DE2654900C2 - - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Membranventileinrichtung nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1.

Eine nach der US-PS 30 80 887 bekannte Membranventilein­ richtung dieser Art ist nur mit sehr erheblichem Aufwand herzustellen, selbst wenn man die Membranventileinrichtung zur Betätigung eines nur einseitig wirkenden Kolbens in einem Zylinder vereinfacht.

Aufgabe der Erfindung ist es, eine Membranventileinrichtung nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 derart weiterzubilden, daß sie mit besonderer Zuverlässigkeit arbeitet und eine zusätzliche Schaltfunktion hat, jedoch wesentlich einfacher gebaut ist.

Die Lösung dieser Aufgabe ist im Kennzeichen des Anspruchs 1 angegeben.

Die Ausbildung des Steuerventils als 3/3-Wegeventil ist be­ sonders einfach. Die unterschiedlichen Durchlaßquerschnitte der Drosseldurchgänge bewirken, wie in der folgenden Figu­ renbeschreibung noch erläutert wird, ein besonders zuverläs­ siges Arbeiten der Membranventileinrichtung.

Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.

Die Erfindung wird im folgenden an Ausführungsbeispielen unter Hinweis auf die beigefügten Zeichnungen beschrieben.

Fig. 1 zeigt einen Schnitt durch eine erste Ausführungsform längs der Linie I-I in Fig. 2.

Fig. 2 zeigt einen Schnitt durch die erste Ausführungsform längs der Linie II-II in Fig. 1.

Die Fig. 3a, 3b und 3c zeigen schematisch verschiedene Betriebszustände der Membranventileinrichtung nach den Fig. 1 bis 2 zur Betätigung eines einfach wirkenden Kol­ bens in einem Zylinder.

Fig. 4 zeigt einen Schnitt durch eine gegenüber den Membranen in den Fig. 1 und 2 abgewandelte Membran.

Die Fig. 5 und 6 zeigen Längsschnitte durch das Steuerventil der Vorrichtung nach den Fig. 1 und 2 in verschiedenen Betriebszuständen.

Die Fig. 7 und 8 zeigen Grundrißskizzen zweier Teile einer zweiten Ausführungsform der Membranventileinrichtung.

Fig. 9 zeigt einen Schnitt längs der Linie IX-IX in Fig. 7 und 8.

Die Fig. 10a, 10b, 10c, 10d, 10e, 10f und 10g zeigen schematisch verschiedene Betriebszustände der Membranventil­ einrichtung nach den Fig. 7 bis 9 zur Betätigung eines doppeltwirkenden Kolbens in einem Zylinder.

Fig. 11 zeigt eine Aufsicht auf die Rückseite des in Fig. 7 dargestellten Teils.

Fig. 12 zeigt einen Schnitt längs der Linie XII-XII in Fig. 11.

Fig. 13 zeigt eine Aufsicht auf die Rückseite eines gegen­ über Fig. 7 abgeänderten Teils.

Fig. 14 zeigt einen Schnitt längs der Linie XIV-XIV in Fig. 13.

Die Fig. 1 und 2 zeigen eine Membranventileinrichtung, die zum Betätigen eines einfach wirkenden Zylinders 14, 15 (Fig. 3a, 3b, 3c) dienen kann. Drei zylindrische Körper 1, 2, 3 sind mit nicht gezeigten Schrauben zusammengehalten. Die Körper 1 und 3 begrenzen zwei Membranventile 4, 5, von denen jedes eine Arbeitskammer 41, 51, eine Steuerkammer 42, 52, die von der Arbeitskammer 41, 51 durch eine Membran 43, 53 getrennt ist und einen Durchlaß 44, 54 aufweist, der mit der Arbeitskammer 41, 51 in Verbindung bringbar ist und normalerweise durch die Membran 43, 53 versperrt ist. Die Arbeitskammer 41 des ersten Membranventils 4 steht über einen Kanal 6 mit einem Druckmitteleinlaß 7 zum Anschluß einer Druckluftquelle in Verbindung. Der Durchlaß 44 steht über einen Kanal 8 mit einem an den Zylinder 14, 15 anschließ­ baren Druckmittelanschluß 9 und über einen von dem Kanal 8 abgezweigten Kanal 10 mit der Arbeitskammer 51 des zweiten Membranventils 5 in Verbindung. Der Durchlaß 54 des zweiten Membranventils 5 steht über einen Kanal 11 mit einem Druckmittelauslaß 12 für Luft aus dem Zylinder 14, 15 in Ver­ bindung.

Die Steuerkammern 42, 52 der Membranventile 4, 5 sind mit einem als 3/3-Wegeventil ausgebildeten Steuerventil 13 ver­ bunden, das in drei Zustände bringbar ist, nämlich einen ersten, in dem die Steuerkammern 42, 52 miteinander verbun­ den sind (Fig. 3c), einen zweiten, in dem die Steuerkammern 42, 52 voneinander getrennt sind und die Steuerkammer 52 an den Druckmittelauslaß 12 angeschlossen ist (Fig. 3b), und einen dritten, in dem die Steuerkammern 42, 52 vonein­ ander und vom Druckmittelauslaß 12 getrennt sind (Fig. 3a).

Jedes Membranventil 4, 5 weist einen Drosseldurchgang 46, 56 zwischen seiner Arbeitskammer 41, 51 und seiner Steuerkam­ mer 42, 52 auf. Diese Drosseldurchgänge 46, 56 können, wie in dem dargestellten Beispiel, in den Membranen 43, 53 sein, aber auch in den Körpern 1, 2, 3.

Jede Membran 43, 53 hat in ihrer Mitte einen dickeren Be­ reich 43 a, 53 a, der verhältnismäßig starr ist und den jewei­ ligen Durchlaß 44, 54 schließen kann, und einen peripheren Wulst 43 b, 53 b, der in dazu passenden ringförmigen Vertie­ fungen in den aufeinanderliegenden Flächen der Körper 1 und 2, sowie 2 und 3 liegt und die Stoßflächen zwischen den Körpern 1, 2, 3 abdichtet. Ringförmige Bereiche 43 c, 53 c der beiden Membranen 43, 53 zwischen ihrem Wulst 43 b; 53 b und ihrem dickeren Bereich 43 a, 53 b sind eben und flexibel. Jede Membran 43, 53 kann aus Gummi bestehen und ihr zentraler dickerer Bereich 43 a, 43 b mit einem scheibenförmigen Einsatz aus Nylon versteift sein. Alterna­ tiv kann, wie Fig. 4 zeigt, ein ringförmiger flexibler Bereich 63 c jeder Membran zwischen ihrem Wulst 63 b und ihrem dickeren zentralen Bereich 63 a einen U-förmigen Querschnitt haben. Die Drosseldurchgänge 46, 56 können, wie dargestellt, direkt in den Membranen 43, 53 vorgesehen sein, aber auch in Einsätzen, z.B. aus rostfreiem Stahl, die in die Membranen 43, 53 eingefügt sind. Jeder Drosseldurchgang 46, 56 kann mit einer Filterkappe versehen sein, um eine Verstopfung durch verunreinigtes Druckmittel zu verhindern.

Das Steuerventil 13 kann die in den Fig. 5 und 6 gezeigte Form haben. Es weist einen Körper 20 auf, der mit einer durchgehenden Bohrung 21 und mit einem Außengewinde versehen ist. In der Bohrung ist ein Ventilschaft 22 verschiebbar, in dem sich eine an einem Ende 24 offene Sackbohrung 23 befindet. Das geschlossene Ende der Sackbohrung 23 ist mit einer langgestreckten radialen Durchbrechung 25 ver­ sehen. Jenseits des geschlossenen Endes der Sackbohrung 23 hat der Ventilschaft 22 einen kleineren Querschnitt und endet in einem kegelstumpfförmigen Ventilteller 26, dem ein ringförmiger Ventilsitz 27 in dem Körper 20 zugeordnet ist. Der Ventilschaft 22 ist von einer Feder 28 einseitig in die den Ventilteller 26 auf den Ventilsitz 27 drängende Richtung vorbelastet. Die Feder 28 liegt zwischen dem Kör­ per 20 und einem Widerlagerring 29 an dem Ventilschaft 22. Der Körper 20 ist mit einer radialen Bohrung 30 versehen, die in eine innere Nut 31 mündet. Die Nut 31 stellt eine Verbindung zwischen der Bohrung 30 und der Durchbrechung 25 in allen Winkelstellungen und axialen Stellungen des Ventilschafts 22 her.

Wie in den Fig. 1 und 2 gezeigt, ist das Steuerventil 13 in eine von der Steuerkammer 42 des ersten Membranventils 4 ausgehende Bohrung 32 derart eingeschraubt, daß der Ven­ tilteller 26 zur Steuerkammer 42 gerichtet ist. Die radiale Bohrung 30 im Körper 20 ist über einen Kanal 33 mit der Steuerkammer 52 des zweiten Membranventils 5 verbunden. Das offene Ende 24 der Sackbohrung 23 steht mit einer Kammer 34 in Verbindung, die in dem Körper 3 ausgebildet und über einen Entlüftungsanschluß 34 mit der Atmosphäre verbunden ist.

Die Membranventileinrichtung arbeitet, wenn der Druckmittel­ anschluß 9 an eine Kammer 14 (Fig. 3a, 3b und 3c) des einfach wirkenden Zylinders 14, 15 angeschlossen ist, folgendermaßen: Um den Kolben des Zylinders 14, 15 in einer unbewegten Stellung zu halten, wird das Steuerventil 13 in den in Fig. 5 gezeig­ ten Zustand gebracht, also das Ende 24 der Sackbohrung 23 in dem Ventilschaft 22 geschlossen (Fig. 3a). Wenn sich das Steuerventil 13 in diesem Zustand befindet, sind die beiden Steuerkammern 42, 52 voneinander und vom Druckmittel­ auslaß getrennt. Die Drücke in den Steuerkammern 42, 52 und den Arbeitskammern 41, 51 jedes Membranventils 4, 5 sind dann nämlich wegen der Drosseldurchgänge 46, 56 gleich, so daß beide Membranen 43, 53 die ihnen zugeordneten Durch­ lässe 44 und 54 geschlossen halten. Es strömt also keine Luft aus dem oder in den Zylinder 14, 15. Um den Kolben aus dem Zustand der Fig. 3a nach links zu bewegen, wird das Steuer­ ventil 13 in einen Zustand gebracht, der in Fig. 6 gezeigt ist. Das Ende 24 der Sackbohrung 23 wird freigegeben, so daß die beiden Steuerkammern 42, 52 miteinander verbunden wer­ den (Fig. 3c). Nun strömt Luft aus der Steuerkammer 42 durch das Steuerventil 13 und den Kanal 33 in die Steuer­ kammer 52, die zunächst unter einem niedrigeren Druck steht, wodurch der Druck in der Steuerkammer 42 sinkt. Die Kräfte an der Membran 43 sind daher nicht mehr ausge­ glichen, so daß sich die Membran 43 unter dem Druck der in die Arbeitskammer 41 einströmenden Luft anhebt und den Durchlaß 44 mit der Arbeitskammer 41 verbindet. Die Luft strömt dann vom Druckmitteleinlaß 7 durch den Durchlaß 44 und den Kanal 8 zum Zylinder 14, 15. Gleichzeitig strömt die Luft durch die Membran 43 in die Steuerkammer 42 und von dort durch den Kanal 33 zur Steuerkammer 52, durch den Drosseldurchgang 56 in der Membran 53 in die Kammer 51 und durch den Kanal 10 zum Zylinder 15. Um einen unzulässi­ gen Druckanstieg in der Steuerkammer 52, der das erste Membranventil 4 schließen könnte, zu verhindern, ist der Durchlaßquerschnitt des Drosseldurchgangs 56 durch die Membran 53 größer als der Durchlaßquerschnitt des Drosseldurchgangs 46 durch die Membran 43, so daß durch die Membran 53 eine schnellere Strömung erfolgt als durch die Membran 43. Um die Luftströmung zum Zylinder 14, 15 zum Halten zu bringen, wird die Verbindung zwischen den Steuerkammern 42 und 52 geschlossen, indem das Steuerventil 13 in seine Anfangs­ stellung zurückgebracht wird (Fig. 3a). Sobald dies geschieht, gleichen sich die Drücke auf den beiden Seiten der Membranen 43 und 53 aufgrund der Drosseldurchgänge 46, 56 aus, und der Durchlaß 44 wird daher von der Membran 43 versperrt.

Damit der Kolben sich in der entgegengesetzten Richtung bewegt, wird das Steuerventil 13 in den in Fig. 5 gezeigten Zustand gebracht, jedoch das Ende 24 der Sackbohrung 23 offen gelassen. In diesem Zustand sind zwar die Steuer­ kammern 42, 52 voneinander getrennt, aber die Steuerkammer 52 ist zum Druckmittelauslaß 12 offen (Fig. 3b). Der Druck in der Steuerkammer 52 wird daher herabgesetzt, was der Membran 53 erlaubt, sich unter dem Druck der Luft in dem Zylinder 15 zu heben und den Durchlaß 54 mit der Arbeits­ kammer 51 in Verbindung zu bringen, wodurch der Zylinder 15 mit dem Druckmittelauslaß 12 verbunden wird. Die Bewe­ gung des Kolbens kann durch Verändern des Öffnungsgrades der Sackbohrung 23 zum Druckmittelauslaß 12 beeinflußt werden. Die Strömung der Luft aus dem Zylinder 14, 15 hört auf, sobald das Steuerventil 13 in seinen ursprünglichen Zustand (Fig. 3a) zurückgebracht wird. Dann wird der Druck an der Membran 53 durch die Luftströmung durch den Drosseldurch­ gang 56 ausgeglichen, so daß die Membran 53 in die Stellung zurückkehrt, in der sie den Durchlaß 54 verschließt.

Das Steuerventil 13 kann in verschiedener Weise betätigt werden. Es ist jedoch notwendig, daß dabei das Ende 24 der Sackbohrung 23 des Ventilschafts 22 geschlossen werden kann. Die Betätigung kann pneumatisch, hydraulisch, elek­ trisch oder manuell erfolgen. Bei elektrischer Betätigung kann diese durch ein Solenoid erfolgen, dessen Anker auf den Ventilschaft 22 des Steuerventils 13 einwirkt, um sowohl den Ventilschaft 22 zu verschieben, als auch das offene Ende 24 der Sackbohrung 23 zu schließen. Eine Form einer pneu­ matischen Betätigung ist in den Fig. 1 und 2 gezeigt. Da­ bei wird das Steuerventil 13 von einer Membran 35 betätigt, die den Membranen 43 und 53 gleicht mit der Ausnahme, daß sie keinen Drosseldurchgang enthält. Die Membran 35 liegt zwischen dem Körper 3 und einem vierten Körper 36, der mit den Körpern 1 bis 3 verschraubt ist. Die Membran 35 trennt die Kammer 34 von einer Steuerkammer 37, die über einen Kanal 38 mit einer Steueröffnung 39 verbunden ist. An die Steueröffnung 39 wird Luft angelegt, um entweder eine grobe Steuerung vorzusehen, mittels der das Steuerventil 13 ledig­ lich in die zwei Zustände der Fig. 3b und 3c bringbar ist, oder eine Feinsteuerung vorzusehen, mittels der das Steuer­ ventil 13 auch noch in den in Fig. 3a gezeigten Zustand um­ schaltbar ist und der Öffnungsgrad der Sackbohrung 23 am Ende 24 des Steuerventils 13 ebenfalls gesteuert werden kann.

Das Steuerventil 13 kann durch irgendeinen anderen Typ eines Steuerventils ersetzt werden, der in wenigstens die zwei Zustände der Fig. 3b und 3c bringbar ist.

Die vorstehend beschriebene Membranventileinrichtung kann zur Steuerung eines doppelt wirkenden Zylinders verdoppelt werden. Dies kann in der Weise geschehen, daß zwei Membran­ ventileinrichtungen der oben beschriebenen Art vorgesehen werden, jede mit einem eigenen, der Membran 53 entsprechen­ den Steuerglied und mit einem gemeinsamen oder zwei Stellern für das Steuerglied. Bei der verdoppelten Membranventilein­ richtung nach den Fig. 7 bis 10 liegen zwei Membranventil­ paare 4 a, 5 a und 4 b, 5 b zwischen zwei rechteckigen, mit­ einander verschraubten Blöcken 60, 61. Der eine Block 60 begrenzt vier Arbeitskammern 41 a, 51 a und 41 b, 51 b und vier Durchlässe 44 a und 44 b, 54 a und 54 b; der andere Block 61 begrenzt vier Steuerkammern 42 a, 52 a und 42 b, 52 b. Vier Membranen 43 a, 53 a und 43 b, 53 b zwischen den Blöcken 60, 61 können ein­ zeln ausgebildet sein, wie in Fig. 1, Fig. 2 und Fig. 4 gezeigt, oder als ein einziges Bauteil geformt sein, wie in Fig. 9 gezeigt.

Die Arbeitskammern 41 a und 41 b der Membranventile 4 a, 4 b haben einen gemeinsamen Druckmitteleinlaß 7. Die Steuerkammern 42 a, 42 b, 52 a, 52 b der vier Membranventile 4 a, 4 b, 5 a, 5 b sind paarweise mit je einem Steuerventil 13 a, 13 b verbunden.

Die verschiedenen Betriebszustände der vorstehend beschrie­ benen Anordnung sind in den Fig. 10a bis 10g dargestellt. Die Anordnung ist mit einem doppelt wirkenden Zylinder 62 verbunden. Die Membranventile 4 a und 5 a steuern die Luft­ zufuhr in die eine Kammer 63 des Zylinders 62, die Membran­ ventile 4 b und 5 b die Luftzufuhr in die andere Kammer 64 des Zylinders 62. Fig. 10a veranschaulicht den Zustand, in dem sich die beiden Steuerventile 13 a und 13 b in dem in Fig. 3a gezeigten Zustand befinden, bei dem keine Luft in den oder aus dem Zylinder 62 strömt, also der Kolben in seiner Lage bleibt. In Fig. 10c befindet sich das Steuer­ ventil 13 a in dem in Fig. 3b dargestellten Zustand und das Steuerventil 13 b in dem in Fig. 3c dargestellten Zustand. In diesem Zustand strömt Druckluft durch das Membranventil 4 b in die Kammer 64 und wird aus der Kammer 63 über das Membranventil 5 a ausgestoßen, wodurch der Kolben gemäß Fig. 10c nach links getrieben wird. Diesem Zustand kann un­ mittelbar ein Zustand vorangehen, wie er in Fig. 10b gezeigt ist, bei dem sich das Steuerventil 13 b in dem in Fig. 3c gezeigten Zustand befindet, wogegen das Steuerventil 13 a noch den in Fig. 3a (oder in Fig. 10a) gezeigten Zustand hat, in dem der Auslaß der Kammer 63 blockiert ist, so daß der Kolben abgefangen wird. Danach kann die Verbindung des Steuerventils 13 a mit dem Auslaß (Fig. 10c) gesteuert werden, um den Kolben gemäß Fig. 10c nach links zu verschie­ ben. In Fig. 10e ist das Steuerventil 13 a in dem in Fig. 3c dargestellten Zustand und das Steuerventil 13 b in dem in Fig. 3b gezeigten Zustand, so daß der Kolben in Fig. 10e nach rechts getrieben wird, weil Druckluft durch das Membran­ ventil 4 a in die Kammer 63 gedrückt und Luft durch das Membran­ ventil 5 b aus der Kammer 64 abgeleitet wird. Diesem Zustand kann wieder unmittelbar ein in Fig. 10d gezeigter Zustand vorangehen, in dem der Kolben abgefedert wird, und danach kann die Bewegung des Kolbens gesteuert werden. In Fig. 10f befinden sich beide Steuerventile 13 a, 13 b in dem in Fig. 3c gezeigten Zustand, so daß in beide Kammern 63 und 64 Luft gedrückt wird.

In Fig. 10g sind beide Steuerventile 13 a, 13 b in dem in Fig. 3b gezeigten Zustand, so daß beide Kammern 63, 64 mit dem Auslaß verbunden sind.

Die Steuerventile 13 a und 13 b werden vorteilhafterweise von einem einzigen Steller betätigt, wie beispielsweise in den Fig. 11 bis 14 gezeigt. In den Fig. 11 und 12 sind die Steuerventile 13 a, 13 b in dem Block 61 parallel und im Ab­ stand voneinander angeordnet, so daß sie mittels einer Stange 65, die in einer Einsenkung 66 an der Oberseite des Blockes 61 um einen Zapfen 67 schwenkbar gelagert ist, betätigt werden können. Die Stange 65 hat normalerweise eine solche Lage, daß sie die Enden 24 der beiden Ventil­ schäfte 22 verschließt. Dann befindet sich die Anordnung in dem in Fig. 10a gezeigten Zustand. Durch Kippen der Stange 65 im Uhrzeigersinn kann die Anordnung in den Zu­ stand der Fig. 10c versetzt werden und durch Kippen entgegen dem Uhrzeigersinn in den Zustand der Fig. 10e. Vorzugsweise ist die Stange 65 flexibel ausgeführt, so daß beide Arme gleichzeitig niedergedrückt werden können, um die Anordnung in den Zustand der Fig. 10f bringen zu können.

In den Fig. 13 und 14 ist der Block 61 an seiner Oberseite mit einer zylindrischen Einsenkung 68 versehen, die ein nicht gezeigtes Solenoid aufnehmen kann, dessen Anker mit den zwei Steuerventilen 13 a, 13 b fluchtet. Das Solenoid ist derart angeordnet, daß es normalerweise die Enden 24 beider Ventilschäfte 22 schließt und damit die Anord­ nung in den in Fig. 10a gezeigten Zustand bringt.

Durch Erregung des Solenoids wird der Anker nach links oder rechts geschoben und damit der Zustand der Fig. 10a bzw. 10c hergestellt. Diese Anordnung, in der ein Sole­ noidsteller für das Steuerventil 13 a, 13 b verwendet ist, erlaubt nicht, den Ventilsatz in den Zustand der Fig. 10g zu bringen. Wenn diese Möglichkeit vorgesehen werden soll, kann das Solenoid mit einem Anker durch ein Solenoid mit zwei Ankern ersetzt werden, in welchem sich die Anker ent­ weder zusammen bewegen können, um die Zustände der Fig. 10a, 10c und 10e herzustellen, oder sich in entgegengesetzte Rich­ tungen bewegen können, um die Zustände der Fig. 10f und 10g herzustellen. Ein solcher Steller kann auch so gesteuert werden, daß er die Zustände der Fig. 10b und 10d erzeugt.

In den Fig. 11 bis 14 sind die verschiedenen Kanäle, die die Steuerkammern 52 a, 52 b mit den Steuerventilen 13 a, 13 b verbinden, nicht gezeigt. Diese Wege können dort vorgesehen werden, wo es am bequemsten ist; es ist lediglich notwendig, daß die Steuerkammern 52 a, 52 b an die Enden der Steuerven­ tile 13 a, 13 b, die mit den Ventiltellern 26 versehen sind, angeschlossen und mit den radialen Bohrungen 30, die in den Fig. 12 und 14 nicht gezeigt sind, verbunden werden können.

Statt eines gemeinsamen Druckmitteleinlasses 7 können zwei Druckmitteleinlässe vorgesehen sein, von denen jeder mit einer Arbeitskammer 41 a, 41 b eines ersten Membranventils 4 a, 4 b verbunden ist, um diese beispielsweise an Druckmittel­ quellen mit unterschiedlichen Drücken anzuschließen. Auch kann statt der dargestellten zwei Druckmittelauslässe ein einziger Druckmittelauslaß vorgesehen sein, der mit den Durchlässen der zweiten Membranventile 4 a, 4 b verbunden ist.

Das Prinzip der Membranventileinrichtung nach Fig. 1 bis 4 kann auch mit koplanaren Membranen 43, 53 verwirklicht wer­ den.

Die beschriebenen Membranventileinrichtungen können billig und einfach gefertigt werden, insbesondere wenn sie aus Kunststoffmaterial hergestellt werden. Sie haben eine kurze Ansprechzeit und sind sparsam im Verbrauch von Druckmittel, weil das einzige ausgestoßene Druckmittel dasjenige aus dem Zylinder ist. Sie lassen sich auch sehr gut steuern und können sowohl eine Dosierung bewirken, als auch eine einfache Ein-Aus-Funktion haben.

Drei oder mehr dieser Membranventileinrichtungen können ver­ einigt werden, um eine kompliziertere Zylinder- und Kolben­ einheit zu steuern.

Die Gehäuse oder Blöcke der Membranventileinrichtungen können aus Metall oder Kunststoff gegossen oder geformt sein.

Die beschriebenen Membranventileinrichtungen werden zur Steuerung von Druckluftströmen verwendet, sie können jedoch gleichermaßen zur Steuerung hydraulischer Ströme dienen.

Claims (5)

1. Membranventileinrichtung mit zwei Membranventilen (4, 5), die jeweils eine Steuerkammer (42 bzw. 52) und eine Ar­ beitskammer (41 bzw. 51) getrennt durch jeweils eine Membran (43 bzw. 53) und jeweils einen durch die Membran (43 bzw. 53) absperrbaren und mit der zugehörigen Ar­ beitskammer (41 bzw. 51) in Druckmittelverbindung bring­ baren Durchlaß (44 bzw. 54) aufweisen, wobei die Arbeits­ kammer (41) des ersten Membranventils (4) mit einem Druckmitteleinlaß (7) und der zugehörige Durchlaß (44) mit einem Druckmittelanschluß (9) für ein zu steuerndes Arbeitsgerät (14, 15) und die Arbeitskammer (51) des zweiten Membranventils (5) mit dem Druckmittelanschluß (9) und der zugehörige Durchlaß (54) mit einem Druck­ mittelauslaß (12) druckmittelverbunden ist, und mit einem einen Steuerdruckmittelanschluß (30), einen Entlüftungs- oder Tankanschluß (34′) und ein ver­ schiebbares Ventilglied (22) aufweisenden Steuerventil (13) für die beiden Membranventile (4, 5), das in einer ersten Schaltstellung den Druck in der Steuerkammer (42) des ersten Membranventils (4) gegenüber dem Druck in der Arbeitskammer (41) des ersten Membranventils (4) herabsetzen kann, so daß sich die Membran (43) des er­ sten Membranventils (4) von ihrem Sitz abhebt und dadurch den Durchlaß (44) zur Arbeitskammer (41) im ersten Membran­ ventil (4) öffnet und das in einer zweiten Schaltstellung den Druck in der Steuerkammer (52) des zweiten Membran­ ventils (5) gegenüber dem Druck in der Arbeitskammer (51) des zweiten Membranventils (5) herabsetzen kann, so daß sich die Membran (53) des zweiten Membranventils (5) von ihrem Sitz abhebt und dadurch den Durchlaß (54) zur Arbeitskammer (51) des zweiten Membranventils (5) öffnet, dadurch gekennzeichnet, daß das Steuerventil (13) als 3/3-Wegeventil ausgebildet ist, in dessen erster Schaltstellung unter Sperren des Entlüftungs- oder Tankanschlusses (34′) die Steuerkammer (42) des ersten Membranventils (4) über den Steuerdruckmittelanschluß (30) mit der Steuerkammer (52) des zweiten Membranventils (5) druckmittelverbunden ist, in dessen zweiter Schaltstellung die Steuerkammer (42) des ersten Membranventils (4) abgesperrt und die Steuer­ kammer (52) des zweiten Membranventils (5) über den Steuerdruckmittel­ anschluß (30) mit dem Ent­ lüftungs- oder Tankanschluß (34′) druckmittelverbunden ist und in dessen dritter Schaltstellung die Steuerkammern (42, 52) beider Membranventile (4, 5) gegeneinander und gegen­ über dem Entlüftungs- oder Tankanschluß (34′) abgesperrt sind, und daß die Arbeitskammer (41, 51) und die Steuerkammer (42, 52) jedes Membranventils (4, 5) ständig über einen Drosseldurchgang (46, 56) miteinander druckmittelverbun­ den sind, wobei der dem ersten Membranventil (4) zuge­ ordnete Drosseldurchgang (46) einen kleineren Durchlaß­ querschnitt hat als der dem zweiten Membranventil (5) zugeordnete Drosseldurchgang (56).

2. Membranventileinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Membranen (43, 53) zwischen Körper (1, 2, 3) mit die Arbeitskammern (41, 51), die Steuerkam­ mern (42, 52), die Durchlässe (44, 54), den Druckmittel­ einlaß (7), den Druckmittelanschluß (9) und den Druck­ mittelauslaß (12) begrenzenden Ausnehmungen eingespannt sind.

3. Membranventileinrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Ventilglied (22) einen gegen die Kraft einer Feder (28) von einem Ventilsitz (27) abzu­ hebenden Ventilteller (26) an einem mit einer Sackboh­ rung (23) versehenen Schaft aufweist, wobei im Bodenbe­ reich der Sackbohrung (23) eine den Schaft durchsetzende Durchbrechung (25) mündet und eine Verbindung zwischen dem offenen Ende (24) der Sackbohrung (23) und dem Steuer­ druckmittelanschluß (30) durch ein Steuerglied (35) zu öffnen und zu schließen ist.

4. Membranventilsatz mit zwei Membranventileinrichtungen nach einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die ersten Arbeitskammern (41 a; 41 b) der ersten Membranventile (4 a, 4 b) einen gemeinsamen Druck­ mitteleinlaß aufweisen.

5. Membranventilsatz nach Anspruch 4, dadurch gekennzeich­ net, daß beiden Membranventileinrichtungen ein ihnen ge­ meinsames, ihre Verbindungen zu ihren Steuerdruckmittel­ anschlüssen (30) gegensinnig steuerndes Steuerglied (67) zugeordnet ist.