DE2036485B2

DE2036485B2 - PROCEDURE AND EQUIPMENT FOR DETERMINING A SURFACE CHARACTERISTIC VALUE FREE OF INCIDENTAL OR IRREGULAR MALFUNCTIONS

Info

Publication number: DE2036485B2
Application number: DE19702036485
Authority: DE
Inventors: Rainer Dipl.-Phys.; Woschni Hans-Günter Dipl.-Phys.Dr.; χ 6900 Jena Gutsch
Original assignee: Jenoptik Jena GmbH
Current assignee: Jenoptik AG
Priority date: 1969-11-19
Filing date: 1970-07-23
Publication date: 1973-03-01
Also published as: GB1256677A; DE2036485C3; DE2036485A1; CH515486A; FR2071631A5

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Einrichtung zur Ermittlung eines von zufälligen oder unregelmäßigen, durch Kratzer und andere Oberfläch^nunregelmäßigkeiten verursachten Störungen freien Oberflächenkennwertes mit einem über die Werkstückoberfläche hinweggleitenden Taster, wobei durch die senkrecht zur Werkstückoberfläche erfolgenden Auslenkungen des Tasters ein elektrischer Wandler beaufschlagt wird, dessen dem Oberflächenprofil analoge elektrische Ausgangssignale weiterverarbeitet und einem Meß- oder Aufzeichnungsgerät zugeleitet werden.The invention relates to a method and a device for determining one of random or irregularities caused by scratches and other surface irregularities caused disturbances of the free surface characteristic value with a probe sliding over the workpiece surface, whereby due to the deflection of the probe perpendicular to the workpiece surface, an electrical Transducer is applied, the surface profile of which processes analog electrical output signals and fed to a measuring or recording device.

Beim Prüfen von Oberflächenprofilen wird neben anderen Kenngrößen vor allem die Rauhtiefe bestimmt. Diese ist definiert als der Abstand des Grundprofils vom Rauheitsbezugsprofil und ist der größte Abstand des Istprofils vom Rauheitsbezugsprofil, wobei das Rauheitsbezugsprofil eine dem geometrisch idealen Profil ähnliche Linie und das Grundprofil die Äquidistante zum Rauheitsbezugsprofil ist.When testing surface profiles, the surface roughness is primarily determined in addition to other parameters. This is defined as the distance between the basic profile and the roughness reference profile and is the largest distance of the actual profile from the roughness reference profile, the roughness reference profile being a dem line similar to the geometrically ideal profile and the basic profile the equidistant to the roughness reference profile is.

Es sind Verfahren bekannt, bei denen mittels Tastschnittgeräten die Rauhtiefe von Prüflingsoberflächen bestimmt wird. Die senkrecht zur zu prüfenden Oberfläche erfolgenden Auslenkungen der Taster werden mittels elektrischer Wandler in elektrische Größen umgeformt, durch einen Verstärker verstärkt und einem Schreibgerät zugeführt, welches auf einem Registrierstreifen die Auslenkungen des Tasters aufzeichnet. Aus dem Schrieb wird die Rauhtiefe entsprechend der angegebenen Definition ermittelt.There are known methods in which the surface roughness of test object surfaces by means of stylus devices is determined. The deflections of the probe perpendicular to the surface to be tested are converted into electrical quantities by means of electrical converters, amplified by an amplifier and fed to a writing instrument, which records the deflections of the button on a recording strip. The surface roughness is determined from the writing in accordance with the definition given.

Technische Oberflächen weisen jedoch häufig zufällige, erheblich von einem Mittelwert abweichende Unregelmäßigkeiten in Form von tiefen Kratzern od. ä. auf, welche ebenfalls durch das Schreibgerät aufgezeichnet werden. Bei der Auswertung der Schriebe zwecks Bestimmung der Rauhtiefe würde diese daher zu große Werte annehmen. Fehlmessungen würden ebenso bei der Ermittlung einer mittleren Rauhtiefe, die durch Integration der Tasterbewegung über einen bestimmten Weg, z. B. der Rauheitsbezugsstrecke, in einem Oberflächenprüfgerät gewonnen wird, durch solche zufälligen oder unregelmäßigen Oberflächenkratzer auftreten.Technical surfaces, however, often show random, significantly deviating from a mean value Irregularities in the form of deep scratches or the like, which are also caused by the writing instrument to be recorded. When evaluating the writings for the purpose of determining the surface roughness these therefore assume too great values. Incorrect measurements would also occur when determining a mean Surface roughness, which by integrating the stylus movement over a certain path, z. B. the roughness reference distance, is obtained in a surface tester, by such random or irregular Surface scratches occur.

In der Feinmeßtechnik ist es üblich, solche sogenannten »Ausreißer« zu eliminieren, um zu einem objektiveren Rauhtiefenwert für die zu prüfende Oberfläche zu kommen. In Erkenntnis dieser Mängel in der in den Normen dargelegten Definition fürIn precision measurement technology, it is common to use so-called To eliminate "outliers" in order to achieve a more objective surface roughness value for the test Surface to come. Recognizing these shortcomings in the definition for

die Rauhtiefe wurde deshalb ein sogenannter .R,-Wert für die mittlere Rauhtiefe als mittlerer Abstand der fünf höchsten und fünf tiefsten Punkte des Istprofils innerhalb der Rauheitsbezugsstrecke standardisiert. Die Ermittlung dieses JR,-Wertes mittels elektronischer Einrichtungen, die mit einem Oberflächen-Tastschnittgerät verbunden sind, ist jedoch nur mit großem elektronischem Aufwand möglich.the surface roughness therefore became a so-called .R, value for the mean surface roughness as the mean distance between the five highest and five lowest points of the actual profile standardized within the roughness reference range. The determination of this JR, value by means of electronic Establishments using a surface stylus device are connected, is only possible with great electronic effort.

Nach einem bekannten Verfahren und mit einem Gerät zur Durchführung des Verfahrens wird ein dem i?,-Wert angenähert entsprechender Wert abweichend von der in der Norm festgelegten Definition so ermittelt, daß die Rauheitsbezugsstrecke in fünf Teilbereiche unterteilt wird. Für jeden dieser Teilbereiche wird dann der entsprechende Rauhtiefenwert ermittelt.According to a known method and with a device for carrying out the method, a the value approximating the i?, - value deviating determined by the definition specified in the standard in such a way that the roughness reference distance in is divided into five sub-areas. The corresponding surface roughness value is then used for each of these sub-areas determined.

Es ist ein weiterer Nachteil der bekannten Verfahren, daß bei der Messung der Rauhtie'e von technischen Oberflächen die sogenannten »Ausreißer« nicht eliminiert werden können und auch eine Trennung von regelmäßig auftretenden tiefen Rillen oder hohen Graten von einer minieren Rauheit nicht durchgeführt werden kann. Durch diese Mangel wird naturgemäß das Meßergebnis verfälscht, und in. der Folge davon können Fehlbeurteilungen der Oberflächengestalt erfolgen.Another disadvantage of the known method is that when measuring the roughness of technical Surfaces which so-called »outliers« cannot be eliminated and also a separation of regularly occurring deep grooves or high ridges of a miniscule roughness not carried out can be. The measurement result is naturally falsified by this deficiency, and in the This can result in incorrect assessments of the surface design.

Es ist deshalb Zweck der Erfindung, diese Mangel zu beseitigen und Fehlbeurteilungen der Oberflächengestalt von Prüflingen auf Grund von Unregelmäßigkeiten in Form von tiefen Kratzern od. ä. zu vermeiden und ein Verfahren und eine Einrichtung zur Trennung der unregelmäßig oder regelmäßig auftretenden Oberflächenstörungen von der tatsächlichen Oberflächenrauheit und zur Ermittlung eines von solchen Störungen weitgehend freien Oberflächenkennwertes zu schaffen.It is therefore the purpose of the invention to remedy these deficiencies and misjudgments of the surface shape of test objects due to irregularities in the form of deep scratches or the like and a method and apparatus for separating the intermittently or regularly occurring Surface disturbances from the actual surface roughness and to determine a to create surface parameters that are largely free of such disturbances.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe bei einem Verfahren der eingangs genannten Art dadurch gelöst, daß eine an Speicherkondensatoren anstehende Spannung zur Begrenzung des in Speicher hineingehenden Signals derart vorgesehen ist, daß beim Auftreten von erhöhten, durch große Einzelstörungen auf der Oberfläche des Prüflings verursachten Spannungsspitzen nur eine dem an einem Begrenzer einstellbaren Betrag entsprechende Spannungserhöhung an Jen Speichern erfolgt und jedes weitere zu den Speicherkondensatoren gelangende Signal nur dann eine dem eingestellten Betrag entsprechende Spannungserhöhung in den Speichern bewirkt, wenn die Amplitude des Signals größer als der bereits in den Speichern gespeicherte Spannungswert ist.According to the invention, this object is achieved in a method of the type mentioned at the outset by that a voltage applied to storage capacitors to limit the amount going into memory Signal is provided in such a way that when increased, large individual disturbances occur Voltage peaks on the surface of the test object only caused one of those on a limiter adjustable amount corresponding voltage increase on Jen storage takes place and each further The signal that reaches the storage capacitors only corresponds to the set amount The voltage in the memory increases when the amplitude of the signal is greater than that already in is the voltage value stored in the memories.

Es ist vorteilhaft, wenn die Trennung von regelmäßig wiederkehrenden Kratzern oder anderen Oberflachenunregelmäßigkeiten von der allgemeinen Rauheit der Oberfläche durch Einführung einer Zeitkonstanten für die Speicherkondensatoren in Abhängigkeit von den Abständen der Erhebungen und Vertiefungen auf der zu prüfenden Oberfläche erfolgt. It is beneficial when separating from regularly recurring scratches or others Surface irregularities from the general roughness of the surface by introducing a time constant for the storage capacitors depending on the distances between the elevations and Depressions are made on the surface to be tested.

Bei einer Einrichtung zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens werden die dem Oberflächenprofil des Prüflings analogen Ausgangssignalc des Wandlers über einen oder mehrere variable oder fest einstellbare Widerslände einem Impedanzwandler zugeleitet und sind Speicher vorgesehen, in denen die Ausgangssignale des Impedanzwandler über elektrische Ventile speicherbar sind, und ist weiterhin ein Diskriminator vorgesehen, durch den bei jedem Polarisationswechsel der Signale des Wandlers eine Umschaltung von Schaltern erfolgt, sowie laden sich nach dem Umschalten der Schalter die Sprich jr auf die in vorgesehenen Speicherkondensatoren gespeicherte Spannung auf, die sich jedoch nur dann erhöht, wenn das Signal größer als der bereits gespeicherte Wert ist.In a device for carrying out the method according to the invention, the surface profile of the test object analog output signalc of the converter via one or more variable or permanently adjustable contradictions fed to an impedance converter and memories are provided in which the output signals of the impedance converter can be stored via electrical valves, and still is a discriminator is provided through which a Switching of switches takes place and the Sprich jr are charged after switching the switches the voltage stored in the storage capacitors provided, which, however, only increases when if the signal is greater than the value already stored.

Eine vorteilhafte Ausführungsform der Einrichtung ergibt sich, wenn die dem Oberflächenprofil desAn advantageous embodiment of the device is obtained when the surface profile of the

ίο Prüflings analogen Ausgangssignale des Wandlers über einen oder mehrere variable oder fest einstellbare Widerstände einem Impedanzwandler zugeleitet werden und wenn Speicher vorgesehen sind, in denen die Ausgangssignale des Impedanzwandlers über elektrische Ventile speicherbar sind, und wenn eine Zeitkonstante bewirkende Glieder vorgesehen sind, über welche sich die Speicher auf die in vorgesehenen Speicherkondensatoren gespeicherte Spannung aufladen, die sich jedoch nur dann erhöht, wenn das Signal größer als der bereits gespeicherte Wert ist.ίο analog output signals of the converter under test fed to an impedance converter via one or more variable or permanently adjustable resistors and if memories are provided in which the output signals of the impedance converter can be stored via electrical valves, and if elements effecting a time constant are provided are via which the memory is based on the voltage stored in the provided storage capacitors charge, which only increases when the signal is greater than the one already stored Is worth.

Es ist weiterhin vorteilhaft, wenn bei der Einrichtung Begrenzer derart vorgesehen sind, daß Spannungserhöhungen je Signal an den Speichern nur um vorher einstellbare Beträge erzielbar sind.It is also advantageous if limiters are provided in the device in such a way that voltage increases can only be achieved by amounts that can be set beforehand for each signal at the memory.

Durch Anwendung des erfindungsgemäßen Verfahren^ und der Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens ist es möglich, ein von zufälligen Fehlern weitgehend freies Rauhtiefenmaß zu ermitteln.By using the method according to the invention and the device for carrying out the With this method, it is possible to determine a roughness depth that is largely free of random errors.

Insbesondere bei automatischer Messung der Rauhtiefe können die sogenannten »Ausreißer« in einfacher Weise und mit Hilfe einer relativ einfachen Einrichtung unterdrückt werden, so daß diese das Meßergebnis nicht verfälschen und nicht zu einer Fehlbeurteilung der Oberflächengestalt des Prüflings Anlaß geben. Es ist weiterhin möglich, eine Trennung von regelmäßig auftretenden tiefen Rillen oder hohen Graten von einer mittleren Rauheit durchzuführen. Particularly with automatic measurement of the surface roughness, the so-called »outliers« can be dealt with more easily Way and with the help of a relatively simple device, so that this Do not falsify the measurement result and do not lead to an incorrect assessment of the surface shape of the test object To give reason. It is still possible to separate regularly occurring deep grooves or to carry out high burrs with a medium roughness.

Die Erfindung soll nachstehend an einem Ausführungsbeispiel näher erläutert werden.
In der Zeichnung zeigtThe invention will be explained in more detail below using an exemplary embodiment.
In the drawing shows

Fig. 1 eine Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens,1 shows a device for carrying out the method,

F i g. 2 eine Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens mit eine Zeitkonstante bewirkenden Gliedern undF i g. 2 effecting a device for carrying out the method with a time constant Outlines and

F i g. 3 den Spannungsverlauf an den Speichern.
Bei der in Fig. 1 dargestellten Anordnung wird von einem Taster 1 eines Oberflächenprüfgerätes die Oberfläche des Prüflings 2 abgetastet, dessen Bewegungen relativ zur Prüflingsoberfläche durch einen Wandler 3 in dem Oberflächenprofil analoge elektrische Signale U₁₁, z. B. Spannungen, umgewandeltF i g. 3 the voltage curve at the storage tanks.
In the illustrated in Fig. 1 arrangement of a surface inspection is scanned the surface of the specimen 2 by a trigger 1, the movements of which, z relative to the specimen surface by a converter 3 analog in the surface profile electrical signals U _11. B. Stresses converted

werden. Diese dem Oberflächenprofi' des Prüflings 2 analogen Ausgangssignale U^ des Wandlers 3 werden über einen Widerstand R und einen variablen oder fest einstellbaren Widerstand R₁ einem Impedanzwandler 4 zugeführt. Hierbei bewirkt der Widerstand Λ' einen hochohmigen Eingang am Impedanzwandler 4. Dabei wird der positive Teil des Signals U₁: über ein elektrisches Ventil 5 in dem Speicherkondensator C_n und der negative Teil des Signal U_E über ein elektrisches Ventil 6 in dem SpeicherkondensatorC₁₂ gespeichert. Ein Diskriminator 7 schaltet bei jedem Polarisationswechsel des Signals U_i: eine Schalteinrichtung (nicht dargestellt), durch welche die Schalter 8 und 9 gleichzeitig im entgegen-will. These output signals U ^ of the converter 3, which are analogous to the surface profile of the test object 2, are fed to an impedance converter 4 via a resistor R and a variable or fixed resistor R _1. Here, the resistor Λ 'causes a high-resistance input at the impedance converter 4. The positive part of the signal U ₁ : via an electrical valve 5 in the storage capacitor C _n and the negative part of the signal U _E via an electrical valve 6 in the storage _{capacitor C 12} saved. A discriminator 7 switches with each change in polarization of the signal U _i: a switching device (not shown) through which the switches 8 and 9 simultaneously in opposite directions.

gesetzten Sinne umgeschaltet werden. Nach dem entsprechenden Umschalten der Schalter 8 und 9 je nach Polarität des Signals U_n laden sich dann die Speicher C₁ bzw. C₂₂ auf die in den Speicherkondensatoren C_n bzw. C₁, gespeicherte Spannung auf. Eine Spannungserhöhung an den Speicherkondensatoren C_n und C₁₂ erfolgt dann, wenn ein weiteres Signal U'_n, welches größer ist als die bereits in den Speicherkondensatoren gespeicherte Spannung, den Impedanzwandler 4 erreicht. Durch einen Begrenzer 10 wird ein fest einstellbarer Betrag U_B (Fig. 3) für die bei jeder Umschaltung der Schalter 8 und 9 maximal mögliche Spannungserhöhung an den Speichern C₂₁ und C₂₂ festgelegt. Jedes weitere zu den Speicherkondensatoren C₁₁ bzw. C₁₂ gelangende Signal U_n bewirkt aiso nur dann in den Speichern C₂, bzw. C₂₂ eine dem eingestellten Betrag U₁₁ entsprechende Spannungserhöhung, wenn seine Amplitude größer als der bereits gespeicherte Wert U_sp (Fig. 3) ist. An einem Anzeige- oder Aufzeichnungsgerät 11 wird die zwischen den beiden Speichern C₂₁ und C₂ bestehende Spannungsdifferenz als ein neues Maß M für die Rauhtiefe des Oberflächenprofils des Prüflings 2 innerhalb der Rauheitsbezugsstrecke L angezeigt und registriert. Dieses neue Rauheitsmaß M stellt somit einen neuen von zufälligen oder unregelmäßigen, durch große Qberflächenerhebungen oder -Vertiefungen verursachten Störungen freien Oberflächenkennwert dar.set senses can be switched. After the switches 8 and 9 have been appropriately switched over, depending on the polarity of the signal U _n , the memories C ₁ and C ₂₂ are then charged to the voltage stored in the storage capacitors C _n and C _{1, respectively.} A voltage increase at the storage capacitors C _n and C ₁₂ occurs when a further signal U ' _n , which is greater than the voltage already stored in the storage capacitors, reaches the impedance converter 4. A limiter 10 defines a fixed, adjustable amount U _B (FIG. 3) for the maximum possible voltage increase at the memories C ₂₁ and C ₂₂ each time the switches 8 and 9 are switched. Each further signal U _n reaching the storage capacitors C ₁₁ or C ₁₂ causes a voltage increase in the memory C ₂ or C ₂₂ corresponding to the set amount U ₁₁ only if its amplitude is greater than the already stored value U _sp ( Fig. 3). _{The voltage difference existing between the two memories C 21} and C ₂ is displayed and registered on a display or recording device 11 as a new measure M for the roughness depth of the surface profile of the test specimen 2 within the roughness reference distance L. This new roughness measure M thus represents a new surface parameter free of random or irregular disturbances caused by large surface elevations or depressions.

In Fig. 2 ist eine weitere Ausführungsform der Einrichtung zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens dargestellt. Bei dieser Einrichtung wird das von dem Wandler 3 über die Widerstände R und R₁ dem Impedanzwandler 4 zugeführte Signal U_£ über eine Zeitkonstante bewirkende Glieder R₂, R₃, R_v R₅, R₆ und R. in den Speichern C₂₁ und C₂₂ gespeichert. Wie bei der Einrichtung nach Fig. 1, so ist auch bei der Einrichtung nach F i g. 2 ein Begrenzer 10 vorgesehen, durch den ein fest einstellbarer Betrag Uα für die maximal mögliche Spannungserhöhung an den Speichern C₂₁ und C₂₂ festgelegt wird. Jedes neue Signal U_e trägt also auch hier nur dann zu einer dem eingestellten Betrag U₁₁ entsprechenden Spannungserhöhung an den Speichern bei, wenn seine Amplitude größer als der in den Speichern C₁ und C₂₂ bereits gespeicherte Wert U_sp ist.In Fig. 2, a further embodiment of the device for performing the method according to the invention is shown. In this device, the signal U _£ fed from the converter 3 via the resistors R and R _{1 to} the impedance converter 4 via a time constant causing elements R ₂ , R ₃ , R _v R ₅ , R ₆ and R in the memories C ₂₁ and C ₂₂ saved. As with the device according to FIG. 1, the device according to FIG. 2, a limiter 10 is provided, by means of which a fixed, adjustable amount Uα for the maximum possible voltage increase at the memories C ₂₁ and C _{22 is} established. Each new signal U _e therefore only contributes to a voltage increase in the memories corresponding to the set amount U ₁₁ if its amplitude is greater than the value U _sp already stored _{in memories C 1} and C ₂₂ .

ίο Bei diesen Einrichtungen kann also eine erhebliche von einem Mittelwert abweichende Oberflächenerhebung oder -vertiefung unabhängig von deren Betrag und Ausdehnung in Abtastrichtung nur bis zu einem an dem Begrenzer 10 einstellbaren Betrag U_n in den Meßwert, der durch das Anzeigeoder Aufzeichnungsgerät 11 angezeigt oder registriert wird, eingehen.In these devices, a significant surface elevation or depression deviating from a mean value can only be included in the measured value up to an amount U _n which can be set on the limiter 10, regardless of its amount and extent in the scanning direction, which is displayed or registered by the display or recording device 11 , received.

Weiterhin ist es mit dieser Einrichtung möglich, durch die Einführung einer Zeitkonslanten für die Speicherkondensatoren C_n und C₁, regelmäßig wiederkehrenden Erhebungen und Vertiefungen der Prüf'iingsoberfläche von der allgemeinen Rauheit zu trennen. Zu diesem Zweck müssen die eine Zeitkonstante bewirkenden Glieder R_s, R₃, R₄, .R₅, R₀, R. soFurthermore, with this device it is possible, by introducing a time constant for the storage capacitors C _n and C ₁ , to separate regularly recurring bumps and depressions on the test surface from the general roughness. For this purpose, the elements R _s , R ₃ , R ₄ , R ₅ , R ₀ , R. so that cause a time constant

dimensioniert sein, daß die" Zeitkonstante in der Größenordnung der Periode der Erhebungen und Vertiefungen auf der Prüflingsoberfläche liegt.be dimensioned that the "time constant in the order of magnitude of the period of the surveys and Depressions on the specimen surface.

In F i g. 3 ist der Verlauf der den Wandler 3 verlassenden Signale U_E dargestellt. Dabei ist U_B der an dem Begrenzer 10 einstellbare Betrag der Spannungserhöhung an den Speichern C₂₁ und C₂₂. Die in den Speichern C₂₁ und C₂₂ jeweils gespeicherte Amplitude der Spannung ist mit U_sn gekennzeichnet. Diese erhöht sich, wie oben erwähnt, durch jedes weitere die Speicher erreichende Signal nur um den Betrag U_b, wenn die Amplitude dieses Signals größer als der bereits gespeicherte Spannungswert ist.In Fig. 3 shows the profile of the signals U _E leaving the converter 3. U _{B is} the amount of the voltage increase at the stores C ₂₁ and C ₂₂ that can be set at the limiter 10. The amplitude of the voltage stored in each of the memories C ₂₁ and C ₂₂ is identified by U _sn . As mentioned above, this increases by each further signal reaching the memory only by the amount U _b if the amplitude of this signal is greater than the voltage value already stored.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen1 sheet of drawings

Claims

Patent claims:

1. A method for determining a surface parameter free of random or irregular disturbances caused by scratches and other surface irregularities with a probe sliding over the workpiece surface, whereby the deflections of the probe perpendicular to the workpiece surface act on an electrical transducer whose electrical output signals are analogous to the surface profile further processed and a measurement or recording device are fed, characterized in that one of the storage capacitors (C _11, C _12; applied voltage to limit ₂₂₎ ingoing signal is provided to the in memory (C _21, C that increased the occurrence of, Voltage peaks caused by large individual disturbances on the surface of the test object (2) only result in a voltage increase corresponding to the amount (U ₈ ) that can be set on a limiter (10) at the storage units (C ₂₁ or C ₂₂ ), and each additional one to the storage unit capacitors (C ₁₁ or C ₁₂ ), the signal (U _E ) only causes a voltage increase in the memories (C ₂₁ or C ₂₂ ) corresponding to the set amount (t / _ß ) if the amplitude of the signal (U ₁ . ) is greater than the voltage value (U _sp ) already stored in the accumulators (C ,, or C ₂₂ ).

2. The method according to claim 1, characterized in that the separation of regularly recurring scratches or other surface irregularities from the general roughness of the surface by introducing a time constant for the storage capacitors (C ,,, C ₁₂ ) depending on the distances between the elevations and depressions takes place on the surface to be tested.

3. Device for performing the method according to claim 1 and 2, characterized in that the surface profile of the test object (2) analog output signals (U _E ) of the transducer (3) via one or more variable or permanently adjustable resistors (R, R ₁ ) an impedance converter (4), that memories (C ₂₁ , C ₂₂ ) are provided in which the output signals of the impedance converter (4) can be stored via electrical valves (5, 6), and that a discriminator (7) is also provided is, by which with each change of polarization of the signals (U _E ) of the converter (3) a switchover of switches (8, 9) takes place, and that after switching over the switches (8, 9) the memories (C ₂₁ , C ₂₂ ) to the voltage stored in the storage capacitors (C ₁₁ , C ₁₂ ) provided, which, however, only increases if the signal is greater than the value already stored.

4. Device for performing the method according to claim 1 and 2, characterized in that the surface profile of the test object (2) analog output signals (l / _c ) of the transducer (3) via one or more variable or permanently adjustable resistors (/ ?, R ₁ ) are fed to an impedance converter (4), that memories (C ₂₁ , C ₂₂ ) are provided, in which the output signals of the impedance converter (4) can be stored via electrical valves (5, 6), and that elements ( R ₉ , R ₃ , A ₄ , R ₅ , R ₆ , R ₁ ) are provided, via which the memories (C ₂₁ , C ₂₂ ) are charged to the voltage stored in the provided storage capacitors (C ₁₁ , C _{12), which} however, it only increases if the signal is greater than the value already stored

5. Device according to claim 3 and 4, characterized in that the limiter (10) are provided in such a way that voltage increases per signal at the memories (C ₂₁ , C ₂₂ ) are only 1
adjustable amounts (U _B ) are achievable.

₂₁ , ^ ₂₂ ) just before