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DE2220487A1 - PIEZOELECTRIC COMPOUND TRANSMITTER - Google Patents

PIEZOELECTRIC COMPOUND TRANSMITTER

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Publication number
DE2220487A1
DE2220487A1 DE19722220487 DE2220487A DE2220487A1 DE 2220487 A1 DE2220487 A1 DE 2220487A1 DE 19722220487 DE19722220487 DE 19722220487 DE 2220487 A DE2220487 A DE 2220487A DE 2220487 A1 DE2220487 A1 DE 2220487A1
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DE
Germany
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composite
oscillator
pig
individual
holders
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DE19722220487
Other languages
German (de)
Inventor
Akira Nadaguchi
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toyo Communication Equipment Co Ltd
Original Assignee
Toyo Communication Equipment Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP2742671A external-priority patent/JPS5145430B1/ja
Priority claimed from JP4359271A external-priority patent/JPS5149385B1/ja
Priority claimed from JP5983271A external-priority patent/JPS5219419B2/ja
Priority claimed from JP6640271A external-priority patent/JPS4831852A/ja
Application filed by Toyo Communication Equipment Co Ltd filed Critical Toyo Communication Equipment Co Ltd
Publication of DE2220487A1 publication Critical patent/DE2220487A1/en
Pending legal-status Critical Current

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    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
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    • H03H9/54Filters comprising resonators of piezoelectric or electrostrictive material
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    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
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    • H03H9/542Filters comprising resonators of piezoelectric or electrostrictive material including passive elements

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  • Acoustics & Sound (AREA)
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  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Description

Dr.-Ihg. Wilhelm Reiche!Dr.-Ihg. Wilhelm Reiche! DipL-ing. Wolfgnng Beicliel .DipL-ing. Wolfgnng example.

6 Frankfurt a. M. I6 Frankfurt a. M. I.

Parksiraße 13 .Park street 13.

70397039

TOYO TSUSHINKI KABUSHIKI KAISHA, Kanagawa-Ken, JapanTOYO TSUSHINKI KABUSHIKI KAISHA, Kanagawa-Ken, Japan

Piezoelektrischer VerbundschwingerPiezoelectric composite transducer

3533SS=SSSSSSSSSSaSaSaS=SS=SS=SSS=3533SS = SSSSSSSSSSaSaSaS = SS = SS = SSS =

Die Erfindung bezieht sich auf einen piezoelektrischen Verbundschwinger, der aus wenigstens zwei piezoelektrischen Einzelschwingern, sogenannten Dickenschwingern besteht, bei denen der piezoelektrische Effekt mit Scheer-, Verdrehungä- oder Dehnungskräften gekoppelt ist. Ferner gibt die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung dieses piezoelektrischen Verbundschwingers an.The invention relates to a composite piezoelectric oscillator, which consists of at least two piezoelectric single oscillators, so-called thickness oscillators, in which the piezoelectric effect is coupled with shear, twisting or stretching forces. The invention also provides a method for Manufacture of this composite piezoelectric transducer.

Neuere Entwicklungen haben einen Bedarf für piezoelektrische ' Schwinger mit sehr hohen Schwingfrequenzen entstehen lassen. Zu diesem Zweck ist ein besonderer piezoelektrischer Schwinger von dünner Dickenabmessung und geringer Stärke bzw. Festigkeit erforderlich. Aus diesem Grunde tritt ein Verwerfen des piezoelektrischen Schwingers ein infolge Verwerfens der Halterung.beim Zusammenbau oder beim Gebrauch des piezoelektrischen Schwingers und infolge Verformens der Halteglieder durch äußere Beanspruchung, wodurch die Schwingfrequenz des piezoelektrischen Schwingers Veränderungen erfährt. Außerdem wird der Zusammenbau des piezoelektrischen Verbundschwingers verhältnismäßig schwierig und aufwendig. Recent developments have created a need for piezoelectric transducers with very high oscillation frequencies. For this purpose, a special piezoelectric vibrator of thin thickness and low strength or strength is required. For this reason, warping of the piezoelectric vibrator occurs as a result of warping of the holder during assembly or use of the piezoelectric vibrator and as a result of deformation of the holding members due to external stress, whereby the oscillation frequency of the piezoelectric vibrator experiences changes. In addition, the assembly of the piezoelectric composite oscillator is relatively difficult and expensive.

309808/1135309808/1135

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen piezoelektrischen Verbundschwinger zu schaffen, der die obigen Nachteile nicht besitzt, sondern leicht und billig herzustellen sowie fes* und stabil in seiner Ausbildung ist und über eine lange Laufzeit seinen Schwingungszustand einwandfrei beibehält.The invention is based on the object of creating a composite piezoelectric oscillator which has the above disadvantages does not own, but can be produced easily and cheaply and is fes * and is stable in its design and perfectly maintains its vibrational state over a long period of time.

Die Erfindung bezweckt ferner die Schaffung von Verfahren, die den Zusammenbau des piezoelektrischen Verbundschwingers auf sehr einfache, billige und wirksame Weise ermöglichen und einen Verbundschwinger mit den erforderlichen ausgezeichneten Schwingeigenschaften ergeben, sowie von Methoden zur Abstimmung und Messung der verschiedenen Eigenschaften des Verbundschwingers.Another object of the invention is to provide methods which can greatly facilitate the assembly of the composite piezoelectric vibrator simple, cheap and effective way and enable a composite transducer with the required excellent oscillation properties as well as methods for tuning and measuring the various properties of the composite transducer.

Gegenstand der Erfindung ist ein piezoelektrischer Verbundschwinger, der sich in erster Linie dadurch auszeichnet, daß er wenigstens zwei piezoelektrische Einzelschwinger, von denen jeder auf seinen Flächen mit den erforderlichen Elektroden versehen ist, einen Sockel und wenigstens zwei durch den Sockel voneinander isoliert getragene Halter aufweist, wobei die Halter als Zuleitungen zu den Schwingern bzw. Elektroden dienen und die Schwinger nur mit Umfangsstellen an den Enden der Halter, zueinander parallel und außer an den Umfangsstellen voneinander getrennt, elektrisch leitend befestigt sind, so daß sich ein gewünschtes Schaltbild ergibt.The invention relates to a piezoelectric composite oscillator, which is primarily characterized by the fact that it has at least two piezoelectric single oscillators, of which each is provided with the necessary electrodes on its surfaces, a base and at least two through the base having holders carried isolated from one another, the holders serving as feed lines to the transducers or electrodes and the transducers only with circumferential points at the ends of the holder, parallel to one another and apart from one another at the circumferential points are attached separately, electrically conductive, so that a desired circuit diagram results.

Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung nebst Ansprüchen und den anhängenden Zeichnungen, in denen die Erfindung an Ausführungsbeispielen erläutert und veranschaulicht ist. In den Zeichnungen zeigen:Further features and advantages of the invention emerge from the following description together with the claims and the appended Drawings in which the invention is explained and illustrated using exemplary embodiments. In the drawings demonstrate:

Pig. 1a eine teilweise geschnittene Vorderansicht einer Ausführungsform der Erfindung, die ein Filterschaltbild verwirklicht;Pig. 1a is a partially sectioned front view of an embodiment of the invention which embodies a filter circuit diagram;

309808/1135309808/1135

Pig. 1b einen Schnitt nach der Linie Ib-Ib in Pig. 1a; Pig. 1c eine Seitenansicht der Ausführungsform in Pig. 1a;Pig. 1b shows a section along the line Ib-Ib in Pig. 1a; Pig. 1c shows a side view of the embodiment in Pig. 1a;

Pig. 2a ■ 'Pig. 2a ■ '

und 2b Ansichten von zwei Einzelschwingern, wie sie in Pig. vereinigt sind;and FIG. 2b views of two single oscillators as shown in Pig. are united;

Pig. 2c in Ansicht einen gebräuchlichen piezoelektrischen Einzelschwinger zur Bildung eines Verbundschwingers;Pig. 2c shows a view of a common piezoelectric single oscillator for forming a composite oscillator;

Pig. 3 ein äquivalentes Schaltbild zu der Ausführung nach Pig. 1; . .Pig. 3 shows an equivalent circuit diagram to the embodiment according to Pig. 1; . .

Pig. 4 das Schaltbild eines Filters mit vier piezoelektrischen Verbundschwingern entsprechend der Ausführung nach Pig. 1;Pig. 4 shows the circuit diagram of a filter with four piezoelectric composite oscillators according to the embodiment Pig. 1;

Pig. 5a, 5b, 6a, 6b, 8a, 8b Vorder- bzw. Seitenansichten der Halter von drei anderen Ausführungsformen der Erfindung;Pig. 5a, 5b, 6a, 6b, 8a, 8b front and side views of the Holders of three other embodiments of the invention;

Pig. 6c eine schaubildliche Ansicht des in Pig. 6a und 6b gezeigten Halters;Pig. 6c is a perspective view of the in Pig. 6a and 6b shown holder;

Pig. 7 in Seitenansicht eine abgewandelte Ausführungsform des Halters nach Pig. 6;Pig. 7 shows a modified embodiment in side view of the keeper after Pig. 6;

Pig, 9a in Ansicht einen Einzelschwinger zur Verwendung im Rahmen der Erfindung; "Pig, 9a a view of a single transducer for use in Scope of the invention; "

Pig. 9b in Vorderansicht einen Verbundschwinger, der aus drei Einzelschwingern nach Fig. 9a besteht;Pig. 9b shows a front view of a composite oscillator which consists of three individual oscillators according to FIG. 9a;

Pig. 9c ein äquivalentes Schaltbild des Verbundschwingers der Pig. 9b;Pig. 9c is an equivalent circuit diagram of the Pig composite oscillator. 9b;

309808/1136309808/1136

Pig." 10a, 10b, 10c, 10d Ansichten von vier Einzelschwingern zur Verwendung im Rahmen der Erfindung;Pig. "10a, 10b, 10c, 10d Views of four individual oscillators for use in the context of the invention;

Pig. 1Oe in Vorderansicht einen Verbundschwinger, der aus den in Pig. 10a - d gezeigten Einzelschwingern besteht;Pig. 1Oe a front view of a composite transducer, which consists of the in Pig. 10a-d consists of single oscillators shown;

Pig. 1Of ein äquivalentes Schaltbild des Verbundschwingers der Pig. 1Oe;Pig. 1Of an equivalent circuit diagram of the Pig composite oscillator. 1Oe;

Pig. 11a und 11b Ansichten von Einzelschwingern mit geteilter Elektrode;Pig. 11a and 11b views of single oscillators with a split Electrode;

Pig, 11c in Vorderansicht einen Verbundsohwinger aus den Einzelschwingern nach Pig. 11a ~ bjPig, 11c a front view of a composite swinger from the Individual swinging according to Pig. 11a ~ bj

Pig. 1Id ein äquivalentes Schaltbild dea VerbundSchwingers Pig. 11c;Pig. 1Id an equivalent circuit diagram of the composite transducer Pig. 11c;

Pig. 12a, 12b, 12c, 12d den Figuren 11a - d entsprechende Stellungen eines abgewandelten Verbundschwingers derPig. 12a, 12b, 12c, 12d corresponding to FIGS. 11a-d Positions of a modified composite oscillator of the

Erfindung; .* -Invention; . * -

Pig. 13a in Ansicht eine andere Ausführungsform der Srfindungi' ;\ Pig. 13b eine Vorderansicht der Ausführungaform nac& Pig. 1Jaf ^/Pig. 13a a view of another embodiment of the invention ; \ Pig. Figure 13b is a front view of the nac & Pig embodiment. 1Yes ^ /

Pig. 13c und 13d in Vorder- bzw. Seitenansicht einen Halter für die Ausführung nach Pig. 13a - b{Pig. 13c and 13d show a holder in front and side views, respectively for execution according to Pig. 13a - b {

Pig. Ha und Hb in Aufsicht bzw. Vorderansicht einen andörefa Halter nach der Erfindung;Pig. Ha and Hb in plan and front view an andörefa Holder according to the invention;

Pig. Hc eine Vorderansicht des Halters nach Pig. Ha - b, in dem zwei Einze!schwinger gehalten und befestigtPig. Hc a front view of the holder according to Pig. Ha-b, in which two single oscillators are held and fastened

Pig« 15 in Vorderansicht eine abgewandelte Auaführungsfora des Halters und der Befestigung nach Pig. H;Pig «15 in a front view a modified form of execution of the holder and the attachment according to Pig. H;

P.ig. I6b in Vorderansicht eine andere Ausführung der Erfindung! 'P.ig. I6b in front view another embodiment of the invention! '

309808Π135309808-135

Pig. 16a eine Seitenansicht der Ausführung nach Fig, 16b;Pig. 16a shows a side view of the embodiment according to FIG. 16b;

Pig. 16c ein äquivalentes Schaltbild der Ausführung der Pig. I6a - b;Pig. 16c is an equivalent circuit diagram of the implementation of the Pig. I6a-b;

Pig. 18a und 18b in Vorder- bzw. Seitenansicht einen piezo-. elektrischen Verbundschwinger der Erfindung, dessen Einzelsehwißger nach einem neuen Verfahren vereinigt und abgestimmt werden;Pig. 18a and 18b in front and side views, respectively, a piezo. composite electric oscillator of the invention, whose individual whistle-blowers are united and coordinated according to a new procedure;

Pig. 17a, 17b, 17c, 17d Ansichten der vier Einzelschwinger, die den Verbundsehwirger nach Pig. 18 bilden;Pig. 17a, 17b, 17c, 17d views of the four individual oscillators, which the composite vision wirger according to Pig. 18 form;

Pig. 19a und 19b in Vorder- bzw. Seitenansicht den Einbau eines ersten Einzelschwingers für einen Verbundschwinger mit zwei Einzelschwingern; ■ 'Pig. 19a and 19b show the installation of a first single oscillator for a composite oscillator in front and side views, respectively with two single oscillators; ■ '

Pig. 19c und 19d in Vorder- bzw. Seitenansicht den Anbau eines zweiten Einzelschwingera an die Anordnung nach Pig. 19a - b; ;Pig. 19c and 19d show the cultivation of a front and side view, respectively second single oscillator to the Pig arrangement. 19a-b; ;

Pig; 20a, 20b, 20c> 20d Ansichten von vier Einzelschwingern;Pig; 20a, 20b, 20c> 20d views of four individual oscillators;

Pig. 21a und 21b in Vorder- bzw. Seitenansicht einen Verbund-. schwinger aus den Einzelschwingern der Pig. 20;Pig. 21a and 21b in front and side views, respectively, a composite. Schwinger from the pig's individual swingers. 20;

Pig. 22a und 22b in Aufsicht bzw. Vorderansicht eine erste Abwandlung der Ausführung nach Pig. 21;Pig. 22a and 22b a first in plan and front view, respectively Modification of the execution according to Pig. 21;

Pig. 23a und 23b in Vorder- bzw. Seitenansicht eine zweite Abwandlung der Ausführung nach Pig. 21;Pig. 23a and 23b in front and side views, respectively, of a second Modification of the execution according to Pig. 21;

Pig. 24 ein äquivalentes Schaltbild der Ausführung der Pig. 21;Pig. 24 is an equivalent circuit diagram of the embodiment of FIG Pig. 21;

309808/1135309808/1135

Pig. 25a und 25b in Aufsicht bzw. Vorderansicht eine Abwandlung des Verbundschwingers nach Pig. 22;Pig. 25a and 25b show a modification in plan and front view, respectively of the composite oscillator according to Pig. 22;

Pig. 26 ein äquivalentes Schaltbild eines Kristallfilters, bei dem das Schaltbild nach Pig. 24 verwendet ist;Pig. 26 is an equivalent circuit diagram of a crystal filter in which the circuit diagram according to Pig. 24 is used;

Pig. 27a, 27b, 27c, 27d Ansichten von vier Einzelschwingern für einen Verbundschwinger nach der Erfindung;Pig. 27a, 27b, 27c, 27d are views of four individual oscillators for a composite oscillator according to the invention;

Pig. 28 ein äquivalentes Schaltbild für einen Verbundschwinger aus den Einzelschwingern der Pig. 27;Pig. 28 an equivalent circuit diagram for a composite transducer from the individual transducers of Pig. 27;

Pig. 29a, 29b, 29c, 29d Ansichten von vier anderen Einzel-Pig. 29a, 29b, 29c, 29d Views of four other individual

schwingern für die Vereinigung zu einem Verbundschwinger nach der Erfindung; : vibrate for the union to form a composite vibrator according to the invention; :

Pig. 30a und 30b Ansichten von zwei weiteren Einzelschwingern für den Zusammenbau zu einem verbesserten Verbundschwinger nach der Erfindung;Pig. 30a and 30b are views of two further individual oscillators for assembly into an improved composite transducer according to the invention;

Pig. 32a und 32b in Aufsicht bzw. Vorderansicht einen Verbundschwinger aus den Einzelschwingern der Pig. 30a - b;Pig. 32a and 32b show a composite oscillator in a plan view and a front view, respectively from the pig's individual swingers. 30a-b;

Pig. 31 ein äquivalentes Schaltbild'des Verbundschwingers nach Pig. 32;Pig. 31 an equivalent circuit diagram of the composite oscillator after Pig. 32;

Pig. 33 in Vorderansicht einen weiteren verbesserten Verbundschwinger nach der Erfindung;Pig. 33 shows a further improved composite oscillator in a front view according to the invention;

Pig. 34a, 34b, 34c, 34d Ansichten von vier EinzelschwingernPig. 34a, 34b, 34c, 34d Views of four individual oscillators

für den Zusammenbau zu einem Verbundschwinger nach der Erfindung;for assembly to form a composite oscillator according to the invention;

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35a und 35b in Vorder- bzw. Seitenansicht einen Verbundschwinger aus den Einzelschwingern der Pig. 34, in denen gleiche oder gleichwertige Teile mit denselben Zahlen und Buchstaben bezeichnet sind.35a and 35b in front and side views, respectively, of a composite transducer from the individual transducers from Pig. 34, in which identical or equivalent parts are denoted by the same numbers and letters.

Gemäß Pig. 1 sind AI-geschnittene Kristallschwinger 1 und 4 an ihren Vorder- und Rückseiten mit Silberelektroden 2, 3 bzw. 5"» 6 versehen, die durch Dampf sprühen aufgebracht sind. Jeder dieser Schwinger wird nachstehend als piezoelektrischer Einzelschwinger bezeichnet, MO._.BinajelÄC_hwi.nger_J.;:.und._..4 sind, wie aus Pig. 1 ersichtlich, zu einem piezoelektrischen Verbundschwinger mit dem in Pig. 3 dargestellten äquivalenten Schaltbild vereinigt. Das Schaltbild der Pig. 3 kann als Schaltungselement beispielsweise eines Kristallfilters dienen (Mittelfrequenz 10,7 MHz und Bandbreite -— - 7 kHz), wie er inAccording to Pig. 1, AI-cut crystal oscillators 1 and 4 are provided on their front and rear sides with silver electrodes 2, 3 and 5 "» 6, which are applied by vapor spraying. Each of these oscillators is hereinafter referred to as a piezoelectric single oscillator, MO ._. BinajelÄC_hwi As can be seen from Pig. 1, .nger_J .; :. and ._ .. 4 are combined to form a composite piezoelectric transducer with the equivalent circuit diagram shown in Pig. 3. The circuit diagram of Pig. 3 can serve as a circuit element, for example a crystal filter ( Center frequency 10.7 MHz and bandwidth -— - 7 kHz), as described in

Pig. 4 gezeigt ist, in der jedes der punktiert eingerahmten Schaltelemente dem Schaltbild der Pig. 3 entspricht.Pig. 4 is shown, in which each of the circuit elements framed by dotted lines corresponds to the circuit diagram of the Pig. 3 corresponds.

In Pig. 1 besteht ein Sockel 13 aus einem Deckel 15 und einer Glasdichtung 14, und Leitungsdrähte 10, 11, 12 sind getrennt durch den Sockel 13 hindurchgeführt und gehalten. Die leitungsdrähte 10, 11, 12 tragen elastische Haltebleche 7 bzw. 8 bzw. aus rostfreiem Stahl (nachstehend als Halter bezeichnet), die mit Schlitzen bzw. Ausschnitten 7s, 8s, 9a von der Breite W (Pig. 1c) versehen sind, die etwas größer als die Summe der Dicken der Einzelschwinger 1 und 4 ist.In Pig. 1, a base 13 consists of a lid 15 and a glass gasket 14, and lead wires 10, 11, 12 are separated passed through the base 13 and held. The lead wires 10, 11, 12 carry elastic retaining plates 7 or 8 or made of stainless steel (hereinafter referred to as holder) provided with slots or cutouts 7s, 8s, 9a of width W (Pig. 1c) are provided, which is slightly greater than the sum of the thicknesses of the individual oscillators 1 and 4.

Um die Einzelschwinger 1 und 4 zu halten, werden sie an Umfangeteilen bzw, -stellen in den Schlitzen 7s, 8s, 9s aufgenommen, derart, daß sie parallel zueinander ausgerichtet sind und dazwischen ein Spalt G besteht, der 0,1 mm betragen kann und der geeignet ist, keine Berührung in ihren zentralen Bereichen zuzulassen (die Dickenschwingung ist im zentralen Bereich desIn order to keep the individual oscillators 1 and 4, they are attached to the circumference or places in the slots 7s, 8s, 9s added, so that they are aligned parallel to each other and in between there is a gap G which can be 0.1 mm and which is suitable not to allow contact in their central areas (The thickness oscillation is in the central area of the

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Einzelschwingers konzentriert), abgesehen von ihren Umfangsteilen, und dann werden aie durch Aufbringen von elektrisch leitenden Klebstoff- bzw. Bindemittelmassen 7d, 8d, 9d an diesen Umfangsstellen in den Haltern befestigt.Single oscillator concentrated), apart from their peripheral parts, and then aie are made by applying electrically conductive adhesive or binding agent compositions 7d, 8d, 9d to these Circumferential points fastened in the holders.

Bei der vorbeschriebenen Vereinigung der Einzelschwinger 1 und 4 ist vorher zu beachten, die Formgebung und die Ausführungsstellen der vorderen und hinteren Elektroden wie in Fig. 1 und Fig. 2a, 2b gezeigt festzulegen, damit das Schaltbild nach Fig. 3 erhalten wird.With the above-described union of the individual oscillators 1 and 4 is to be noted beforehand, the shape and the execution locations of the front and rear electrodes as in FIGS. 1 and 2a, 2b shown so that the circuit diagram of Fig. 3 is obtained.

Bisher wurde nur ein piezoelektrischer Einzelschwinger 30, wie er in Fig. 2c wiedergegeben ist, der an Vorder- und Rückseite mit Elektroden 30a, 30b versehen ist, in zwei Schlitzen, wie den Schlitzen 7s und 9s in Fig. 1 gehalten und durch elektrisch leitenden Klebstoff befestigt, um einen Kristallschwinger herzustellen, ohne den Halter 8 und den Leitungsdraht 11 gemäß Fig. 1a zu berücksichtigen. Statt dessen war es üblich, eine Mehrzahl von Einzelschwingern, wie in Verbindung mit Fig. 2c vorstehend beschrieben, schaltungsmäßig zu verbinden.So far, only one piezoelectric single oscillator 30, as shown in FIG. 2c, has been used on the front and rear provided with electrodes 30a, 30b, held in two slots, such as slots 7s and 9s in Fig. 1, and by electrical conductive adhesive to make a crystal vibrator without the holder 8 and the lead wire 11 shown in FIG Fig. 1a to be taken into account. Instead, it was customary to use a plurality of individual oscillators, as in connection with FIG. 2c described above, to be connected in terms of circuitry.

Wenn im Gegensatz hierzu der Verbundschwinger der Erfindung nach Fig. 1, Fig. 2a und 2b und Fig. 3 verwendet wird, werden die Arbeitsschritte des Aufbringens und Aushärtens des Bindemittels für eine Mehrzahl von Einzelschwingern gemeinsam durchgeführt und wird der Arbeitsaufwand für die Feinabstimmung der Schwingfrequenz durch Auftragen eines Metalles wie Silber mittels Vakuumverdampfung wesentlich erniedrigt. Im allgemeinen ist bei der Feinabstimmung der Schwingfrequenz die für die Ausbildun eines Vakuums in einem Vakuumbehälter erforderliche Zeit am längsten, und die Zeit, die das Ein- und Ausbringen der Einzelschvringer in den und aus dem Vakuumgehäuse sowie das Aufdampfen erfordert, ist kürzer ale die vorerwähnte Zeit. In contrast, if the composite transducer of the invention according to Fig. 1, Fig. 2a and 2b and Fig. 3 is used, the work steps of applying and curing the binding agent for a plurality of individual transducers are carried out together and the work for the fine tuning of the oscillation frequency significantly reduced by applying a metal such as silver by means of vacuum evaporation. In general, in fine-tuning the oscillation frequency, the time required for a vacuum to be formed in a vacuum container is longest, and the time required for taking the single vibrators into and out of the vacuum housing and for vapor deposition is shorter than the aforementioned Time.

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im Pall der Erfindung werden die Einzelschwinger in paralleler Ausrichtung unter Beibehaltung eines Spalts übereinander gesetzt, der sie zwischen sich frei schwingen läßt, so daß das Aufdampfen für beide Einzelschwinger gleichzeitig von beiden Seiten, wie durch die Richtungspfeile in Fig. 1b angedeutet, erfolgen kann, während man die Schwinger einzeln zur Dickenschwingung anregt und ihre Frequenzen überwacht« Bei der Äusführungsform nach Fig. 1 reduziert sich die für alle Herstellungs schritte des Verbundschwingers erforderliche Zeit auf die Hälfte.In the Pall of the invention, the individual oscillators are in parallel Alignment set on top of each other while maintaining a gap that allows them to swing freely between them, so that the Vapor deposition for both individual oscillators simultaneously from both sides, as indicated by the directional arrows in Fig. 1b, can take place while the oscillators are individually excited to vibrate thickly and their frequencies are monitored. ”In the case of the embodiment According to Fig. 1, the time required for all manufacturing steps of the composite oscillator is reduced by half.

Ohne dargestellt zu sein, kann der Sockel 13 mi"t einer Metallkappe versehen sein, die den Schwinger abdeckt und luftdicht angelötet bzw. angeschweißt ist. In diesem Fall wird die Metallkappe mit Stickstoff gefüllt und so ein Enderzeugnis erhalten. Bei dieser Ausführungsform ist der Zeitaufwand für das Anbringen der Metallkappe und das Füllen der Kappe mit Stickstoff halb so groß wie bei dem gebräuchlichen Verfahren.Without being shown, the socket 13 m i 't a metal cap provided may be covering the vibrator and is soldered hermetically or welded on. In this case, the metal cap is filled with nitrogen, thereby obtaining a final product. In this embodiment, the Time required for attaching the metal cap and filling the cap with nitrogen half as much as with the usual method.

Selbst wenn für den Verbundschwinger der Erfindung Einzelschwinger mit verschiedenen linearen Wärmeausdehnungskoeffizienten längs der X-Achse und der Z-Achse (Fig. 2a und.2b), wie im Fall eines Kristallschwingers, verwendet und an drei Stellen gehalten werden, können Wechselwirkungen zwischen den Einzelschwingern infolge Temperaturänder.ung vernachlässigbar gemacht werden, indem die Einzelschwinger so vereinigt werden, daß Achsen gleicher Wärmeausdehnungskoeffizienten miteinander fluchten. Alsdann besteht kein Problem in bezug auf Temperaturschwingung. Even if single oscillators for the composite oscillator of the invention with different linear thermal expansion coefficients along the X-axis and the Z-axis (Fig. 2a and 2b), as in the case of a crystal vibrator, used and on three Interactions between the individual oscillators as a result of temperature changes can be negligible can be made by uniting the individual oscillators in such a way that that axes of the same thermal expansion coefficient are aligned with one another. Then there is no problem in terms of temperature oscillation.

Der Schlitz in dem Halter für die Aufnahme der Einzelschwinger kann abgewandelt werden, indem gemäß Fig. 5 jeder Halter 16 wenigatens zwei Schlitze 18 und 18a erhält, von denen jeder nur einen Einzelschwinger aufnimmt.The slot in the holder for receiving the individual oscillators can be modified by adding each holder 16 littleatens receives two slots 18 and 18a, each of which only receives a single oscillator.

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Ferner kann gemäß Fig. 8a und 8b der Halter 24 an seinem oberen Ende als Spiralspule bzw. Wendel 25 ausgebildet sein und an seinem unteren Ende 26 am Leitungsdraht 27 angelötet sein, wobei die Wendel 25 den Einzelschwinger 1 zwischen zwei benachbarten Windungen aufnimmt und festhält. Außerdem ist in Fig. 8 der Einzelschwinger 4 mit einer Umfangsstelle am Rand des Halters 24 bzw. an der Stirnseite der Wendel 25 angebracht und durch Bindemittel verbunden.Furthermore, according to FIGS. 8a and 8b, the holder 24 can be designed as a spiral coil or helix 25 at its upper end and on its lower end 26 to be soldered to the lead wire 27, wherein the coil 25 the single transducer 1 between two adjacent Picks up and holds turns. In addition, the individual oscillator 4 is shown in FIG. 8 with a circumferential point on the edge of the holder 24 or attached to the end face of the helix 25 and connected by binding agents.

In allen Fällen ist es wichtig, den Einzelschwinger nur an seinem Umfang zu halten. Dies kann gemäß Fig. 6 auch so erfolgen, daß die Einzelschwinger 1 und 4 mittels einer elektrisch leitenden Bindemittelmasse 21 an Seitenkanten Pa und Qa des Halters 19 (Fig. 6b) befestigt werden. Hierbei kann gemäß Fig. 6c an der Seitenkante Pa eine Stufe bzw. ein Absatz 20 vorgesehen sein, um die Befestigung und den elektrischen Kontakt des Einzelschwingers zu gewährleisten. Ferner kann der aus einem Federblech bestehende Halter 19 durch einen Federdraht ersetzt werden, wobei eine Spezialbefestigung an der Seitenkante vorgenommen wird, ohne den Absatz 20 vorzusehen. In diesem Fall kann der Federdraht mit dem Leitungsdraht vereinigt sein.In all cases it is important to only hold the single oscillator by its circumference. According to FIG. 6, this can also be done in such a way that that the individual oscillators 1 and 4 by means of an electrically conductive binder mass 21 at the side edges Pa and Qa des Holder 19 (Fig. 6b) are attached. According to FIG. 6c, a step or shoulder 20 can be provided on the side edge Pa to ensure the attachment and electrical contact of the single oscillator. Furthermore, the can from a spring plate Existing holder 19 can be replaced by a spring wire, with a special attachment being made on the side edge without providing for paragraph 20. In this case, the spring wire can be united with the lead wire.

Fig. 7 betrifft eine Ausführungsform, bei der die Schlitzbefestigung mit Kantenbefestigung kombiniert ist, um die Einzelschwinger 1, 4, 4a an einem Halter 22 anzubringen. In Fig. 7 ist die Lötung durch eine Masse 23 angedeutet.Fig. 7 relates to an embodiment in which the slot mount is combined with edge fastening in order to attach the individual oscillators 1, 4, 4a to a holder 22. In Fig. 7 the soldering is indicated by a mass 23.

Praktische Befestigungen sind in Fig. 9 bis 12 veranschaulicht. Gemäß Fig. 9 sind drei der Einzelschwinger nach Fig. 9a in zwei Haltern nach Fig. 9b gehalten, so daß sich ein Schaltelement nach Fig. 9c ergibt.Practical mountings are illustrated in FIGS. 9-12. According to FIG. 9, three of the individual oscillators according to FIG. 9a are held in two holders according to FIG. 9b, so that a switching element according to FIG. 9c results.

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Gemäß Fig. 10 sind vier Einzel schwinger nach Fig. 1Oä - d in fünf Haltern gemäß Fig. 1Oe gehalten, so daß sich ein Schaltelement nach Fig. 1Of ergibt.According to FIG. 10, four individual oscillators according to FIGS. 10 a - d in held five holders according to FIG. 10e, so that a switching element according to FIG. 10f results.

Gemäß Fig. 11 und 12 sind jeweils zwei Einzelschwinger der Bauart mit geteilter Elektrode nach Fig. 11a - b bzw. 12a - b in vier Haltern bzw. sechs Haltern gehalten, wodurch sich Schaltelemente nach Fig. 11d bzw. 12d ergeben, wobei die Ausführung mit Spaltelektrode sich für Filter, Schwinger und Diskriminatoren eignet. Das Schaltelement nach Fig. 1Id entspricht einem Filter und das Schaltelement nach Fig. 12d entspricht einem Filter-Diskriminator, bei dem Punkt da für die leitende .Verbindung der Elemente geeignet ist und keinen Halter hat.According to FIGS. 11 and 12, there are two individual oscillators Type with split electrode according to FIGS. 11a-b or 12a-b held in four holders or six holders, whereby switching elements according to Fig. 11d and 12d result, the execution with slit electrode is suitable for filters, transducers and discriminators. The switching element according to FIG. 1Id corresponds to a Filter and the switching element according to Fig. 12d corresponds to a filter discriminator, at the point da for the conductive .Verbschluss the element is suitable and does not have a holder.

Die Ausführungsform nach Fig. 1 kann in. der Weise abgewandelt werden, daß die Einzelschwinger so gehalten werden, daß sie senkrecht zur Längsrichtung der Halter sind, wie in Fig. 13a - d dargestellt, in denen die gleichen !Teile wie in Fig. 1 mit denselben Zahlen und Buchataben bezeichnet sind* In Fig. 13 sind die Halter 7, 8, 9 an ihren Enden mit länglichen Querschlitzen 8.. und 82 versehen, deren Breite etwas größer ist als die Dicke der Einzelschwinger, und zwei Einzelschwinger 1 und sind an Umfangsstellen in den Schlitzen der Halter 1, 8, 9 aufgenommen und gehalten, wobei sie an diesen Stellen durch elektrisch leitende Bindemittelmassen 7d, 8d, 9d befestigt sind.The embodiment according to FIG. 1 can be modified in such a way that the individual oscillators are held in such a way that they are perpendicular to the longitudinal direction of the holder, as shown in FIGS. 13a-d, in which the same parts as in FIG are denoted by the same numbers and letters * In Fig. 13, the holders 7, 8, 9 are provided at their ends with elongated transverse slots 8 .. and 82, the width of which is slightly greater than the thickness of the individual oscillators, and two individual oscillators 1 and are received and held at circumferential locations in the slots of the holders 1, 8, 9, wherein they are fastened at these locations by electrically conductive bonding agents 7d, 8d, 9d.

Die Halter 7, 8, 9 können gemäß Fig. 14 und 15 abgewandelt . werden. In Fig. 14. ist der Halter 8 an seinem Ende mit nur einem Schlitz bzw. Einschnitt 8, versehen und die Einzelschwinger 1 und 4 sind an Umfangsstellen durch elektrisch leitende Bindemittelmasse 8d in dem Schlitz 8, so befestigt, daß sie in ihren zentralen Bereichen durch einen Spalt G getrennt sind. Dagegen ist in Fig. 15 der Halter 8 in seinem tragenden Teil bzw. an seinem Ende als Spule oder Wendel wie im Fall der Fig.The holders 7, 8, 9 can be modified according to FIGS. 14 and 15. will. In Fig. 14, the holder 8 is provided at its end with only one slot or incision 8, and the individual oscillators 1 and 4 are fixed at peripheral locations by electrically conductive bonding agent 8d in the slot 8, so that they are in their central areas are separated by a gap G. In contrast, in FIG. 15 the holder 8 is shown in its supporting part or at its end as a coil or helix as in the case of FIG.

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ausgebildet, und die Einzelschwinger 1 und 4 sind zwischen benachbarten Windungen der Wendel gehalten und durch eine Bindemittelmasse 8d befestigt. In diesem Pail kann ein weiterer Einzeischwinger 4a mittels einer leitenden Bindemittelmasse 8d4 außen angesetzt sein.formed, and the individual oscillators 1 and 4 are between adjacent Turns of the helix held and fastened by a binder mass 8d. In this pail there can be another single chair 4a can be attached to the outside by means of a conductive binding agent mass 8d4.

Wenn fünf Halter 7,8,9,28,29 mit je vier Schlitzen entsprechend den Schlitzen des Halters in Fig. 15c, d verwendet werden, können vier Einzelschwinger 1, 4, 4a, 4b wie die in Pig. 10a - 4L gezeigten wirksam zu einem Verbundschwinger vereinigt werden, wie in Fig. 16a und 16b dargestellt, wodurch ein Schaltelement mit dem Schaltbild der Pig. 16c erhalten wird, ferner können die Halter nach Pig. 13c und Ud für die Ausführungsform in Pig. 9 ;.' mit denselben Wirkungen verwendet werden. Auch können die Halter der Ausführungsformen in Pig. 11 und 12 durch die Halter . in Pig. 13c und 13d mit den gleichen Ergebnissen ersetzt werden*If five holders 7,8,9,28,29 with four slots each corresponding to the slots of the holder in Fig. 15c, d are used, can have four single transducers 1, 4, 4a, 4b like those in Pig. 10a - 4L are effectively combined to form a composite oscillator, as shown in FIGS. 16a and 16b, whereby a switching element with the circuit diagram of the Pig. 16c is obtained, furthermore, the Holder according to Pig. 13c and Ud for the embodiment in Pig. 9;. ' can be used with the same effects. The holders of the embodiments in Pig. 11 and 12 by the holder. in Pig. 13c and 13d can be replaced with the same results *

Im Rahmen der Erfindung kann jeder der oben beschriebenen Einzelschwinger in einer anderen als der Kreisform, beispielsweise in rechteckigen oder elliptischen Form mit den gleichen Ergebnissen ausgebildet werden.Within the scope of the invention, each of the individual oscillators described above can be used in a shape other than circular, such as rectangular or elliptical, with the same results be formed.

Die Herstellung des Verbundschwingers wie desjenigen in Fig. 5 wird im einzelnen in Verbindung mit Fig. 18a und 18b beschrieben* in denen jeder der Halter 16a bis 16e, die an Leitungsdrähten 16^1 bis I6d1 angebracht sind, welche in einem Sockel 13 gehalten sind, mit vier Schlitzen 18a bis 18d versehen ist und vier Einsselschwinger 1, 4, 4a, 4b nach Fig. 17 in den Schlitzen gehalten und an dem Halter durch elektrisch leitende Bindemittelmassen 17a bis 17d befestigt sind.The manufacture of the composite oscillator like that in FIG. 5 is described in detail in connection with Figs. 18a and 18b * in which each of the holders 16a to 16e attached to lead wires 16 ^ 1 to I6d1 are attached, which are held in a base 13 are provided with four slots 18a to 18d and four single oscillators 1, 4, 4a, 4b according to FIG. 17 held in the slots and on the holder by means of electrically conductive bonding agents 17a to 17d are attached.

Wenn eine Peinjustierung, der Frequenz durchgeführt werden soll» werden alle Teile in ein Gehäuse gebracht; der Kin*elaohwinger 1 .im% ; i« Soklit· 18* in dtr Stellung gea. fig. I7b uew. gehalten und an dta When a precision adjustment of the frequency is to be carried out »all parts are placed in one housing; the Kin * elaohwinger 1st in % ; i «Soklit · 18 * in dtr position gea. fig. I7b uew. held and dta

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Haltern I6a Ma I6e durch Bindemittel 17a uaw· befeatigtj aladann wird Silberdarapf von einem Verdampfungapunkt P aus durqh ein Fenster W einer Maske VL auf die Rückseite des Einzelschwingers 1\ aufgesprüht. Während dieses Sprührorganga wird der Einzelaehwinger 1 durch elektrische Erregung über seine Elektroden 2 und 5 und Leitungsdrähte I6a1 und, 16q1 in Schwingung versetzt und dabei die Abweichung (Abnahme) der Schwingfrequenz überwacht bzw. geregelt. Holders 16a and 16e by binding agent 17a and the like. Then, silver bowl is sprayed from an evaporation point P through a window W of a mask VL onto the back of the individual oscillator 1 \. During this Sprührorganga the individual vibrator 1 is set in oscillation by electrical excitation via its electrodes 2 and 5 and lead wires I6a1 and 16q1 and the deviation (decrease) in the oscillation frequency is monitored or regulated.

Als nächstes; wird der benachbarte 2ihzelschwinger 4 in den Schlitz 8b eingesetzt und an den Haltern 1.6a bis I6e durch Bindemittel 17b usw. befestigt. Bei dieser Befestigung ist besonders sorgfältig darauf zu achten, daß die orthogonalen Projektionen der Rückseiten der Einzelschwinger 1 und 4 im wesentlichen konzentrisch übereinander gesetzt werden. Nach der Befestigung des Einzelschwingers 4 wird die Peinabstimmung an der Bückseite dieaea Einzelschwingers in der gleichen Weise* wie beim Einzelachwinger t durchgeführt. Ebenao werden die folgenden Einzelschwinger 4a und 4b nacheinander eingesetzt und befestigt und dann der feinabstimmung der Frequenz unterzogen.Next; the neighboring double oscillator 4 is in the Slot 8b inserted and on the holders 1.6a to I6e Binder 17b, etc. attached. This attachment is special care to ensure that the orthogonal projections of the backs of the individual transducers 1 and 4 in the are essentially placed concentrically on top of each other. After the attachment of the single oscillator 4, the painful vote is on the back of the aa single oscillator in the same way * as carried out at the single winger t. Ebenao will be the following Single oscillators 4a and 4b are used one after the other and fastened and then fine-tuned the frequency.

Wie bereits erwähnt, ist Jeäer der Einzelsohwinger sehr dünn und der Spalt zwischen benachbarten Einzelschwingern kanri kleiner als die Dicke jedes Einzelschwingers gewählt werden, ao daß die Breite der Gesamtanordnung aller Einzelschwinger verhältnismäßig gering iat, obwohl in Mg, 18b diese Breite zur Verdeutlichung übertrieben groß dargestellt iat. Infolgedesaen ist es, solange die orthogonalen Projektionen der Rückseiten der Einzelachwinger in konzentriaGher Lage gehalten werden, praktisch nicht nötig, die Lag© des Verbund3chwingers relativ zur Lage der Maake M und dea Punkteu P zu ändern, trotzdem die Feinabstimmung der Frequenz nacheinander an den nacheinander: auf geaetzt'-in Einzelsnhwingarn vorgenommen wird, wobei die Rücfcaeitedea ab4UJtimmenden Uohwingera ulch allmählich ier Maike MAs already mentioned, each of the single oscillators is very thin and the gap between adjacent individual oscillators can be chosen to be smaller than the thickness of each individual oscillator, so that the width of the overall arrangement of all individual oscillators is relatively small, although this width is shown exaggeratedly large for clarity in Mg, 18b iat. As a result, as long as the orthogonal projections of the rear sides of the individual oscillators are kept in a concentric position, it is practically not necessary to change the position of the composite oscillator relative to the position of the Maake M and the point P, although the frequency must be fine-tuned one after the other: on geaetzt'-in single sewing yarn is made, with the back caeitedea from 4UJtimmenden Uohwingera ulch gradually ier Maike M

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nähert. Dieser Umstand ist eine sehr vorteilhafte Bedingung für die Massenproduktion des oben beschriebenen Verbundschwingers.approaching. This fact is a very advantageous condition for mass production of the composite vibrator described above.

So kann zum Beispiel eine gebräuchliche Vorrichtung für die Peinabstimmung der Frequenz durch Auftrag mittels Vakuumverdampfung, die für nur einen Einzelschwinger gedacht ist, so wie sie ist, für die Peinabstimmung der Frequenz eines Verbundschwingers der Erfindung verwendet werden. Kürzlich ist eine Aufdampfvorrichtung mit einem Drehturm bzw. Revolverkopf entwickelt worden, und hier werden die in ihrer Frequenz fein abzustimmenden Einzelschwinger eingesetzt, angehalten, fein abgestimmt und herausgenommen, wodurch die Zeit für die Herstellung eines Vakuums für jeden Schwinger abgekürzt wird, indem eine Vakuumoperation gemeinsam^; für alle Einzelschwinger vorgenommen und dadurch die Feinabstimmung vereinfacht und automatisiert wird. Im Fall der Erfindung kann die oben erwähnte Vorrichtung, die für einen Einzelschwinger geeignet ist, für die Herstellung des Verbundschwingers nach der Erfindung verwendet werden.For example, a common device for torture voting the frequency by application by means of vacuum evaporation, which is intended for only one single oscillator as it is, can be used to fine tune the frequency of a composite transducer of the invention. Recently there is a vapor deposition apparatus with a rotating tower or turret head, and here the individual oscillators, which are finely tuned in terms of their frequency, are used inserted, paused, fine-tuned and taken out, making the time to establish a vacuum for each transducer is shortened by performing a vacuum operation in common ^; carried out for all individual transducers, thereby simplifying and automating the fine-tuning. In the case of the invention the above-mentioned device can be used for a single oscillator is suitable to be used for the production of the composite oscillator according to the invention.

Der gleiche Vorteil wie oben erwähnt, kann bei der Arbeit des Einsetzens jedes Einzelschwingers in den Schlitz bzw. den Einschnitt des Halters sowie des Aufbringens des Bindemittels auf die Stelle, mit der der Einzelschwinger an seinem Halter angebracht werden soll, erzielt werden, doch ist der Vorteil, der mit der Aufdampfvorrichtung erreicht wird, am bemerkenswertesten.The same advantage as mentioned above can be found in the work of inserting each individual vibrator into the slot (s) Incision of the holder and the application of the binding agent to the point with which the single transducer is attached to its holder is intended to be applied, but the benefit obtained with the vapor deposition apparatus is most notable.

Ferner 3ind die Verfahrensschritte nicht mehr alo Wiederholungen eines einfachen Schrittes, wie er für die Herateilung eines Einzelschwingers geeignet ist, ao daß das Verfahren nach der Erfindung leicht ausgeführt werden kann.Furthermore, the process steps are no longer just repetitions a simple step, as it is suitable for the division of a single oscillator, ao that the method according to the Invention can be easily carried out.

Bei ier Herstellung einoj piezoelektrischen VerinmiLjch itjgt im nach 1er Erfindung iat es wesentlich^ die Ein/.t:l j hwint',i>v ;io übereinander zu sotsen, daü lie orthogonalen Pro ; iktio·, η In the production of a piezoelectric configuration, according to the invention, it is essential to use the following elements: lj hwin t ', i>v; io, one above the other, that the orthogonal pro; iktio ·, η

IQl ν. j M IQl ν. j M

BAD ORIGINALBATH ORIGINAL

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ihrer Rückseiten im wesentlichen in konzentrischer Lage gehalten werden. Der Grund hierfür ist folgender.their backs are held in a substantially concentric position. The reason for this is as follows.

Im allgemeinen haben der Kreisdurchme3ser der Rückseite und die Dicke jedes Einzelschwingers eine enge Beziehung zur Induktanz der äquivalenten Schaltung desselben,- wobei diese Beziehung ein wichtiger Punkt in der Herstellung eines Schwingers, insbesondere eines Schwingers für einen elektrischen Filter ist.In general, the circle diameter of the back and the Thickness of each individual oscillator has a close relationship with inductance the equivalent circuit of the same, - this relationship being an important point in the manufacture of a transducer, in particular a vibrator for an electric filter.

Andererseits ist es im Fall der Feinabstimmung der Schwingfrequenz durch Auftrag auf die Rückseite des Schwingers eine unerlässliche Bedingung zur Erzielung eines ausgezeichneten Schwingers, die für die Feinabstimmung der Frequenz geeignete Rückseite genau übereinstimmend mit der provisorisch plattierten Rückseite zu machen oder diese Rückseiten in konzentrisch übereinander liegende und benachbarte Lagen zu bringen. Wenn die Kreismittelpunkte der Rückseiten nicht übereinstimmen, wird die Induktanz des Verbundschwingers merklich vom vorgesehenen Wert abweichen und eine parasitäre Schwingung wird verstärkt, was die Herstellung eines Filters von gewünschten Eigenschaften erschwert. .On the other hand, it is in the case of fine-tuning the oscillation frequency by applying to the back of the transducer, an indispensable condition for achieving an excellent Oscillator, the back suitable for fine-tuning the frequency exactly coincides with the provisionally plated To make back or to bring these backs in concentric superimposed and adjacent layers. When the circle centers of the rear sides do not match, the inductance of the composite oscillator becomes noticeably different from the intended value differ and parasitic oscillation is amplified, making it difficult to manufacture a filter of desired properties. .

Die erfolgreiche Massenherstellung von Verbundschwingern nach der Erfindung ohne Qualitätsverlust wird durch Berücksichtigung der vorerwähnten Zusammenhänge ermöglicht.The successful mass production of composite transducers according to the invention without loss of quality is made possible by consideration the aforementioned connections made possible.

Die Erfindung sieht ferner vor, daß der Sockel und die Leitungsdrähte gemäß Fig. 19a und 19b verkörpert werden, indem der Sockel als Kristallplatte 31 ausgebildet wird und die Leiter 31a bis 31e auf der Platte durch Aufdampfen oder Aufdrucken ang3bracht werden, wobei ein Einzelschwinger 1 mit geteilten Elektroden 1a und 1b an Umfangs3tellen durch elektrisch leitende Bindemittelmassen 32a bis 32e gehalten wird, die an den Leitern angebracht sind, wie deutlich aus Fig. 19b hervorgeht, worauf The invention further provides that the base and the lead wires according to FIGS. 19a and 19b are embodied in that the base is designed as a crystal plate 31 and the conductors 31a to 31e are attached to the plate by vapor deposition or printing, with a single oscillator 1 with divided electrodes 1a and 1b is held at circumferential locations by electrically conductive binder masses 32a to 32e, which are attached to the conductors, as clearly shown in FIG. 19b, whereupon

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die Feinabstimmung der Frequenz des Einzelsohwingers 1 in der bereits beschriebenen Weise vorgenommen wird.the fine-tuning of the frequency of the single ohwinger 1 is carried out in the manner already described.

Als nächstes wird gemäß Fig. 19c und I9d ein anderer Einzelschwinger 4 mit geteilten Elektroden 1a1 und 1b1 an Stellen seines Umfangs durch elektrisch leitende Bindemittelmassen 33a bis 33b befestigt, die an den Bindemittelmassen 32a bis 32e angebracht werden, worauf die Feinabstimmung der Frequenz : des Einzelschwingers 4 durchgeführt wird. Bei dieser Ausführungsform der Erfindung dienen die Bindemittelmassen 32a bis 32e und 33a bis 33e als Spezialhalter. Wie die Ausführung der Fig. 19 erkennen läßt, sind die Halter nicht unbedingt für alle Einzelschwinger gemeinsam, sondern die Halter eines Einzelschwingers können an den Haltern des anderen Einzelschwingere angebracht sein.Next, as shown in FIGS. 19c and 19d, another single oscillator 4 with split electrodes 1a1 and 1b1 is attached at points on its circumference by electrically conductive binding agents 33a to 33b, which are attached to the binding agents 32a to 32e, whereupon the frequency of the single oscillator is fine-tuned 4 is carried out. In this embodiment of the invention, the binding agents 32a to 32e and 33a to 33e serve as special holders. As the embodiment of FIG. 19 shows, the holders are not necessarily common for all individual oscillators, but the holders of one individual oscillator can be attached to the holders of the other individual oscillator.

In diesem Fall ist, wenn der Schwinger aus einem AI-geschnittenen Kristallschwinger gebildet ist, der Sockel ebenfalls aus einer Αϊ-geschnittenen Kristallplatte oder einer Kristallplatte mit einem linearen Ausdehnungskoeffizienten, der gleich dem der Αϊ-geschnittenen Kristallplatte ist, hergestellt und diese Seile sind so übereinander gesetzt, daß sie axial fluchten bei gleichem linearen Ausdehnungskoeffizienten, wodurch eine Vorrichtung erhalten wird, deren unterschiedliche Wärmeausdehnung vernachlässigt werden kann und so Störeinflüsse auf den Schwinger vermieden werden.. Dieses Verfahren ist vor allem anwendbar bei einem Schwinger für eine hohe Frequenz und mit einer dünnen Dickenabmessung.In this case, when the transducer is cut from an AI Crystal oscillator is formed, the base also from a Αϊ-cut crystal plate or a crystal plate with a linear expansion coefficient that is the same that of the Αϊ-cut crystal plate is made and these ropes are placed one on top of the other so that they are axially aligned with the same linear expansion coefficient, whereby a Device is obtained, the different thermal expansion of which can be neglected and so interfering influences on the oscillator be avoided .. This method is mainly applicable to a transducer for a high frequency and with a thin one Thickness dimension.

Ein piezoelektrischer Verbundschwinger nach der Erfindung kann gemäß Fig. 20 und 21 verkörpert werden, indem vier Einzel-3chwinger 1, 4, 4a, 4b naoh Fig. 20 an Umfangstellen duroh fünf Halter aus rostfreien Federteilen 35 gehalten werden und an den Haltern mittels elektrisch leitender BindemittelmassenA piezoelectric composite oscillator according to the invention can be embodied as shown in FIGS. 20 and 21 by four individual 3 oscillators 1, 4, 4a, 4b naoh Fig. 20 at circumferential points duroh five holders made of stainless spring parts 35 are held and on the holders by means of electrically conductive binding agents

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34a1 bis 34e1 befestigt werden.34a1 to 34e1 are attached.

Die elektrisch leitenden Bindemittelmassen 34a bis 34e am Einzelschwinger 1 in Pig. 20a sind im voraus aufgebracht und ausgehärtet. Die anderen Einzelschwinger 4» 4a, 4b werden ebenfalls mit leitenden Bindemittelmassen entsprechend den Bindemittelmassen 34a bis 34e versehen. Beim Vereinigen der Einzelschwinger 1, 4, 4a, 4b werden die Bindemittelmassen 34a bis 34e mit den Haltern 35 durch leitende Bindemittelmassen 34a1 bis 34e1 verbunden. Die Bindemittelmassen 34a bis 34e tragen dazu bei, den Spalt zwischen den benachbarten Einzelschwingern dieser Ausführungsform sowie der später zu beschreibenden Ausführungsform nach Fig. 29 sicherzustellen. . The electrically conductive binder masses 34 a to 34e at individual vibrator 1 in Pig. 20a are applied and cured in advance. The other individual oscillators 4 »4a, 4b are also provided with conductive binding agents corresponding to binding agents 34a to 34e. When the individual oscillators 1, 4, 4a, 4b are combined, the binding agents 34a to 34e are connected to the holders 35 by conductive binding agents 34a1 to 34e1. The binder masses 34a to 34e help to ensure the gap between the adjacent individual oscillators of this embodiment and the embodiment according to FIG. 29 to be described later. .

Die Einzelschwinger 1, 4, 4a, 4b sind mit vorderen und hinteren Elektroden 2, 3 bzw. 5, 6 bzw. 2a, 3a bzw. 5a, 6a versehen, die durch Silberverdampfung aufgebracht sind. Die Halter 35 sind mit den entsprechenden Leitungsdrähten 36 verbunden, die durch einen Sockel 13 hindurchgeführt und an diesem befestigt sind. Wenn die Einzelschwinger 1, 4, 4a, 4b in seitlich übereinander gesetzten Lagen gehalten werden müssen, werden die Halter 35 abgewandelt, wie in Fig. 22a und 22b gezeigt ist.The individual oscillators 1, 4, 4a, 4b are provided with front and rear electrodes 2, 3 and 5, 6 and 2a, 3a and 5a, 6a, respectively are applied by silver evaporation. The holders 35 are connected to the corresponding lead wires 36, which through a base 13 are passed through and attached to this. If the individual oscillators 1, 4, 4a, 4b in side one above the other must be held set positions, the holders 35 are modified, as shown in Fig. 22a and 22b is shown.

Die Halter 35 der Ausführung nach Fig. 21 können ferner gemäß Fig. 23 abgewandelt werden, wo jeder Halter 35 aus rostfreiem Draht besteht und an einem Ende U-förmig ausgebildet ist.The holder 35 of the embodiment according to FIG. 21 can also be modified according to FIG. 23, where each holder 35 is made of stainless steel There is wire and is U-shaped at one end.

Die Ausführungsbeispiele der Fig. 21, 22, 23 können durch das äquivalente Schaltbild nach Fig. 24 dargestellt werden, das zum Aufbau einer Kristallfilterschaltung, (zum Beispiel für eine mittlere Frequenz von 10,7 MHz und eine Bandbreite von ί 7 kHz) dienen kann, in der jeder geatrichelt eingerahmte Bestandteil dem Schaltbild der ?ig. 24 entspricht. The exemplary embodiments of FIGS. 21, 22, 23 can be represented by the equivalent circuit diagram according to FIG. 24, which can be used to set up a crystal filter circuit (for example for an average frequency of 10.7 MHz and a bandwidth of ί 7 kHz) , in which each dashed framed component of the circuit diagram of the ? ig. 24 corresponds.

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Wenn ein piezoelektrischer Verbundschwinger gewünscht wird, dessen Schaltung dem durch die strichpunktierte Linie 6 eingerahmten Schema entspricht, ist es nur nötig, die Elektroden 3 des Einzelschwingers 1 in Fig. 20a auf die Bindemittelmassen 34b und die Elektroden 6a des Einzelschwingers 4a in Pig. 2Od auf die Bindemittelmasaen 34d auszurichten.If a composite piezoelectric transducer is desired, whose circuit corresponds to the scheme framed by the dash-dotted line 6, it is only necessary to connect the electrodes 3 of the single oscillator 1 in FIG. 20a on the binding agent 34b and the electrodes 6a of the single oscillator 4a in Pig. 2Od to align with the binder masses 34d.

Jeder Halter 35 der Ausführungsform nach Pig. 22 kann in einen Spiral- oder Wendelhalter umgewandelt werden. In diesem Fall wird jeder der Einzelschwinger 1, 4, 4a, 4b zwischen benachbarten Windungen der wendeiförmigen Halter angebracht, die mit entsprechenden Leitungsdrähten 36 verbunden sind, welche von einem Sockel 13 getragen werden, wie für das Ausführungsbeispiel in Pig. 25 dargestellt ist.Each holder 35 of the Pig embodiment. 22 can be converted into a spiral or spiral holder. In this case each of the individual oscillators 1, 4, 4a, 4b is attached between adjacent turns of the helical holder, which with corresponding lead wires 36 are connected, which of a Base 13 are carried, as for the embodiment in FIG Pig. 25 is shown.

Wenn vier Einzelschwinger 1, 4, 4a, 4b mit geteilten Elektroden verwendet werden, wie die in Pig. 27 gezeigten, von denen jeder mit getrennten vorderen Elektroden 38a und 38b und mit einer hinteren Elektrode 39 versehen ist, so kann da3 äquivalente Schaltbild nach Pig. 28 erhalten werden.If four single transducers 1, 4, 4a, 4b with split electrodes are used, like those in Pig. 27 shown, each of which is provided with separate front electrodes 38a and 38b and with a rear electrode 39, then da3 can be equivalent Circuit diagram according to Pig. 28 can be obtained.

Der oben angegebene Verbundschwinger kann nach der Erfindung weiter verbessert werden, indem die Einzelschwinger nach Pig. 29 verwendet werden, in der ein Einzelschwinger 1, an dem vordere und hintere Elektroden 2 und 3 angebracht sind, an seinem Umfang mit Gewichtslinien 37a bis 37e versehen ist, die aus einem Epoxy-Bindemittel bestehen und auf der Oberfläche aufgedruckt und auagehärtet sind, während die anderen Einzelschwinger 4, 4a, 4b in der gleichen Weise wie der Schwinger 1 ausgebildet sind. Das Bindemittel der Gewichtslinien 37a bis 37ο kann von elektrisch leitender Beschaffenheit aein oder nicht.The composite transducer specified above can be further improved according to the invention by using the individual transducers according to Pig. 29 are used, in which a single oscillator 1, to which front and rear electrodes 2 and 3 are attached, to his Perimeter is provided with weight lines 37a to 37e, which consist of an epoxy binder and printed on the surface and are fully hardened, while the other individual oscillators 4, 4a, 4b are designed in the same way as the oscillator 1. The binder of weight lines 37a to 37ο can be from electrical conductive nature aein or not.

Die Breite der Gewichtslinien beträgt zum Beispiel 0,2 bi3 0,4 mm, und wenn eine kreisrunde Kristallplatte von etwa 0,16 mm Dicke und 6 - 8 mm Durchmesser für den fiinzQluchwinger verwendet wird,The width of the weight lines is, for example, 0.2 to 0.4 mm, and if a circular crystal plate about 0.16 mm thick and 6 - 8 mm in diameter is used for the fiinzQluchwinger,

309808/1135309808/1135

erhält jede der Gewichtslinien eine Länge von 1 - 1,5 mm und eine Dicke von 10-50 Mikrometer und' wird so aufgedruckt, daS ein Randabschnitt 38 von 0,2 - 0,3 mm Breite am Umfang des Einzelschwingers frei bleibt.each of the weight lines has a length of 1 - 1.5 mm and a thickness of 10-50 micrometers and 'is printed so that an edge section 38 of 0.2-0.3 mm width remains free on the circumference of the individual oscillator.

Wenn ein Einzelschwinger, wie er in Pig. 29 gezeigt ist, über seine Elektroden erregt wird, ist bekanntlich seine Schwingung in einer zentralen Kreiszone der Elektroden am größten und der Bereich in der Nähe dieser zentralen Zone wird zur Schwingzone. Diese Schwingung schwächt sich zum äußeren Hand hin nach einer Exponentialfunktion ab und wird im äußeren Bereich, der einen Durchmesser vom 1,5- bis 3-fachen der zentralen Kreiszone hat, unbeachtlich. Daher werden die Gewichtsliiaien, wenn eis in dem erwähnten Bereich angeordnet sind, der fast keine Schwingung ausführt, keine große Einwirkung auf die Schwingung in der zentralen Zone des Einzelschwingers haben. Die Gewichtslinie. übt die Funktion eines Gewichts aus, das akustische Verluste hervorruft und fast alle Teile der Schwingung? die in 'diesem Umfangs-= bereich des Einzelschwingera übrigbleiben, absorbiert.If a single swinger, like in Pig. 29 is shown over its electrodes is excited, its oscillation is known to be greatest in a central circular zone of the electrodes and the The area near this central zone becomes the vibration zone. This vibration weakens towards the outer hand after one Exponential function decreases and becomes in the outer area, the one Has a diameter of 1.5 to 3 times the central circular zone, irrelevant. Hence, when there is ice in the mentioned area are arranged, which carries out almost no vibration, no great effect on the vibration in the central Have zone of the single oscillator. The weight line. practices the function of a weight that causes acoustic losses and almost all parts of the oscillation? which in 'this extent = area of the single oscillator remain, absorbed.

Beim Zusammenbau der piezoelektrischen Einselachwinger 1, 4, 4a, 4b nach Fig. 29 werden diese ao wie sie sind vereinigt oder gegebenenfalls dabei der in Verbindung mit dem Äusführungsbeispiel der Pig. 18 bereits erwähnten Abstimmung unterworfen. Die Vereinigung der Einzelschwinger kann abweichend davon in der gleichen Weise, wie in Verbindung alt dem Ausführungsbeispiel der Pig. 21, 23, 22 oder 25 beschriebens erreicht werden*When assembling the piezoelectric Einselachwinger 1, 4, 4a, 4b according to FIG. 29, these are combined as they are or, if necessary, in connection with the embodiment of the Pig. 18 already mentioned voting subject. The union of the individual oscillators can deviate from this in the same way as in connection with the old embodiment of the Pig. 21, 23, 22 or 25 described s can be achieved *

Ferner kann bei der Vereinigung öer Einzelschwinger der Fig. gegebenenfalls eine Messung der Schwingfrequenz und der Kristallimpedanz oder eine Auswahlprüfung durchgeführt werden, indem eine Spannung angelegt wird an die Anschlußstellen, mit denen die . Gewichtslinien in Berührung stehen, wenn sie aus elektrisch leitendem Stoff bestehen, oder an die Ausführungsteile derFurthermore, when combining the individual oscillators of Fig. if necessary, a measurement of the oscillation frequency and the crystal impedance or a selection test can be carried out by applying a voltage to the connection points to which the. Weight lines are in contact if they are made of electrically conductive material, or on the execution parts of the

309808/113b 309808/1 13b

Elektroden.Electrodes.

Die vier piezoelektrischen Einzelschwinger 1, 4, 4a, 4b nach Fig. 27 können mit den in Pig. 27 gezeigten Gewichtslinien versehen sein, wodurch ein Schaltbild gemäß Pig. 28 mit den In Verbindung mit Pig. 29 beschriebenen zusätzlichen Vorteilen erhalten werden kann.The four piezoelectric single oscillators 1, 4, 4a, 4b according to Fig. 27 can be compared with the methods described in Pig. 27 may be provided, whereby a circuit diagram according to Pig. 28 with the In Relation with Pig. 29 described additional advantages can be obtained.

Bei der Ausführungsform der Erfindung nach Pig. 30, 31» 32 sind die Kristallplatten 39 und 40 mit geteilten Elektroden besitzenden Filtern P, S bzw. Q, R und einer Mehrzahl von Gewichtslinien 40, die akustische Energie zu absorbieren vermögen, versehen. Die Kristallplatten 39 und 40 werden zunächst der Abstimmung von Frequenz und Bandbreite sowie der Messung und Auswahl unterzogen und dann gemäß Fig. 32a und 32b vereinigt. Dabei werden die Einzelschwinger bildenden Kristallplatten 39 und 40 an Haltern 411, 41E und 41 0 angebracht und mittels elektrisch leitender Bindemittelmasse 42 befestigt, derart, daß die Kristallplatten alt einem Spalt parallel übereinander liegen, ohne miteinander in Berührung zu stehen, außer an ihren Umfangesteilen, wobei die Halter mit Leitungsdrähten I, E und 0 verbunden sind, die durch, einen Sockel 13 hindurchgeführt und in diesem festgehalten sind. Die Kristallplatten sind am Umfang mittels einer Bindemittelmaase 43 elektrisch leitend befestigt. ·In the embodiment of the invention according to Pig. 30, 31 »32, the crystal plates 39 and 40 are provided with filters P, S and Q, R having divided electrodes and a plurality of weight lines 40 which are able to absorb acoustic energy. The crystal plates 39 and 40 are first subjected to the tuning of frequency and bandwidth as well as the measurement and selection and then combined according to FIGS. 32a and 32b. In this case, the individual transducers forming crystal plates 39 and 40 are attached to holders 411, 41E and 41, 0 and fixed by means of electrically conductive binder slurry 42, such that the crystal plates a gap are old in parallel over each other without contact with each other, except at their circumference parts, wherein the holders are connected to lead wires I, E and 0, which are passed through a base 13 and held in this. The crystal plates are attached to the periphery in an electrically conductive manner by means of a binding agent mass 43. ·

Ein äquivalentes Schaltbild für den von dem Verbundschwinger der Fig. 32 gebildeten Filter ist in Pig. 31 wiedergegeben, in der die Filter P, Q, R und S fortlaufend verbunden sind und zwischen der Eingangskierame I und der Ausgangsklemme 0 liegen. Die Kristallplatten 39 und 40 können an Haltern 411, 41E und 41 0 angebracht sein, die in Löcher 45 (Fig. 30) eingesetzt sind, die zuvor in den Platten ausgebildet worden sind, wie in Fig. 33 gezeigt ist, in der elektrische leitende Befestigungsteile weggelassen sind. Im Pail der Fig. 33 können Umformer,An equivalent circuit diagram for the filter formed by the composite transducer of FIG. 32 is in Pig. 31 reproduced in to which the filters P, Q, R and S are continuously connected and lie between the input terminal I and the output terminal 0. The crystal plates 39 and 40 can be attached to holders 411, 41E and 41 0 which are inserted into holes 45 (Fig. 30) previously formed in the plates, such as is shown in Fig. 33, in which electrically conductive fastening parts are omitted. In the Pail of Fig. 33, converters,

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induktanzen oder dergl. Glieder 44 in dem Raum unter den über- " einander gesetzten Kristallplatten 39 und 40 angebracht sein, und eine weitere Kristall- oder Keramikplatte 45» auf der eine konzentrierte Schaltung vorgesehen ist, die Verstärker, Begrenzer, Diskriminatoren enthält, kann in der gleichen Weise wie die Kristallplatten 39 und 40 befestigt sein.inductances or the like. Members 44 in the space under the over- " placed on each other crystal plates 39 and 40 be attached, and another crystal or ceramic plate 45 »on one lumped circuit is provided that contains amplifiers, limiters, discriminators, can be done in the same way as that Crystal plates 39 and 40 be attached.

Entsprechend dem Aufbau des piezoelektrischen Verbundschwingers nach Pig. 33 kann eine synthetische Schaltung, die einen Zwischenfrequenzfilter, einen Verstärker, einen Begrenzer und einen Prequenzdiskriminator enthält, als einheitliches kompaktes Gebilde.hergestellt werden.Corresponds to the structure of the piezoelectric composite oscillator after Pig. 33 can be a synthetic circuit that has a Intermediate frequency filter, an amplifier, a limiter and a frequency discriminator contains, as a unitary compact Formed. To be produced.

Eine wichtige Aufgabe der zusätzlichen Gewichtslinien, wie der· Gewichtslinien 37a bis 37e in Pig. 29» besteht darin,zu verhindern» daß die Schwingung sich zu den Halteteilen der Einzelschwinger fortpflanzt, wie bereits oben erläutert. Die Ausbildung der Gewichtslinien kann nach verschiedenen Verfahren erfolgen, wie Siebdruck, Bürstenauftrag, Vakuumversprühung und dergleichen, und die Gewichtslinien können aus irgend einem Material gebildet werden, wie Epoxyharz und anderen organischen Substanzen. Ferner ist die Anordnung der Gewichtslinien nicht auf die in Pig. 29 angegebene Verteilung beschränkt, sondern kann gemäß Pig. 34 abgewandelt werden, in der die Gewichtslinien an jedem der Einzelschwinger so angebracht sind, daß die Schwingzone unterteilt wird. Die vier Einzelschwinger der Pig. 34a bis 34d sind gemäß Pig. 35a und 35b vereinigt, wodurch ein äquivalentes Schaltbild erhalten wird, das dem Sohaltschema in Pig. 1Of entspricht.An important task of the additional weight lines, such as the Weight lines 37a through 37e in Pig. 29 »is to prevent» that the oscillation propagates to the holding parts of the individual oscillators, as already explained above. Training the weight lines can be done according to different methods, such as screen printing, brush application, vacuum spraying and the like, and the weight lines can be formed from any material such as epoxy resin and other organic substances. Furthermore, the arrangement of the weight lines is not limited to that in Pig. 29 limited distribution, but can according to Pig. 34 can be modified in which the weight lines on each the individual oscillators are attached in such a way that the oscillation zone is subdivided. The four individual swingers of the Pig. 34a to 34d are according to Pig. 35a and 35b combined, creating an equivalent Circuit diagram is obtained that corresponds to the circuit diagram in Pig. 1Of is equivalent to.

Bei den in Pig. 29 bis 35 dargestellten Auaführungsbeispielen sind die Gewichtslinien vorgesehen, um den piezoelektrischen Einzelsohwinger gegen die Portpflanzung der Schwingung zum Umfang des Schwingers hin zu. schützen. Doch kann dieselbe Wir-With those in Pig. 29 to 35 illustrated embodiments the weight lines are provided to counter the single piezoelectric swinger against the port planting of the oscillation Circumference of the transducer. protection. But can the same we-

309808M135309808M135

kung erzielt werden, indem die Stellen der Gewichtslinien teilweise verdünnt werden. Zwecks Ausbildung der teilweise dünneren Stellen in einem Schwinger gibt es verschiedene Verfahren-, wie Funkenerosion, chemisches Ätzen, Überschallschleifen und dergleichen. kung can be achieved by the places of the weight lines partially be diluted. For the purpose of forming the partially thinner areas in a transducer, there are various methods, such as Spark erosion, chemical etching, supersonic grinding and the like.

Die oben erläuterte Anbringung von Gewichtslinien und Verdünnungen kann kombiniert angewendet werden, um die Fortpflanzung zu den Handabschnitten jedes der piezoelektrischen Einzelsohwinger zu unterdrücken.The above-explained application of weight lines and thinning can be used in combination in order to suppress the propagation to the hand portions of each of the piezoelectric single owls.

3 0 9808/11353 0 9808/1135

Claims (1)

PatentansprücheClaims Piezoelektrischer Verbundachwinger, d a ά u τ ο h gekennzeichnet, daß wenigstens zwei piezoelektrische Einzelachwinger, die. an ihren Flächen mit den erforderlichen Elektroden versehen sind, nur an Stellen ihres Umfangs von wenigstens zwei Haltern zueinander parallel und bis auf die Umfangssteilen voneinander getrennt gehalten werden, die Halter mit den Einzelaehwingern bzw. deren Elektroden an den Urafangastellen fest UMd leitend verbunden sind und die Halter voneinander isoliert an oder in einem gemeinsamen Sockel, die Zuleitungen o&ev eieren Verlängerungen bildend, angebracht sincLPiezoelectric Verbundachwinger, because ά u τ ο h characterized that at least two piezoelectric single wake that. are provided with the required electrodes on their surfaces, are only held parallel to each other at points of their circumference by at least two holders and apart from one another except for the circumferential parts, the holders with the individual wings or their electrodes are permanently connected to the Urafangastellen and the Holders insulated from one another on or in a common base, the supply lines o & ev eieren extensions forming, attached are incL 2. Verbundschwinger nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet 9 daS die Halter an ihren Enden Öffnungen für die Jkufnahme der Einsselschwlnger aufweisen und diese an den Äufaali:ii@st©Ilesa durch elektrisch leitende Mittel mit den Haltern fest, verbunden sind.2. comprise composite transducer according to claim 1, characterized in which the holder 9 at its ends openings for the Jkufnahme the Einsselschwlnger and these to the Äufaali: ii are © @ st Ilesa by electrically conductive means to the retainers, respectively. 3. Verbundschwinger nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Halter an ihren Enden wenigstens awei Längsschlitse oder -einschnitte aufweisen und die Halter mit Umfangsetellen in den Schlitzen bzw, Einschnitten gehalten miä durch elektrisch leitende Mittel befestigt sind»3. Composite transducer according to claim 1, characterized in that the holders have at least awei longitudinal slots or incisions at their ends and the holders with circumferential points in the slots or incisions are fixed by electrically conductive means » 4. Verbundschwinger nach Anspruch 1 e dadurch gekennzeichnet, daß die Halter an ihren Enden mit Kanten an Umfangsstellen der Einzelschwinger anliegen und diese an den Anlagestellen durch elektrisch leitende Mittel mit den Haltern feat verbunden sind.4. composite oscillator according to claim 1 e, characterized in that the holder rest at their ends with edges on circumferential points of the individual oscillators and these are connected at the contact points by electrically conductive means with the holders feat. 309808/1135309808/1135 5* Verbund schwinger nach Anspruch 1» dadurch - »5 * composite transducer according to claim 1 »thereby -» gekennzeichnet, daß die Kalter an ihren '■ . marked that the cold at their '■. Enden mit einem Bpulen- oder wendelfuraigen Teil versehen jJt'Ends with a bobbin or helical part jJt ' sind und die Einzelaohwinger mit tiafangestellen «wischen ^4 are and the individual aohwinger with tiafangestellen "wipe ^ 4 benachbarten Windungen der Spule bzw. Wendel gehalten und *"Λ adjacent turns of the coil or helix held and * " Λ durch elektrisch leitende Mittel befestigt «lad. 'Vattached by electrically conductive means «lad. 'V 6. Verbundschwinger nach Anspruch 1, d a d ur ο h6. composite oscillator according to claim 1, d a d ur o h gekennzeichnet , daß die Kante und wenigstens ein Schlitz oder Eineohnitt am Ende Jedes Kältere der Anbringung und Befestigung der Binieleohwinger dient.marked that the edge and at least a slit or unity at the end of each colder the Attachment and fastening of the Binieleohwinger is used. 7. Verbund schwinger nach Anspruch ·1, dadurch ;, ; gekennzeichnet , daß dit um den mittleren Λ . · !Ceil des Sockels herum angeordneten Halter an ihren Buden . '■ ,7. Composite transducer according to claim 1, characterized in that;,; marked that dit around the middle Λ. · ! Ceil of the pedestal arranged around holders on their booths. '■, ; wenigstens einen Querschllts oder -eineohnitt aufweisen . -f''\ ■ j und die Einzelschwinger mit Umfangestellen in den Bohlitzen . , j bzw. Einschnitten zueinander parallel und auStr an den ;, '-^:'.' ! Umfangesteilen voneinander getrennt gehalten und befestigt ; I * : . sina. · ■ .· - .·..■■■■■■'....: .-. ; have at least one cross section or unit . -f '' \ ■ j and the single oscillators with circumferential locations in the pile strands. , j or incisions parallel to each other and off at the;, '- ^:'. ' ! Peripheral parts held separately from one another and fastened ; I *:. sina. · ■. · -. · .. ■■■■■■ '....: .-. 8. Verbund schwinger nach Anspruch 7, d a du roh -:^Λ -'Ji8. composite oscillator according to claim 7, since you raw -: ^ Λ -'Ji j gekennzeichnet, daß Jeder Halter an feinem '^. ._, Ende als Spule oder Wendel ausgebildet let und Jeder schwinger zwischen benachbarten Windungen der Spule bzw. Wendel gehalten und befestigt ist.j marked that each holder of fine '^. ._, End designed as a coil or helix let and each oscillator is held and fixed between adjacent turns of the coil or helix. 9. Verfahren aur Herstellung eines Verbundaohwingers nach9. Process for the production of a composite ohms according to einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch ·one of the preceding claims, characterized in that gekennzeichnet , daß ein erster Einzelschwinger nach Anbringung in Haltern, die an Umfangasteilencharacterized in that a first single oscillator after attachment in holders on peripheral parts angreifen und als Zuleitungen dienen, durch Vornahme einer Auftragung an seiner rückwärtigen Fläche einer Abstimmungattack and serve as leads by making an application on its rear surface of a vote 309808/1135309808/1135 seiner Schwingfrequenz unterworfen wird, das direkt oder indirekt ein zweiter Einzelschwinger über dem ersten .Einzelschwinger an den Haltern angebracht wird, derart, daß die orthogonalen Projektionen der rückwärtigen Flächen der beiden Einzelschwinger im wesentlichen zueinander konzentrisch sind, und dann der zweite Einzelschwinger in der gleichen Weise wie der erste Einzelschwinger durch Auftragung an seiner rückwärtigen Fläche einer Abstimmung seiner Sohwingfrequenz unterworfen wird, und daß diese Schritte der Anbringung und Abstimmung in Verbindung mit den weiteren Einzelschwingern, die der fertige Verbundschwinger umfassen soll, wiederholt werden.is subjected to its oscillation frequency, which is directly or indirectly a second individual oscillator above the first .Single transducer is attached to the brackets in such a way that that the orthogonal projections of the rear surfaces of the two individual oscillators are essentially one another are concentric, and then the second single oscillator in the same way as the first single oscillator is subjected to a tuning of its vibration frequency by application on its rear surface, and that these steps of mounting and tuning in connection with the other individual transducers that the should include finished composite transducers, to be repeated. 10. Verbundschwinger nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß jeder Halter aus Federblech besteht, dessen Ende eine solche Breite hat, daß es die Einzelschwinger seitlich übereinander gesetzt und mittels elektrisch leitender Bindemittelmasse befestigt zu erfassen und festzuhalten vermag.10. composite oscillator according to claim 1, characterized in that each holder consists of There is spring plate, the end of which has such a width that the individual oscillators are placed one on top of the other laterally and is able to grasp and hold fixed by means of electrically conductive binding agent mass. 11. Verbundschwinger nach Anspruch 1, dadurch gek ennzeichnet , daß jeder Halter aus Spiraldraht mit U-förmigem Ende von solcher Breite besteht, daß es die Einzelschwinger seitlich übereinander gesetzt und mittels elektrisch leitender Bindemittelmasse befestigt zu erfassen und festzuhalten vermag.11. composite oscillator according to claim 1, characterized it is marked that each holder is made of spiral wire with a U-shaped end of such width, that the individual oscillators are placed one on top of the other and by means of an electrically conductive binding agent able to grasp and hold fast. 12. Verbundschwinger nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet , daß jeder Halter aus Federblech bestehtj dessen der Halterung der Einzelschwinger dienendes Ende eine solche Länge hat, daß es die Einzelschwinger in Längsrichtung übereinander gesetzt und mittels elektrisch leitender Bindemittelmasse befestigt zu erfassen und festzuhalten vermag.12. composite oscillator according to claim 1, characterized characterized in that each holder consists of spring steel sheet which holds the individual oscillators serving end has such a length that it the individual oscillators in the longitudinal direction one above the other set and attached by means of electrically conductive binding agent to grasp and hold. 309808/1135309808/1135 13. ' Verbundschwinger nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet , daß jeder Halter aus Spiraldraht besteht und zwischen benachbarten Windungen an seinem Ende die Einzelschwinger erfaßt und festhält.13. 'composite oscillator according to claim 1, characterized characterized in that each holder is made of spiral wire and between adjacent turns at its end, the individual oscillators are captured and held. H. ' Verbundschwinger nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß jeder Binzelschwinger in seinem die Hauptschwingzone umgebenden Bereich mit zusätzlichen !eilen versehen ist, die einen akustischen Verlust oder eine durchgreifende Dämpfung der Schwingung zu bewirken und hierdurch eine Fortpflanzung der Schwingung bia zu den Haltern zu verhindern vermögen.H. 'composite oscillator according to claim 1, characterized in that each single oscillator in its area surrounding the main oscillation zone is provided with additional lines that create an acoustic To cause loss or a thorough damping of the oscillation and thereby a propagation of the Able to prevent vibration bia to the holders. 15· Verbundschwinger nach Anspruch H, dadurch gekennzeichnet, daß die zusätzlichen Teile durch auf die Oberfläche der Einzelschwinger aufgetragene, die Schwingzone desselben umgebende Gewichtslinien gebildet werden. ' 15 · composite oscillator according to claim H, characterized characterized in that the additional parts by applied to the surface of the individual oscillators, weight lines surrounding the oscillation zone of the same are formed. ' 16. Verbundschwinger nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet , daß die zusätzlichen Teile durch teilweise Verdünnungen in der Fläche der Einzelschwinger gebildet werden.16. Composite oscillator according to claim 14, characterized in that the additional Parts are formed by partial dilutions in the area of the individual oscillators. 17. Verfahren zur Herstellung eines Verbundschwingers nach Anspruch 14, dadurch gekennzeich-'n e t , daß die einen akustischen Verlust oder eine durchgreifende Dämpfung der Schwingung bewirkenden zusätzlichen Teile an jedem von wenigstens zwei piezoelektrischen Einzelsohwingern In einem die Hauptschwingzone umgebenden Bereich ausgebildet werden, daß die verschiedenen Abstimmungen bzw. Justierungen wie Frequenzabgleichung und -messung durchgeführt werden, daß mehrere in der vorstehenden Weise vorbereitete Einzelschwinger17. Method for producing a composite oscillator according to Claim 14, characterized in that the one acoustic loss or one thorough damping of the vibration causing additional parts on each of at least two piezoelectric Single ear swingers In an area surrounding the main oscillation zone, the various Adjustments or adjustments such as frequency adjustment and measurement are carried out that several individual oscillators prepared in the above manner 3098QJ/11353098QJ / 1135 in paralleler Ausrichtung und außer an den Umfangstellen voneinander getrennt Übereinander gesetzt werden und dann die Einzelsohwinger an den ümfangstellen elektrisch leitend zum Verbündechwinger vereinigt werden, ν Set on top of each other in parallel alignment and separated from each other except at the circumferential points and then the single swingers at the ümfangstellen be combined in an electrically conductive manner to form the composite transducer, ν 18. Verbundschwinger nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet » daß der Sockel als Kristallplatte ausgebildet ist» die Leitungsdrähte an der Platte angebracht sind, ein Binzelschwiftger an Umfangsstellen mittels elektrisch leitender Bindemittelmassen an den Leitungsdrähten angebracht 1st und ein weiterer Einzelschwinger an Umfangsstellen mittels elektrisch leitender Bindemittelmassen an den Bindemittelmassen des ersten Einselechwingers parallel und im Abstand zu diesem befestigt ist, während gegebenenfalls weitere Einzelschwinger in"4er gleichen Weise angesetzt sind. ■■ - .■■·.'■- '";"--.-■. " ·.--.; f -, " - ..-■'■ 18. Composite transducer according to claim 1, characterized in that »the base is designed as a crystal plate» the lead wires are attached to the plate, a Binzelschwiftger is attached to the lead wires at peripheral locations by means of electrically conductive binding agents and a further single oscillator is attached to peripheral locations by means of electrically conductive binding agents the binder compositions of the first Einselechwingers is parallel to and secured at a distance therefrom, while, optionally, other single element in "4p same manner are carried ■■ - ■■ · '■ -'...";"--.-■." ·. - .; f -, "- ..- ■ '■ 19« Verbundschwinger nach Anepiuch 18# d a d u f c h g e k e η η ze ic h η β t » daß der oder die Binzelschwinger und der Sockel axial miteinander Fluchten und gleiche lineare Auedehnimgskoeffizlenten besitzen.19 «Composite transducer according to Anepiuch 18 # d a d u f c h g e k e η η show η β t »that the single oscillator (s) and the base is axially aligned with one another and have the same linear expansion coefficients. ReNeu/Pi.ReNeu / Pi. 309808/1135309808/1135
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