DE2743054A1

DE2743054A1 - Optische messvorrichtung mit einem laenglichen, fokussierten strahl

Info

Publication number: DE2743054A1
Application number: DE19772743054
Authority: DE
Inventors: Francis Morgan Taylor
Original assignee: Systems Research Laboratories Inc
Current assignee: Systems Research Laboratories Inc
Priority date: 1976-09-27
Filing date: 1977-09-24
Publication date: 1978-03-30
Also published as: CA1076793A; US4074938A; JPS5342761A; FR2365781B3; FR2365781A1

Description

Systems Research Laboratories, Inc., 28 Indian Ripple Road, Dayton, Ohio/USA

Optische Meßvorrichtung mit einem länglichen, fokussierten Strahl

Die Erfindung bezieht sich auf verbesserte optische Meßinstrumente zum Messen von Maßen, die gewöhnlich als Lasernikroneter bezeichnet werden.

Beispiele der optischen oder Lasermikrometer sind in den folgenden US-Patentschriften gezeigt und beschrieben:

2 812 685 3 856 411

3 565 774 3 856 412 3 592 5^5 3 868 437 3 743 428 3 870 890 3 853 4O6 3 905 705

Lasernikroneter erlauben die wirksame Messung gewisser Produkte durch berührungslose Verfahren, und das sich ergebende Meßsignal kann dazu verwendet werden, den Prozeß, bei welchem das Produkt hergestellt wird, zu steuern. Die Genauigkeit und Toleranz, bis zu welcher das Endprodukt hergestellt werden kann, hängt davon ab, ob das Lasermikrometer den Gegenstand sehen kann, und hängt von der Eigenschaft der StöreinflUsse ab, die zugegen sind.

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Bei einigen Herstellungsverfahren kann die Atmosphäre, welche den zu messenden Gegenstand umgibt, infolge Staub oder Dampf aggressiv sein, und bei solchen Verfahren, bei denen die Messung innerhalb eines geschlossenen Behälters erfolgen muß, können sich Staub-, Schmutz, Wasser- oder andere Fremdgegenstände auf den Sicht fenstern ansammeln·

Beispielsweise ist bei der Herstellung von isolierten Drähten, bei welcher extrudiertes Material auf dem Draht nach der bekanntei kontinuierlichen Vulkanisiermethode ausvulkanisiert wird, der beschichtete Draht in einem Dampfrohr eingeschlossen, welches JO oder mehr Meter 3mg ist (Hunderte von Fuß). Man hat Versuche unternommen, unter Verwendung von herkömmlichen Lasermikrometern den Durchmesser des heißen Drahtes zu messen, während er sich in dem Dampfrohr befindet, wobei diese Mikrometer auf jeder Seite der Sichtglasfenster angeordnet sind. Diese Versuche erbrachten aber nur Teilerfolge wegen der veränderlichen und optisch aggressiven Atmosphäre in dem Rohr wegen Wassertropfen auf dem Draht, in der Luft und auf dem Sichtglas,

da
und bisweilen zeitweilige Unregelmäßigkeiten, die sich aus

den Extrudierprozeß ergeben, genau kontinuierliche Durcheesser-Messungen verhindern.

Ein anderes Beispiel ist die Herstellung genauer Stahlrohre, wo es wichtig ist, eine genaue Messung des heißen Außendurch-■essers des Rohres zu haben, nachdem es durch die Rollen ge-

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gangen ist, welche seine Maße steuern. Da die Leitung oder das Rohr häufig an der gewünschten Meßstelle glühend rot ist, wird normalerweise ein berührungsloses Meßgerät verwendet, wie z.B. ein Lasermikrometer. Die optische Atmosphäre in einer Stahlmühle ist jedoch im allgemeinen schlecht, insbesondere da das heiße Rohr häufig von Dampf, Staub und Schmutz umgeben ist. Die Erfindung bezieht sich auf ein optisches oder Lasermikrometer, das so aufgebaut ist, daß die Empfindlichkeit der Maßbestimmung oder -messung hinsichtlich aller

wird und Gegenstände in der Umgebung vermindert/, welches den optischen Strahl abfangen bzw. unterbrechen kann mit Ausnahme derjenigen Gegenstände, die eine spezifische Geometrie haben und eine spezifische Stellung im Raum einnehmen.

Insbesondere kann das verbesserte optische oder Lasermikrometer gemäß dieser Erfindung dafür verwendet werden, den Durchmesser länglicher zylindrischer, heißer Gegenstände zu messen, wie z.B. ein sich horizontal bewegender, ummantelter Draht oder ein Stahlrohr, der bzw. das einen Gesamtaußendurchmesser von z.B. 6,35 mm (1/4 Inch) hat, aber das Gerät wäre unempfindlich auf einen Durchmesser von 2,54 cm eines runden oder kubisch geformten Gegenstandes oder sogar eines vertikal angeordneten Zylinders mit einem Durchmesser von 6,35 mm 0/4 Zoll). Ebenso wäre das Instrument unempfindlich auf einen horizontal angeordneten zylindrischen Gegenstand mit einem Durchmesser von 6,35 mm, der außerhalb der Meßsone angeordnet sind, z.B. auf dem Sichtglas.

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Das vorstehende Ergebnis wird dadurch erreicht, daß ein Laserstrahl auf eine dünne, längliche Lichtlinie In einer Meßzone fokussiert wird und der Laserstrahl außerhalb der Meßzone defokussiert wird. Deshalb würde nur ein Teil des nichtfokussierten Strahles von einem Gegenstand unterbrochen werden, der nicht die geeignete Gestalt hat (zylindrisch) oder der außerhalb der Meßzone angeordnet ist. Beispielsweise wäre ein Gegenstand, wie z.B. Wasser oder Staub, auf einer Sichtglasanordnung, durch welche der Laserstrahl gerichtet wird, in denjenigen Bereichen, wo der Strahl nicht fokussiert ist, deshalb wird ein erheblich größerer Gegenstand erforderlich, um den Strahl an diesem Ort zu unterbrechen, als notwendig wäre, wenn der Gegenstand in der Meßzone angeordnet wäre.

Bei einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung wird «in Laserstrahl zunächst von etwa O,0635 cm (0,025 Zoll) auf etwa 1,905 cm (0,750 Zoll) im Durchmesser ausgedehnt. Der Laserstrahl geht dann durch eine anamorphe Linse, welche den Strahl in einer ersten Ebene (z.B. horizontal) auf einen Spiegel fokussiert, während sie den Strahl in einer zweiten, orthogonalen (vertikalen) Ebene ko 11 liniert beläßt. Eine erste Abtastlinse, die auf ihrer einen Seite einen Fokus oder Brennpunkt auf dem Abtastspiegel hat, und der Strahl haben bei der Abtastlinse eine horizontale Länge von etwa 7#62 cm (3 Zoll). Das Längsnaß des Strahles liegt parallel zu der zylindrischen Achse des zylindrischen Gegenstandes, welcher sich durch die

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Meßzone bewegt, und der Abtastspiegel läßt den Strahl vertikal durch die Meßzone abgetastet werden. Da die anamorphe oder anamorphot!sehe Linse (Linse mit zylindrischen Elementen, die in der Breitwändeinematographie verwendet wird, um ein längliches Bild auf einen Standardfilm zu komprimieren), nicht das Maß des Strahles in der zweiten oder vertikalen Ebene bewerkstelligt, ist dieser Strahl im wesentlichen kollimiert, bis er durch die erste Abtastlinse hindurchgeht, welche dann den Strahl auf eine feine Linie mit einer Dicke von nahezu 0,025** cm (0,010 Zoll) und einer Länge von 7,62 cm (3 Zoll) in der Meßzone fokussiert. Nach dem Durchgang des Strahles durch die Meßzone dehnt sich sein Vertikalmaß wieder aus, er geht durch eine zweite Abtastlinse und wird auf ein Photodetektorelement projiziert.

Somit ist der Strahl in dem Sichtglasbereich auf jeder Seite der Meßzone etwa 1,905 cm (0,750 Zoll) dick und 7,262 cm (3 Zoll) lang. In der Meßzone ist der Strahl 0,025*1 cm (0,010 Zoll) dick und 7,62 cm (3 Zoll) lang.

Das Vertikalmaß des Strahles außerhalb der Meßzone ist grosser gemacht als jedes vorhergenommene Fremdteil oder jeder voraussichtliche Fremdgegenstand, der außerhalb der Meßsone angeordnet ist, und die Horizontalausdehnung oder Horizontalexpansion des Strahles ist größer gemacht als jeder voraussichtliche Fremdgegenstand sowohl innerhalb als auch außerhalb der Meßzone· Auch ist die Länge des Strahls in der Meßzone langer als die augenblickliche Unregelmäßigkeit oder Irre-

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gularität, die auf dem zu messenden Gegenstand aufgebracht sein könnte. Diese Unempfindlichkeit auf augenblickliche Unregelmäßigkeiten erlaubt die Verwendung eines erfindungsgemäß aufgebauten optischen Mikrometers in wirksamer Weise

für die

in einem System/genaue Steuerung des Außenmaßes eines Gegenstandes oder des Außendurchmessers eines auf einem Gegenstand angeordneten Mantels oder einer Beschichtung.

Es ist daher Aufgabe der Erfindung, ein optisches Mikrometer der beschriebenen Art zu schaffen, bei welchem der Abtaststrahl fokussiert und in einer Meßzone verlängert wird, um eine genaue Meßinformation der zylindrischen Gegenstände

wird vorzusehen, und außerhalb der Meßzone defokussiery, um das Mikrometer auf Gegenstände in der Umgebung unempfindlich zu machen.

Weitere Vorteile, Merkmale und Anwendungsmöglichkeiten der vorliegenden Erfindung ergeben sich aus der folgenden Beschreibung ±m Zusammenhang alt den Zeichnungen. Es zeigen:

Fig. 1 eine perspektivische Ansicht einer optischen Mikrometeranordnung zum Messen des Durchmessers eines Gegenstandes innerhalb einer Sichtglaaanordnung,

Fig. 2 eine teilweise im Schnitt gezeigte Seitenansicht einer bevorzugten Ausführungsform des optischen Mikrometers, wobei die Endabdeckungen weggenommen sind, um Einselteile des Gerätes zu zeigen,

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Flg. 3 eine schematische Ansicht eines Higts, welchen der

Strahl von der Quelle durch ein Strahlerweiterungsgerät, Über den Abtastspiegel, ein Linsensystem durch die Meßzone und dann zum Photodetektor durchläuft,

Fig. 3A-3G Querschnittsdarstellungen des Strahle an verschiedenen Stellen innerhalb des optischen Mikrometers und

Fig. k eine schematische Ansicht einer Vorrichtung zur kontinuierlichen Vulkanisierung mit einem Extruder, einem Dampfrohr, einer Sichtglasanordnung und einem optischen Mikrometer.

Die Zeichnungen zeigen eine bevorzugte AusfUhrungsform der Erfindung. Insbesondere weist nach Fig. 1 ein optisches Mikrometer 10 ein Basisteil 12, ein erstes aufrechtes Endgehäuse ~\k mit einem Strahlabtastmechanismus und ein zweites aufrechtes Endgehäuse 16 mit einem Photodetektor auf. Beide Gehäuse "\k und 16 weisen gegenüberliegende Glasfenster 18 auf, durch welche ein Lichtstrahl zur Messung des Durchmessers eines im allgemeinen zylindrischen Gegenstandes 20 geführt wird, welcher durch eine Meßzone geht, die mittig zwischen den Gehäusen i4 und 16 angeordnet ist.

Wie in Fig. 1 gezeigt ist, kann der zylindrische Gegenstand durch eine SpezialUmgebung hindurchgehen, wie z.B. eine Dampfleitung 22 (Fig. k), und er kann durch eine SichtgJaeanordnung 25 betrachtet werden, die mit dem Abtaststrahl in Flucht liegt.

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Die Anordnung 25 weist Vorsprünge 26 zur Verbindung mit der Dampfleitung auf.

Die Sichtglasanordnung 25 ist vorzugsweise mit Doppelfenstern ZU auf jeder Seite versehen, um einen Fehler oder ein Versagen des Glases infolge Beanspruchung, Thermoschocks, Korrosion, Erosion, äußerer mechanischer Einflüsse oder Überdruckbedingungen innerhalb der Dampfleitung zu verhindern. Ferner lein die feuchte oder Innenseite der Glasoberflächen mit Reinigungsmitteln versehen sein, um die Oberflächen von Kondensation freizuhalten und somit eine optische Klarheit vorzusehen, die für einen richtigen Betrieb des optischen Mikrometers erforderlich ist. Das Reiniguifpmittel kann Dampf Öffnung en aufweisen, um Dampf mit einem höheren Druck als er gewöhnlich innerhalb der Dampfleitung benutzt wird, gegen das Glas zu richten und Kondensationstropfen zu entfernen, die sonst innen an der Glasoberfläche herunterlaufen können. Auch können andere Dampf-Öffnungen vorgesehen sein, um zusätzlichen Dampf gegen das Kabel zu richten und Kondensations- und ^wassertropfen von diesem zu entfernen, wodurch die Möglichkeit fehlerhafter Durchmesserbestimmungen oder -raessungen minimal werden.

Die betreffende Dampfleitung kann Teil einer kontinuierlichen Vulkanisiereinrichtung sein, und der zu messende Gegenstand kann ein Draht sein, auf dem eine Beschichtung aufextrudiert ist, die in der Dampfleitung gehärtet werden soll. In diesem Falle ist die Sichtglasanordnung 25 vorzugsweise in der Nähe einer

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(in Fig. k gezeigten) Extrudiervorrichtung 27 angeordnet, welche eine Beschichtung 28 auf den Draht 29 aufbringt, und die Messung des Außendurchmessers des beschichteten Drahtes kann in einer Steuerschaltung benutzt werden, un die Beschichtung mit der gewünschten Dicke aufrecht zu erhalten.

Gemäß Fig. 2 weist die Basis 12 eine Einrichtung zur Erzeugung eines Strahles mit ko 11 linier tem Licht auf, wie z.B. einen Laser 30, der mit Armen 34 an der Platte 32 angebracht ist. Eine Laserkraftversorgung und andere elektronische Bestandteile können auch innerhalb der Basis 12 angeordnet sein. Der Strahl kollimierten Lichtes auf dem Laier wird von einem Spiegel 37 nach oben reflektiert, der auf einen Teil 38 auf der Unterseite der Platte 32 gehaltert ist. Der Strahl wird dann durch eine Öffnung in der Platte 32 nach oben durch eine Strahlerweiterungsvorrichtung 40 gerichtet und dann durch eine anamorphotisch· Linse, die allgemein bei 45 gezeigt ist.

Der modifizierte Strahl wird vom Drehspiegel 47, der von einem Motor 50 angetrieben wird, herausreflektiert und dann durch eine erste Abtastlinse 55 t durch eine Meßzone 60 und durch eine zweite Abtastlinse 65 auf ein Photodetektorelement 70 gerichtet. Die Abtastlinsen 55 und 65 sind auf Arm 72 bzw. 73 gehaltert, die auf der oberen Fläche der Platte 32 angebracht sind.

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Gesäß Fig. 3 erzeugt der Laser 30 einen Lichtstrahl 35t der gemäß der Querschnittsansicht in Fig. 3A allgemein kreisförmig ist und einen Durchmesser von etwa 0,065 cm aufweist, und dieser Strahl wird vom Spiegel 37 nach oben durch die Strahlerweiterungsvorrichiing 40 reflektiert, aus der er als im Querschnitt noch kreisförmiger Strahl, Jedoch auf einen Durchmesser von etwa 1,905 cm (0,750 Zoll) erweitert, wie in Fig. JB gezeigt ist, austritt. Dieser Durchmesser ist erheblich größer als das Maximalmaß irgendeines voraussichtlichen Fremdgegenstandes, der außerhalb der Meßzone angeordnet ist.

Der Strahl 35 geht dann durch die anamorphot!sehe Linse 45t welche den erweiterten oder expandierten Strahl in einer ersten (z.B. horizontalen) Ebene auf den Abtastspiegel 47 fokussiert, während sie den Strahl in einer zweiten, orthogonalen (vertikalen)Sbene kollimiert beläßt. Somit ist das Horizontalmaß des Strahles auf dem Spiegel 47 fokuseiert worden, wie in Fig. JC dargestellt ist, aber das Vertikalmaß des Strahles verbleibt unverändert, und deshalb bleibt der Strahl 35 in der vertikalen Ebene kollimiert.

Die reflektierende Beschichtung hat der Spiegel 47 auf seiner anderen Oberfläche, und letztere ist auf der Drehachse der Welle des Motors 50 angeordnet. Die andere Seit«

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des Spiegels ist vorzugsweise geschwärzt. Die Mitte des Strahls 35 wird vorzugsweise auf der Drehachse fokussiert.

Die erste Abtastlinse 55 hat einen Brennpunkt linker Hand gemäß Fig. 3 auf dem Abtastspiegel 47; und der Brennpunkt auf der anderen Seite der Abtastlinse 55 liegt innerhalb der Meßzone 6O und tatsächlich auf der Meßebene 6Oa. Somit läßt die Drehung des Spiegels 47 den Strahl 35 wiederholt in einer vertikalen Richtung durch die Meßzone abgetastet werden, wenn sich der Spiegel dreht.

Da die vertikale Ebene des Strahls 35 zwischen dem Spiegel 47 und der Abtastlinse 55 kollimiert ist, verändert sich dieses Maß in jenem Bereich nicht. Da auf der anderen Seite das Horizontalmaß des Strahles auf dem Spiegel 47 fokussiert war, erweitert sich der Strahl in jener Ebene, sobald er sich vom Spiegel fortbewegt, und deshalb ist der Strahl in einer Ellipse, wenn er vom Spiegel 52 reflektiert wird (Fig. 3B), und die Ellipse wird bei der Abtastlinse 55 länglich, wie in Fig. 3E gezeigt ist. Bei der bevorzugten Ausführungsform beträgt die Horizontallänge des Strahles an der Abtastlinse 55 etwa 7,62 cm (3 Zoll). Das vertikale Maß des Strahles in der Mitte beträgt etwa 1,905 cm (o_t75O Zoll).

Die Abtastlinse 55 ist bei einer bevorzugten Ausführungeform der Erfindung eine Zweieleaentenlinse mit Doppelrichtungsfokussiereigenschaften, und da die Linse auf dem Spiegel kj

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fokussiert war, wird die Vertikalebene auf eine feine Linie in der Meßzone fokussiert, wie in Fig. 3F gezeigt ist; die horizontale Ebene wird jedoch durch die Meßzone als länglicher, im allgemeinen kollimierter Strahl projiziert, dessen langes Maß parallel zur Zylinderachse des Gegenstandes 25 ist und eine größere Länge hat als die Größe von vorauszusehenden Fremdobjekten, die sowohl innerhalb als auch ausserhalb der Meßzone 6O angeordne t sind. Selbstverständlich werden diese Fremdgegenstände, welche die Messung beeinträchtigen könnten, so erwartet, daß sie zwischen den Abtastlinsen 55 und 65 angeordnet sind.

An der zweiten Abtastlinse 65 hat sich das Vertikalmaß des Strahles 35 wieder erweitert, wie in Fig. 3G gezeigt ist, obwohl das Horizontalmaß im wesentlichen unverändert bleibt. Die zweite Abtastlinse 65 sammelt das durch sie hindurchgehende Licht und führt es auf die Photodetektoreinrichtung 70, weiche das aufgenommene Licht in elektrische Signale umwandelt. Wie an sich bekannt ist, werden diese Signale in Abstimmung zur Drehung des Spiegels 47 gebracht, um andere elektrische Signale zu erzeugen, welche eine genaue Darstellung des Maßes des Gegenstandes innerhalb der Meßzone sind.

Bei einer bevorzugten AusfUhrungsform der Erfindung beträgt der Abstand zwischen den Abtastlinsen 55 und 65 etwa 55,88 cm (22 Zoll), und die Meßzone 6O, d.h. diejenige Zone, in welcher die genaue Messung des Maßes des zylindrischen Gegenstandes

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innerhalb 0,000254 cm (0,0001 Zoll) bestimmt werden kann, ist etwa 5,08 cm (2 Zoll) in der horizontalen Ebene und 10,16 cm (k Zoll) in der ^Vertikalebene, wie in Fig. 2 gezeigt ist, so daß der Gegenstand 25 irgendwo innerhalb dieser Meßzone angeordnet werden kann und doch äußerst genaue Durchmesserbes timraunspn vorgesehen sind.

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e e r s e i t e

Claims

Patentansprüche

Optische Meßvorrichtung mit einem länglichen, fokussierten Strahl zur kontinuierlichen Messung des Durchmessers •ines zylindrischen Gegenstandes, der sich axial durch eine Meßzone bewegt, mit einer Einrichtung zur Erzeugung eines Strahles kollimierten Lichtes, mit einem Spiegel und einer Einrichtung zum wiederholten Abtasten des Strahles über die Meßzone hinweg und mit einer Photodetektoreinrichtung, welche auf das durch die Meßzone hindurch und su der

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Frankfurt/Main 47M-

ORIGINAL INSPECTED

Abtasteinrichtung gehende Licht anspricht zur Bestimmung
des Durchmessers des zylindrischen Gegenstandes, dadurch gekennzeichnet, daß eine Strahlerweiterungsvorrichtung (ko) zwischen der Licht erzeugenden Einrichtung (30) und der Abtasteinrichtung (55, 65, 70) angeordnet ist zur Erweiterung des Strahls (35) zu einem
Durchmesser, der Größer ist als das Maximalmaß irgendwelcher voraussichtlicher Fremdkörper, die außerhalb der Meßzone (6O) angeordnet sind, daß eine anamorphot!sehe Linse
(45) vorgesehen ist zum Fokussieren des erweiterten Strahls (35) in einer ersten Ebene auf dem Abtastspiegel (^7),
während der Strahl in einer zweiten orthogonalen Ebene kollimiert verbleibt, daß eine erste Abtastlinse (55) den Brennpunkt auf ihrer einen Seite auf dem Abtastspiegel (^7) und den Brennpunkt auf ihrer anderen Seite in der Meßzone (6O, 6Oa) hat, wodurch der Strahl in der zweiten Ebene zu einer feinen Lichtlinie in der Meßzone (60) fokussiert wird, während der Strahl in der ersten Ebene durch die Meßzone (60) als länglicher, kollimierter Strahl projiziert wird, dessen Längsmaß parallel zur Zylinderachse des Gegenstandes (2O) und größer ist als die Größe irgendeines erwarteten Fremdkörpers sowohl innerhalb als auch außerhalb der Meßzone (60), und daß eine zweite Abtastlinse (65) vorgesehen ist zum Sammeln des durch die Meßzone (60) gehenden Lichtes und zum Richten desselben auf die Photodetektoreinrichtung (70).

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2. Vorrichtung nach Anspruch 1, insbesondere für di· kontinuierliche Vulkanisierung, in welcher ein länglicher Gegenstand, wie z.B. ein Draht oder ein Kabel, eine Beschichtung auf dem Gegenstand extrudiert hat, deren Durchmesser in bestimmten Grenzen zu halten ist und wobei die Beschichtung in einem Dampfrohr gehärtet wird, wenn der Gegenstand durch dieses hindurchgeht, dadurch gekennzeichnet, daß eine Sichtglasanordnung (25) in der Nähe des Extruders (27) in dem Dampfrohr (22) angeordnet ist und eine Meßzone (60) darin aufweist, durch welche der Gegenstand (28, 29) hindurchgeht , für die Ermöglichung der Messung der Beschichtungedicke in mindestens einer Ebene, und daß die Einrichtung zur optischen Messung des Durchmessers der Beschichtung (28) eine Einrichtung (30) zur Erzeugung eines Strahles kollimierten Lichtes aufweist, eine Abtasteinrichtung mit einem Spiegel (47) und eine Einrichtung (50) sub Drehen des Spiegels (47) um seine Reflexionsebene herum auf weist, damit der Strahl den Gegenstand (20) in der Meßzone (60) abtastet, ferner eine Strahlerweiterungevorrichtung (4o) aufweist, die zwischen der lichterzeugenden Einrichtung (30) und dem Spiegel (47) angeordnet ist sur Erweiterung des Strahles auf einen Durchmesser, der erheblich größer ist als das Maximalmaß irgendwelcher erwarteter Fremdkörper, die außerhalb der Meßzone (60) zugegen sein könnten, ferner eine anamorphot lache Linse

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aufweist zum Fokussieren des erweiterten Strahles in einer ersten Ebene auf dem Spiegel (^7), während der Strahl in einer zweiten orthogonalen Ebene kollimiert verbleibt, ferner eine erste Abtastlinse (55) aufweist, die ihren Brennpunkt auf einer Seite auf der Drehachse des Spiegels (^5) hat und den Brennpunkt auf ihrer anderen Seite in der Meßzone (6o) hat, wobei der Strahl in der zweiten Ebene in der Meßzone fokussiert ist, während der Strahl in der ersten Ebene durch die Meßzone (50) als ein länglicher, kollinierter Strahl projiziert wird, dessen Längsmaß parallel zur Bewegungsrichtung des Gegenstandes (2O) liegt und größer ist als die Größe irgendwelcher erwarteter oder vorauszusehender Fremdkörper, und zwar sowohl innerhalb als auch außerhalb der Meßzone (60), ferner eine zweite Abtastlinse (65) aufweist zum Sammeln des Lichtes, welches durch die Meßzone (60) hindurchgeht, und eine Photodetektoreinrichtung (70) aufweist, die zur Aufnahme des Lichtes aus der zweiten Abtastline· (65) vorgesehen ist.

3« Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, gekennzeichnet durch ein· Einrichtung (30) für die Erzeugung «ines Lichtstrahles mit einem wesentlich größeren Durchmesser als das Maximalmaß irgendwelcher voraussichtlicher Fremdkörper, die außerhalb der Meßzone (60) angeordnet sind, durch eine Einrichtung (kO) zur Erweiterung des Strahles in einer ersten Eben·, eine erste Linse (55) zum Fokussieren des Strahles in der zweiten Ebene zu einer feinen Lichtlinie in der Meßzone (6O), während der erweiterte Strahl in der ersten Eben· durch die M«ßzone (60)

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als ein länglicher Strahl projiziert wird, dessen Längsmaß parallel zu der zylindrischen Achse des Gegenstandes (20) und größer ist als die Größe irgendwelcher voraussichtlicher Fremdkörper, und zwar sowohl innerhalb als auch außerhalb der Meßzone (6o), und durch eine zweite Linse (65) zum Sammeln des durch die Meßzone (60) hindurchgehenden Lichtes und Führen desselben zur Photodetektoreinrichtuig (70).

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