DE20116515U1 - Aktor und damit ausgestattetes Ventil - Google Patents

Description

G 19669 - lemh 14. August 2001

FESTO AG & Co. 73734 Esslinaen Aktor und damit ausgestattetes Ventil

Die Erfindung betrifft einen Aktor zum wahlweisen Positionieren und Entfernen einer Wirkfläche in bzw. aus einer Wirkposition. Ferner betrifft die Erfindung ein mit einem derartigen Aktor ausgestattetes Ventil.

Aus der DE 37 38 630 C2 gehen mehrere Bauformen von Ventilen hervor, bei denen das Ventilglied als piezoelektrischer Biegeaktor ausgebildet ist. In einem Falle ist seitlich am Biegeaktor eine Wirkfläche angeordnet, die mehr oder weniger weit an eine Düse angenähert werden kann, um entsprechend der jeweils eingenommenen Wirkposition einen mehr oder weniger großen Strömungswiderstand hervorzurufen. Bedingt durch die relativ geringen Kräfte des Biegeaktors können allerdings nur verhältnismäßig geringe Düsennennweiten gesteuert werden. Außerdem muss der Biegeaktor einen Mindesthub über der Düsenöffnung leisten, um bei Bedarf einen möglichst großen Strömungsquerschnitt zu ermöglichen.

Bei einer anderen Ausführungsform des bekannten Ventils sitzt die Wirkfläche an einer Stirnseite des Biegeaktors. Die Biegebewegung verläuft somit nicht mehr in der Ausströmrichtung des Fluides, sondern quer dazu. Auf diese Weise kann bei Ein-

nähme der Wirkposition eine höhere Gegenkraft bezüglich dem ausströmenden Fluid aufgebaut werden. Allerdings ist es mit dieser Ausführungsform aufgrund des zu gewährleistenden Bewegungsspiels nicht ohne weiteres möglich, in der Wirkposition ein dichtes Verschließen einer Ventilöffnung hervorzurufen.

Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Aktor zu schaffen, dessen Wirkfläche bei guter Positioniermöglichkeit hohe Kräfte aufnehmen kann. Ferner soll ein mit einem derartigen Aktor ausgestattetes Ventil vorgeschlagen werden.

Gelöst wird diese Aufgabe mit einem Aktor zum wahlweisen Positionieren und Entfernen einer Wirkfläche in bzw. aus einer Wirkposition, der gekennzeichnet ist durch eine Ausgestaltung als kombinierter Biege- und Translationsaktor zum Erzeugen von sowohl einer Linearbewegung als auch einer quer zu der Linearbewegung verlaufenden Schwenkbewegung der Wirkfläche.

Zur Lösung der Aufgabe ist ferner ein Ventil vorgesehen, dessen Ventilglied von einem Aktor des vorgenannten Aufbaues gebildet ist.

Die Ausgestaltung des Aktors als kombinierter Biege- und Tranlationsaktor ermöglicht eine sehr flexible Positionierung der Wirkfläche. Es ist beispielsweise möglich, die Wirkfläche dadurch aus der Wirkposition zu entfernen, dass sie zunächst in linearer Richtung verlagert und anschließend quer dazu verschwenkt wird. Ein solches Betriebsverhalten lässt sich

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vor allem im Zusammenhang mit zur Fluidsteuerung verwendeten Ventilen vorteilhaft einsetzen. So kann beispielsweise die Wirkposition dadurch definiert sein, dass die Wirkfläche eine Ventilöffnung überdeckt und einem ausströmenden Fluid entgegengerichtet ist, wobei sie insbesondere nach Art eines Sitzventils ein Verschließen der Ventilöffnung hervorrufen kann. Der Translationsaktor gestattet hierbei die Aufbringung hoher Haltekräfte. Zum Freigeben der Ventilöffnung kann die Wirkfläche durch Erzeugen einer Linearbewegung zunächst von der Ventilöffnung weiter abgehoben werden, um anschließend durch eine Schwenkbewegung zur Seite weggeschwenkt zu werden, so dass die Ventilöffnung komplett freigegeben ist. Zusammenfassend liegt ein Aktor vor, der bei entsprechender Ansteuerung sowohl hohe Stellkräfte als auch vielfältige Bewegungsmuster der Wirkfläche ermöglicht.

Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung gehen aus den Unteransprüchen hervor.

Der Aktor kann prinzipiell so ausgeführt sein, dass die Linearbewegung und die Schwenkbewegung nacheinander ablaufen. Als vorteilhafter wird jedoch eine Bauform gesehen, die einen überlagerten Ablauf der Linearbewegung und Schwenkbewegung gestattet, was es in der Regel ermöglicht, die Wirkfläche in kürzerer Zeit zwischen zwei Stellungen zu verbringen.

Der Aktor verfügt vorzugsweise über ein zur ortsfesten Fixierung dienendes Befestigungsende und ein entgegengesetztes,

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mit der Wirkfläche ausgestattetes Arbeitsende. Im Zusammenhang mit einem Ventil kann das Befestigungsende am Ventilgehäuse fixiert sein.

In bevorzugter Ausgestaltung verfügt der Aktor über wenigstens zwei miteinander bewegungsgekoppelte Aktorabschnitte, weil ein Aktorabschnitt von einem die Linearbewegung hervorrufenden Translationsantrieb und ein anderer Aktorabschnitt von einem die Schwenkbewegung hervorrufenden Biegeantrieb gebildet ist. Es besteht insbesondere die Möglichkeit, die beiden Aktorabschnitte in Reihe zu schalten. Je nach Ausführungsform kann sich das Befestigungsende des Aktors am Translationsantrieb oder am Biegeantrieb befinden, wobei die Wirkfläche am jeweils anderen Antrieb vorgesehen ist.

Der Aktor kann insgesamt stab-, säulen- oder streifenförmig gestaltet sein. Bevorzugt hat er Längserstreckung, wobei die Wirkfläche insbesondere an einer Stirnseite platziert ist und wobei die Linearbewegungsrichtung mit der Richtung der Längserstreckung zusammenfällt.

Zweckmäßigerweise ist der Aktor ein Piezoaktor. Sowohl der Translationsantrieb als auch der Biegeantrieb kann auf piezoelektrischer Funktionsweise basieren. Für den Translationsantrieb empfiehlt sich ein Aufbau als piezoelektrischer Stapeltranslator, der zwar in der Regel nur einen geringen Hub zulässt, jedoch hohe Stellkräfte erzeugen kann.

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Für den Biegeantrieb empfiehlt sich eine Ausführung mit mindestens einem piezoelektrischen Biegeelement, beispielsweise in bimorpher Ausführung.

Eine weitere vorteilhafte Ausgestaltungsmöglichkeit für den Biegeantrieb besteht in der Kombination zweier parallel geschalteter piezoelektrischer Stapeltranslatoren, die zur Erzeugung von Zugkräften und/oder Druckkräften gleichzeitig gegensinnig betätigt werden können.

Wie schon erwähnt, empfiehlt sich der Aktor vor allem als Ventilglied in einem zur Fluidsteuerung dienenden Ventil, wobei die Wirkfläche vorgesehen ist, um in der Wirkposition eine Ventilöffnung zu verschließen.

Nachfolgend wird die Erfindung anhand der beiliegenden Zeichnung näher erläutert. Die Figuren 1 bis 5 zeigen jeweils, in schematischer Darstellung, eine Seitenansicht verschiedener Bauformen des erfindungsgemäßen Aktors in vorteilhafter Ausgestaltung als Bestandteil eines zur Fluidsteuerung dienenden Ventils.

Die Figuren 1 bis 5 zeigen jeweils einen Ausschnitt eines in seiner Gesamtheit mit Bezugsziffer 1 bezeichneten Ventils, das vorzugsweise rein piezoelektrisch betätigt wird, so dass man es auch als Piezoventil bezeichnen kann. Andere Betätigungsarten sind jedoch ebenfalls möglich.

Das Ventil 1 verfügt über ein Ventilgehäuse 2, das wenigstens eine Ventilkammer 3 definiert, in dem ein Ventilglied 4 angeordnet ist.

Das Ventilglied 4 verfügt über einen beweglichen Steuerabschnitt 5, der eine Wirkfläche 6 definiert. Diese Wirkfläche

6 kann wahlweise in einer Wirkposition 7 positioniert oder aus dieser Wirkposition 7 entfernt werden.

Beim Ausführungsbeispiel ist die Wirkposition 7 eine Schließposition, in der die Wirkfläche 6 eine Ventilöffnung 8 des Ventils 1 verschließt. Das Ventil 1 ist insbesondere als Sitzventil ausgebildet und verfügt über einen die Ventilöffnung 8 umschließenden Ventilsitz 12, an dem die Wirkfläche 6 in der Wirkposition 7 dichtend anliegt. Dadurch wird ein Einströmen eines Fluides in die Ventilkammer 3 durch die Ventil-Öffnung 8 hindurch verhindert.

Durch entsprechende Betätigung des Ventilgliedes 4 kann die Wirkfläche 6 auch in einer oder mehreren aus der Wirkposition

7 entfernten Positionen positioniert werden. Eine mögliche dieser weiteren Positionen der Wirkfläche 6 ist in Figuren 1 und 2 gezeigt und sei als Freigabeposition 13 bezeichnet. Die Wirkfläche 6 ist hier vom Ventilsitz 12 abgehoben und gibt die Ventilöffnung 8 frei, so dass ein Fluid in der Lage ist, durch die Ventilöffnung 8 in die Ventilkammer 3 einzuströmen.

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Die Ventilöffnung 8 gehört zu einem ersten Fluidkanal 14, der die Wandung des Ventilgehäuses 2 durchsetzt. Er kann mit einer nicht näher dargestellten externen Fluidquelle in Verbindung stehen.

Bei einer bevorzugten Ausgestaltung des Ventils 1 als 2/2-Wegeventil, führt in die Ventilkammer 3 mindestens ein weiterer, nicht näher dargestellter Fluidkanal, der mit einem anzusteuernden Verbraucher verbindbar ist, beispielsweise mit einem fluidisch betätigbaren Antrieb. Es kann dann, je nach Stellung des Ventilgliedes 4, eine Fluidverbindung zwischen der Fluidquelle und dem Antrieb hergestellt oder unterbrochen werden.

Das Ventil 1 kann allerdings auch über eine andere Funktionalität verfügen und beispielsweise ein 3/2-Wegeventil sein. Es enthält dann wenigsten eine weitere zu steuernde Ventilöffnung, der zweckmäßigerweise ein weiteres Ventilglied der hier beschriebenen Art zugeordnet ist.

Bei dem zu steuernden Fluid kann es sich um ein gasförmiges Fluid, beispielsweise Druckluft, oder um ein hydraulisches Fluid, beispielsweise Wasser oder Öl, handeln.

Das Ventilglied 4 besteht bei allen Ausführungsbeispielen aus einem mit der Wirkfläche 6 ausgestatteten Aktor in Gestalt eines kombinierten Biege- und Translationsaktors 15. Dieser ist in der Lage, bei entsprechender Ansteuerung sowohl eine

Linearbewegung 16 als auch eine quer zu der Linearbewegung 16 verlaufende Schwenkbewegung 17 der Wirkfläche 6 hervorzurufen.

Vorteilhafterweise ist es möglich, die Linearbewegung 16 und Schwenkbewegung 17 überlagert auszuführen, so dass die Bewegungsbahn der Wirkfläche 6 sehr variabel vorgegeben werden kann. Gleichwohl besteht aber auch die Möglichkeit, die Linearbewegung 16 und Schwenkbewegung 17 zeitlich aufeinanderfolgend vorzunehmen. Die weitere Beschreibung orientiert sich an einer solchen Bewegungsabfolge, wobei aber, wie gesagt, auch eine zumindest phasenweise Überlagerung der Bewegungen möglich ist.

Allen Ausführungsbeispielen ist gemeinsam, dass der kombinierte Biege- und Translationsaktor 15 Längserstreckung besitzt. Sein eines stirnseitiges Ende ist eine Befestigungsende 18, mit dem er gehäusefest fixiert ist. Ausgehend von dem Befestigungsende 18 erstreckt sich der Biege- und Translationsaktor 15 vorzugsweise frei auskragend und ohne weitere Befestigung bis hin zu seinem entgegengesetzten stirnseitigen Ende, an dem die Wirkfläche 6 vorgesehen ist und das als zusammen mit der Wirkfläche 6 bewegbares Arbeitsende 22 bezeichnet sei.

Allen Ausführungsbeispielen ist ferner gemeinsam, dass der Biege- und Translationsaktor 15 jeweils zwei miteinander bewegungsgekoppelte Aktorabschnitte 23a, 23b aufweist, die in

der Richtung der Längserstreckung des Biege- und Translationsaktors 15 aufeinanderfolgend angeordnet sind, so dass man von einer Reihenschaltung sprechen kann. Der eine Aktorabschnitt 23a ist von einem die Linearbewegung 16 hervorrufenden Translationsantrieb 24 gebildet, der andere Aktorabschnitt 23b von einem die Schwenkbewegung 17 hervorrufenden Biegeantrieb 25. Die Linearbewegung 16 verläuft in Richtung der Längserstreckung des Biege- und Translationsaktors 15.

Bei den Ausführungsbeispielen der Figuren 1 und 3 bis 5 befindet sich das Befestigungsende 18 am Biegeantrieb 25 und die Wirkfläche 6 am Translationsantrieb 24. Beim Ausführungsbeispiel der Figur 2 liegt eine umgekehrte Anordnung vor.

Allen Ausführungsformen ist gemeinsam, dass sowohl der Translationsantrieb 24 als auch der Biegeantrieb 25 von einem piezoelektrischen Antrieb gebildet ist. Zur Betätigung eines jeweiligen Antriebes wird eine mehr oder weniger große Spannung angelegt, die die gewünschte Auslenkung oder Translation aufgrund einer Verformung des vorhandenen piezoelektrischen Materials zur Folge hat. Es wäre jedoch prinzipiell möglich, auch auf andere Antriebsprinzipien zurückzugreifen, beispielsweise solche, die auf fluidischer Betätigungskraft basieren.

Bei den Ausführungsbeispielen der Figuren 1 und 2 hat der Biege- und Translationsaktor 15 eine stab-, säulen- oder

streifenförmige Ausgestaltung. Die beiden Aktorabschnitte 23a, 23b sind in der Längsrichtung des Biege- und Translationsaktors 15 aufeinanderfolgend angeordnet und unmittelbar aneinander angesetzt· Beim Ausführungsbeispiel der Figur 1 ist das dem Arbeitsende 22 entgegengesetzte rückwärtige Ende 26a des Translationsantriebes 24 mit dem dem Befestigungsende 18 entgegengesetzten vorderen Ende 26b des Biegeantriebes 25 fest verbunden. Beim Ausführungsbeispiel der Figur 2 ist das dem Befestigungsende 18 entgegengesetzte vordere Ende 27a des Translationsantriebes 24 mit dem dem Arbeitsende 22 entgegengesetzten rückwärtigen Ende 27b des Biegeantriebes 25 fest verbunden.

Der Translationsantrieb 24 ist bei den Ausführungsbeispielen der Figuren l und 2 von einem piezoelektrischen Stapeltranslator gebildet. Der Biegeantrieb 25 besteht aus einem piezoelektrischen Biegeelement.

Die Längenabmessungen der Aktorabschnitte 23a, 23b sind zweckmäßigerweise so gewählt, dass im elektrisch unerregten Zustand und bei in der Wirkposition 7 befindlicher Wirkfläche 6 eine axiale Druckkraft aufgebaut ist, mit der die Wirkfläche 6 gegen den Ventilsitz 12 mechanisch vorgespannt wird. Der Biege- und Translationsaktor 15 stützt sich praktisch mit seinem Befestigungsende 18 und seinem Arbeitsende 22 am Ventilgehäuse 2 ab.

Um ausgehend von dieser Wirkposition 7 die Wirkfläche 6 in die Freigabeposition 13 zu verlagern, wird zunächst der Translationsantrieb 24 aktiviert. Dies führt zu einer Verkürzung des Translationsantriebes 24 und folglich zu einem Abheben der Wirkfläche 6 vom Ventilsitz 12. Anschließend wird durch Aktivierung des Biegeantriebes 25 die Schwenkbewegung 17 hervorgerufen, bei der die Wirkfläche 6 aus der bis dahin noch der Ventilöffnung 8 axial gegenüberliegenden abgehobenen Position in die aus Figuren 1 und 2 ersichtliche seitwärts ausgeschwenkte Freigabeposition 13 verbracht wird. Die Ventilöffnung 8 ist nun maximal freigegeben.

Soll die Ventilöffnung 8 wieder verschlossen werden, finden die erläuterten Bewegungsabläufe in umgekehrter Reihenfolge statt. Zunächst wird durch den Biegeantrieb 25 die Wirkfläche 6 wieder in die der Ventilöffnung axial gegenüberliegende Position verbracht, wobei noch kein Kontakt zum Ventilsitz 12 vorliegt, weil der Translationsantrieb 24 noch in der Länge verkürzt ist. Erst anschließend wird durch entsprechende Betätigung des Translationsantriebes 24 quasi eine lineare Ausfahrbewegung der Wirkfläche 6 hervorgerufen, bis letztere am Ventilsitz 12 zur Anlage gelangt.

Es ist offensichtlich, dass bei einem derartigen Biege- und Translationsaktor 15 hohe Schließkräfte erzeugbar sind, da die im Bereich der Ventilöffnung 8 auf die Wirkfläche 6 einwirkenden Fluidkräfte in der Längsrichtung des Biege- und Translationsaktor 15 aktiv sind, in der der Aktor eine sehr

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hohe Drucksteifigkeit besitzt. Ferner ist ersichtlich, dass aufgrund der möglichen Schwenkbewegung bei Bedarf eine optimale Freigabe der Ventilöffnung 8 möglich ist, um eine ungestörte Fluidströmung zuzulassen.

Den Ausführungsbeispielen der Figuren 3, 4 und 5 ist gemeinsam, dass sämtliche Aktorabschnitte 23a, 23b aus Stapeltranslatoren aufgebaut sind.

Der Translationsantrieb 24 besteht hier aus einem einzigen Stapeltranslator, wie dies auch beim Ausführungsbeispiel der Figur 1 der Fall ist. Der Biegeantrieb 25 setzt sich hingegen jeweils aus zwei parallel geschalteten und längsseits nebeneinander angeordneten piezoelektrischen Stapeltranslatoren 28a, 28b zusammen. Diese sind jeweils einenends am Gehäuse befestigt und tragen andernends den Translationsantrieb 24. Die beiden Stapeltranslatoren 28a, 28b sind zweckmäßigerweise durch geeignete Spannmittel in Längsrichtung vorgespannt, insbesondere mit der gleichen Kraft.

Bei den Ausführungsbeispielen der Figuren 3 und 4 sind die beiden Stapeltranslatoren 28a, 28b relativ weit zueinander beabstandet. Eine längsseitige Berührung liegt nicht vor. An den dem Befestigungsende 18 entgegengesetzten vorderen Enden 32 sind die Stapeltranslatoren 28a, 28b durch ein starres Verbindungsteil 33, insbesondere jochartig, miteinander verbunden. Der Translationsantrieb 24 ist mittig zwischen den beiden vorderen Enden 32 an dem Verbindungsteil 33 gehalten.

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Die Stapeltranslatoren 28a, 28b sind nun so ausgebildet, dass durch Anlegen einer entsprechend polarisierten Spannung jeweils entweder eine Verlängerung oder Verkürzung hervorgerufen werden kann. Ferner ist eine Betätigung möglich, bei der gleichzeitig eine gegensinnige Aktivierung erfolgt, so dass also bei Verkürzung des einen Stapeltranslators eine gleichzeitige Verlängerung des anderen Stapeltranslators stattfindet. Dadurch kann der Biege- und Translationsaktor 15 insgesamt seitlich verkippt werden, woraus die erwähnte Schwenkbewegung 17 der Wirkfläche 6 resultiert.

Das Ausführungsbeispiel der Figur 4 zeigt exemplarisch eine mögliche Ausführungsform der oben erwähnten Spannmittel in Gestalt eines länglichen Spannelementes 34, das zwischen den beiden Stapeltranslatoren 28a, 28b angeordnet ist und sich dort, vorzugsweise in zu den Stapeltranslatoren 28a, 28b paralleler Erstreckungsrichtung, zwischen dem Verbindungsteil 33 und demjenigen Bereich des Ventilgehäuses 2 erstreckt, an dem auch das Befestigungsende 18 verankert ist.

Das Spannelement 34 ist ausreichend starr, um die vom Translationsantrieb 24 aufgebrachten Kräfte aufzunehmen, verfügt jedoch gleichzeitig über eine ausreichende Materialelastizität, um eine seitliche Auslenkung zum Erhalt der Schwenkbewegung 17 zu ermöglichen. Das Spannelement 34 greift jeweils an beiden Stirnseiten der Stapeltranslatoren 28a, 28b an und beaufschlagt diese mit einer Druckspannung.

Der Aufbau des Ausführungsbeispiels gemäß Figur 5 entspricht prinzipiell demjenigen aus Figur 3, doch sind hier die beiden Stapeltranslatoren 28a, 28b zu einer Baueinheit zusammengefasst, so dass besonders kompakte Abmessungen möglich sind. In Figuren 3 und 5 sind die Spannmittel integriert und daher nicht sichtbar.

Claims (21)

1. Aktor zum wahlweisen Positionieren und Entfernen einer Wirkfläche (6) in bzw. aus einer Wirkposition, gekennzeichnet durch eine Ausgestaltung als kombinierter Biege- und Translationsaktor (15) zum Erzeugen von sowohl einer Linearbewegung (16) als auch einer quer zu der Linearbewegung (16) verlaufenden Schwenkbewegung (17) der Wirkfläche (6).

2. Aktor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Wirkfläche (6) zu einer überlagerten Linearbewegung (16) und Schwenkbewegung (17) antreibbar ist.

3. Aktor nach Anspruch 1 oder 2, gekennzeichnet durch ein zur ortsfesten Fixierung dienendes Befestigungsende (18) und ein entgegengesetztes, mit der Wirkfläche (6) ausgestattetes Arbeitsende (22) des Biege- und Translationsaktors (15).

4. Aktor nach einem der Ansprüche 1 bis 3, gekennzeichnet durch wenigstens zwei miteinander bewegungsgekoppelte Aktorabschnitte (23a, 23b) des Biege- und Translationsaktors (15), wobei ein Aktorabschnitt (23a) von einem die Linearbewegung (16) hervorrufenden Translationsantrieb (24) und ein anderer Aktorabschnitt (23b) von einem die Schwenkbewegung (17) hervorrufenden Biegeantrieb (25) gebildet ist.

5. Aktor nach Anspruch 4 in Verbindung mit Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass das Befestigungsende (18) am einen und die Wirkfläche (6) am anderen Aktorabschnitt (23a, 23b) angeordnet ist.

6. Aktor nach Anspruch 4 oder 5, gekennzeichnet durch eine Reihenschaltung der beiden Aktorabschnitte (23a, 23b).

7. Aktor nach einem der Ansprüche 4 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Wirkfläche (6) am Translationsantrieb (24) angeordnet ist.

8. Aktor nach einem der Ansprüche 4 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Wirkfläche (6) am Biegeantrieb (25) angeordnet ist.

9. Aktor nach einem der Ansprüche 4 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass der Translationsantrieb (24) mindestens einen piezoelektrischen Stapeltranslator enthält.

10. Aktor nach einem der Ansprüche 4 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass der Biegeantrieb (25) mindestens ein piezoelektrisches Biegeelement enthält.

11. Aktor nach einem der Ansprüche 4 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass der Biegeantrieb (25) zwei parallel geschaltete und zur Erzeugung von zweckmäßigerweise sowohl Zugkräften als auch Druckkräften gleichzeitig gegensinnig betätigbare piezoelektrische Stapeltranslatoren (28a, 28b) enthält.

12. Aktor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die beiden Stapeltranslatoren (28a, 28b) durch Spannmittel (34) in Längsrichtung vorgespannt sind.

13. Aktor nach einem der Ansprüche 1 bis 12, gekennzeichnet durch eine stab-, säulen- oder streifenförmige Ausgestaltung des Biege- und Translationsaktors (15).

14. Aktor nach einem der Ansprüche 1 bis 13, gekennzeichnet durch eine Längserstreckung mit an einer Stirnseite angeordneter Wirkfläche (6), wobei die Linearbewegungsrichtung mit der Richtung der Längserstreckung zusammenfällt.

15. Aktor nach einem der Ansprüche 1 bis 14, gekennzeichnet durch eine Ausgestaltung als Piezoaktor.

16. Aktor nach einem der Ansprüche 1 bis 15, gekennzeichnet durch eine Ausgestaltung des Biege- und Translationsaktors (15) als Ventilglied (4) in einem zur Fluidsteuerung dienenden Ventil (1), wobei die Wirkfläche (6) vorgesehen sein kann, um in der Wirkposition eine Ventilöffnung (8) zu verschließen.

17. Aktor nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, dass das Ventil (1) ein Piezoventil ist.

18. Ventil mit mindestens einem von einem Aktor gemäß einem der Ansprüche 1 bis 17 gebildeten Ventilglied (4).

19. Ventil nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, dass die Wirkfläche (6) in der Wirkposition (7) eine Ventilöffnung (8) verschließen kann.

20. Ventil nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, dass die Ventilöffnung (8) einen Ventilsitz (12) aufweist, an dem die Wirkfläche (6) in der Wirkposition (7) dichtend anliegen kann.

21. Ventil nach einem der Ansprüche 18 bis 20 in einer Ausgestaltung als Piezoventil.