DE2252912C3

DE2252912C3 - Elektrofotografisches Röntgenaufnahmeverfahren

Info

Publication number: DE2252912C3
Application number: DE19722252912
Authority: DE
Inventors: Gottfried Dipl.-Phys. 8520 Erlangen Lange
Original assignee: Siemens AG
Current assignee: Siemens AG
Priority date: 1972-10-27
Filing date: 1972-10-27
Publication date: 1981-02-26
Also published as: DE2252912A1; DE2252912B2

Description

Die Erfindung betrifft ein elektrofotografisches Röntgenaufnahmeverfahren, bei welchem eine elektrisch leitfähige Platte, die mit einer Schicht aus einer Selen-Arsen-Legierung bedeckt ist, elektrisch in einer Koronaentladungsanordnung aufgeladen und dann der abzubildenden Bestrahlung mit Röntgenstrahlen ausgesetzt wird und bei der nach der Patentanmeldung P 22 50 689.4 die Legierungsschicht neben dem Arsen einen Anteil von 0,01 bis 1 Atom % Selen enthält und daß die Aufladung negativ ist. Abschließend wird das noch unsichtbare elektrische Bild durch die übliche «erografische Entwicklung sichtbar gemacht. Derartige Verfahren werden angewandt, weil sie ein empfindliches Material haben, welches erst im Augenblick der Aufnahme empfindlich gemacht wird und weil außer dem das Verfahren schnell und wenig aufwendig isL

Bei bekannten Anordnungen zur Rönigenelektrofotografie, die auch Xeroradiografie genannt wird, werden Selenschic hlen als fotoleitende, d. h. empfindliche Schichten, verwendet. Es ist z. B. aus DE-AS 1077 976 bekannt, diesen Schichten geringe Mengen von Arsen beizufügen, um erhöhte Empfindlichkeit und Beständigkeit zu erhalten. Nachteilig daran ist aber, daß nach jeder Aufnahme eine im Vergleich «ι der möglichen Abbildungsfolge lange Zeit vergeht, bis die aufgenommenen Bilder aus der empfindlichen Schicht verschwunden sind. Es ist schwierig, diese Nachwirkungen zu vermeiden. Immer wieder kommt es vor, daß wegen der Nachwirkungen früher aufgenommene Bilder als Hintergrund bei späteren Bildern erscheinen. Diese Störung ist unter der Bezeichnung »Geisterbilder« bekannt.
Aufgabe der Erfindung ist, bei dem Verfahren nach dem Hauptpatent ohne Erhöhung des Aufwandes, insbesondere im Hinblick auf die Erscheinung von Geisterbildern, die Wirksamkeit weiter/u verbessern.

Die Erfindung geht von einem elektrofotografischen ί Röntgenaufnahmeverfahren aus, bei welchem eine elektrisch leitfähige Platte, die mit einer Arsen enthaltenden Selenschicht bedeckt ist, elektrisch in einer Koronaentladungsanordnung aufgeladtn und dann der abzubildenden Bestrahlung mit Röntgenstrah-

len ausgesetzt wird, bei dem die Selenschicht 0,01 bis 1 Atom % Arsen im Selen enthält und bei dem die Aufladung negativ ist und ist dadurch gekennzeichnet, daß die Selenschicht auf eine oxydfreie Oberfläche der elektrisch leitfahigen Platte aufgedampft ist Durch die Erfindung wird erreicht, daß vom Substrat träger her verhindert wird, daß eine dünne Oxyd- oder oxydähnliche Schicht als injiz^;erender Kontakt an die Halbleiterschicht angrenzt Diese nicht ρ Leitung injizierende Wirkung der Unterlage ist

-'" speziell bei der negativen Koronabeladung der Arsen enthaltenen Selenschicht von großer Bedeutung, da amorpher Selen ein p- Leiter ist.

In einer Ausgestaltung der Erfindung wird als elektrisch leitfähige Platte, die den Träger der

^is Selenschicht darstellt, z. B. eine Aluminiumplatte von I mm Stärke verweedet Diese wird dann an ihrer mit der Selenschicht zu bedampfenden Oberfläche einer elektrischen Glimmentladung von 1000 bis 2000 V bei 200 mA für die Dauer von 10 bis 30 min ausgesetzt Als

^w Gas wird dabei Argon mit einem Druck von etwa 10-' torr verwendet Durch diese Beglimmung wird erreicht, daß die Unterlage einmal von Wasserhäuten befreit wird und zum anderen eine Zerstörung von oxydhaltigen Oberflächenschichten erfolgt

^JS In einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung wird statt Argon das sog. Formiergas verwendet, welches 70 bis 80% Stickstoff. Rest Wasserstoff enthält Die elektrischen Größen stimmen mit denjenigen überein, die bei der Benutzung von Argon verwendet wurden.

Auch bei dieser Ausgestaltung wird erreicht, daß die Oberfläche von der ihr anhaftenden Oxydschicht befreit wird.

Auch bei Verwendung anderer Metallplatten als Träger für die Selenschicht kann die Oberfläche von Oxydschichten oder oxydähnlichen Schichten befreit werden, indem man in einer sauerstoffreien Atmosphäre beglimmt Bekannte Metalle, die man außer Aluminium verwendet sind z. B. Messing, Remanit, Kupfer oder Bronze.

Einzelheiten und Vorteile der Erfindung werden

nachfolgend anhand der Figuren weiter erläutert. In der

Kig. I ist schematisch und im Schnitt eine Beglim-

mungseinrichtung für den elektrisch leitfähigen Träger der Selenschicht dargestellt und in der

^M F i g. 2 ein Ausschnitt aus dem mit der Selenschicht bedampften Träger.

In der F i g. 1 ist mit 1 die vakuumdichte Glocke bezeichnet die auf dem fisch 2 steht und deren Innenraum mittels der Vakuumpumpe 1 auf 10 < torr ausgepumpt wird, nachdem an dem Stutzen 4 Argon eingefüllt worden ist. An den Halterungen, von denen die mit 5 und 6 sichtbar sind, ist in Abstand von der Platte 7 aus Aluminium die elektrisch leitfähige Platte 8 gehaltert, die als Träger für die Selenschicht benutzt ^M werden soll. Zur Beseitigung der an der Oberfläche 9 anhaftenden Oxydschicht wird zwischen der Platte 7 und der Platte 8 ein elektrisches Gleichfeld von 2000 V angelegt, welches über die Leitungen 10 und 11 der

Gleichstromquelle 12 entnommen wird. Bei einem Strom von 200 mA wird so für die Dauer von 20 min beglimmt Nach Beendigung dieser Beglimmung erfolgt die Weiterverwendung der Platte 8 als Träger für eine Selenschicht, die aufgedampft wird.

Nach dem Bedampfen wird eine Anordnung erhalten, wie sie aus der F i g. 2 ersicntlich ist Dabei ist auf die als Träger dienende Platte 8 die 0,1 Atom % Arsen enthaltende Selenschicht 13 aufgedampft die 100 bis 500 μΐη stark ist Dabei wurde darauf geachtet daß die Oberflache 9 vor der Bedampfung nicht mehr oxydiert wird. Bei eier Verwendung der Atuminiumplatte erfolgt dies im vorliegenden Beispiel dadurch, daB Aluminiumplatte 7 unter öl gesandstrahlt und dann in Toluol entfettet in die Vakuumapparatur eingeführt wird.

Bei dem dargestellten Beispiel ergibt sich die Funktion der Erfindung in der oben bereits dargelegten Weise durch Vermeidung eines injizierenden Kontaktes, so daB sich hier eine nochmalige Darlegung erübrigt

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims

Patentansprüche:

1. Elektrofotografische* Röntgenaufnahmeverfahren, bei welchem eine elektrisch leitfähige Platte, die mit einer Schicht aus einer Selen-Arsen-Legierung bedeckt ist, elektrisch in einer Koronaentladungsanordnung aufgeladen und dann der abzubildenden Bestrahlung mit Röntgenstrahlen ausgesetzt wird und bei der nach der Patentanmeldung P 22 50 689.4 die Legierungsschicht neben dem Selen 0,01 bis 1 Atom % Arsen enthält und daß die Aufladung negativ ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Selenschicht auf eine oxydfreie Oberfläche der elektrisch leitfähigen Platte aufgedampft ist

2. Verfahren zur Herstellung einer Röntgenaufnahmeplatte zur Verwendung bei einem Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß bei Verwendung von Aluminium als elektrisch leitfähige Platte die zu bedampfende Oberfläche in einer Argonatmosphäre von 10~² bis 5 · 10-' torr, insbesondere 10-' torr. Argon einer elektrischen Glimmentladung von 1000 bis 2000 V ausgesetzt wird bei einem Strom von 100 bis 300 mA, vorzugsweise 200 mA.

i. Verfahren zur Herstellung einer Röntgenaufnahmeplatte zur Verwendung bei einem Verfahren nach Anspruch I. dadurch gekennzeichnet, daß bei einer Beglimmung entsprechend Anspruch 2 das Gas zu 70 bis 80% aus Stickstoff, Rest Wasserstoff besteht