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DE2552331C3 - Abtastvorrichtung - Google Patents

Abtastvorrichtung

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Publication number
DE2552331C3
DE2552331C3 DE19752552331 DE2552331A DE2552331C3 DE 2552331 C3 DE2552331 C3 DE 2552331C3 DE 19752552331 DE19752552331 DE 19752552331 DE 2552331 A DE2552331 A DE 2552331A DE 2552331 C3 DE2552331 C3 DE 2552331C3
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DE
Germany
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mirror
light
wheel
scanning
mirror wheel
Prior art date
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Expired
Application number
DE19752552331
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English (en)
Other versions
DE2552331A1 (de
DE2552331B2 (de
Inventor
Erwin 8021 Icking Sick
Angelika 8000 Muenchen Staimer
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Erwin Sick GmbH Optik Elektronik
Original Assignee
Erwin Sick GmbH Optik Elektronik
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Erwin Sick GmbH Optik Elektronik filed Critical Erwin Sick GmbH Optik Elektronik
Priority to DE19752552331 priority Critical patent/DE2552331C3/de
Priority to CH1325176A priority patent/CH608628A5/xx
Priority to GB44750/76A priority patent/GB1532269A/en
Priority to CA264,706A priority patent/CA1060689A/en
Priority to US05/738,484 priority patent/US4108533A/en
Priority to FI763195A priority patent/FI763195A/fi
Priority to FR7635026A priority patent/FR2332548A1/fr
Priority to SE7612949A priority patent/SE7612949L/xx
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Publication of DE2552331B2 publication Critical patent/DE2552331B2/de
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Publication of DE2552331C3 publication Critical patent/DE2552331C3/de
Expired legal-status Critical Current

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    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/89Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
    • G01N21/8901Optical details; Scanning details
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/10Scanning systems
    • G02B26/12Scanning systems using multifaceted mirrors
    • G02B26/129Systems in which the scanning light beam is repeatedly reflected from the polygonal mirror

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Description

Die Erfindung betrifft eine Abtastvorrichtung mit über Spiegelrad, Schwenkspiegel od. dgl. abgelenktem, Eu einem Lichtfleck auf dem Abtastobjekt fokussierten Sendelichtstrahl und mit nach dem Autokollimationsprinzip zurücklaufendem, geometrisch abgeteiltem Empfangslichtstrahl.
Bei einer bekannten Abtastvorrichtung dieser Art wird das Sendelicht über einen bogenförmigen Spiegel Und eine Zylinderlinse auf dem /\btastobjekt fokussiert. Während das Empfangslicht durch physikalische Strahlteilung einem Photoempfänger zugeführt wird. Es ist aber auch schon eine geometrische Abteilung des Empfangslichtstrahls bei einer derartigen Abtastvorrichtung bekannt.
Des weiteren ist es schon bekannt, die auf die Oberfläche eines Spiegelrades fokussierten Sende- bzw. Empfangslichtstrahlen dadurch zu entkoppeln, daß eine vor dem Spiegelrad angeordnete Linse in zwei Teillinsen unterteilt wird, denen ein Abstand quer zum Strahlengang gegeben wird. Hierdurch kommen die Fokussierungspunkte der beiden Strahlen räumlich getrennt nebeneinander zu liegen, wodurch eine geometrische Trennung zwischen Sende- und Emplangslichtstrahl herbeigeführt wird. Das Spiegelrad muß jedoch eine solche Ausdehnung haben, daß Sende- und Empfangslichtstrahl räumlich getrennt nebeneinander Platz haben.
Bei einer Abtastvorrichtung mit durch Pupillenteilung feometrisch abgeteiltem Empfangslichtstrahl liegen die Sende- und Empfangslichtstrahlen auf dem Spiegelrad ebenfalls nebeneinander, so daß auch hier der Platzbedarf für das Spiegelrad relativ groß ist.
Das Ziel der Erfindung besteht somit darin, eine Abtastvorrichtung der eingangs genannten Gattung zu Ichaffen, bei der die axiale Ausdehnung des Spiegelrades herabgesetzt werden kann und gleichwohl eine hohe Lichtausbeute und eine deutliche geometrische Strahkntrennung am Photoempfänger erzielt werden.
Zur Lösung dieser Aufgabe sieht die Erfindung vor, daß zwischen Abtastöbjekt und Spiegelrad ein geknick* lcr, Sende^ und Empfangsstrahi unterschiedlich reflektierender Spiegel vorgesehen ist, der diese beiden bis dahin nebeneinander Verlaufenden Strahlen zusammenführend auf dem Spiegelrad überlagert. Auf diese Weise
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werden gleiche Bereiche des Spiegelrades sowohl für das Sende- als auch für das Empfangslichtbündel ausgenutzt, so daß trotz kleinerer Ausbildung des Spiegelrades die Lichtausbeute am Empfänger hoch ist und in einem bestimmten Abstand vom Spiegelrad eine vollständige geometrische Trennung von Sende- und Empfangslichtstrahl vorliegt
Bevorzugt ist die Ausbildung so, daß zwischen dem geknickten Spiegel und dem Abtastobjekt bzw. einer gegebenenfalls vorgeschalteten Zylinderlinse ein bogenförmiger Spiegel für Sende- und Empfangsstrahl eingeschaltet ist In vorteilhafter Weise wird bei dieser Ausführungsform also der geknickte Spiegel zwischen dem Spiegelrad und dem bogenförmigen Spiegel eingeschaltet
Ein weiterer Vorteil der Erfindung besteht darin, daß der geknickte Spiegel gegenüber zwei getrennten Linsen ein sehr einfaches und wirtschaftlichem Mittel zur Erzielung einer Strahlabknickung darstellt
Die Erfindung wird im folgenden beispielsweise anhand der Zeichnung beschrieben; in dieser zeigt
F i g. 1 eine schematische Seitenansicht einer bevorzugten Ausführungsform der Abtastvorrichtung und
F i g. 2 eine teilweise geschnittene Ansicht nach Linie H-II in Fig. 1, wobei die beiden an der Spiegelanordnung 14 abgeknickten Strahlengänge der einfachen Darstellung halbe, gestreckt wiedergegeben sind und die Spiegelanordnung 14 nur durch eine gestrichelte Linie angedeutet ist.
Nach der Zeichnung gelangt der von einem Laser 11 ausgesandte schmale und nur eine geringe Divergenz aufweisende Lichtstrahl über eine Zerstreuungs-Zylinderlinse 29 zu einem Spiegelrad 13. Die Zerstreuungslinse 29, die übrigens auch durch eine Sammel-Zylinderlinse ersetzt werden könnte, erteilt dem Laserstrahl eine relativ geringfügige Divergenz, wie sie aus F i g. 1 ersichtlich ist.
Der Sendestrahl 17 fällt z. B. auf die eine Hälfte eines in der dargestellten Weise Ipicht gv. kippten Spiegelrades 13, wobei der Durchstoßpunkt der optischen Achse des Sendestrahles 17 bei 28 angedeutet ist.
Von dem leicht gekippten Spiegelrad 13 wird der Sendestrahl zu einem Planspiegel 14a reflektiert, welcher als Streifen ausgebildet ist, dessen Längsachse sich senkrecht /ur Zeichenebene erstreckt. Gemäß F i g. 2 muß die Länge des Spiegels 14a so groß sein, daß er alle innerhalb des Abtastbereiches vom Spiegelrad 13 reflektierten Lichtstrahlen voll erfassen kann.
Von dem wiederum etwas gekippten Planspiegel 14a wird der Sendestrahl 17 zu einem ersten bogenförmigen Spiegel 23a reflektiert, dessen Brennpunkt bzw. Brennlinie sich im wesentlichen auf der reflektierenden Oberfläche des Spiegelrades 13 befindet. Bevorzugt liegt die reflektierende Oberfläche des Spiegelrades 13 jedoch etwas innerhalb der Brennweite des Spiegels 23a, derart, daß die vom Spiegel 23a reflektierten Strahlen eine geringe Divergenz aufweisen, wie das in F i g. 2 in der linken Hälfte angedeutet ist.
Unmittelbar vor der durch die Abtastvorrichtung auf Fehlstellen zu überwachenden Bahn M, welche sich in Richtung des Pfeiles P kontinuierlich bewegt, befindet sich nur in einer Richtung sammelnd ein optisches Element 15, dessen Achse parallel zu der mit A bezeichneten Abtastrichtung verläuft und welches ein paralleles Strahlenbündel auf der Materialbahn konzen^ triert,
Der Sendestfahl 17 fällt nur auf einen Teilbereich 15' des Elementes 15, innerhalb dessen die in Fiß, 1
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gestrichelt angedeutete zunächst vorhandene Krümmung einer Zylinderlinse abgeschliffen ist, derart, daß eine in ausgezogenen Linien dargestellte plane Oberfläche in diesem Bereich entsteht. Der Sendestrahl 17 fällt also auf einen optischen Keil 15', dessen Keilwinke! mit α bezeichnet ist Der Keilwinkel entspricht der mittleren Steigung des weggeschliffenen gekrümmten Teils der zunächst vorhandenen Zylinderlinse.
Aufgrund des Keiles 15' wird der Sendestrahl 17 lediglich in der dargestellten Weise zum Abtastfeld F hin abgeknickt, ohne daß eine Zusammenziehung des Strahles 17 erfolgt. Es wird also ein länglicher Lichtfleck 16 im Abtastfeld F erzielt, was zur Erkennung von in Längsrichtung des Fleckes 16 verlaufenden Kratzern auf der Oberfläche zweckmäßig ist
Aufgrund des Keilwinkels λ erscheint jedoch der Lichtfleck 16 im Bereich der Brennlinie des sich an den Keil 15' stetig anschließenden Zylinderlinsenbereiches des Elementes 15, so daß das vom Lichtfleck 16 in den Zylinderlinsenbereich zurückgestreute Licht zu einem in der Ansicht nach F i g. 1 ärn wesentlichen parallelen Empfangsstrahl vereinigt wird. Der Empfangsstrahl fällt auf einen v/eiteren bogenförmigen Spiegel 236, welcher gegenüber dem Sendespiegel 23a um ein Stück d in Richtung der Zylinderlinse 15 versetzt ist Der Empfangsspiegel 236 ist außerdem in der dargestellten Weise breiter als der Sendespiegel 23a ausgebildet, um so viel Licht wie möglich zu erfassen. Im übrigen sind die beiden Spiegel 23a, 230, was ihre Erstreckung senkrecht zur Zeichenebene in F i g. 1 und ihre Brennweite so anbetrifft, gleich ausgebildet Bei der Versetzung d ist darauf zu achten, daß in der dargestellten Weise parallel auf die beiden Spiegel 23a, 236 auffallende Lichtbündel auch wieder parallel zueinander reflektiert werden.
Nach der Reflexion des Empfangsstrahles 25 am Spiegel 23£> fällt dieses auf einen weiteren Planspiegel 146, welcher wesentlich breiter als der Planspiegel 14a ausgebildet und gegenüber dem Planspiegel 14a um eine senkrecht auf der Zeichenebene der Fig. 1 stehende Achse 30 am ein bestimmtes Stück relativ zu diesem -to gekippt ist. Es wird somit ein aus den beiden Planspiegeln 14a, 146 bestehender geknickter Spiegel 14 geschaffen. Der Knickwinkel ist dabei so groß, daß der am Planspiegel 14£» reflektierte Empfangsstrahl 25 möglichst vollständig auf die jeweils reflektierende -»s Fläche oes Spiegelrades 13 gerichtet wird. Der Empfangsstrahl 25 erfährt somit eine Versetzung in Richtung auf die Durchstoßstelle 28 der optischen Achse des Sendestahles 17 und überlagert diesen somit. Aufgrund des Knickwintcels zwischen den Planspiegeln w 14a, 14i> wird der Empfangsstrahl 25 in der aus F i g. 1 ersichtlichen Weise am Spiegelrad 13 unter einem vom Einfallswinkel des Sendestrahies 17 verschiedenen Winkel reflektiert, so daß nach einer gewissen Strecke eine vollständige Trennung zwischen Sendestrahl 17 ">r> und F.mpfangsstrahl 25 festzustellen ist. Nach der Trennungsstelle wird im Empfangsstrahl 25 eine Sammellinse 31 angeordnet, in deren Brennpunkt sich ein z. B. als Photovervielfacher ausgebildeter photoelektrischer Empfänger 19 befindet, an dessen Ausgang ein elektrisches Signal erscheint, welches für den Zustand des gerade abgetasteten Punktes im Abtastfeld ^repräsentativ ist.
Der in F i g. 1 wiedergegebene Sendestrahlengang hat den Vorteil, daß die schmale Ausbildung des Laserstrahles unmittelbar zur Erzeugung des Lichtflek* kes 16 ausgenutzt wiiii, Die von der Zylinderlinse 29 hervorgerufene Divergenz ist dabei derart gewählt, daß der Lichtfleck 16 in Bewegungsrichtung <peine längliche Form hat Insbesondere ist der Lichtfleck 16 ein sich in Bewegungsrichtung Perstreckender Strich, was z. B. zur Feststellung von Längskratzern in Blechoberflächen vorteilhaft ist
Anstelle der Zylinderlinse 29 können auch gekreuzte Zylinderlinsen 21, 22 und ein Objektiv 12 vorgesehen werden. Diese Elemente sind in Fig. 1 gestrichelt und rein schematisch angedeutet
Die Zylinderlinse 29 ist so zu dimensionieren, daß der Sendestrahl 17 unter Berücksichtigung der Konvergenzeigenschaften des Spiegels 23a eine zur Bildung des länglichen Lichtflecks 16 ausreichende Divergenz erhält
Aus F i g. 2 ist die Wirkung der Versetzung d der beiden bogenförmigen Spiegel 23a, 236 zu ersehen. Diese Versetzung ist wichtig, am auch von den Randstrahlen 17' noch ein ausreichendes Rücksignal zu erhalten. In Fig. 2 ist im Bereich der einen Gehäuse wand 18 ein unmittelbar an r1., Wand gelegener Randstrahl 17' dargestellt, weicher durch Reflexion des Sendestrahles 17 am Sendespiegel 23a in der dargestellten Weise erzeugt wird. Der Randstrahl 17' gelangt durch das sammelnde Element 15 hindurch auf die Oberfläche der Materialbahn M, wo ein Lichtfleck 16' erzeugt wird.
E'S sei nun angenommen, daß die Oberfläche der Materialbahn M Reflexionseigenschaften hat wie sie durch die Keule 24 schematisch angedeutet sind. Die Rellexionsintensität ergibt sich durch vom Lichtfleck 16' aus zu der Keule 24 in den einzelnen Richtungen gezogene Geraden. Die Länge der Geraden vom Fullpunkt bei 16' bis zum Rand der Keule ist ein Maß für die Reflexionsintensität. Ersichtlich gehen beispielsweise vom Fleck 16' in der Richtung 25" zurückgeworfene Lichtstrahlen für die Auswertung verloren, da sie auf die Gehäusewand 18 treffen oder sogar außerhalb der Gefiäusewand 18 vorbeilaufen. Hingegen gelangt beispielsweise ein weiter nach innen zurückgeworfener Empfangslichtstrahl 25' zurück zum Sendespiegel 23a. / jfgrund der gegenüber dem Randstrahl 17' anderen Neigung relativ zur Oberfläche der Bahn M würde dieser zurückgeworfene Strahl jedoch nicht mehr auf diejenige Fläche 13a des Spiegelrades 13 auftreffen, von der das Sendestrahlenbündel 17 reflektiert wurde. Vielmehr würde der bei 23a reflektierte Empfangslichtstrahl 25' in der gestrichelt dargestellten Weise sogar vollständig am Spiegelrad 13 vorbeigehen.
Versetzt man nun jedoch den Empfangsspiegel 236 um das Stück d in Richtung der Winkelhalbierenden zwischen Eingangs- und Ausgangsstrahl, so wird der von der Oberfläche M zurückgestreute Empfangslichtstrahl 25' in der in ausgezogenen Linien angedeuteten Weise zur Fläche 13a des Spiegelrades 13 gelangen. Es steht somit Licht zur Verfügung, welches in der aus F i g. 1 ersichtlichen Weise zum photoelektrischcn Empfänger 19 gelangt.
Die Versetzung d von Sende- und Empfangsspiegd 23a, 236 ist auch wichtig, wenn man mehrere erfindungjgemäße Vorrichtungen nahtlos aneinandersetzen und eine Abtastlücke zwischen zwei aneinandergesetzten Vorrichtungen vermeiden will. Zu diesem Zweck wird nach der Darstellung in der linken Hälfte der Fig.2 das Spiegelrad 13 etwas innerhalb der Brennweite des Sendespiegels 23a angeordnet, derart, daß insbesondere in den Randbereichen die Randstrahlen 17" eine gewisse Divergenz aufweisen, die zumindest so groß ist, daß der Abtastbereich gerinefü-
gig breiter als das Gehäuse ist. Im Falle einer vollständig spiegelnden Oberfläche der Materialbahn M würde das Licht beispielsweise entlang der gestrichelten Linie 25'" außerhalb der Gehäüsewand 20 reflektiert werden. Im Falle einer Oberfläche M mit einer Streukeule, wie sie rechts bei 24 dargestellt ist, würde jedoch auch Licht beispielsweise in Richtung der Linie 25"" in das Innere des Gehäuses 18,20 zurückgeworfen werden, wo es auf den Empfangsspiegel 236 trifft und von dort auf die Fläche 136 des Spiegelrades 13 gelenkt wird, auf die auch das Sendestrahlenbündel 17 aufgetroffen ist. Man erkennt also, daß selbst bei Verwendung eines divergierenden Abtaststrahlenganges stets noch genügend Licht zu der vom Sendelichtstrahl 17 beaufschlagten Spiegelradfläche 136 zurückgelangt. Voraussetzung ü ist allerdings, daß die Oberfläche der Materialbahn M nicht absolut spiegelnd ist, sondern einen gewissen Streubereich aufweist, wie er_beispielsweise durch die Streükeuie 24 angedeutet ist Derartige Streuungen sind jedoch bei Papierbahnen in jedem Fall und auch bei üblichen Metalloberflächen in Walzwerken allgemein vorhanden.
Besonders eignet sich die Abtastvorrichtung für die Ermittlung von Löchern in Papierbahnen. In diesem Falle kommt es darauf an, daß man die Papierbahn M über eine beispielsweise aus Metall bestehende Walze 26 führt, deren Oberfläche sehr gut, jedoch nicht absolut spiegelnd reflektiert Vorzugsweise sollte die Streucharakteristik einer derartigen Oberfläche etwa so wie die Streukeule 24 ausgebildet sein. In Fig.2 ist nur ein geringer Ausschnitt einer derartigen Walze 26 schematisch angedeutet. Befindet sich nun in der Papierbahn ein Loch 27, so wird durch dieses Loch auf die Oberfläche der Walze 26 gelangendes Licht zumindest zu einem wesentlichen Teil auch dann noch zum Photoempfänger 19 zurückgelenkt, wenn sich das Loch 27, wie das in F i g. 2 angedeutet ist, ganz am Rande der Vorrichtung im Bereich einer der Wände 18,20 befindet. Ein Loch 27 in der Papierbahn M führt somit zu einem HelNSignal an der Photozeile 19. Eine dunkle Stelle auf der Papierbahn M würde demgegenüber zu einem Dunkel-Signal führen. Die beschriebene Anordnung ermöglicht es also, Löcher und Dunkelstellen auf Papierbahnen auf einfache Weise zu unterscheiden. Dabei ist es sogar noch möglich, zur Erfassung größerer Papierbahnbreiten mehrere Abtastvorrichtungen unmittelbar aneinanderzureihen, indem die Wand 18 einer ersten Vorrichtung unmittelbar in Anlage an die Wand 20 einer identisch ausgebildeten weiteren Vorrichtung usw. zur Anlage gebracht wird.
Die Größe der Verschiebung c/ist im wesentlichen so groß, daß die in sich zurückreflektierten Randstrahlen 17', 17" als Empfangsstrahlen 25a gerade auf einem Endbereich (in Umfangsrichtung gesehen) der zugeordneten Spiegelradfläche 13a, 136 auftreffen, wenn der Seridastrahl 17 auf dem anderen Endbereich der gleichen Fläche 13a bzw. 136 auftrifft, wie dies in F i g. 2 wiedergegeben ist. Dies ergibt eine optimale Ausleuchtung des Spiegelrades und damit eine optimale Lichtausbeute.
Hierzu 2 Blatt Zeichnungen

Claims (2)

Patentansprüche:
1. Abtastvorrichtung mit über Spiegelrad, Schwenkspiegel cd. dgl. abgelenktem, zu einem Lichtfleck auf dem Abtastobjekt fokussierten Sendelichtstrahl und mit nach dem Autokollimationsprinzip zurücklaufendem, geometrisch abgeteiltem Empfangslichtstrahl, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen Abtastobjekt (M) und Spiegelrad (13) ein geknickter, Sende- und Empfangsstrahl unterschiedlich reflektierender Spiegel (14) vorgesehen ist, der diese beiden bis dahin nebeneinander verlaufenden Strahlen zusammenführend auf dem Spiegelrad (13) überlagert
2. Abtastvorrichtung nach Anspruch I1 dadurch gekennzeichnet, daß zwischen dem geknickten Spiegel (14) und dem Abtastobjekt (M) bzw. einer gegebenenfalls vorgeschalteten Zylinderlinse (15) ein bogenförmiger Spiegel (23a, 23ZJ^ für Sende- und Empfangs -trahl eingeschaltet ist
DE19752552331 1975-11-21 1975-11-21 Abtastvorrichtung Expired DE2552331C3 (de)

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