DE2116289A1

DE2116289A1 - Elektronenmikroskop

Info

Publication number: DE2116289A1
Application number: DE19712116289
Authority: DE
Inventors: Hirotami; Ueno Katuyoshi; Tokio. P Koike
Original assignee: Jeol Ltd
Current assignee: Jeol Ltd
Priority date: 1970-04-18
Filing date: 1971-04-02
Publication date: 1971-11-11
Also published as: NL147883B; NL7103034A; DE2116289C3; JPS4936496B1; DE2116289B2; US3717761A; GB1308839A

Description

Patentanwalt Dipl.-Phys. Gerhard Liedl 8 München 22 Steinsdorfstr. 21-22 Tel. 29 84

B 5031

NIHON DENSHI KABUSHIKI KAISHA
1418 Nakagami-cho, Äkishima-shi, Tokyo, JAPAN

Elektronenmikroskop

Sie Erfindung betrifft ein mit Strahlabtastung arbeitendes Elektronenmikroskop, bei dem die von dem zu untersuchenden Objekt emittierten Sekundärelektronen aufgefangen werden·

Bei derartigen Elektronenmikroskopen werden die Sekundärelektronen im allgemeinen dadurch von der Objektoberfläche

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ausgelöst, daß das Objekt mit einem von einer Ablenkspule abgelenkten Elektronenstrahl "beschossen¹¹ wird. Die Sekundär· elektronen werden dann von einem Detektor aufgefangen, der zwischen der letzten Sammellinse und dem Objekt angeordnet ist. Wenn jedoch allein die in einer Richtung ausgelösten Elektronen aufgefangen werden, ist eine zufriedenstellende Bilderzeugung nicht möglich·

In den letzten Jähren wurden Versuche angestellt, ein Sekundär el ektronenbild mit Hilfe eines Durehstrahlungs-Elektronenmikroskops zu erzeugen. Da jedoch bei einem derartigen Elektronenmikroskop das Objekt innerhalb der Objektivlinse in einem begrenzten inneren Teil des Polstticks sitzt, ist nicht genügend Platz vorhanden, um den Sekundärelektronen-Detektor in diesem begrenzten Raum aufzunehmen. Es ist daher noch kein Elektronenmikroskop bekannt, mit dem sich sowohl ein Durchstrahlungs-Bild wie auch ein Sekundärelektronen-Bild beobachten läßt.'

Durch die Erfindung soll ein Elektronenmikroskop zur Erzeugung eines Sekundärelektronen-Bildes geschaffen werden, das die Nachteile der oben erwähnten Elektronenmikroskope vermeidet. Insbesondere soll die Fähigkeit des Elektronenmikroskope s, die vom Objekt emittierten Sekundärelektronen zu erfassen und wahrzunehmen, verbessert werden. Dies wird

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durch, die im Anspruch 1 angegebenen Merkmale erreicht· Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.

Bei dem erfindungsgemäßen Elektronenmikroskop sitzt das Objekt in einem Magnetfeld, das vorzugsweise von einer Elektronenlinse hoher Erregung erzeugt wird. Der auftreffende Elektronenstrahl wird mit Hilfe des Torfeldes fokusiert, ehe er auf das Objekt auftrifft. Auf diese Weise werden Sekundärelektronen von dem Objekt ausgelöst. Da die Energie der Sekundärelektronen gering ist, werden die Sekundärelektronen von dem magnetischen Vorfeld spiralförmig um die optische Achse fokusiert und dann aus der optischen Achse "herausgenommen" · Auf diese Weise lassen sich die Sekundärelektronen mit hohem Wirkungsgrad auffangen.

Bei einem Aus'führungsbeispiel der Erfindung ist das Objekt innerhalb einer Objektivlinse hoher Erregung angeordnet. Das Vorfeld fokusiert in diesem Pail den auftreffenden Strahl . und sammelt die von dem Objekt emittierten Sekundärelektronen, während das magnetische Nachfeld (d.h.der unterhalb des Ob-

den Strahl

jekts befindliche Teil des Magnetfeldes)/fokusiert und vergrößert, der das Objekt durchdringt. Auf diese Weise kann mit dem gleichen Elektronenmikroskop sowohl ein Sekundärelektronen-Bild als auch ein normales Durchstrahlungs-Bild erzeugt werden«

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• - 4 - ■ ■

Mit Hilfe des erfindungsgemäßen Elektronenmikroskops läßt eich das Objekt über einem großen Sichtbereich beobachten. Ein weiterer "Vorteil der Erfindung besteht darin, daß ein Sekundärelektronen-Bild hoher Auflösung erzeugt werden kann·

Anhand der Zeichnungen werden bevorzugte Ausfuhrungsbeispiele der Erfindung näher erläutert. Es zeigen:

Figur 1 ein Elektronenmikroskop, bei dem das zu untersuchende Objekt in einem von einer Elektronenlinse erzeugten magnetischen PeId angeordnet ist,

Figur 2 eine Darstellung der Optik eines abgewandelten Ausführungsbeispiels des in Fig.1 gezeigten Elektronenmikroskops,

Figur 3 ein Elektronenmikroskop, bei dem das zu untersuchende Objekt in einer Objektivlinse angeordnet ist,

Figur 4- eine Darstellung der Optik des in Fig.5 gezeigten Elektronenmikroskops, '

Figuren abgewandelte Ausführungsformen des in Fig.3 5, 6, 7

gezeigten Elektronenmikroskops,

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Figur 8 die Magnetfeldverteilung der in Pig·? verwendeten Objektivlinse,

Figuren weitere Ausftihrungsbeispiele'der Erfindung. 9 und 10

Bei dem in Fig,1 gezeigten Ausftihrungsbeispiel wird von einer Elektronenquelle 1 ein Elektronenstrahl erzeugt, der durch eine Sammellinse 2 verläuft. Eine in der Sammellinse 2 an- . geordnete Spule 3 wird von einer Energiequelle 4 mit Erregerstrom versorgt, wodurch der Elektronenstrahl von dem von der Sammellinse 2 erzeugten Magnetfeld fokusiert werden kann· Der fokusierte Elektronenstrahl wird dann von einem Magnetfeld, das von einer Ablenkeinrichtung 5 erzeugt wird, abgelenkt und einem Objekt 6 zugeführt. Das Objekt 6 befindet sich in einem Magnetfeld, das von einer Elektronenlinse 7 hoher Erregung erzeugt wird· Ein Abtastsignal wird von einem Signalgenerator 13 an die Ablenkeinrichtung 5 abgegeben, so daß der auftreffende Elektronenstrahl die Oberfläche des Objekte 6 abtastet.

Durch den "Beschüß» des auftreffenden Elektronenstrahls werden Sekundärelektronen von dem Objekt ausgelöst. Da sich ferner das Vorfeld der Elektronenlinse 7 bis zum oberen Seil der Ablenkeinrichtung 5 erstreckt, werden die Sekundärelektronen spiralförmig um die elektronenoptische Achse nach oben fokusiert. Die Sekundärelektronen werden schließlich

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▼on einem Detektor 8 aufgefangen und an eine .Anzeigevorrichtung 12 abgegeben. Um sicherzustellen, daß die Sekundärelektronen vom Detektor aufgefangen werden, muß an den Detektor eine positive Spannung angelegt werden.

Gleichzeitig werden die Elektronen, die das Objekt durchdringen, von einem Detektor 9, etwa in Form eines Faraday-Käfigs, aufgefangen. Von den Ausgangssignalen der beiden Detektoren 8 und 9 wird mit Hilfe eines Schalters 10 jeweils eines ausgewählt, wobei das gewählte Signal über einen Verstärker 11 der Anzeigevorrichtung 12 zugeführt wird. Das vom Signalgenerator 15 erzeugte Abtastsigi&aL wird einer Ablenkeinrichtung 14 zugeführt, die Teil der Anzeigevorrichtung 12 bildet. Venn das vom Detektor 8 erzeugte Signal an die Anzeigevorrichtung abgegeben wird, wird somit das Sekundärelektronen-Bild erzeugt. Wenn dagegen das vom Detektor 9 erzeugte Signal an die Anzeigevorrichtung 12 abgegeben wird, wird das Durohstrahlungpelektronen-Bild erzeugt*

Da bei dieser Anordnung das Objekt 6 in der Elektronenlinse 7 angeordnet ist, wird der auftreffende Elektronenstrahl nicht von elektrischen und magnetischen Störungen beeinflußt* Da ferner eine Magnetlinse hoher Erregung verwendet wird, werden sowohl die chromatischen wie auch sphärischen Aberrationsfehler beträchtlich verringert. Der Strahlfleck des auf-

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treffenden Elektronenstrahls ist somit sehr fein, und es wird ein Elektronenbild hoher Auflösung erzeugt.

Bei einer abgewandelten Ausftihrungsform dee in Fig.1 gezeigten Elektronenmikroskops wird eine veränderliche Energiequelle 16 verwendet, um die Spule 15 der Elektronenlinse 7 mit Erregeretrom zu versorgen;· Pig.2 zeigt eine Darstellung der Optik dieses Ausführungsbeispiele. Der auftreffende Elektronenstrahl SB wird von der Sammellinse 2 f okusiert und von der Ablenkeinrichtung 5 angelenkt. Der abgelenkte Elektronenstrahl wird von der Elektronenlinse 7 fokusiert und abgelenkt und trifft auf das Objekt 6 auf. Wenn nun der Strom, der von der Energiequelle 16 an die Spule 15 abgegeben wird, klein ist, wird der auf treffend* !Elektronenstrahl in der bei EB₁ dargestellten Weise abgelenkt· Das bedeutet, daß der auftreffende Elektronenstrahl das Objekt über einem großen Bereich abtastet· Wenn der Erregerstrom vergrößert wird, nimmt der Abtastbereich ab, wie bei EB₂ und EB* gezeigt·

Fig« 3 zeigt ein Elektronenmikroskop, mit dem sieh sich sowohl ein übliches Durchstrahltmgselektronen-Blld als auch ein Sekundärelektronen-Bild erzeugen läßt. Das in dieser FIgVLT- gezeigte Elektronenmikroskop weißt eine Objektivlinse 30 auf. Mn «sa» einem Polstück 31, einem Joch 32 und einer

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Spule (nicht gezeigt) besteht. Das Polstück 31 weist drei ferromagnetische Pole 33,34,35 auf, die durch einen nichtmagnetischen Abstandhalter 36 verbunden sind. Die Pole 33 und 34 bilden einen ersten Spalt, und die Pole 34 und 35 einen zweiten Spalt. Aufgrund dieser Unordnung kann durch Anlegen eines hohen Erregerstroms an die Spule in jedem der beiden Spalte ein starkes Magnetfeld erzeugt werden, das als linse wirkt. Ein Objekt 37 ist zwischen den beiden Spalten, vorzugsweise in der Objektebene der Objektivlinse, angeordnet· Das Feld im ersten Spalt fokusiert den parallelen Elektronenstrahl, wobei der Elektronenstrahl ein verkleinertes Bild eines Einschntirungspunktes auf dem Objekt 37 bildet· Ein Vorteil dieser Anordnung besteht darin, daß, da das Magnetfeld im ersten Feld stark ist, das verkleinerte Bild und seine zugehörige sphärische Aberration sehr klein sind. Ein weiterer Vorteil dieser Anordnung besteht darin, daß das Objekt 37 von äußeren elektrischen und magnetischen Störungen nicht beeinflußt wird.

Die von dem Objekt 37 ausgelösten Sekundärelektronen werden von dem Vorfeld "zusammengehalten¹¹ und von einer Elektrode 39, der von einer Energiequelle 38 eine positive Spannung', zugeführt wird, nach oben beschleunigt. Auf diese Weise werden die Sekundärelektronen in dem Vorfeld spiralförmig längs der Elektronenstrahlachse beschleunigt, da die Energie der

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Sekundärelektronen schwach und das magnetische Vorfeld stark ist.

Die Elektronen, die durch die öffnung der Elektrode 39 durchtreten, werden von einem Magnetfeld 40 (das gegebenenfalls auch weggelassen werden kann) abgelenkt und einem Detektor 41 zugeführt, der mit Abstand zu der Elektronenstrahlach.se angeordnet ist. Der Detektor 41 besteht aus einem geerdeten Gehäuse 42, einem Photovervielfacher 43, einer Lichtröhre 44, einer Elektrode 45» an die von der Energiequelle 38 eine positive Spannung angelegt wird, und einem fluoreszierenden Schirm 46. Die Sekundärelektronen treffen auf dem fluoreszierenden Schirm 46 auf und werden in Lichtsignale umgewandelt. Diese Signale durchlaufen die Lichtröhre 44 und werden von dem Photovervielfacher 43 aufgefangen. Das Ausgangssignal des Detektors 41 wird einer Anzeigevorrichtung 4-7, etwa in Form einer Kathodenstrahlröhre, zugeführt.

Zwei Ablenkspulen 48, denen ein Abtastsignal von einem Signalgenerator 47 zugeführt wird, sind im oberen Teil des Magnetfeldes 40 angeordnet, so daß der auftreffende Elektronenstrahl das Objekt 37 in zwei Richtungen abtastet. Das Abtastsignal wird außerdem einer Ablenkeinrichtung 47a der Anzeigevorrichtung 47 zugeführt. Somit wird der auftreffende Elektronenstrahl EB in der durch EB^, EBc und EBg gezeigten

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- ίο -

Weise (Pig.4) abgetastet. Das Magnetfeld, das τοη dem ersten Spalt (dargestellt durch die erste Linse OL₁ in Pig.4) der Objektivlinse 30 erzeugt wird, dient sowohl zur Pokusierung wie auch Ablenkung des auftreffenden Elektronenstrahls.

Bei dem oben beschriebenen Ausftihrungsbeispiel ist der Detektor 41 in ©isiar Ebene oberhalb des Objekts angeordnet, um die Sekundärelektronen aufzufangen. Es ist jedoch auch InUgIiGh₉ den Detektor in einer Ebene unterhalb des Objekts anzuordnen, um ein Durchstrahlungselektronen-Bild zu erzeugen. Bei Erzeugung eines Durehstraltlungselektronen-Bildes muß jedoch die Ablenkeinrichtung 48 entregt und die Sammellinse (nicht gezeigt) derart eingestellt werden, daß der auftreffende Elektronenstrahl in der Tor-deren Brennebene der ersten Linse GL-j fokusiert wird» Dies ist erforderlich, um einen parallelen Elektronenstrahl auf des Objekt 37 auftreffen zu lassen. Der Elektronenstrahls der das Objekt durchdringt, wird in der Ebene P fokusiert* und zwar mit Hilfe des Magnetfeldes, das τοη dem zweiten Spalt erzeugt

wird (dargestellt in Pig»4 duroh die spalte Linse OL2)· Das auf diese Weise erhaltene Bild i*/i^d tcx stner oder mehreren Vergrößerungslinse?! Tergr6£©E--fe vmu. mi£ '.-'^,©n fluoreszierenden Schirm projiziert·

Pig. 5 zeigt ein abgewandeltes lasfSlinisgsiselspiel des in Pig·3 gezeigten Elektronenmikroskops» Bei äXesem Äügftüirungs-»

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"belspiel ist das in Pig·3 gezeigte Magnetfeld 40 durch eine zweite Elektrode 50 ersetzt worden· Die Elektrode 50 liegt an Masse oder negativem Potential an, so daß die Geschwindigkeit der von der ersten Elektrode 39 "beschleunigten Sekundärelektronen verringert wird." Die Elektronen werden von dem elektrischen Feld, das von der Elektrode 50 erzeugt wird, dem Detektor 4-1 zugeführt,

Fig.6 zeigt ebenfalls ein abgewandeltes Ausftihrungsbeispiel des in Fig·3 gezeigten Elektronenmikroskops, In diesem Fall besteht die Objektivlinse 51 aus zwei Magnetpolen 52,53» einem Joch 54· und einer Spule 55· Ein Dauermagnet 56 ist im oberen Teil der Objektivlinse angeordnet. Eine Jochplatte 57,. an die ein Magnetpol 58 angepaßt ist, ist am oberen Ende des Dauermagnets 56 befestigt. Das von den Magnetpolen 58 und 52 erzeugte Magnetfeld wirkt somit als die erste Linse, und das von den Magnetpolen 52 und 53 erzeugte Magnetfeld als die zweite Linse. Der Dauermagnet 56 kann auch durch eine magnetische Erregerspule ersetzt werden·

Fig«7 zeigt ein weiteres abgewandeltes Ausftihrungsbeispiel des in Fig.3 dargestellten Elektronenmikroskops· In diesem Fall weist ein in einer Objektivlinse 60 angeordnetes Polstück 61 zwei Magnetpole 62 und 63 auf· Die Linsenstärke o> der Objektivlinse läßt sich wie folgt ausdrücken:

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eB₀ ²d²

Hierin "bedeuten e die elektrische Ladung, B₀ den maximalen Wert des axialen Magnetfeldes, d die Halbwerfbreite des axialen Magnetfeldes, m_Q die Masse des Elektrons und V die Beschleunigungsspannung. ₇ Bei diesem Ausführungsbeispiel ist W gleich 2 oder mehr. Fig.8 zeigt die Magnetfeldverteilung, die von der Objektivlinse 60 bei starker Erregung erzeugt wird. Das Objekt 37 wird im Bereich der maximalen Feldstärke angeordnet. Ein Magnetfeld H^, das vor dem Objekt 37 erzeugt wird, wirkt als die erste Linse, und ein Magnetfeld ^* das hinter dem Objekt angeordnet ist, wirkt als die zweite Linse« Auf diese Weise läßt sich wie bei dem Ausführungsbeispiel gemäß Fig.3 sowohl ein Sekundärelektronen-Bild wie auch ein Durchstrahlungselektronen-Bild erzeugen. Wenn das Durchstrahlungselektronen-Bild beobachtet wird, ist es wünschenswert, den an die Ob^ektivlinse abgegebenen Erregerstrom zur verstellen, so daß der auf das Objekt auftreffende Elektronenstrahl defokusiert und somit über einen großen Sichtbereich zerstreut wird«,

Bei dem in Fig.9 gezeigten Ausführungsbeispiel befindet sich der Detektor 41 oberhalb der Ablenkeinrichtung. Da sich jedoch das magnetische Vorfeld bis zum oberen Teil der Ablenk-

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■Ο Λ 1 ι"* O O Π

einrichtung 48 erstreckt, werden die Elektronen von dem PeId längs der optischen Achse erneut fokusiert und von dem Detektor 41 aufgefangen, selbst wenn die Sekundärelektronen abgelenkt werden. Der Vorteil dieser Anordnung besteht darin, daß die Ablenkeinrichtung.näher bei der Objektivlinse angeordnet werden kann, wodurch die durch die Ablenkung erzeugte Aberration des Elektronenstrahls auf ein Minimum beschränkt und eine hohe Auflösung erzielt werden können. Perner ist es möglich, den Beobachtungsbereich des Objekts zu vergrößern und ohne Schwierigkeiten Befestigungseinrichtungen (beispielsweise für Heiz- und Kühlvorrichtungen für das Objekt) vorzusehen.

Pig.10 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel der Erfindung in vollständigerer Darstellung. Hier ist die Ablenkvorrichtung 48 zum Ablenken des auftreffenden Elektronenstrahls am oberen Teil des Magnetpols 62 der Objektivlinse 60 befestigt. Ein bewegbares Bauteil 65, das einen Objekthalter 66 trägt, ist mittels Kugeln 64 auf der Objektivlinse gelagert. Der Detektor 41, der in der Objektkammer 67 angeordnet ist, fängt die aus dem Objekthalter 66 austretenden Sekundärelektronen auf. Die Sammellinse 68 ist an der Oberseite der Objektkammer 67 angebracht.

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Claims

2113289 Patentansprüche

1.!Elektronenmikroskop mit einer Elektronenquelle, einer Ablenkeinrichtung zum Ablenken des von der Elektronenquelle erzeugten Elektronenstrahls, der somit das zu untersuchende Objekt abtastet, einem Detektor zum Auffangen der vom Objekt emittierten Sekundärelektronen und einer am Detektor angeschlossenen, mit der Ablenkeinrichtung synchronisierten Anzeigevorrichtung zum Darstellen des abgetasteten Elektronenbildes, dadurch gekennzeichnet, daß das Objekt (6j37) in einem Magnetfeld angeordnet ist, dessen magnetisches Vorfeld die vom Objekt emittierten Sekuadärelektronen foktzsiert oder sammelt·

2 β Elektronenmikroskop nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zum Erzeugen des Magnetfeldes eine Linse (7) hoher Erregung vorgesehen ist, wobei das Vorfeld des Magnetfeldes die vom Objekt emittierten Sekundärelektronen fokusiert, und daß eine Sammellinse (2) vorgesehen ist, lie lmn von der Elektronenquelle (1) erzeugten He^troEienatrauA fokusiert (Tlg.1).

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OfSGiNAL INSPECTED

ι i

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3. Elektronenmikroskop nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das von der Linse (7) hoher Erregung erzeugte Magnetfeld veränderlich ist.

4· Elektronenmikroskop nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zum Erzeugen des Magnetfeldes eine Objektivlinse (30) hoher Erregung vorgesehen ist, in der das Objekt angeordnet ist, wobei das magnetische Vorfeld der Objektivlinse die vom Objekt (37) emittierten Sekundärelektronen sammelt und das magnetische Nachfeld den durch das Objekt hindurchtretenden Elektronenstrahl fokusiert (Fign.3-10).

5. Elektronenmikroskop nach Anspruch 4-, dadurch gekennzeichnet, daß die Objektivlinse (30) drei Magnetpole (33, 34,35), ein Joch (22) und eine Erregerspule aufweist, wobei der erste und zweite Magnetpol (33,34) das magnetische Vorfeld und der zweite und dritte Magnetpol (34,35) das magnetische Nachfeld erzeugen (Fig.3).

6. Elektronenmikroskop nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Objektivlinse (30) zwei Magnetpole (52, 53), ein Joch (54) und eine Erregerspule (55) aufweist, wobei das Objekt im Bereich maximaler Feldstärke des von den beiden Magnetpolen erzeugten Magnetfeldes angeordnet ist (Fign.6,7,8).

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■ ά ί ; ' i £ β y - 16 -

7· Elektronenmikroskop nach, einem der Ansprüche 4 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Detektor (41) im oberen Teil der Ablenkeinrichtung (48) angeordnet ist (Pig.9).

8. Elektronenmikroskop nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zum Erzeugen des Magnetfeldes eine Objektivlinse hoher Erregung vorgesehen ist, in der das Objekt angeordnet ist, wobei das magnetische Vorfeld der Objektivlinse die vom Objekt emittierten Sekundärelektronen fokusiert und das magnetische Nachfeld den das Objekt durchdringenden Elektronenstrahl fokusiert, und daß eine Umlenkeinrichtung (40;50) vorgesehen ist, die die Sekundärelektronen von der optischen Achse in Richtung auf den Detektor ablenkt.

9. Elektronenmikroskop nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Umlenkeinrichtung ein in der optischen Achse erzeugtes Magnetfeld (40) aufweist (Fign.3,4).

10. Elektronenmikroskop nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Umlenkeinrichtung eine oberhalb der Objektivlinse angeordnete Elektrode (50) aufweist (Fign.5-7).

11. Elektronenmikroskop nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zum Erzeugen des Magnetfeldes drei Magnetpole (33,34,35) längs der optischen Achse (EB) angeordnet sind,

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ι. : ί

■*> *~i γ* ο

· j 2 8 9

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τοπ denen der erste und zweite Magnetpol (33»34) einen ersten Spalt und der zweite und dritte Magnetpol (34,35) einen zweiten Spalt zwischen sich bilden, wobei das zu untersuchende Objekt (37) zwischen den beiden Spalten angeordnet ist, und daß in jedem der beiden Spalte ein Magnetfeld erzeugbar ist, von denen das eine die Sekundärelektronen und das andere den das Objekt durchdringenden Elektronenstrahl fokusiert, und daß der Detektor (41) oberhalb des ersten Magnetpols (33) angeordnet ist.

12· Elektronenmikroskop nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zwei Ablenkeinrichtungen (48) vorgesehen sind, daß die Einrichtung zum Erzeugen des Magnetfeldes, in dem das Objekt angeordnet ist, derart ausgebildet ist, daß das magnetische Vorfeld den auftreffenden' Elektronenstrahl fokusiert und ablenkt und die vom Objekt emittierten Sekundär-

und

elektronen fokusiert,/daß der Detektor oberhalb des magnetischen Vorfeldes angeordnet ist.

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