DE2235654A1

DE2235654A1 - OPTICAL DEFLECTOR

Info

Publication number: DE2235654A1
Application number: DE19722235654
Authority: DE
Inventors: Derek Stanley Moore
Original assignee: Vickers Ltd
Current assignee: Vickers Ltd
Priority date: 1971-07-22
Filing date: 1972-07-20
Publication date: 1973-02-01
Also published as: GB1393896A

Description

Die Erfindung betrifft' optische jnDtastvorrlchtungeri:.The invention relates to optical scanning devices.

Es ist "bereits ein mit einer Abtastvorrichtung ver- , sehenes Mikrodensitometer bekannt, bei dem' mehrere durch einen * Motor angetriebene drehbare Prismen einen Lichtfleck ver-, anlassen, einen Teil des Bildfeldes eines Mikroskops zu überstreichen oder abzutasten. TJm eine niedrige Abtastge- * schwindigkeit zu erreichen, ist es erforderlich, mit einer hohen Zahnraduntersetzung zu arbeiten, und die Erfahrung, hat gezeigt, daß.» es. schwierig ist, für diesen Zweck ein Zahnradgetriebe'zu schaffen, das mit einer ausreichenden Genauigkeit arbeitet.. Ferner ist es nur. unter Schwierigkeiten möglich, die Amplitude und die Geschwindigkeit des ,, Abtastvor[:;angs zu regeln, und es steht keine Einrichtung zur Verfugung, die es auf bequeme Weise ermöglicht, In-· formabionen über die jeweilige Lage des Lichtflecks in einem bestimmten.Zeitpunkt zu gewinnen· - *It is "already equipped with a scanning device, known microdensitometer, in which 'several by a * Motor-driven rotatable prisms provide a light spot, cause to sweep or scan a part of the image field of a microscope. TJm a low sampling rate * To achieve speed it is necessary to use a high gear reduction, and the experience has shown that. " it. is difficult for this purpose Gear transmission 'to create that with a sufficient Accuracy works .. Further, it just is. possible with difficulty, the amplitude and the speed of the ,, Tastvor [:; angs to regulate, and there is no facility available, which makes it possible in a convenient way to in- formabions about the respective position of the light spot in one specific time to win - *

Kin JLijstem,, bei- dem ein Spiegel in sinusfürmige >Jchwingurif/eri um eine Achse versetzt wird, um eine schnelle AbL^-awfcuii{·;- zu ermöglichen,'u-nü bei dem der Spiegel, mittels cd ties-Ί-..otors und eines■-Flockerit-T um eine; andere Achse an£;e-Lfloben V/lrcl, um .eine l.ari|;;some AbUniibunf" zu bewirken, i'üt ...,:Kin JLijstem ,, - where a mirror is shifted in sinusoidal> Jchwingurif / eri about an axis in order to enable a quick AbL ^- awfcuii {·; -, 'u-nü with which the mirror, by means of cd ties-Ί-. .otors and a ■ -Flockerit-T by one; other axis at £; e-Lfloben V / lrcl, in order to bring about "a l.ari | ;; some AbUniibunf", i'üt ...,:

BAD ORIGINALBATH ORIGINAL

von Engle und Freed in der Review of Scientific Instruments, März 1968, unter dem Titel "Double-beam vibrating mirror flying spot scanning integrating microspectrophotometer" (integrierendes Mikrospektrophotometer mit Doppelstrahl, schwingendem Spiegel und Lichtfleckabtastung) beschrieben worden. Bei diesem Gerät spielt sich die schnelle Abtastung nicht linear ab, und weder die Amplitude noch die Abtastgeschwindigkeit läßt sich ohne weiteres regeln.by Engle and Freed in the Review of Scientific Instruments, March 1968, under the title "Double-beam vibrating mirror flying spot scanning integrating microspectrophotometer "(integrating microspectrophotometer with double beam, oscillating mirror and light spot scanning) been. With this device, the fast sampling plays does not decrease linearly, and neither the amplitude nor the scanning speed can be easily controlled.

Eine Abtasteinrichtung, bei der sich schnell bzw. langsam bewegende Abtastspiegel durch Motoren gedreht werden, ist von Ingram und Preston in der Zeitschrift "Scientific American", November 197Oy unter dem Titel "Automatic analysis of blood cells" (Automatische Analyse von Blutkörperchen) beschrieben worden. Bei diesem Gerät würde man für eine genaue langsame Abtastung ein Präzisionsgetriebe benötigen, und außerdem läßt sich die Geschwindigkeit und die Amplitude der Abtastung nicht ohne weiteres regeln.A scanning device with which fast resp. Slow moving scanning mirrors being rotated by motors is by Ingram and Preston in the journal Scientific American ", November 197Oy under the title" Automatic analysis of blood cells " has been described. This device would use a precision gear for accurate, slow scanning need, and in addition, the speed and the amplitude of the scan cannot be easily controlled.

Gemäß der Erfindung ist nunmehr eine optische Ablenkvorrichtung geschaffen worden, zu der ein ortsfestes Bauteil und ein bewegliches Bauteil gehören, von denen eines eine elektrische Spule trägt, und die relativ zueinander so unterstützt sind, daß beim Erregen der Spule durch einen elektrischen Strom das dabei erzeugte Magnetfeld derart in Wechselwirkung mit dem anderen Bauteil tritt, daß das bewegliche Bauteil gegenüber dem ortsfesten Bauteil längs der Wicklungsachse der Spule \xsi einen Betrag verlagert wird, der ein Maß für die Stärke des elektrischen Stroms ist; ferner weist die Vorrichtung ein Bauteil mit einer optisch reflektierenden Fläche auf, das mit dem beweglichen Bauteil so gekuppelt ist, daß es gegenüber dem ortsfesten Bauteil eine D_rehbewegung um eine nicht im rechten Winkel zu der reflektierenden Fläche verlaufende Achse in Abhängigkeit von der Verlagerung des beweglichen Bauteils; ausfuhr b. According to the invention, an optical deflection device has now been created, to which a stationary component and a movable component belong, one of which carries an electrical coil, and which are supported relative to one another in such a way that when the coil is excited by an electrical current, the generated thereby Magnetic field interacts with the other component in such a way that the movable component is displaced relative to the stationary component along the winding axis of the coil by an amount which is a measure of the strength of the electrical current; the device further comprises a member having an optically reflective surface that is coupled to the movable member so as to be opposed to the stationary component a D _r ehbewegung a non-running at right angles to the reflecting surface axis in dependence of the displacement of the movable component; export b.

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Die Erfindung und-vortei^^The invention and advantages ^^

findung werden im folgenden-anhand SGnematisChervZeichnungen an Ausführungsbeispieren näher erläutert;. Es, zeigt:■;Findings are described in the following on the basis of SGnematisCherv drawings explained in more detail on examples of execution ;. It shows: ■;

!"ig. 1 ineiner^ perspektiyiscdien Sohnittdarsteiiüng eine Spiegelantrieljseiiirichtung; ' ." .. : . Γ ,! "Fig. 1 in a perspective view of sonicity a mirror drive device; '. "..:. Γ,

J¹Ig. 2 in einer Mg* iähnelnden Darstellung eine. " abgeänderte Ausfünrungsform. feiner Spiegeläntriebseiiirieh.^ tung.; und "/ . . ■ ■ " '-' ■ ^: '^ ;J ¹ Ig. 2 in a representation similar to Mg *. "modified design. fine mirror drive unit. ^ tung .; and" /. . ■ ■ "'-' ■ ^: '^;

Fig. 3 schemätisch eine elektrische..,Schaltung; zuni Be-· tätigen der Spiegelantriebseinrichtung nach^ Fig. 2. -3 schematically shows an electrical circuit; zui loading operate the mirror drive device according to ^ Fig. 2. -

In Eig. Ί und 2 sind ähnliche Bauteile jeweils.mit gleichen Bezugszahlen bezeichnet.In prop. Ί and 2 are similar components, respectively denoted by the same reference numerals.

Zu der in Eig. 1 dargestellten Spiegelantriebseinrichtung;, gehört ein Becnerteil 1,· an dessen Boden eine ortsfeste Magnetbaugruppe 2 befestigt ist.Diese Maghetbaugruppe weist ein massives-, zylindrisches inneres.Polstück und ein hohlzylindrisches äußeres Polstück auf, das gleichachsig mit dem inneren Polstück angeordnet istj dessen innere Umfangsflache jedoch durch einen.Abstand von der U_mfangsflache des massiven inneren Polstücks getrennt ist, so daß zwischeu, den beiden Polstücken ein Kingspalt vorhanden ist, in dem die beiden Polstücke ein Magnetfeld erzeugen können, dessen Kraftlinien in radialen Eichtungen durch den Eing- ' · spalt verlaufen^ Gemäß Fig» 1 ist in dem Eingspalt und : gleichachsig mit ihm eine an einer, beweglichen Platte 4-befestigte schraubenlinienfÖrmige Spüle $ angeordnet, deren Windungen sich um eine Wicklungsacnse X-X herum er- ^l ■ strecken. Die Platte 4 ist am inneren Rand einer Eingförmiigen gewellten Membran 3 befestigt, deren äußerer Eänd mit dem Rand des Beenerteils Λ fest verbunden ist. Die durch die Spule 3 und die-Magnetbaugruppe 2 gebildete itnördnung ähneit der gewöhnlich bei lautsprech.ern der Schwingspulenbauart ' gebräuchlichen Anordnung^ Die Platte 4 weist einen Ansatz 6To the in Eig. 1, includes a Becner part 1, on the bottom of which a stationary magnet assembly 2 is attached. This magnet assembly has a solid, cylindrical inner pole piece and a hollow cylindrical outer pole piece, which is arranged coaxially with the inner pole piece and its inner circumferential surface However separated by einen.Abstand _m of the U, catch surface of the solid inner pole piece so that the two pole pieces a king gap is present zwischeu, in which the two pole pieces to generate a magnetic field whose lines of force in radial calibration obligations by the Eing- '· extend gap ^ Referring to Figure "1 is in the Eingspalt and: arranged coaxially with it a on a movable plate 4-mounted helical sink $ whose turns stretch to a Wicklungsacnse XX around ER- ^l ■. The plate 4 is attached to the inner edge of a single-shaped corrugated membrane 3 , the outer end of which is firmly connected to the edge of the end part Λ. The arrangement formed by the coil 3 and the magnet assembly 2 is similar to the arrangement commonly used in loudspeakers of the voice coil design. The plate 4 has a shoulder 6

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auf, an dem eine Blattfeder 7 befestigt ist. Mit dem Rand des Becherteils 1 ist ein Ende einer zweiten Blattfeder 8 , fest verbunden. Die anderen Enden der beiden Blattfedern 7 und 8 sind unter einem rechten Winkel zueinander angeordnet und an einem Klotz TO befestigt, auf dem ein Spiegel 9 mit einer ebenen Vorderseite angeordnet ist. Somit bildet die Blattfeder 7 eine Kupplung zwischen der Platte 4 und dem Spiegel 9·on, to which a leaf spring 7 is attached. With the edge of the cup part 1 is one end of a second leaf spring 8, firmly connected. The other ends of the two leaf springs 7 and 8 are arranged at right angles to one another and attached to a block TO on which a mirror 9 with a flat front is arranged. Thus, the leaf spring 7 forms a coupling between the plate 4 and the Mirror 9

Wird die Spule 3 mittels eines Gleichstroms erregt, tritt der durch die Spule fließende Strom in Wechselwirkung mit dem in dem Ringspalt wirksamen Magnetfeld, und die Spule wird längs ihrer Wicklungsachse X-X gegenüber dem Becherteil 1 und der Magnetbaugruppe 2 geradlinig bewegt, so daß der Spiegel 9 gedreht wird; hierbei werden die beiden Blattfedern etwa um die in Fig. 1 eingezeichnete Achse Y-Y durchgebogen, die parallel zur reflektierenden Fläche des Spiegels verläuft, was jedoch nicht erforderlich ist, solange sich diese Achse nicht im rechten Winkel zu der reflektierenden Fläche erstreckt. Die WinkeLbewegung des Spie_ gels 9 ist proportional zur Stärke des durch die bewegliche Spule 3 fließenden Stroms· Ward die Spiegelantriebseinrichtung in Verbindung mit einer gegenüber dem Becherteil 1 ortsfesten Lichtquelle" benutzt, die einen Lichtstrahl auf den Spiegel 9 fallen läßt, der den Lichtstrahl so zurückwirft, daß er in einem Abstand von dem Spiegel einen Lichtfleck bildet, ist es möglich, den Lichtfleck zu veranlassen, eine eindimensionale lineare Bewegung auszuführen, wenn man der Spule 3 eine Spannung in Form einer Dreieckwelle zuführt. Die Informationen über die Lage des Lichtflecks in jedem beliebigen Zeitpunkt sind in der Größe der der Spiegelantriebsspule zugeführten Spannung enthalten· Die den Spiegel unterstützenden Blattfedern ermöglichen es, die geradlinige Bewegung der beweglichen Spule in eine Drehbewegung des Spiegels zu verwandeln, ohne daß diese Bewegung durch eine dynamische Reibung oder Hastreibung beeinflußt wird.If the coil 3 is excited by means of a direct current, the current flowing through the coil interacts with the magnetic field effective in the annular gap, and the coil is along its winding axis X-X opposite the Cup part 1 and the magnet assembly 2 moved in a straight line so that the mirror 9 is rotated; here the two Leaf springs bent about the axis Y-Y shown in Fig. 1, which is parallel to the reflective surface of the Mirror runs, but this is not necessary as long as this axis is not at right angles to the reflective Area extends. The angular movement of the game gel 9 is proportional to the magnitude of the current flowing through the movable coil 3 · Ward the mirror driving device in connection with a light source which is fixed in relation to the cup part 1 and which emits a light beam drops the mirror 9, which reflects the light beam so that it has a light spot at a distance from the mirror forms, it is possible to make the light spot perform a one-dimensional linear movement when the coil 3 is supplied with a voltage in the form of a triangular wave. The information about the position of the light spot at any given point in time are included in the magnitude of the voltage applied to the mirror drive coil Leaf springs supporting the mirror make it possible to turn the moving coil into a rotary motion in a straight line of the mirror without this movement being influenced by dynamic friction or hasty friction will.

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Man könnte die Einrichtung naclr Fig.- 1 dadurch abändern, daß man die Magnetbaugruppe 2 durch einen Elektromagneten ersetzt, der mit einem konstanten Gleichstrom gespeist wird.The arrangement according to Fig. 1 could be modified by that the magnet assembly 2 by an electromagnet which is fed with a constant direct current.

Es wird jedoch bevorzugt, die Spule aus den beweglichen Teil der Spiegelantriebseinrichtung zu benutzen, denn anderenfalls würde es erforderlich sein, die erhebliche Masse der Magnetbaugruppe zu bewegen, und hierdurch würde die Leistungsfähigkeit der Einrichtung erheblich, eingeschränkt werden._However, it is preferred to use the spool from the movable part of the mirror drive device because otherwise it would be necessary to move the substantial mass of the magnet assembly, and thereby would the performance of the facility can be significantly restricted.

Die in Verbindung mit den Blattfedern 7 und 8 verwendete Membran 5 liefert eine Rückstellkraft, die die elektromotorische Kraft ausgleicht, welche der durch die Spule fließende Strom erzeugt. Außerdem hält die Membran die Spule so in ihrer Lage, daß sie nicht in Berührung mit den Polstücken der Magnetbaugruppe kommen kann. Wenn eine rechteckige abzutastende Fläche zur Verfügung stehen soll, kann man zwei Spiegelantriebseinrichtungen benutzen, die so angeordnet sind,- daß die Drehachsen der Spiegel im rechten Mnkel zueinander verlaufen. Somit weist die beschriebene Einrichtung einen Grad der Anpassungsfähigkeit auf, der demjenigen ähnelt, welchersich bei der Ablenkung eines Elektronenstrahls in einer Kathodenstrahlröhre erzielen läßt. Mit Hilfe der beschriebenen Anordnung ist es möglich, eine geradlinige Abtastung zu bewirken, mit äer sich eine Anzeigeeinrichtung in Form eines Oszilloskops leicht synchronisieren läßt.The membrane 5 used in connection with the leaf springs 7 and 8 provides a restoring force that the compensates electromotive force generated by the current flowing through the coil. In addition, the membrane holds position the coil so that it cannot come into contact with the pole pieces of the magnet assembly. When a rectangular area to be scanned is to be available, you can use two mirror drive devices that are arranged in such a way that the axes of rotation of the mirrors run in relation to one another in the right-hand corner. Thus, the described Facility exhibits a level of adaptability similar to that found in distracting one Can achieve electron beam in a cathode ray tube. With the help of the described arrangement it is possible to To effect rectilinear scanning, a display device in the form of an oscilloscope is easy can be synchronized.

Benutzt man zwei Spiegelantriebseinrichtungen, um einen sich zweidimensional bewegenden Lichtfleck.zu Ab-, tastzwecken zu erzeugen, sind die Informationen bezüglich der Lage des Lichtflecks in jedem beliebigen-Zeitpunkt in den an die Spiegelantriebsspulen angelegten Spannungen enthalten,, Ferner kann man den Lichtfleck leicht innerhalb des abzutastenden Feldes dadurch in jede gewünschte Lage bringen, daß man an die Spiegelbetätigungsspulen entsprechendeIf two mirror drive devices are used to move a two-dimensionally moving light spot. To generate tactile purposes, the information regarding the position of the light spot at any point in time is in contain the voltages applied to the mirror drive coils, Furthermore, the light spot can easily be brought into any desired position within the field to be scanned, that one corresponding to the mirror actuation coils

Gleichspannungen anlegt. Dies kann sich beim Durchführen, statischer Messungen als vorteilhaft erweisen. Die Ampli-i·* tude und die Geschwindigkeit der Abtastung und daher au6h die abzutastende Fläche lassen sich leicht regeln, und man kann eine langsame Abtastung mit hoher Genauigkeit durchführen, da man ohne die Verwendung eines Präzisionsgetriebes auskommt.Applies DC voltages. This can change when performing static measurements prove advantageous. The Ampli-i * tude and the speed of the scan and therefore au6h the surface to be scanned can be easily controlled, and a slow scan can be carried out with high accuracy, since it is possible without the use of a precision gear gets by.

Die in Fig. 2 dargestellte Spiegelantriebseinrichtung unterscheidet sich von derjenigen nach Figi 1 dadurch, daß die beiden Blattfedern 7 und 8 an dem Klotz 10 so befestigt sind, daß sie im nicht durchgebogenen Zustand in im wesentlichen parallelen Ebenen liegen. Ferner trägt die Blattfeder 8 zwei Dehnungsmesser 11 und 12, und zwar einen auf ihrer Oberseite und den anderen auf ihrer Unterseite.The mirror drive device shown in Fig. 2 differs from that of Figi 1 in that the two leaf springs 7 and 8 attached to the block 10 in this way are that they lie in the undeflected state in substantially parallel planes. Furthermore, the leaf spring carries 8 two strain gauges 11 and 12, one on its top and the other on its bottom.

Fig. 3 zeigt eine Schaltung, die dazu dient, die Spule 3 so zu erregen, daß sie den Spiegel 9 abwechselnd in entgegengesetzten Eichtungen auslenkt, und zwar in der einen Richtung relativ langsam, während sich der Rücklauf in der entgegengesetzten Richtung schnell abspielt. Zu der Schaltung gehört ein Operationsverstärker 13, der als Komparatorschalter geschaltet ist, und ferner ist ein zweiter, als Integrator geschalteter Operationsverstärker 14 vorhanden. Die beiden Verstärker 13 und 14 sind so geschaltet, daß sie zum Zweck des Abtastens eine sägezahnförmige Wellenform erzeugen, wie sie in Fig. 3 bei A dargestellt ist. Der Ausgang des Verstärkers 14- ist über ein Potentiometer 15 und einen Widerstand an einem Summierverstärker angeschlossen, dessen Ausgangssignal der Spule 3 der Spiegelantriebseinrichtung über einen eine EJmitterfolgeschaltung bildenden Transistor 18 zugeführt wird.Fig. 3 shows a circuit which is used to energize the coil 3 so that they the mirror 9 in alternation opposite directions deflects, in one direction relatively slowly, while the return plays quickly in the opposite direction. The circuit includes an operational amplifier 13, which as Comparator switch is connected, and there is also a second operational amplifier 14 connected as an integrator available. The two amplifiers 13 and 14 are connected so that that they generate a sawtooth waveform as shown in Fig. 3 at A for the purpose of scanning is. The output of the amplifier 14- is via a potentiometer 15 and a resistor to a summing amplifier connected, the output signal of the coil 3 of the mirror drive device via an EJmitterfolgeschaltung forming transistor 18 is supplied.

Die Dehnungsmesser 11 und 12 liegen in einander benachbarten Zweigen einer Brückenschaltung, in deren beiden übrigen Zweigen Präzisionswiderstände 19 und 20 liegen. An den Knotenpunkt zwischen den Widerständen 19 und 20 ist ein Potentiometer 21 angeschlossen, so daß die Brücken-The strain gauges 11 and 12 are in adjacent branches of a bridge circuit, in both of them other branches of precision resistors 19 and 20 are located. At the junction between resistors 19 and 20 a potentiometer 21 is connected so that the bridge

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^oH-S ^: ■ ■■·. - ⁷~ --;/ --. 22356S4 schaltung,-für... ,jede gegebene .anfängliche Auslenkung des Spiegel^ 9 ,abgeglichen.,werden kann. Die Meßdiagonal spannung der Byijcke^ £ie zwischender yerbindungsstelle der Wider-· ^: stände (\ß und 2Q einerseits und der Verbindungsstelle der Dehnungsmesser /11 und_; 12 andererseits abgegriffen wird, wird durch einen Operationsverstärker 22 verstärkt, und ein durch ein Kückkopplungsregelpotentiometer 23 bestimmter Teil des Ausgangssignals des Verstärkers 22 wird dem Verstärker /17^: über einen ?/iderst:and 24 als Rückkopplungssignal zugeführt,« Die Yiellenform,· die am Ausgang des,Verstärkers 22 erscheint, wenn die Blättfeder 8 durchgebogen wird, was geschieht, wenn die Spule 5 mit der bei A/gezeigten Span-¹ nungswelle erregt wird, ist in Fig. 5 bei B dargestellt. , Man erkennt, daß sich die Wellenform .B in Gegenphase zu ■ ; der Wellenform A befindet, wie es zur Erzielung einer negativen Eückkopplung erforderlich ₍ist· -.■-■_ . . ■ ^ oH-S ^: ■ ■■ ·. - ⁷ ~ -; / -. 22356S4 circuit, -for ..., every given .initial deflection of the mirror ^ 9, can be adjusted. The Meßdiagonal voltage of Byijcke ^ £ ie between yerbindungsstelle the resistance ^·: Scores (\ ß and 2Q one hand, and the junction of the strain gauge / 11 _and, 12 is the other hand, tapped, is amplified by an operational amplifier 22, and a certain through a Kückkopplungsregelpotentiometer 23 Part of the output signal of the amplifier 22 is ^{fed to the amplifier / 17:} via a? / Iderst: and 24 as a feedback signal coil 5 is energized with the voltage wave at a / shown chipboard ^1, is shown in Figure 5 at B, can be seen that the waveform .B in phase opposition to ■ itself;.. the waveform a is, as a negative to achieve Feedback required ₍ is · -. ■ - ■ _.. ■

Die Schaltung nach Fig.,. 3;. vergleicht praktisch das Ausgangssignal der Dehnungsmesserbrücke, das die tatsächliche Auslenkung des Spiegels repräsentiert, mit der die erforderliche Auslenkung des Spiegels repräsentierenden Eingangsspannung des Verstärkers. 17, und sie stellt die an die Spule 5 angelegte Spannung .automatisch so ein, daß auftretende Ablenkungsfehler korrigiert werden. --...The circuit according to Fig.,. 3 ;. practically compares that Output signal of the extensometer bridge, which represents the actual deflection of the mirror with which the required deflection of the mirror representing Input voltage of the amplifier. 17, and it represents the Voltage applied to coil 5 .automatically so that occurring distraction errors are corrected. --...

Pat ent ansprüehei Patent claims bb

0 98 8 5/0 9 9,00 98 8 5/0 9 9.0

Claims

23 5623 56

PATEKOI CLAIMS

1 / Optical deflection device with a stationary part, a movable part and a component having an optically reflective surface that is connected to the movable part is coupled so that it is dependent on a displacement of the movable part relative to the stationary part Rotational movements with respect to the stationary part about a right angle to the reflecting surface Executes axis, characterized in that the one part (4, 6) carries an electrical coil (3), and that the two parts are arranged relative to one another so that when the coil is excited by an electric current the magnetic field thus generated interacts with the other part (1, 2) in such a way that the movable part (4- »6) opposite the stationary part (1, 2) along the winding axis the coil is displaced by an amount which is a measure of the strength of the flowing through the coil Stroms is.

2. Apparatus according to claim 1, characterized in that the the optically reflective surface having component (9) by a first leaf spring (8) and a second leaf spring (7) with the stationary part (1,2) or the movable part (4 ·, 6) is connected so that each Displacement of the movable part relative to the stationary part along the winding axis of the coil (3) causes the leaf springs are bent to an extent depending on the extent of the displacement "

3. Apparatus according to claim 1 or 2, characterized in that one of the leaf springs (8) carries a strain gauge (11 or 12), which forms part of a control circuit (19 to 23) to provide an electrical

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7th

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Sches measure to form the displacement of the movable part, and that the control circuit to an excitation circuit (13 to 18) for the coil (3) is connected ^ to enable that the electrical measure of displacement is used as a negative feedback signal to determine the supply of the to regulate electrical current. ;

4. Apparatus according to claim 3 »characterized in that the one leaf spring (8) has a first Strain gauge (12) and, a second strain gauge (11) carries that the resistance of a strain gauge with an increasing displacement of the movable part (4, 6) in increases in a direction along the winding axis of the bobbin (3), that the resistance of the other extensometer with an increasing 'displacement of the movable part in the decreases in the same direction that the two strain gauges in adjacent branches of a bridge circuit (11, 12, 19 $ 20), one of the size and direction of the shift dependent measurement diagonal voltage supplies, and that the bridge ns cjialtung is connected so that the measurement diagonal voltage used as the negative feedback signal '«

.5. Device according to one of Claims 1 to 4, characterized in that for the stationary part (1, 2) includes a magnet assembly (2) which delimits an annular gap in which the coil (3) is arranged coaxially with it and that the magnetic balance group generates magnetic lines of force extending radially through the annular gap.

The patent attorney:

209 aas / αa