DE2126549C3 - Elektrofotografisches Aufzeichnungsmaterial - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein elektrofotografisches Aufzeichnungsmaterial mit persistenter innerer Polarisation enthaltend eine elektrisch leitende Schicht, gegebenenfalls eine isolierende Schicht, eine Zwischenschicht, eine fotoleitfähige Schicht und eine isolierende Deckschicht, die in der genannten Reihenfolge aufeinandergeschichtet und zu einem einheitlichen Körper miteinander verbunden sind.

Aus der DT-OS 1 497 164 sowie aus der DT-OS 1 497 169 ist ein elektrofotografisches Aufzeichnungsmaterial bekannt, das eine fotoleitfähige Schicht mit der Möglichkeit zur Ausbildung von persistenter innerer Polarisation, eine auf die eine. Seite der fotoleitfähigen Schicht aufgebrachte isolierende Deckschicht und eine an die andere Seite der fotoleitfähigen Schicht angrenzende Elektrodenschicht aufweist, die die elektrisch leitende Schicht darstellt. Zwischen der fotoleitfähigen Schicht und der Elektrodenschicht kann noch eine isolierende Schicht vorgesehen sein, die zur Erhöhung des Rauschabstands dient.

Bei der Benutzung dieses elektrofotografischen Aufzeichnungsmaterials kann auf der Oberfläche der isolierenden Deckschicht ein elektrostatisch latentes Bild erzeugt werden. Dazu wird auf der Oberfläche der isolierenden Deckschicht zunächst eine Ladung einer ersten Polarität gleichförmig aufgebracht. Diese aufgebrachte Ladung erzeugt in der fololeitfähigen Schicht eine gleichförmige Polarisationsladung. Danach wird auf die Oberfläche der zu isolierenden Deckschicht eine Ladung der entgegengesetzten Polarität aufgebracht und gleichzeitig ein Lichtbild auf das elektrofotografische Aufzeichnungsmaterial projiziert. Die Ladungen der ersten und zweiten Pclarität werden vorzugsweise durch gleiche oder verschiedene Koronaentladungseinheiten aufgesprüht.

Die Intensität des auf der Oberfläche der isolierenden Deckschicht ausgebildeten latenten Bildes ist in bezug auf die Lichtintensität des projizierten Bildes um so größer, je größer die Kapazität der isolierenden Deckschicht gegenüber derjenigen der fotoleitfähigen Schicht ist. Aus diesem Grund ist es erwünscht, die isolierende Deckschicht so dünn wie möglich auszubilden. Es ist jedoch üußersi schwierig, die isolierejiile Deckschicht porenfrei herzustellen und sie in Anbetracht ihrer geringen Stärke von einigen Mikrometern mit einer ausreichenden Isolationsfestigkeit zu versehen. Man kommt daher nicht umhin, der isolierenden Deckschicht eine gewisse Stärke zu geben, beispielsweise 20μηι.

Um die oben angegebene Kapazitätsbedingung einzuhalten, muß daher auch die fotoleitfähige Schicht eine gewisse Stärke haben. Wenn man nun unter Be-

l· rücksichtigung einer gewünschten Schichtstärke die fotoleitfähige Schicht aus einem Material mit einer niedrigen Lichtabsorptionsfähigkeit herstellt, tritt der Nachteil auf, daß die Auflösung einer derartigen fotoleitfähigen Schicht gering ist. Fotoleitfähige Schichten mit einem hohen Lichtabsorptionsgrad und einer entsprechend hohen Lichtempfindlichkeit werden daher bevorzugt, um die Ausbildung des latenten Bildes zu verbessern und eine hohe Auflösung zu erzielen. Wenn man bei einer dicken fotoleitfähigen Schicht mit einer hohen Lichtabsorptionsfähigkeit lediglich die eine Schichtseite der Lichtbestrahlung aussetzt, wie es bei den herkömmlichen elektrofotografischen Aufzeichnungsverfahren der Fall ist, werden einige Teile der Schicht nicht mit Licht angeregt. Wenn man beispielsweise Se-Te oder Se benutzt, werden nahezu alle Lichtanteile, die eine gewisse Lichtanregung verursachen, in dem foto!eitfähigen Material auf einer Strecke von weniger als I μίτι absorbiert. Wenn man daher eine SeTe-Schicht mit einer Stärke von 20 μηι benutzt, wird der größte Teil der Schicht durch das auftreffende Licht nicht angeregt. Der Prozentsatz des der Lichtanregung ausgesetzten Dickenteils nimmt mit zunehmender Dichte der fotoleitfähigen Schicht ab. Trotz der hohen Lichtabsorptionsfähigkeit werden zur Zeit dicke Schichten aus SeTe oder Se in elektrofotografischen Aufzeichnungsmaterialien benutzt, da bei einem anliegenden elektrischen Feld die Beweglichkeit der freien Ladungsträger sehr hoch ist. Selbst in Se, in dem die Beweglichkeit am geringsten ist, beträgt sie 0,14 cm²/V · see. Das bedeutet, daß man selbst eine Se-Schicht mit einer Stärke von mehr als einigen zehn Mikrometern für elektrofotografische Zwecke mit Erfolg verwenden kann. Weitere geeignete Materialien mit hoher Lichtabsorptionsfähigkeit sind beispielsweise Se, SeTe, CdTe usw.

Nachteilig daran ist allerdings, daß sich bei hohen zyklischen Arbeitsgeschwindigkeiten eines solchen elektrofotografischen Aufzeichnungsmaterials mit einer dikken fotoleitfähigen Schicht infolge von Restladungen Hystereseerscheinungen bemerkbar machen, die die Fähigkeit zur Erzeugung eines latenten Bildes vermindern. Diese Hysterese- oder Ermüdungserscheinungen treten insbesondere auf, wenn die fotoleitfähige Schicht auch auf der Elektrodenseite mit einer isolierenden Schicht überzogen ist. Diese Ermüdungs- oder Hystereseerscheinung ist grundsätzlich darauf zurückzuführen, daß bei einem unvollkommenen ohmschen Kontakt /.wischen der fotoleitfähigen Schicht und der Elektrodenschicht bzw. bei vorhandener isolierender Schicht

Ίο zwischen der Elektrodenschicht und der fotoleitfähigen Schicht während des Aufbringens der Ladung entgegengesetzter Polarität auf die isolierende Deckschicht bei gleichzeitiger bildmäUiger Belichtung ein Teil der in der fotoleitfähigen Schicht bewegbaren Ladungsträger

⁶S in einem Abschnitt der fotoleitfähigen Schicht eingcfangen wird, der nahe bei der Elektrodenschicht liegt. Diese eingefangenen Ladungsträger werden bei einer Umpoiung nur verzögert oder überhaupt nicht mehr

freigegeben. Die herkömmlichen elektrofotografischen Aufzeichnungsmaterialien der beschriebenen Art haben daher eine begrenzte Lebensdauer.

Aus der DT-OS 1 497 194 ist es berei;s bekannt, bei einem elektrofotografischen Aufzeichnungsmaterial 5 zwischen einer fotoleitfähigen Schicht und einer angrenzenden Elektrodenschicht eine Zwischenschicht vorzusehen, die bei Abwesenheit einer aktivierenden Strahlung Ladungsverluste der fotoleitfähigen Schicht an die Elektrodenschicht vermindert, jedoch in Gegenwart einer solchen Strahlung eine Ladungsableitung zuläßt. Diese Zwischenschicht dient somit zur Steuerung der Ladungsinjektion von der fotoleitfähigen Schicht in die Elektrodenschicht und ist zur Lösung des oben beschriebenen Problems nicht geeignet. '5

Ergänzend zu diesem Stand der Technik wird noch auf die DT-OS 19 32 105 verwiesen, aus der es bekannt ist, auf der elektrisch leitenden Schicht eines elektrofotografi schen Aufzeichnungsmaterials eine Se-Te Legierung mit mehr als 20% Te aufzubringen.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, das eingangs beschriebene elektrofotografische Aufzeichnungsmaterial derart zu verbessern, daß das nachteilige Einfangen von Ladungsträgern in der fotoleitfähigen Schicht in der Nähe der die elektrisch leitende Schicht *5 darstellenden Elektrodenschicht möglichst vermieden wird. Ferner soll ein Verfahren zum Herstellen eines derart verbesserten elektrofotografischen Aufzeichnungsinaterials geschaffen werden.

Diese Aufgabe wird bei dem eingangs beschriebenen elektrofotografischen Aufzeichnungsmaterial nach der Erfindung durch die Merkmale im Kennzeichen des Anspruchs gelöst.

Auf diese Weise wird erreicht, daß in der Zwischenschicht der Gehalt an fotoleitfähigem Material, das eine persistente innere Polarisation zeigt und mit Ladungsfangstellen behaftet ist, allmählich und kontinuierlich in Richtung von der fotoleitfähigen Schicht zur elektrisch leitenden Schicht abnimmt, so daß zwischen der fotoleitfähigen Schicht und der Zwischenschicht keine diskreten Grenzflächen auftreten und die Ladungsträger die Möglichkeit haben, die für das Einfangen verantwortliche fotoleitfähige Schicht zu verlassen. Die in die Zwischenschicht eingetretenen Ladungsträger bleiben daher frei beweglich und können bei einer Polaritätsumpolung ohne Verzögerung zurück in die fotoleitfähige Schicht wandern. Dadurch werden die die Lebensdauer des elektrofotografischen Aufzeichnungsmaterials verkürzenden Restladungen in der fotoleitfähigen Schicht sowie die eine höhere Arbeitsgeschwindigkeit des elektrofotografischen Aufzeichnungsmaterials begrenzende Hystereseerscheinung vermieden.

Bei dem erfindungsgemäßen elektrofotografischen Aufzeichnungsmaterial ist zwischen der fotoleitfähigen Schicht und der isolierenden Deckschicht eine Grenzschicht ausgebildet, die ein Gemisch aus einem fotoleitfähigen Material und einem zahlreiche Ladungsfangstellen bildenden Material besteht. Diese Maßnahme trägt zur Förderung der Lösung der erfindungsgemäßen Aufgabe dadurch bei, daß bereits innerhalb der fotoleitfähigen Schicht die für das Einfangen der Ladungsträger verantwortlichen, aber zur Ausbildung einer persistenten inneren Polarisation notwendigen Ladungsfangstcllcn nach Möglichkeit in die Nähe der isolierenden Deckschicht und nicht in die Nachbarschaft der elektrisch leitenden Schicht gelegt werden.

Das elektrofotografische Aufzeichnungsmaterial nach der Erfindune wird vorzugsweise durch Aufdampfen der Schichten hergestellt Auf diese Weise wird sichergestellt daß sich die Zusammensetzung der Zwischenschicht kontinuierlich und allmählich der Zusammensetzung der fotoleitfähigen Schicht annähert Die Aufdampfung erweckt den Eindruck, als ob das fotoleitfähige Material in die Zwischenschicht eindiffundiert sei. Anstelle einer Auf dampfung könnten die Schichten beispielsweise auch aufgesprüht werden. Unabhängig von dem besonderen Aufbringungsveriahren ist allerdings wichtig, daß keine definierten Grenzflächen zwischen den fraglichen Schichten auftreten.

Vor dem Aufbringen der isolierenden Deckschicht wird die Grenzschicht auf die fotoleitfähige Schicht aufgedampft, die als Ladungsträger-Fangstellenschicht aus gebildet ist

Bevorzugte Ausführungsbeispiele der Erfindung werden an Hand von Figuren beschrieben.

Die Fig. la bis Ic zeigen schematisch die Ladungsverteilung in einem elektrofotografischen Aufzeichnungsmalerial mit einem fotoleitfähigen, eine persistente innere Polarisation zeigenden Material, wenn ein latentes Bild nach dem oben beschriebenen Verfahren ausgebildet wird; die

F i g. 2 ist ein ähnliches Schaubild, wobei jedoch die fotoleitfähige Schicht und die Elektrodenschicht keinen vollkommenen ohmschen Kontakt miteinander bilden; die

F i g. 3 und 4 zeigen zwei Ausführungsformen eines nach der Erfindung ausgebildeten Aufzeichnungsmaterials; die

F i g. 5 zeigt schematisch ein Gerät zum Aufdampfen von Schichten im Vakuum, das zum Herstellen des Aufzeichnungsmaterials nach der Erfindung geeignet ist.

Das in den F i g. la, Ib und Ic dargestellte elektrofotografische Aufzeichnungsmaterial wird bei elektrofotografischen Verfahren zum Erzeugen eines .latenten Bildes benutzt. Das Aufzeichnungsmaterial enthält eine durchsichtige hochisolierende Deckschicht 1, eine fotoleitfähige Schicht 2 und eine Elektrodenschicht 3, die in der genannten Reihenfolge aufeinanderfolgen und zu einer einheitlichen Struktur miteinander verklebt sind. Es wird angenommen, daß die fotoleitfähige Schicht 2 vom P-Leitungstyp ist und mehrere Ladungsfangstellen enthält. Die Schicht kann beispielsweise aus SeTe bestehen. Die F i g. la zeigt die Ladungsverteilung, nachdem eine negative Ladung gleichmäßig auf die Oberfläche der hochisolierenden Schicht 1 aufgebracht worden ist. Diese aufgebrachte negative Ladung erzeugt Ladungsträgerwanderungen, so daß es zu einer inneren Polarisation kommt, wie es in der Fig. la dargestellt ist. Da der Fotoleiter als P-Ieitend angenommen worden ist, sind in ihm die Majoritätsträger positive Ladungsträger. Infolge der Anziehungskraft der auf der hochisolierenden Schicht aufgebrachten negativen Ladung wandern daher die freien Majoritätsträger durch die fotoleitfähige Schicht bis zu der hochisolierenden Schicht. Nahe bei der Grenzfläche zwischen diesen beiden Schichten werden die Majoritätsträger von den Fangstellen in der fotoleitfähigen Schicht eingefangen. Die Symbole φ stellen die eingefangenen Ladungen dar. Der zweite Schritt besteht darin, daß jetzt positive Ladungen auf der Oberfläche der hochisolierenden Schicht I aufgebracht und gleichzeitig ein Lichtbild über die hochisolierende Schicht I auf die fotoleitfähigc Schicht 2 projiziert wird. Die linke Hälfte des in dei F i g. I b dargestellten Aufzeichnungsmaterials zeigt dabei eine helle Stelle des Lichtbildes, also einen mit Licht bestrahlten. Abschnitt, während dir rrrhir H:i!f!r :^%in."

dunkle Stelle des Lichtbilds darstellt, die nicht mit Licht bestrahlt wird. An den hellen Stellen wandern die positiven Ladungsträger infolge der Wirkung der jetzt auf der hochisolierenden Schicht aufgebrachten positiven Ladung durch die fotoleitfähige Schicht, so daß es zu der in der linken Hälfte der Fig. Ib gezeigten Ladungsverteilung kommt. Im Gegensatz dazu findet an den dunklen Stellen des Lichtbildes in der fotoleitfähigen Schicht keine Ladungswanderung statt, so daß die in der fotoleitfähigen Schicht nahe bei der Grenzfläche eingefangenen positiven Ladungen unverändert bleiben. Da das Aufbringen der Ladung während des zweiten Schritts derart vorgenommen wird, daß das Oberflächenpotential der hochisolierenden Schicht gleichförmig wird, und zwar unabhängig davon, ob eine Koronaentladungseinheit benutzt oder eine Elektrode gegen die Oberfläche der hochisolierenden Schicht gebracht wird, werden an den dunklen Stellen des Lichtbildes weniger positive Ladungen auf der hochisolierenden Schicht aufgebracht als an den hellen, so daß es zu der auf der rechten Seite in Fig. Ib dargestellten Ladungsverteilung kommt. Wie man sieht, unterscheidet sich die Ladungsverteilung an den hellen Stellen von der Ladungsverteilung an den dunklen Stellen. Die eingefangenen Ladungen φ werden wieder frei, wenn das latente Bild gleichförmig mit Licht bestrahlt wird, beispielsweise mit dem Licht einer elektrischen Lampe oder mit Tageslicht, oder wenn eine gewisse Zeit verstrichen ist, während der neue freie Ladungsträger erzeug', werden, so daß sich bei den dunklen Stellen des Lichtbilds die in der F i g. Ic dargestellte Ladungsverteilung einstellt. Wenn das Aufzeichnungsmaterial die in der Fig. Ic dargestellte Ladungsverteilung angenommen hat, weist das während des zweiten Schritts erzeugte latente Bild entsprechend den hellen und dunklen Stellen des projizierten Lichtbildes verschieden hohe positive Ladungsdichten auf, so daß jetzt ein äußeres Potentialbild entstanden ist. Das latente Bild kann man daher mit irgendeinem geeigneten Verfahren zu einem sichtbaren Bild entwickeln, beispielsweise unter Verwendung eines geladenen Toners. Danach kann man das entwickelte Pulverbild auf ein Aufzeichnungsmedium übertragen, beispielsweise auf Papier. Als nächstes wird das Aufzeichnungsmaterial in seinen ursprünglichen Zustand versetzt, so daß der nächste Druck- oder Aufzeichnungszyklus ausgeführt werden kann. Dazu kann man irgendein bekanntes Reinigungsverfahren anwenden, durch das das latente Restbild gelöscht und der restliche Toner entfernt wird.

Falls die fotoleitfähige Schicht und die Elektrodenschicht keinen vollkommenen ohmschen Kontakt miteinander bilden, werden die während des zweiten und des nachfolgenden Schritts in Richtung auf die Elektrodenschicht wandernden Ladungsträger in einem Abschnitt der fotoleitfähigen Schicht eingefangen, der nahe bei der Elektrodenschicht liegt, wie es in der F i g. 2 dargestellt ist. Die auf diese Weise eingefangenen Ladungsträger werden niemals mehr befreit, da das fotoleitfähige Material eine hohe Lichtabsorptionsfähigkeit aufweist, wie es oben beschrieben ist Diese eingefangenen Ladungsträger oder Restladungen verursachen Hystereseerscheinungen, und man erreicht in den nachfolgenden Betriebszyklen keine vollkommene Ladungstrennung, wie es in der F i g. 1 a gezeigt ist Die Hysteresewirkung nimmt mit der Anzahl der Zyklen zu, so daß die Lebensdauer eines solchen Aufzeichnungsmaterials begrenzt ist. Wenn nun gar noch eine zweite hochisolierende Schicht zwischen der fotoleitfähigen Schicht und der Eleklrodcnschicht angeordnet ist, wird infolge der Stromsperrwirkung der zweiten hochisolierenden Schicht die Hystcrcscwirkung besonders deutlich.

Diese nachteilige Hystcrcscwirkung wird durch die Erfindung dadurch beseitigt, daß zwischen der Klcktrodcnschicht und der die persistente innere Polarisation zeigenden fololeitfähigen Schicht eine nicdcrohmigc Widerstandsschicht angeordnet wird.

ίο Dabei hat der untere Abschnitt oder eine Zwischenschicht 2.1 der fololeitfähigen Schicht 2. die an die lilektrodcnschicht 3 angrenzt, wie es in der F i g. 4 gezeigt ist, einen solchen Aufbau, als wenn sie mit einem fotoleitfähigen Material, das den persistenten inneren PoIa-

!5 risalionscffckt 7.cigt, oder einem ähnlichen Stoff diffundiert wäre, so daß zwischen der Schicht 2n und der Hauptmasse der fotoleitfähigen Schicht 2 keine ausgeprägte oder diskrete Grenzfläche besteht. Bei einem weilergebildcten Aufzeichnungsmaterial befindet sich noch eine zweite hochisolierende Schicht la zwischen der diffundierten Schicht 2a und der Eleklrodenschichi 3. Bei den herkömmlichen Aufzeichnungematerialien bei denen die fotoleitfähige Schicht mit der Elektrodenschicht oder einem leitenden Substrat fest verklebt ist ist es infolge der unterschiedlichen Arbeitsfunktion dieser Materialien schwierig, zwischen diesen Schichten einen vollkommenen ohmschen Kontakt herzustellen An der Grenzfläche tritt daher zu einem gewissen Grad eine stromsperrende Wirkung auf, die den

jo obenerwähnten unerwünschten Hystereseeffekt zur Folge hat.

Die niederohmige Zwischenschicht 2a, die die Eigenschaft eines Metalls hat und die nahezu keine Ladungsträger einfängt, nimmt auf die Wanderung der Ladungsträger keinen Einfluß. Bei der niederohmigen Schicht kann es sich beispielsweise um eine Se-Te-Legierung handeln, die einen großen Anteil Te enthält. Die in Richtung auf die Elektrodenschicht wandernden Ladungsträger können daher die niederohmige Schicht leicht erreichen und werden darin als freie Ladungsträger gespeichert, so daß ein Einfangen der Ladungsträger vermieden ist, wie es im Zusammenhang mit der F i g. 2 beschrieben wurde. Da nun das Einfangen von Ladungsträgern in dem an die Elektrodenschicht angrenzenden Bereich der fotoleitfähigen Schicht wirksam unterbunden ist, besteht keine Gefahr, daß Restladungen Hystereseerscheinungen hervorrufen. Aus diesem Grunde kann das nach der Erfindung ausgebildete Aufzeichnungsmaterial bei höheren Arbeitsgeschwindigkeiten öfters benutzt werden.

Das Material, aus dem die Elektrodenschicht besteht, ist nicht auf Metall beschränkt. Es kann sich um irgendein Material mit einem verhältnismäßig niedrigen spezifischen Widerstand handeln, beispielsweise eine dünne Metallfolie, ein Ieitfähiges Papier oder ein Ieitfähiges Glas. Weiterhin ist die Zusammensetzung der lichtleitfähigen Schicht und der niederohmigen Schicht nicht auf die besonderen dargestellten Materialien beschränkt. Man kann dafür viele andere Kombinationen verwenden. An Stelle einer fotoleitfähigen Se-Te-Schicht kann man beispielsweise Mischungen verwenden, die unterschiedliche Mengen von Se und Te enthalten. Zur Herstellung der Schicht wird zuerst reines Te oder eine Mischung aus Te und einer geringen Menge von Se auf der Oberfläche der Elektrodenschicht aufgedampft. Der auf diese Weise gebildete Überzug besteht nur aus Te oder einer Mischung bzw. Legierung aus Tc und einer sehr kleinen Menge von Se. Ein dcrar-

tiger Überzug wirkt wie eine niederohmige Schicht. Als nächstes werden aufeinanderfolgend Mischungen oder Legierungen aus Te mit stets zunehmenden Anteilen von Sc auf den ursprünglich aufgebrachten Te-Überzug aufgedampft. Schließlich wird eine Schicht, die nur Se oder Se und eine äußerst kleine Menge von Te enthält, aufgedampft, um die Hauptmasse der Halblcitcrschicht zu bilden. Auf diese Weise wird zwischen der FJcktrodenschicht und der Hauptmasse der fotoleitfähigen Schicht eine Schicht angeordnet, die ihren Gehalt an fotoleilfähigcm Material ständig und allmählich ändert. Eine Te-Schicht oder eine an Te reiche Schicht, die an die Elektrodenschicht angrenzt, vermeidet insbesondere einen unvollständigen ohmschen Kontakt mit der Elcktrodcnschicht, so daß das Einfangen von Ladungsträgern an dieser Stelle vermieden wird.

Das in der F i g. 4 gezeigte wcitergebildetc Aufzeichnungsmaterial enthält hochisolierende Schichten oder stromsperrendc Schichten 1 und 1 a auf beiden Seiten der fololcitfähigcn Schicht 2. Die niederohmige Schicht 2a verhindert, daß Ladungsträger zwischen die fotolcitfähige Schicht 2 und die Elektrodenschicht 3 fließen. Die stromrichtende und stromblockierende Eigenschaft zwischen diesen Schichten verhindert, daß irgendwelche Schwierigkeiten auftreten. Die Funktion der zweiten hochisolierenden Schicht kann man auch dadurch erreichen, daß eine Metallelektrode mit einem Oxidüberzug verwendet wird.

Die niederohmige Schicht wird vorzugsweise im Vakuum aufgedampft. Das Vakuumaufdampfungsverfahren eignet sich insbesondere, wenn Selenlegierungen verwendet werden. Zu diesem Zweck kann man zum Aufbringen der Hauptmasse der fotolcitcnden Schicht und der niederohmigen Schicht eine Reihe von bootartigen Behältern benutzen, die die verschiedenen Rohmaterialien enthalten.

Zum besseren Verständnis der Erfindung wird das folgende Beispiel angeführt.

Beispiel

Zum Aufdampfen wird das in der F i g. 5 schematisch dargestellte Gerät mit Momentanaufdampfquellen 1 und 3 und einer üblichen Aufdampfquelle 2 benutzt. Ein Vorratstrichter 5 wird mit einem Pulver einer Se-Te-Legierung gefüllt, die 16 Mol% Te enthält und als lichtempfindliches Material mit einer großen Anzahl von Fangstellen dient. Ein Vorratstrichter 6 wird mit einem Pulver aus einer SeTe-Legierung gefüllt, die 40 Mol% Te enthält und als äußerst empfindliches fololeitfähiges Material dient, oder mit einem Material, das eine geringe Anzahl von Fangstellen aufweist. Demgegenüber wird der bootförmige Behälter 2 mit einem Pulver aus reinem Te gefüllt. In den oberen Teil des Aufdampfgefäßes 10 wird ein dünnes Aluminiumsubstrat 4 mit einer Stärke von 1 mm gebracht, das mit einer dünnen Schicht aus einem Polycarbonatharz mit einer Stärke von 2 bis 4 μπι überzogen isL Unter dem Aluminiumsubstrat 4 ist eine Abdeckblende 11 angeordnet. Nachdem das Gefäß 10 evakuiert ist, wird der Behälter 2 erhitzt, um auf der Polycarbonatschicht auf dem Aluminiumsubstrat 4 Te aufzudampfen. Sobald die Stärke der auf dem Aluminiumsubstrat aufgebrachten Tc-Schiclit J μιη erreicht hat, wird die Temperatur des Behälters 1 auf 400 bis 500°C erhöht und das in dem Vorratstrichter 5 enthaltene Se-Te-Legicrungspulver mit 16 Mol% Te wird dem Behälter 1 zugeführt, um auf der Te-Schicht eine Schicht aufzudampfen, die sowohl die ScTe-Legierung als auch Te enthält. Das Aufbringen von Te wird fortgesetzt, bis die Stärke der aufgebrachten Schicht 5 μιη erreicht. Danach wird nur noch die

ίο ScTc-Legierung aufgedampft, bis die Stärke der SeTe-Schicht 50 μπι erreicht. Dann wird die Temperatur des bootförmigen Behälters 3 auf 500 bis 600⁰C erhitzt, und das in dem Vorratstrichter 6 enthaltene ScTc-Lcgicrungspulver mit 40 Mol% Te wird dem Behälter 3 zu-

'5 geführt, um zur Ausbildung einer Grenzschicht diese ScTe-Legierung zusammen mit der ScTe-Legierung mit 16 Mol% Tc aufzudampfen. Wenn die Stärke der Schicht mit den beiden Legierungen etwa 1 μιη erreicht hat, wird der Aufdampfvorgang beendet und das über-

k> zogene Aluminiumsubstrat 4 aus dem Aufdampfgefäß 10 herausgenommen. Diese Schicht mit einer Stärke von 1 μιη bildet eine Grenzschicht, in der die SeTe-Lcgicrung mit 16 Mol% Te als Ladungsfangstellenmatcrial und die SeTe-Legierung mit 40 Mol% Te als fotoleitfähiges Material wirkt. Bei Bestrahlung mit Licht erzeugt somit die Grenzschicht eine große Anzahl von Ladungsträgern und fängt die in Richtung der isolierenden Schicht wandernden Ladungsträger ein. Als nächstes wird eine durchsichtige hochisolierende Schicht aus Polycarbonatharz auf der SeTe-Legierungsschicht bis zu einer Stärke von 10 μιη aufgebracht, um ein Aufzeichnungsmaterial mit dem in der F i g. 4 gezeigten Aufbau zu schaffen.

Man kann auch die erste Polycarbonatschicht auf dem Aluminiumsubstrat weglassen, um ein Aufzeichnungsmaterial mit dem in der F i g. 3 gezeigten Aufbau zu erhalten.

Es hat sich gezeigt, daß das elektrofotografische Aufzeichnungsmaterial des Beispiels wiederholt für das oben beschriebene elektrofotografische Aufzeichnungsverfahren verwendet werden kann, ohne daß dabei Hystereseerscheinungen auftreten.

Die niederohmige Schicht kann man aus niederohmigen Materialien herstellen, die durch Zugabe anderer Substanzen oder Aktivatoren aus den oben beschriebenen fotoleitfähigen Materialien aufbereitet werden können, aber auch aus anderen niederohmigen Materialien, die keine persistente innere Polarisation zeigen und keine Ladungsträger einfangen. Zweckmäßigerweise wird als niederohmiges Material ein Halbleitermaterial verwendet, dessen Majoritätsträger die gleiche Polarität wie die des die persistente innere Polarisation zeigenden Materials haben. Wenn jedoch die Beweglichkeit der Minoritätsträger des Materials mit der persistenten inneren Polarisation hinreichend niedrig ist, ist die gerade beschriebene Bedingung nicht wichtig-
Ferner kann man ein beliebiges durchsichtiges hochisolierendes Material verwenden, beispielsweise PoIyester, Epoxid, Polyäthylen, Polyuretan und Polycarbonat.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims (1)

1. Patentanspruch:

   Elektrofotografisches Aufzeichnungsmaterial mit persistenter innerer Polarisation enthaltend eine elektrisch leitende Schicht, gegebenenfalls eine isolierende Schicht, eine Zwischenschicht, eine fotoleitfähige Schicht und eine isolierende Deckschicht, die in der genannten Reihenfolge aufeinandergeschichtet und zu einem einheitlichen Körper miteinander verbunden sind, dadurch gekennzeichnet, daß die Zwischenschicht (2a) Te und eine Se-Te-Legierung mit 16 Mol-% Te enthält und die Zusammen setzung dieser Zwischenschicht in Richtung von der elektrisch leitenden Schicht (3) zur fotoleitfähigen Schicht (2) ausgehend von Te allmählich in die Se-Te-Legierang mit 16 Mol-% Te übergeht, daß die fotoleitfähige Schicht (2) eine Se-Te-Legierung mit 16 Mol-% Te enthält und daß zwischen der fotoleitfähigen Schicht (2) und der isolierenden Deckschicht (1) eine Grenzschicht ausgebildet ist, die eine Se-Te-Legierung mit 16 Mol-% Te und eine Se-Te-Legierung mit 40 Mol-% Te enthält.