DE2339949B2 - Gerät zum Auftragen einer dünnen Schicht auf einer Unterlage mittels von einer Ionenquelle erzeugten Molekülionen - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein Gerät nach dem Gattungsbegriff des Patentanspruches 1.

Bekannt ist ein Verfahren und ein Gerät /ur Oberflächenbehandlung (US-PS 27 02 8bJ) einer Unterlage, nämlich der Oberfläche von Linsen und anderen optischen Bauteilen, bei dem von einer Plasma-loneriquelle u. a. Molekülionen emittiert werden, die beschleunigt und in Richtung auf die Unterlage gelenkt werden, so daß sie in der Unterlage eine gewisse gewünschte Durchdringungstiefe erreichen und eine Veränderung der Eigenschaften der Oberflächenschicht der Unterlage bewirken.

Es ist auch eine Ionenquelle zur Erzeugung eines monoenergetischen, fokussierten Ionenstrahl bekannt (DE-OS 19 55 137), bei der ein Beschleunigungsfeld vorgesehen ist, mit welchem Ionen aus einem von einem Elektronenstrahl verdampften, elektrisch leitenden Material herausgezogen werden.

Das Aufbringen von Materialien auf Unterlagen, so z. B. auf Linsen und dergleichen, erlangt zunehmende Bedeutung, da es beispielsweise möglich ist, verhältnismäßig weiche Unterlagen, so Kunststofflinsen, mit Überzügen aus harten Materialien zu versehen.

Die Aufgabe der Erfindung besteht darin, die Ionenquelle eines Gerätes der eingangs genannten Art so weiterzubilden, daß die emittierten Molekularteilchen ionisiert bzw. die emittierten Molekülionen weiter ionisiert werden, so daß sie in vorbestimmter Weise beschleunigt und so geleitet werden können, daß eine optimale Beschichtung der Unterlage, insbesondere von Kunststofflinsen oder anderen optischen Bauteilen aus Kunststoff erreicht werden kann.

Die Lösung dieser Aufgabe besteht bei einem Gerät der eingangs genannten Art aus den Merkmalen des Kennzeichnungsteils des Patentanspruches 1.

Mit Hilfe der Beschleunigungs- und Feldemissionsvorrichtung können die mit Hilfe des Elektronenstrahls erzeugten Molekularteilchen und Molekülionen nach ihrer Emission negativ bzw. weiter negativ ionisiert werden, derart, daß die entstehenden Molekülionen auf einer bestimmten Bewegungsbahn unter Beschleunigung in Richtung auf die zu beschichtende Unterlage auftreffen. Als zur Erzeugung von Molekülionen geeignete Präparate können pastenartige Mischungen bekannter Mineralien verwendet werden, die bei Beschichtung optischer Elemente wegen ihrer Eigenschaften der Härte, Elastizität, Wärmebeständigkeit und wegen ihrer optischen Klarheit vorgegehen sind.

Gemäß einer vorteilhaften Ausgestaltung weisen die zur negativen Ionisierung der emittierten Molekularteilchen dienenden Elektroden der Beschleunigungs- und Feldemissionsvorrichtung eine Vielzahl von geschärften oder zugespitzten Teilen auf, wobei die Elektroden der Beschleunigungs- und Feldemissionsvorrichtung ringförmigsein können.

Gemäß einer weiteren Ausgestaltung können Einrichtungen zur Erzeugung magnetischer Felder zum Trennen unerwünschter Molekülionen und Molekularteilchen von dem zur Beschichtung genutzten Molekülionenstrahl vorgesehen sein. Damit kann eine qualitative Aufteilung der emittierten Molekülionen und eine qualitative Steuerung der Unterlagenbeschichtung vorgenommen werden. Dabei kann es gemäß einer vorteilhaften Ausgestaltung zweckmäßig sein, daß eine Mikrowellenbestrahlungsvorrichtung oder ein radioaktives Präparat zur Ableitung der während der Beschichtung auf der Unterlage aufgebrachten Oberflächenladung vorgesehen sein.

Weitere Ausgestaltungen sind in den weiteren Unteransprüchen gekennzeichnet.

Fin besonderer Vorteil des Gerätes besteht in seiner Verwendung bei der Entwicklung und Weiterbehand-

lung billiger Brillenlinsen, welche im Spritzgußverfahren hergestellt werden. Derartige Linsen können in dem Gerät mit geeigneten hochfesten Materialien beschichtet werden. Auch ist es möglich, Teile schichtartig aufzubauen; so können Kunststoffolien vcirbestimmter Dicke mit dünneren Lagen oder Filmen beschichtet werden, derart, daß die Massenherstellung derartiger Schichtkörper bei durchlaufender Trägerfolie möglich ist.

Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nachfolgend anhand der Zeichnung erläutert.

F i g. I ist eine teilweise geschnittene Perspektivansicht des Gerätes mit der Ionenquelle und der zu beschichtenden Unterlage ohne Darstellung des diese umhüllenden Vakuumgehäuses;

F i g. 2 ist eine Perspektivansicht einer Beschleunigungs- und Feldemissionsvorrichtung eines Ausführungsbeispiels der Erfindung;

F i g. 3 ist eine Draufsicht auf eine Beschleunigungsund Feldemissionsvorrichtung eines weiteren Auslührungsbeispiels;

F i g. 4 ist eine Schnittansicht von Linie 4-4 in F i g. 3;

Fig. 5A ist eine Teilschniitansicht einer Beschleunigungs- und Feldemissionsvorrichtung eines weiteren Ausführungsbeispiels;

Fig. 5B ist eine Teilschnittansicht einer Beschleunigungs- und Feldemissionsvorrichtung eines weiteren Ausführungsbeispiels;

Fig. 6 ist eine vergrößerte Draufsicht auf eine mit Hilfe des Gerätes beschichtete Unterlage unter Darstellung ihrer unterschiedlichen Eigenschaften nach Beschichtung;

F i g. 7 ist eine Schnittansicht eines weiteren Gerätes;

Fig. 8 ist eine Schnittansicht des unteren Bereiches eines weiteren Gerätes mit einer Vorrichtung zur Richtungsbeeinflussung unterschiedlicher Molekülionen.

In F i g. 1 ist ein Gerät 15 zum Auftragen einer dünnen Schicht auf eine Unterlage dargestellt, welches innerhalb eines (niclit dargestellten) Vakuumgehäuses angeordnet ist. Das Gerät 15 ist mit senki echten Tragstangen 30 versehen, die an einem Ring 32 auf der Oberseite eines Podestes 20 angebracht sind. Innerhalb des Ringes 32 befindet sich eine Vorrichtung 34 zur Erzeugung eines Elektronenstrahls; diese Vorrichtung ist in Fig. 1 nur teilweise im Schnitt gezeigt. Sie kann durch in Rohren 36 gefördertes Kühlmittel gekühlt werden. In der Mitte wjist die Vorrichtung 34 einen Zielbereich 38 auf, in welchem sich ein zu ionisierendes Material 40 befindet. Ein Heizfaden (nicht gezeigt) ist in einer Kammer 42 angeordnet; desgleichen sind geeignete Magnelspulen zur Erzeugung von Magnetfeldern im Bereich der Kammer 42 vorgesehen. Verschiedene Leitungen 44 sind vorgesehen, um Strom an den Heizfaden und an die Magnetspulen zu leiten. Bei Betrieb der Vorrichtung 34 werden Elektronen durch den Heizfaden emittiert und unter dem Einfluß des erzeugten elektromagnetischen Feldes auf das zu ionisierende Material 40 gerichtet. Auf diese Weise werden Molekularteilchen emittiert. Ein schwenkbarer Verschluß 46, welcher von außerhalb des (nicht dargestellten) Vakuumgehäuses betätigbar ist, dient dazu, um entweder die Wolke der emittierten MolekiUionen abzusperren odei, wenn der ausgeschwenkt ist, um die Molekülionen in Richtung einer nachfolgend beschriebenen Beschleunigiings- und FeIdetnissionsvorrichtung 48 zu leiten.

F.in Tragrahmen 50 für die zu beschichtende Unterlage ist mittels Isolatoren 52 am oberen Ende der Tragstangen 30 befestigt. An diesem Tragrahmen 50 können verschiedene Unterlagen, so zum Beispiel Kunststofflinsen, für das Auftragen einer dünnen Schicht befestigt werden. Ein Kollektorschirm 54 ist oberhalb des Tragrahmens 50 angebracht Die air. Koliektorschirm 54 angelegte Spannung kann durch (nicht gezeigte) Verbindungen mit der Innenseite des Vakuumgehäuses bestimmt werden.

Die Beschleunigungs- und Feldemissionsvorrichtung 48 ist an den Tragstangen 30 durch Drähte 60 und Isolatoren 62 aufgehängt. Die Einzelheiten dieser Vorrichtung sind deutlich in F i g. 2 gezeigt. Sie besteht aus mehreren flachen Ringen, deren Innen- und Außendurchmesser von unten nach oben zunehmen. Der erste, dritte und fünfte Ring 66 wirken als Schutzringe und dienen im wesentlichen dazu, das Feld der dazwischen befindlichen Elektroden 68 zur Feldemission zu isolieren, wenngleich sie auch als Beschleunigungselektroden wirken können. Eine Beschleunigungselektrofle 70 stellt den obersten Ring innerhalb der Beschleunigungs- und Feldemissionsvorrichtung 48 dar. Es sind aiso insgesamt sechs Ringe in der Vorrichtung gezeigt, obwohl auch eine größere oder geringere Anzahl vorgesehen sein können. Benachbarte Elektroden sind gegenseitig durch Isolatoren 72 getrennt. Die zur Feldemission dienenden Elektroden 68 sind mit einer Vielzahl von Nadeln 74 versehen, welche zugespitzt sind. Die Nadeln sind im wesentlichen in gleichen Abständen am Umfang der Elektroden 68 angeordnet und können beispielsweise angelötet sein. Die Spitzen der Nadeln 74 weisen dabei radial nach innen. Sie emittieren unter einem Einfluß eines elektrischen Feldes Elektronen, durch welche die emittierten Molekularteilchen weiter negativ ionisiert werden. Durch d>e Beschleunigungsvorrichtung werden die Molekularleilchen gleichzeitig in Richtung des Kollektorschirms 54 beschleunigt. Die Leitungen zum Anlegen der Spannungen an den verschiedenen Bauteilen des in Fig. 1 dargestellten Gerätes verlaufen durch Isolatoren 80, die sich durch den Ring 32 erstrecken. Eine Leitung 82 ist mit dem Tragrahmen 50 für die zu beschichtende Unterlage verbunden, während eine Leitung 84 mit einem unteren Draht 60 verbunden ist, um die Spannung der Beschleunigungselektrode 70 zu steuern. Weitere Leitungen 86 verlaufen jeweils zu einem der Ringe 66, während die Spannung an den Elektroden 68 über Leitungen 88 angelegt wird.

Es können radioaktive Präparate 90 verwendet werden, um eine Oberflächenladung auf den zu beschichtenden Unterlagen mittels radioaktiver Bestrahlung abzubauen. Derartige radioaktive Präparate können auch in geeigneter Weise an anderen Positionen innerhalb des das Gerät aufnehmenden Vakuumgehäuses angeordnet sein, um in wirkungsvoller Weise die zu beschichtenden Unterlagen zu entladen.

Die Fig. 3 und 4 geben in Draufsicht bzw. Teilschnittansicht eine Beschleunigungs- und Feldemissionsvorrichtung eines weiteren Ausführungsbeispiels wieder, welche anstelle der in Fig. 1 und 2 gezeigten verwendet werden kann. Die Beschleunigungs- und Feldemissionsvorrichtung 48a nach F i g. 3 und 4 umfaßt mehrere ringförmige Elektroden 101, die durch Isolatoren 103 elektrisch gegenseitig isoliert sind. Die Isc'jtoren 103 dienen auch zur Isolierung gegenüber die Elektroden verbindenden Lamellen 102, deren Innenkanten als Schneiden ausgebildet sind. Die Lamellen 102 dienen dazu, entlang ihrer scharfen Schneiden unter

dem Einfluß eines elektrischen Feldes Elektronen zu emittieren. Geeignete Verbindungen (nicht gezeigt) können vorgesehen sein, um die Spannungen an den Lamellen 102 und an den ringförmigen Elektroden 101 zu steuern.

Die F i g. 5A gibt Ringe wieder, von welchen die zur Feldemission dienenden Elektroden 104 eine angeschärfte innere Schneide aufweisen. Die übrigen Elektroden 106 sind vollständig abgerundet und elektropoliert.

F i g. 5B zeigt eine Anordnung, welche der in F i g. 2 dargestellten ähnlich ist, mit der Abweichung, daß auf die Nadeln 74 verzichtet wurde. Die zur Feldemission vorgesehenen ringförmigen Elektroden 68a sind mit einer scharfen, inneren Schneide versehen. Die übrigen Elektroden MJ sind beispielsweise durch Eiektropoiieren geglättet.

In Fig. 6 ist eine Unterlage 110 in Form einer Linse dargestellt, welche in dem vorbeschriebenen Gerät beschichtet worden ist. Die Linse ist auf ihrer linken Hälfte 112 und auf den kleinen Kreisen 114 mit einem Film beschichtet worden, welcher im wesentlichen aus Mineralstoffen besteht, welche wegen ihrer Eigenschaften der Härte, Elastizität, Wärmebeständigkeit und optischen Klarheit ausgewählt worden sind.

Mit Ausnahme der kleinen Kreise 114 ist die rechte Hälfte 116 der Linse unbeschichtet. Dies wurde dadurch erzielt, daß zunächst die rechte Hälfte mit einer gelochten Folie abgedeckt wurde, bevor der Film aufgetragen wurde. Die Linse wurde dann in einem Versuch mit verschiedenen Abriebstoffen abgerieben. Die beschichtete Hälfte 112 und die Kreise 114 blieben durch diese Abriebstoffe unbeeinträchtigt, so daß die Linse in diesen Bereichen klar und durchsichtig verblieb. Über den übrigen Teilen der rechten Hälfte 116 wurde die Linse jedoch erheblich verkratzt, wie es die in F i g. 6 dargestellte Punktierung wiedergibt.

Ein abgewandeltes Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung ist in F i g. 7 veranschaulicht. Das in F i g. 7 dargestellte Gerät 150 weist viele Grundbauteile auf. welche denjenigen des in F i g. 1 gezeigten Gerätes entsprechen. Während die emittierten Moiekuianeiichen negativ ionisiert werden, wie dies unter Bezugnahme auf die in F ι g. 1 dargestellte Einrichtung beschrieben wurde, wird die Bahn der Molekülionen anschließend in einer gekrümmten Bahn geleitet und in vorbestimmter Weise auf die zu beschichtende Unterlage aufgebracht. Der Zweck dieser Strahlteilung besteht darin, eine Trennung der Molekularteilchen und Molekülionen sowie von Molekülionen verschiedener Ladung und Masse zu erzielen, derart, daß eine nachteilige Wirkung auf der zu beschichtenden Unterlage vermieden wird. Es ist festgestellt worden, daß das Auftreffen verhältnismäßig großer Teilchen auf den zu beschichtenden Unterlagen dazu führen kann, daß Vertiefungen in dem aufgetragenen Film hervorgerufen werden. Dadurch ergibt sich ein Bruch des Films und eine Einbettung der größeren Teilchen innerhalb des Films; es besteht an diesen Positionen eine Neigung zur Absorption von Feuchtigkeit, was zu einem Abheben des Films im Bereich der Vertiefungen führen kann. In extremen Fällen können die größeren Molekülionen unerwünschte Oberflächenunregelmäßigkeiten hervorrufen.

In Fig.7 ist ein Zylinder 164 gezeigt, welcher Magnetspulen 165 enthält Diese dienen dazu, ein senkrecht ausgerichtetes magnetisches Feld zu erzeugen. Der Zylinder 164 ist durch Drähte 160 und Isolatoren 162 an den Tragstangen 30 aufgehängt. Oberhalb des Zylinders 164 befindet sich eine zweite magnetische Einrichtung 166 zur Erzeugung eines magnetischen Feldes, welches waagerecht ausgerichtet ist. Die Einrichtung 166 kann einzelne Magnete 168 umfassen, die die Form von Dauermagneten haben. Die Magnete 168 können auch die Polstücke von elektromagnetischen Magnetspulen sein. In einer Ausführungsform kann die Einrichtung 166 als im wesentlichen flache Platte ausgebildet sein, die an der Wand des Gehäuses 18a angebracht ist. Oberhalb der Vorrichtung zur Erzeugung der Magnetfelder ist eine Anordnung zum Aufhängen der zu beschichtenden Unterlagen vorgesehen. Diese Einrichtung ist als ein Zylinder 170 gezeigt, der einen hervorstehenden oberen Rand aufweist. Dieser ist auf einem Ring 172 mitte's Kugellager 174 gelagert, derart, daß sich der Zylinder 170 drehen läßt. Ein Motor 176 ist mit einer Antriebsrolle 178 versehen, die am Zylinder 170 angreift und dazu dient, diesen innerhalb des Gehäuses 18a in Drehung zu versetzen. Zu beschichtende Unterlagen 180 in Form von Linsen sind in Halterungen 184 schwenkbar angebracht. Die Halterungen 184 und die sie tragenden Gestelle 182 sind so angeordnet, daß die Linsen gegenüber dem Zylinder 170 so gedreht werden können, daß eine Beschichtung an beiden Linsenflächen möglich ist. Wie in F i g. 7 dargestellt ist, besteht dieser Schwenkmechanismus aus einem Block 186 mit einem Stab 188, an welchem ein Umschalthebel 190 an den unteren Enden der Gestelle 182 angreift Wenn also jedes der Gestelle 182 am Stab 188 vorbeiläuft, dann wird der Umschalthebel 190 gedreht, derart, daß die Linsen gedreht werden und bei weiterer Drehung des Zylinders 170 ihre andere Seite beschichtet werden kann. Mit Hilfe des in F i g. 7 dargestellten Gerätes wird erreicht, daß Teilchen, die größer als erwünscht sind, und diejenigen Molekularteilchen, die in unzureichender Weise ionisiert wurden, von denjenigen Molekularteilchen getrennt werden, welche die richtige Größe und ausreichende Ionisierung aufweisen, derart, daß die erwünschte Beschichtung der Linsen 80 vollzogen werden kann.

Alternativ zu dem in F i g. 7 dargestellten Gerät kann auch die Lage der zu beschichtenden Unterlagen festgelegt werden, indem der Zylinder 170 unbeweglich gehalten wird, während das magnetische Feld der Einrichtung 166 gedreht wird, derart, daß der Molekülionenstrahl über den Bereich der zu beschichtenden Unterlagen hinwegstreicht. In diesem Fall kann die Einrichtung 166 selbst einen zylindrischen Ring aufweisen, wobei die einzelnen Magnete 168 wahlweise durch Elektromagnetfelder magnetisiert werden, um ein waagerechtes magnetisches Feld zu entwickeln, das sich in gesteuerter Weise in einer Ebene dreht, die rechtwinklig zur Längsachse des Gerätes 150 verläuft. Wenn es erwünscht ist, kann die die Gestelle 182 umfassende Einrichtung auch elektrostatisch aufgeladen werden, so daß die Gestelle zusätzlich als Kollektor dienen, um die Molekülionen anzuziehen.

In Fig.8 ist ein weiteres Ausfühningsbeispiel eines Gerätes 200 dargestellt welches in seinem Aufbau mit dem Gerät nach F i g. 1 übereinstimmende Teile besitzt Oberhalb der Bauteile 34, 46 und 48 ist eine Leitvorrichtung 202 vorgesehen, die an Tragstangen 204 mit Hilfe von Drähten 206 und Isolatoren 208 aufgehängt ist Wie in F i g. 8 dargestellt ist, weist die Leitvorrichtung 202 mehrere Ringmagnete 210 auf, die in einem äußeren Gehäuse 212 angeordnet sind. Die

jeweiligen Ringmagnete 210 sind aufeinanderfolgend entlang der beabsichtigten Bewegungsstrecke der emittierten Molekülionen angeordnet und so ausgerichtet, daß die Molekülionen mitteis eines elektromagnetischen Feldes aus dem Bereich der Beschleunigungs- und Feldemissionsvorrichtung nach oben und seitlich ausgerichtet geleitet werden. Das Gehäuse 212 ist so angeordnet, daß jede geradlinige Bewegung, ausgehend von der Beschleunigungs- und Feldemissionsvorrichtung 48 zu den oberhalb angeordneten, zu beschichtenden Unterlagen verhindert wird. Bei dieser Anordnung kann der obere Teil des Gerätes dem oberen Teil des in F i g. 1 dargestellten Gerätes entsprechen. Es folgen diejenigen Molekularteilchen und Molekülionen, die nicht die angemessene Geschwindigkeit und das angemessene Verhältnis von Ladung zu Masse haben, nicht der gleichen Bewegungsbahn wie diejenigen Molekülionen, welche optimale Beschaffenheit hinsichtlich Ladung und Masse besitzen, und treffen auf die Prallwand des Gehäuses 212 auf, d. h., daß diese Teilchen aus dem Strom der emittierten Molekülionen entfernt werden, der in Richtung auf die zu beschichtenden Unterlagen gerichtet ist. Wenngleich Fig. 8 die Leitvorrichtung 202 mit einer Vielzahl von Ringmagneten 210 zeigt, sei darauf hingewiesen, daß diese Vorrichtung auch anstelle der Ringmagnete 210 eine einzige Magnetspule besitzen kann. Andererseits können mehrere Dauermagneten, die in geeigneter Weise in einer Reihe von Ringen befestigt sind, anstelle der Ringmagneten 210 verwendet werden. Eine derartige Anordnung hat den Vorteil, daß das gewünschte, teilchenablenkende Feld ohne Anwendung elektrischen Stroms eingesetzt werden kann.

Wie im Falle des Ausführungsbeispiels nach Fig. I können bei allen beschriebenen Geräten radioaktive Präparate verwendet werden, um den Aufbau einer Oberflächenladung zu verhindern. Desgleichen können hierzu Mikrowellenbestrahlungsvorrichtungen verwendet werden.

Hierzu 3 Blatt Zeichnungen

Claims (9)

Patentansprüche:

1. Gerät zum Aufbringen einer dünnen Schicht auf einer Unterlage mit einer Ionenquelle zur Erzeugung von Molckülionen, die eine Vorrichtung zum Erzeugen eines Elektronenstrahls, der auf das zu ionisierende Material gerichtet ist, so daß Molekularteilchen und Molekülionen emittiert werden, und Beschleunigungselektroden zur Beschleunigung der erzeugten Molekülionen in Richtung der Unterlage aufweist, und mit einem das Gerät umschließenden Hochvakuumgehäuse, dadurch gekennzeichnet, daß eine Beschleunigungs· und Feldemissionsvorrichtung (48, 48a,; vorgesehen ist, die Elektronen emittiert, durch die die emittierten Molekularteilchen negativ ionisiert bzw. die emittierten Molekülionen weiter negativ ionisiert werden.

2. Gerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Beschleunigungs- und Feldemissionsvorrichtung (48, 48a; Elektroden (68, 68a, 102, 104) mit einer Vielzahl von geschärften oder zugespitzten Teilen aufweist.

3. Gerät nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektroden (68, 68a, 104) der Beschleunigungs- und Feldemissionsvorrichtung (48) ringförmig sind.

4. Gerät nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß auf den ringförmigen Elektroden (68) nach innen gerichtete Nadeln (74) mit feinen Spitzen angeordnet sind (F i g. 2).

5. Gerät nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die ringförmigen Elektroden (68a, 104) an ihren Innenseiten Schneiden aufweisen (F i g. 5A und 5B).

6. Gerät nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die ringförmigen Elektroden (68, 68a, 104) der Beschleunigungs- und Feldemissionsvorrichtung im Abstand voneinander entlang der Bewegungsrichtung der erzeugten Molekülionen aufgereiht sind (Fig.2,5Aund5B).

7. Gerät nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektroden der Beschleunigungs- und Feldemissionsvorrichtung Lamellen (102) sind, die parallel zur Richtung der erzeugten Molekülionen angeordnet sind und an den Kanten Schneiden aufweisen (F i g. 3 und 4).

8. Gerät nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß eine Mikrowellenbestrahlungsvorrichtung oder ein radioaktives Präparat (90) zur Ableitung der während der Bes> hichtung auf der Unterlage (110, 180) aufgebrachten Oberflächenladung vorgesehen ist.

9. Gerät nach einem der Ansprüche Ί bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß Einrichtungen (164, 165, 166, 202) zur Erzeugung magnetischer Felder zum Trennen unerwünschter Molekülionen und Molekularteilchen von dem zur Beschichtung genutzten Molekülionenstrahl vorgesehen sind (Fig. 7 und 8).