DE2457465A1

DE2457465A1 - Elektrooptisches anzeigegeraet

Info

Publication number: DE2457465A1
Application number: DE19742457465
Authority: DE
Inventors: Gerard J Sprokel
Original assignee: International Business Machines Corp
Current assignee: International Business Machines Corp
Priority date: 1973-12-06
Filing date: 1974-12-05
Publication date: 1975-06-12
Also published as: IT1022785B; JPS5091345A; GB1475565A; CA1024636A; US3912366A; DE2457465C2

Description

ßöbiingen, den 2. Dezember 1974 kd-hr

Änmelderin: International Business Machines

I Corporation, Armonk, N.Y. 10504

!Amtliches Aktenzeichen: Neuanmeldung

•Aktenzeichen der Anmelderin: _i FI 973 010

jElektrooptischen Anzeigegerät

!Die Erfindung betrifft ein elektrooptisches Anzeigegerät mit zwei 'Trügerschienten, zwei ülektrodenebenen und einer Flüssigkristallschicht und mit Steuer- und Signalschaltungen zum Anlegen einer Spannung an die Elektroden.

ι .

Die Verwendung nematischer Flüssigkristallmate-rialien und Zusam-. mensetzungen für elektrooptische Lichtmodulation, wie z. B. in j Bildanzeigegeräten zur Erzeugung alphanumerischer Zeichen, ist alljgemein bekannt. Typische Geräte dieser Art .und geeignete nemati-Isehe Flüssigkristallmaterialien sind z. B. in den US Patentschriften 3 625 591 und 3 656 834 beschrieben.

Die Bildanzeigegeräte bestehen im allgemeinen aus einer Flüssigkristallschicht, die zwischen zwei mit Elektroden versehenen Trägerschichten angeordnet ist, wobei die Trägerschichten an ihren Kanten miteinander verschweißt werden. Wenn ein elektrisches Potential an den Flüssigkristallfilm angelegt wird, findet entweder ein turbulenter Strom des Flüssigkristallmaterials statt (dynamische Lichtstreuung) oder die Moleküle werden in einer neuen Richtung orientiert (Feldeffekttyp), so daß die Bereiche des Flüssigkristal] films, an die ein elektrisches Feld angelegt wird, entweder heller oder dunkler erscheinen als die Hintergrundbereiche, wenn sie in polarisiertem Licht betrachtet werden. Die- Bildanzeigegeräte sind entweder reflektierend, in diesem Fall ist die hintere Trägerschicht reflektierend und die vordere transparent, oder durchläsisig, in diesem Fall sind beide Trägerschichten transparent, und die Vorrichtung wird von hinten beleuchtet.

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Die Beschaffenheit und die Vorgeschichte der Trägerschichten und/ ,^; oder der Elektrodenoberflächen, welche mit dem Flüssigkristallina- j

terial in Berührung kommen, können die Orientierungsrichtun.^en der'

l Flüssigkristalle in diesen Bereichen beeinflussen, wobei die Effek-f te im allgemeinen nicht vorhergesagt werden können. Dies trifft i insbesondere bei Glasoberflächen zu. Darüberhinaus ist bei der ; reflektierenden Arbeitsweise eine nichtleitende Oberfläche erfor- : derlich, auf der das Elektrodenmuster ausgebildet wird, was die \ Auswahl geeigneter Trägermaterialien begrenzt. Im allgemeinen werden Trägerschichten aus Glas verwendet, die auf ihrer Rückseite verspiegelt sind. Die Qualität eines .Bildanzeigegerätes hänp;t ab von dem Kontrast zwischen den aktivierten und den Hintergrundbereichen. Kontrast und damit die Qualität des ßildanzeige;;erätes werden durch die oben angegebenen Effekte beeinflußt.

Aufgabe der Erfindung ist, ein elektrooptisches Anzeigegerät anau- j ■eben, für das die Zahl der verwendbaren Trägerinaterialien größer ist. Zusätzlich soll das Anzeigegerät einen hohen Kontrast zwischen den aktivierten und den Hintergrundbereichen besitzen.

Die Aufgabe der Erfindung wird dadurch gelöst, daß auf der zur Flüssigkristallschicht zeigenden Oberfläche wenigstens einer der Trägerschichten des Anzeigegeräts eine erste, dielektrische Schicht, auf dieser ein Elektrodenmuster mit Leitungssegmenten und auf dem Elektrodenmuster und den LeitungsSegmenten gegebenenfalls eine zweite dielektrische Schicht variabler Schichtdicke angeordnet ist.

In einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung bestehen diese dielektrischen Schichten aus Polyiraid, welches gehärtet und transparent ist. Die Schichtdicke der ersten Polyimidschicht ist fünf bis zehn μ und die Schichtdicke der zweiten Polyimidschicht über dem Elektrodenmuster 0,1 bis 2 μ und über den Leitersegmenten wenigstens fünf μ. Die Polyimidüberzüge werden aufgebracht durch Beschichten der Unterlagen mit dem Polyamidsäure-Zwischenprodukt unter Anwendung der Beschichtungstechnik aus Lösungen.

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BAD ORIGINAL

Nach"der Härtung können auf den Polyimidüberzügen'konvetionelle Prozesse zur Elektrodenbildung ausgeführt werden, die überzüge besitzen ausgezeichnete elektrisch isolierende Eigenschaften und bewirken in überraschender Weise eine erhebliche Steigerung der optischen Eigenschaften der Flüssigkristallzelle.

Die Vorteile der Erfindung gehen aus der nachfolgenden speziellen Beschreibung der Ausführungsbeispiele, die in den Zeichnungen dargestellt sind, hervor.

Es. zeigen: _ ■ . ■

Fig. 1 eine perspektivische Ansicht, teilweise im Schnit

einer Ausfuhrungsform der Erfindung, in der eine mit Polyimid beschichtete reflektierende Trägerschicht in einer nematischen Flüssigkristallzelle verwendet wird.

'ig. 2 eine Schnittansicht gemäß der Schnittlinie 2-2

in Fig. 1

Fig. 3 eine perspektivische Ansicht, teilweise im Schnit

in der Polyimidschichten als überzug auf der Trägerschicht, als dielektrischer oder isolierender überzug auf einer Elektrode, ode'r als' überzug zum Abdichten beim Ätzen in einer nematischen Flüssig kristall^;zelle vorhanden sind.

Pig. 4 eine Schnittansicht gemäß der Schnittlinie 4-4

von Fig. 3.

In den Fign. 1 und 2 ist eine Flüssigkristallzelle gezeigt, die sich als Anzeigegerät zur elektrooptischen' Darstellung gewünschter Konfigurationen, und hier speziell von numerische. Zeichen, eignet.

Die Flüssigkristallzelle 1 wird aus zwei planaren Trägerelementen

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3 und 5 gebildet, die parallel zueinander angeordnet sind und einen eingeschlossenen Bereich definieren, in dem ein Film oder eine Schicht 7 eines neraatischen Plüssigkristallmaterials enthalten ist das beispielsweise aus p-Methoxybenzyliden-p-n-butylanilin bestehen kann, welches unter der Bezeichnung "MBBA" bekannt ist. Üblicherweise braucht nur eines der planaren Trägerelemente transparent zu sein, das andere kann, in Abhängigkeit von der gewünschten Betriebsart, transparent, reflektierend oder absorbierend sein. In der gezeigten Anordnung besteht das Trägerelement 3 aus einem transparenten Substrat 9, auf dem ein leitender Film 11 abgeschieden ist. Die Unterlage 5 besteht aus einem Aluminiumsubstrat 13, dessen vordere Oberfläche 15 mit einem Hochglanzspiegel versehen ist. Die Oberfläche 15 ist mit einer Polyimidschicht 17 versehen, auf der ein Leiterfilmmuster abgeschieden ist, welches sich beispielsweise zur numerischen .Darstellung eignet. Es können jedoch auch andere Muster verwendet werden. Weil der überzug aus Polyimidmaterial ausgezeichnete elektrisch isolierende Eigenschaften besitzt, können auch andere Metallsubstrate mit einer reflektierenden Oberfläche als Aluminium und auch die üblicherweise verwendeten Substrate aus Glas, die mit einem reflektierenden Film, beispielsweise einem Chromfilm, versehen sind, verwendet werden. Das Aluminiumsubstrat stellt eine,Trägerschicht von niedrigem Gewicht dar, was besonders vorteilhaft ist,-bei deren Verwendung in großen Anzeigegeräten. Die Metallträgerschicht kann leicht mit Bohrlöchern versehen werden, die als öffnungen zur Einfüllung des Flüssigkristallmaterials dienen. Im allgemeinen werden Polyimidschichten 17 mit Schichtdicken bis zu etwa 0,0127 mm (etwa 13 μ) verwendet, es können auch dickere Schichten verwendet werden, was aber nicht erforderlich ist. Die Schicht sollte dick genug seinj damit die gewünschten optischen und elektrisch isolierenden Eigenschaften erhalten werden, was bei den bevorzugten Schichtdicken von etwa 5 bis 10 μ der Fall ist. Die Schichten werden mittels der üblichen Tauch- oder Spinnbeschichtungsverfahren aus einer Lösung aufgetragen, in der das Polyamidsäure-Zwischenprodukt enthalten ist. Es folgt die Entfernung des Lösungsmittels und ein Aushärten der Schicht, bei den Temperaturen, die üblicherweise zur Herstel-

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Lung des gehärteten Polyimide, d.'hl' "350 bis 400 Grad C angewendet ■JCi'dcn.

Sin Polyimidfilm mit einer Schichtdicke von 0,0254 rim (1 mil) ist im Handel erhältlich. Gezogene Filme sind jedoch für Anzeigegeräte, die nach der Feldeffektmethode arbeiten, nicht geeignet. Ein Filmherstellungsprozeß die.ser Art führt zu erheblicher molekularer Ausrichtung des Polymermaterials und der Film selbst wird doppelbrechend. Die Kombination eines derartigen Films und eines Flüsigkristallmaterials führt zu Far.beffekten, die unerwünscht sind. Gegossene oder mittels Spinnverfahren aufgetragene Polyimidechich~ ten andererseits zeigen keine molekulare Ausrichtung und sind optisch isotrop.

Die Polyimide, die in der erfindungsgemäßen Anordnung verwendet werden können, sind beispielsweise in den US-Patentschriften

179 63^ und 3 179 614 beschrieben. Die Beschichtungslösungen bestehen aus Polyamidsäure-Zwischenprodukten, die durch Reaktion von Diaminen mit Dianhydriden gebildet werden. Zur Herstellung der Schichten in der erfindungsgemäßen Vorrichtung werden Polyamidsäuren bevorzugt, die durch Reaktion aromatischer Diamine mit aromatischen Dianhydriden, beispielsweise Pyromellitsäureanhydrid gebildet werden, was in der nachfolgenden Formel gezeigt ist:

0
H₂NRNH₂-**-J- C

HOC

ίί Η H C-N-RN

COH

-Jn

in der R ein zweiwertiges benzoides Radial wie Naphthyl-, Dibenzyl- oder Diphenylather darstellt. Wenn die Schicht aus dem Polyamidsäure-Zwischenprodukt durch Hitze gehärtet wird, entsteht ein Polyimid, das wiederkehrende Einheiten der nachfolgenden S.trukturaufweist:

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N-R

-J_n

solche Zusammensetzungen sind beispielsweise von der Firma E. I. >u Pont de Nemours unter dem Handelsnamen PYRE-M.L. als Drahtbeschichtungsmaterialien im Handel erhältlich. Die Du Pont Type RC 5057 j die zur Herstellung der Zellen verwendet'wurde, besteht aus einem Polymeren auf der Grundlage des Pyromellitsäureanhydrids mit olgenden Eigenschaften: Pestgehalt des Polymeren: 16,5%, Festgehalt des umgewandelten Polymeren 15,2$, Gramm pro Liter 119,3 (pounds/gallon 8,80), Dichte der Lösung 1,059, ,Viskosität in Poise )ei 25 Grad C 50-70, Flammpunkt 75 Grad C, Lösungsmittel: aromatischer Kohlenwasserstoff mit einigen Teilen pro Million von H-iethyl-2-pyrrolidon als Fließmittel.

Das spezielle Elektrodenmuster, das auf der Oberfläche der Schicht 17 gezeigt ist, kann aus mehreren Segmenten aus leitendem Material aestehen, die in einem bestimmten Abstand voneinander abgeschieden werden, so ist eine entsprechende Anzahl von Elektrodenbildsep: inenten 21 bis 27 definiert. Jedem Segment ist eine Leitersegment 21A bis 27A zugeordnet, welches zu einer Kante des Substrates verläuft, wo eine Verbindung zu einer Signalquelle 28 und Adressierschaltungen hergestellt werden kann. Diese sind in den Zeichnungen allgemein als Steuerschaltung 29 bezeichnet. Typische Elektrodenfilme werden mit einer Schichtdicke von etwa 1000 Ä abgeschieden. Weil die Polyimidschicht 17, obgleich sie aus organischem .Polymermaterial besteht, ausgezeichnete thermische Eigenschaften besitzt, können die Elektrodensegmente nach der Technik, die für Glassubstratmaterialien angewendet wird, hergestellt werden. Bei den in den Abbildungen gezeigten Anordnungen wurde eine Schicht aus .

pO^/SnOp mittels Hochfrequenzkathodenzerstäubung auf die Oberflä ehe der Schicht 17 aufgetragen und dann zu dem gewünschten Elektro

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idenbildmuster geätzt.

jDie Trägerschicht 3 enthält auch ein Substrat 9> welches in diesem Fall ein Glas ist, das mit einem leitenden überzug 11 versehen ist, welcher, wie es in der reflektierenden Arbeitsweise !üblich ist, transparent ist. Die Elektrode besteht in der gezeig-, ten Anordnung aus In-O.,/SnOp. . ■

In der Zellenbaugruppe wird die Flüssigkristallschicht 7 zwischen den Unterlagen 3 und 5 eingeschlossen unter Verwendung einer üblihen Versiegelung an ihren Rändern, beispielsweise einer Dichtung oder eines Epoxidharzes. Wie in der weiteren Ausführungsform der Erfindung in Fig. 3 gezeigt ist, werden Polyimidabstandsstücke von beispielsweise 15 bis 25 J& Dicke zur Versiegelung und zur Bestimmung der Dicke der Zelle verwendet.

Die Arbeitsweise der Zelle ist die übliche. Es soll hervorgehoben werden, daß^ wenn nach der dynamischen Streulichtmethode gearbeitet wird, ein bemerkenswerter Kontrast zwischen den streuenden Bereichen,· in denen die Bildsegmente aktiviert wurden, und den nicht gestörten Hintergrundbereichen erhalten.wurde. Die Polyimidschicht bewirkte die Entfernμng des Schimmers, welcher in den bisher bekannten, nach der Reflexionsmethode arbeitenden Anzeigevorrichtungen störend war. Betriebsspannungen für die dynamische Streulichtmethode sind etwa 10 V_effi Wechselspannung. Die Frequenz ist be- · timmt" durch den Dotierungsgrad und die Natur, des Dotierungsmittel

In den Fign. 3 und 4 wird eine Ausführungsform der Erfindung gezeigt, in der die Polyimidschicht auch als zweite Schicht für Zellen, die mit Verriegelungselektroden versehen sind, verwendet wird wie in der deutschen Patentanmeldung P 23 54 736.6 beschrieben ist

Wie,in der oben erwähnten Anmeldung beschrieben ist, werden dielektrische Schichten verwendet, um das Flüssigkristallmaterial; von den leitenden Schichten zu trennen. Durch Variieren der Schich dicke der dielektrischen Schicht werden die Sehwellenwertfrequen-

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en, bei denen das Plüssigkristallmaterial aktiviert wird, bestimmt , was einen aufeinanderfolgenden Betrieb verschiedener Teile j der Flüssigkristallzelle gestattet. Die Unterdrückung der Aktivie- ■ ung in den Teilen, die die Verbindungs leitungen des leitenden übeif-

ugmusters darstellen, wird durch die Verwendung dicker Schichten erreicht. Wie aus der Ausführungsform der Pign. 3 und 4 ersichtlich ist, wurde gefunden, daß Polyimidschichten geeignete überzüge für diesen Zweck sind. Ihre elektrischen, physikalischen und optischen Eigenschaften sind ausgezeichnet und die überzüge können in vorteilhafter Weise leicht aus Lösungen mittels konventioneller uftragverfahren aufgebracht werden, im Gegensatz zu anderen diilektrischen Materialien, die nur mittels Kathodenzerstäubung aufebracht werden können.

Das Anzeigegerät 31 enthält Trägerelemente 33 und 35 aus Glas, wobei die Oberfläche 37 des Glassubstrats 36 niit einer reflektierenden Schicht 39 aus Aluminium versehen ist. Die Schicht 39 ihrerseits ist mit einer 5 bis 10 /u dicken Schicht 4l aus Polyimid versehen. Auf der Oberfläche der Polyimidschicht 41 befindet sich ein lektrodenmuster, das aus den Bildsegmenten 42 bis 48 und den eitersegmenten 42A bis 48A besteht. Die linkerhand angeordneten Segmente 46 und 47 sind unter der Schicht 51.

s soll hervorgehoben werden, daß obgleich eine numerische Anzeigevorrichung mit sieben Segmenten dargestellt ist, auch andere Anzeigevorrichtungen, beispielsweise solche mit einem Kreuzgitterelektrodensystem verwendet werden können. Solche Systeme arbeiten typischerweise mit einer Anordnung von parallelen, in einem bestimmten Abstand verlaufenden Elektrodenstreifen auf der Innenfläche eines von zwei in einem bestimmten Abstand angeordneten Substraten. Die Innenfläche des anderen Substrats ist ebenfalls mit einer Anordnung paralleler Elektroden überzogen, welche senkrechtzu dem ersten Elektrodenfeld ausgerichtet sind. Im Betrieb wird das Plüssigkristallmaterial an den gewünschten Schnittpunkten der sich in einem Abstand voneinander befindlichen Elektroden er- j regt, wobei die Auswahl der Schnittpunkte durch geeignete, an sich

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bekannte Adressierschaltungen erfolgt.

Die leitenden Segmente werden durch mittels Kathodenzerstäubung •in einer Schichtdicke von etwa lOOOÄ aufgetragenes In„O~/SnOp gebildet. Auf einem Glassubstrat 34 des Trägerelements 33 befindet !sich ein lOOoS dicker, transparenter, leitender überzug.49 aus jZinndioxid oder Indium(III)oxid. Auf die leitenden Segmente 42 bis !48 und die Leitungen 42A bis 48A ist eine Polyimidschicht 51 von !variabler Schichtdicke aufgetragen. Es werden Schichtdicken von etwa 5 /i verwendet, um die Leiter'zugteile 42A bis 48A zu bedecken, !wobei die Schicht 51A als blockierende Schicht wirkt und eine jdynamische Streuung bei jeder Frequenz verhindert. Dünnere Schichten 51B werden über den Bildteilen 42 bis 48 verwendet, beispielsjweise Schichten mit einer Schichtdicke von 0,1 bis 2 /u. Die !Schichtdicken werden so gewählt, daß die Zelle innerhalb eines !vorgeschriebenen Frequenzbereiches betrieben werden kann, der von jden Eigenschaften des Flüssigkristallmaterials, des Dotierungs-Uittels und der Konzentration desselben abhängig ist.

Wenn beispielsweise eine Polyirnidschichtdicke von bis zu 2 μ auf den Anzeigeelementen und wenigstens 5 M auf den Leitungen und ein Flüssigkristallmaterial, beispielsweise destilliertes p-Methoxybenzyliden-p-n-butylanilin(MBBA), welches mit 5»! x 10~ mol/ml Dibenzyl-dimethyl-ammoniumchlorid dotiert ist, verwendet wird, um einen Widerstand von 0,5 x io" Ohm-cm zu erhalten, kann die Zelle bis zu 500 Hz betrieben werden, wobei nur die Anzeigeteile und nicht die Leitungen aktiviert werden.

Die angegebene Flüssigkristallzusammensetzung ist nur ein Ausführungsbeispiel. Auch andere bekannte, quaternäre Ammoniumsalze können verwendet werden. Die Löslichkeit und der .Grad der Ionisation in p-Methoxy-benzyliden-p-n-butylanilin-Lösungen differieren erheblich unter den Gliedern dieser Gruppe. So sind beispielsweise Dodecyl-trimethyl-ammoniumchlorid oder Hexadecyl-trimethyl-ammoniumchlorid.hinreichend löslich, was für Hexadecyl-trimethylammoniumbromid nicht zutrifft. Eine geeignete Pyridiniumverbindung

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-10-ist Hexadecyl-pyridinium-bromid.

Die Elektrodensegmente 42 bis 48 und die ihnen entsprechenden Leitungssegmente 42A bis 48A zusammen mit der leitenden Schicht 49 sind mit der Signalquelle 57 über eine Adressierschaltung verbunden,' welche im allgemeinen als Steuerschaltung 59 bezeichnet wird. Die Anordnung 31 zeigt nach Aktivierung durch die Steuerschaltung ausgewählte numerische Zeichen.

Der Polyimidüberzug variabler Schichtdicke wird in üblicher Weise dadurch hergestellt, daß selektiv .mehrere Pölyimidschichten verschiedener Schichtdicke unter Verwendung eines photolithographischen oder Siebdruckverfahrens aufgebracht werden. Bei Anwendung von Pölyimidschichten.variabler Schichtdicke in verschiedenen Bereichen der Bildsegmente können verschiedene Schwellenwertfrequenzen unterhalb der Absehaltfrequenz des Flüssigkristallmaterials angewendet werden, um selektiv verschiedene Bereiche der Plüssigkristallschicht einzuschalten. Das Pblyimidabstandsstück mit einer Schichtdicke zwischen 15 und 25 μ wird zur Versiegelung und der Bestimmung der Schichtdicke der Flüssigkristallzelle verwendet .

Außer der Verbesserung des Kontrastes wurde auch bemerkt, daß die Pölyimidschichten die parallele Ausrichtung der nichtdotierten Plüssigkristallmaterialien begünstigten, welche einheitlicher war als diejenige, die mit Glasoberflächen erhalten wurde. Das war ersichtlich aus der Beseitigung der leichten Trübung, die an Glasoberflächen beobachtet wurde und auf fehlausgerichtete Bereiche, zurückzuführen war.

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Claims

-11-PATENTA N SPRÜCHE

Elektrooptisches Anzeigegerät mit zwei Trägerschichten, zwei Elektrodenebenen und einer Flüssigkristallschicht und mit Steuer- und Signalschaltungen zum Anlegen einer Spannung an die Elektroden, dadurch gekennzeichnet, daß auf der zur Ρΐϋε sigkristallschicht zeigenden Oberfläche (15_a 39) wenigstens einer der Trägerschichten (13_S 36) eine erste dielektrische Schicht (17, 4l), auf dieser ein Elektrodenmuster (21 bis 27, 42 bis 48) mit Leitungssegmenten (21A bis 27A, 42A bis 48A) und auf dem Elektrodenmuster und den Leitungssegmenten gegebenenfalls eine zweite dielektrische Schicht (51) variabler Schichtdicke (51A, 51B) angeordnet ist.

12. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die [ dielektrischen Schichten (17_} 41, 51) aus Polyimid sind.

3. Anordnung nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Polyamidschichten (17, 41, 51) gehärtet und transparent sind.

4. Anordnung nach den Ansprüchen 1 bis 3_S dadurch gekennzeichnet, daß die Schichtdicke der ersten Polyimidechicht (17» 41) 5 bis 10 μ und die Schichtdicke'der zweiten Polyimidschicht (51) über dem Elektrodenmuster (51B) 0,1 bis 2 ju

• und über den Leitungssegmenten (51A) wenigstens 5 μ.ist.

5. Anordnung nach Anspruch'1, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Trägerschicht (9, 34)· transparent und die zweite Trägerschicht (13, 36) je nach Betriebsart transparent reflektierend oder lichtabsorbierend ist.

6. _t Anordnung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 5,

dadurch gekennzeichnet, daß auf der ersten transparenten Trägerschicht (9, 34) eine transparente Elektrodenebene (11 49) und auf der zweiten reflektierenden Trägerschicht (13,3

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39) eine transparente Polyimidschicht (17, 4l) und auf dieser ein Elektrodenmuster (21 bis 27, 42 bis 48) mit Leitungssegmenten (21A bis '27A, 42A bis 48A) angordnet ist und j daß eine Flüssigkristallschicht (7, 53) den Hohlraum zwischen den Trägerschichten ausfüllt.

7. Anordnung nach den Ansprüchen 1, 5 und 6, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite Trägerschicht (13) aus Metall ist und eine polierte reflektierende Oberfläche (15) besitzt.

Anordnung nach den Ansprüchen 1, 5, und 6, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite Trägerschicht (36) aus Glas ist- und mit reflektierendem Material (39) beschichtet ist.

9. Anordnung nach den Ansprüchen 1 und 6, dadurch gekennzeichnet, daß das Elektrodenmuster (11, 21 bis 27, 49, 42 bis 48) eine Stärke von etwa 1000A⁵ hat und aus In₃O,,SnO₂ oder einer Mischung derselben besteht.

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