering storage phosphor layer that is equally transparent to the scanning light and the photostimulated emission light and has a layer thickness between 20 μm and 5,000 μm, followed by a layer that absorbs the scanning light, but

is transparent to the emission light of the storage phosphor and then a third layer, which is a mirror layer.

26. Device according to one of the preceding claims, characterized in that means for cooling (24) the image template are provided.