[go: up one dir, main page]

DE2516975C2 - Verfahren zur Herstellung eines optischen Wellenleiters - Google Patents

Verfahren zur Herstellung eines optischen Wellenleiters

Info

Publication number
DE2516975C2
DE2516975C2 DE19752516975 DE2516975A DE2516975C2 DE 2516975 C2 DE2516975 C2 DE 2516975C2 DE 19752516975 DE19752516975 DE 19752516975 DE 2516975 A DE2516975 A DE 2516975A DE 2516975 C2 DE2516975 C2 DE 2516975C2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
waveguide
optical waveguide
manufacturing
substrate
waveguides
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
DE19752516975
Other languages
English (en)
Other versions
DE2516975A1 (de
Inventor
Franz Dipl.-Ing. Auracher
Ralf Th. Dr. 8000 München Kersten
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens AG
Original Assignee
Siemens AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens AG filed Critical Siemens AG
Priority to DE19752516975 priority Critical patent/DE2516975C2/de
Priority to JP3977176A priority patent/JPS51124940A/ja
Priority to FR7611151A priority patent/FR2308113A1/fr
Priority to GB1584476A priority patent/GB1550655A/en
Publication of DE2516975A1 publication Critical patent/DE2516975A1/de
Priority to US05/875,526 priority patent/US4165225A/en
Application granted granted Critical
Publication of DE2516975C2 publication Critical patent/DE2516975C2/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
    • G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
    • G02B6/122—Basic optical elements, e.g. light-guiding paths
    • G02B6/125—Bends, branchings or intersections
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/26—Optical coupling means
    • G02B6/30—Optical coupling means for use between fibre and thin-film device

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Optical Integrated Circuits (AREA)

Description

20
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines optischen Wellenleiters gemäß dem Oberbegriff sdes Patentanspruchs 1.
Ein Verfahren der genannten Art ist aus der 7DE-OS 21 51 781 bekannt (siehe dort insbesondere die Pig. 14 und 15 und die dazugehörigen Beschreibungs-. teile, sowie den Anspruch 10). Bei diesem Verfahren wird eine lichtieitende und lichtempfindliche Schicht durch ein vorbestimmtes Muster belichtet und dann entwickelt und fixiert, wobei unbelichtete Bereiche einen. Lichtleiter mit gewünschten Formen bilden, der durch optisch isolierende Schichten begrenzt ist
Die Aufgabe der Erfindung besteht darin, aufzuzeigen, wie ein optischer Wellenleiter galvanoplastisch hergestellt werden kann.
Diese Aufgabe wird mit einem Verfahren der genannten durch die im kennzeichnenden Teil des Patentanspruchs 1 angegebenen Merkmale gelöst
Durch dieses erfindungsgemäße Verfahren entsteht ein optischer Wellenleiter in Form eines metallischen Hohlleiters. Wenn das lichtempfindliche Material im Inneren des Hohlleiters lichtdurchlässig ist, kann es vielfach verbleiben.
In vielen Fällen wird es aber zweckmäßig sein, wenn gemäß Anspruch 2 der Kern aus dem lichtempfindlichen Material fortgelöst wird.
Mit dem Verfahren lassen sich nicht nur einzelne Wellenleiter, sondern auch Wellenleiterverzweigungen, insbesondere Vielfachverzweigungen herstellen.
Die Erfindung wird anhand der Fig. in der folgenden Beschreibung näher erläutert
Die Fig. zeigt einen passiven Wellenleiterverzweiger in Form eines sich verästelnden Baumes, der mit dem erfindungsgemäßen Verfahren herstellbar ist
Ein in einer Glasfaser 10 ankommendes optisches Signal wird mit einem geeigneten Koppler in einen breiten Anfang 13 eines auf einem Substrat befindlichen Wellenleiters 2 eingekoppelt Der Wellenleiter 2 ist in Form eines metallischen Hohlleiters ausgebildet Das eingekoppelte optische Signal wird in dem Wellenleiter 2 geführt, wobei an den Abzweigungen jeweils die Lichtenergie in beide sich verzweigende Wellenleiter 3 und 6, sowie später in die weiteren Wellenleiter, beispielsweise von Wellenleiter 3 in die Wellenleiter 4 und 5 aufgeteilt wird. Auch diese Wellenleiter 3 bis 6 sind in Form metallischer Hohlleiter ausgebildet
Die in der F i g. dargestellte Struktur'iäßt sich so herstellen, daß die dem Kern des Hohlleiters entsprechend, baumartig sich verzweigende Struktur mittels Fotolithografie in einer auf einem metallischen oder metallisierten Substrat 1 aufgebrachten Fotolackschicht oder lichtempfindlichen Folie hergestellt und diese Struktur mittels Galvanoplastik metallisiert wird. Der Kern aus dem lichtempfindlichen Material kann dann eventuell wieder fortgelöst werden.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims (2)

Patentansprüche:
1. Verfahren zur Herstellung eines optischen Wellenleiters auf einem Substrat, bei dem eine, einem Kern des Wellenleiters entsprechende Struktur mittels Fotolithografie in einer auf dem Substrat aufgebrachten lichtempfindlichen Schicht hergestellt und diese Struktur mit einer optisch isolierenden Schicht überzogen wird, dadurch ge- ίο kennzeichnet, daß die auf dem metallischen oder metallisierten Substrat hergestellte Struktur mittels Galvanoplastik metallisiert wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Kern aus dem lichtempfindlichen Material fortgelöst wird.
DE19752516975 1975-04-17 1975-04-17 Verfahren zur Herstellung eines optischen Wellenleiters Expired DE2516975C2 (de)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19752516975 DE2516975C2 (de) 1975-04-17 1975-04-17 Verfahren zur Herstellung eines optischen Wellenleiters
JP3977176A JPS51124940A (en) 1975-04-17 1976-04-08 Light signal distributing device by planar technique
FR7611151A FR2308113A1 (fr) 1975-04-17 1976-04-15 Repartiteur de signaux optiques realise selon la technique planar
GB1584476A GB1550655A (en) 1975-04-17 1976-04-20 Optical signal distributors
US05/875,526 US4165225A (en) 1975-04-17 1978-02-06 Distributor for optical signals

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19752516975 DE2516975C2 (de) 1975-04-17 1975-04-17 Verfahren zur Herstellung eines optischen Wellenleiters

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE2516975A1 DE2516975A1 (de) 1976-10-28
DE2516975C2 true DE2516975C2 (de) 1982-10-28

Family

ID=5944259

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19752516975 Expired DE2516975C2 (de) 1975-04-17 1975-04-17 Verfahren zur Herstellung eines optischen Wellenleiters

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JPS51124940A (de)
DE (1) DE2516975C2 (de)
FR (1) FR2308113A1 (de)
GB (1) GB1550655A (de)

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2704984A1 (de) * 1977-02-07 1978-08-10 Siemens Ag Schalter fuer lichtleitfasern
JPS547948A (en) * 1977-06-21 1979-01-20 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Optical circuit of high molecule
CA1123528A (en) * 1977-07-12 1982-05-11 Elmer H. Hara Frequency division multiplexing system for optical transmission of broadband signals
DE3024104C2 (de) * 1980-06-27 1986-02-20 Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim Verfahren zur Herstellung einer integrierten mikrooptischen Vorrichtung zur Verwendung mit Multimode-Lichtfasern
US4558920A (en) * 1981-11-19 1985-12-17 Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Tapped optical fiber delay line
DE3230657A1 (de) * 1982-08-18 1984-02-23 Philips Kommunikations Industrie AG, 8500 Nürnberg Optischer multiplexer
JPS59148373A (ja) * 1983-02-15 1984-08-25 Agency Of Ind Science & Technol 反射型光カプラ
DE3324612A1 (de) * 1983-07-08 1985-01-17 Standard Elektrik Lorenz Ag, 7000 Stuttgart Optische koppelanordnung
GB2170923A (en) * 1985-02-07 1986-08-13 Tektronix Inc Optical waveguide structures and their fabrication
JPS6269204A (ja) * 1985-09-20 1987-03-30 Mitsubishi Cable Ind Ltd 分岐・結合器
JP2675133B2 (ja) * 1989-04-19 1997-11-12 日立電線株式会社 導波路型光スターカプラ
JPH0386303U (de) * 1990-02-27 1991-08-30
FR2676548B1 (fr) * 1991-05-17 1993-09-17 Corning Inc Coupleur optique et son procede de fabrication.
JPWO2005101075A1 (ja) 2004-04-12 2007-08-16 日立化成工業株式会社 光導波路構造
WO2016076000A1 (ja) * 2014-11-11 2016-05-19 フォトンリサーチ株式会社 各種新型マルチ波長合波器及び合波器を用いる新型マルチ波長光源

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3453036A (en) * 1966-03-31 1969-07-01 American Optical Corp Optical junction for light conductors

Also Published As

Publication number Publication date
JPS51124940A (en) 1976-10-30
FR2308113A1 (fr) 1976-11-12
DE2516975A1 (de) 1976-10-28
GB1550655A (en) 1979-08-15
FR2308113B1 (de) 1980-04-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2516975C2 (de) Verfahren zur Herstellung eines optischen Wellenleiters
DE69618434T2 (de) Gekrümmter optischer Wellenleiter und Verfahren zu dessen Herstellung
DE2827005C2 (de) Verfahren zur Herstellung eines optischen Kreises aus Polymeren
DE19525745B4 (de) Verfahren zur Bildung eines Abdeckungsmusters
DE3101378C2 (de) Optik zur Ankopplung eines faseroptischen Lichtwellenleiters
DE3787955T2 (de) Photomaske mit Transmissionsfaktor-Modulation, ihr Herstellungsverfahren und Herstellungsverfahren für ein Beugungsgitter.
DE2704984A1 (de) Schalter fuer lichtleitfasern
DE4410732A1 (de) Verfahren zur Herstellung einer Chipkarte sowie Chipkarte
DE2715311A1 (de) Optische verbindungsvorrichtung
DE2609143A1 (de) Aus-/einkoppler fuer multimodeglasfasern
DE2553685C2 (de) Verfahren zur Herstellung eines optischen Richtkopplers
DE3036868A1 (de) Verfahren zum herstellen von koppel-verzweigung- und mischerelementen aus mindestens zwei lichtleitfasern
DE3324612A1 (de) Optische koppelanordnung
DE3024104C2 (de) Verfahren zur Herstellung einer integrierten mikrooptischen Vorrichtung zur Verwendung mit Multimode-Lichtfasern
EP0170185A2 (de) Bandförmiges Übertragungselement und Verfahren zu dessen Herstellung
DE3011166A1 (de) Verfahren zur herstellung einer optischen wellenleiteranordnung
DE3123928C2 (de) Verfahren zur Herstellung einer Linsenplatte
DE3337300A1 (de) Verfahren zum herstellen integrierter halbleiterschaltkreise
DE2408623A1 (de) Verbindung von lichtleitfasern
DE2332736A1 (de) Integrierter optischer kreis und verfahren zu seiner herstellung
DE2944304C2 (de) Elektrischer Flachschalter
DE2165553A1 (de) Verfahren zur herstellung dielektrisch belegter hohlleiter fuer die h01-welle
DE2238970A1 (de) Nicht-sphaerisches lichtdurchlaessiges optisches element
DE3712335A1 (de) Verfahren zur herstellung einer struktur
DE3015880A1 (de) Verfahren zur herstellung einer lichtwellenleiter verwendenden optischen einrichtung

Legal Events

Date Code Title Description
OD Request for examination
D2 Grant after examination
8339 Ceased/non-payment of the annual fee