DE19900326C2

DE19900326C2 - Transverse mode resonator filter arrangement

Info

Publication number: DE19900326C2
Application number: DE1999100326
Authority: DE
Inventors: Ulrich Bauernschmitt; Claudia Eder
Original assignee: Epcos AG
Current assignee: SnapTrack Inc
Priority date: 1999-01-07
Filing date: 1999-01-07
Publication date: 2001-06-07
Anticipated expiration: 2019-01-08
Also published as: DE19900326A1

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein transversalmodenge koppeltes Oberflächenwellen-Resonatorfilter, im folgenden auch Transversalmodenresonatorfilter oder TMR-Filter ge nannt.The present invention relates to a transverse mode set coupled surface wave resonator filter, in the following also transverse mode resonator filter or TMR filter called.

Resonatorfilter dieser Art sind beispielsweise aus "1992, Ultrasonics Symposium", Seiten 39 bis 43 bekannt. Deren prinzipieller Aufbau ist schematisch in Fig. 10 dargestellt. Das Resonatorfilter enthält zwei Resonatoren RES, die je weils einen Interdigitalwandler W1 bzw. W2 mit uniformer (regelmäßiger) Normalfingerstruktur sowie jeweils zwei auf entgegengesetzten Seiten der Interdigitalwandler W1 und W2 angeordnete Reflektoren R1, R1' bzw. R2, R2' aufweisen. Die Reflektoren sind über eine gemeinsame Sammelschiene 1, die als Masseschiene wirkt und über Masseanschlüsse elektrisch zugänglich ist, elektrisch und akustisch miteinander gekop pelt.Resonator filters of this type are known, for example, from "1992, Ultrasonics Symposium", pages 39 to 43. Their basic structure is shown schematically in FIG. 10. The resonator filter contains two resonators RES, each of which has an interdigital transducer W1 or W2 with a uniform (regular) normal finger structure and two reflectors R1, R1 'or R2, R2' arranged on opposite sides of the interdigital transducers W1 and W2. The reflectors are electrically and acoustically coupled via a common busbar 1 , which acts as a ground rail and is electrically accessible via ground connections.

Beim Filter nach Fig. 10 ist der Interdigitalwandler W1 dem Filtereingang und der Interdigitalwandler W2 dem Filteraus gang zugeordnet. Sämtliche bisher realisierten Transversal modenresonatorfilter - so auch dieses bekannte Filter - be sitzen identische Ein- und Ausgangswandler.The filter according to Fig. 10 of the interdigital transducers associated with the filter input W1 and W2 of the interdigital transducers Filteraus the gear. All of the transversal mode resonator filters implemented to date - including this well-known filter - have identical input and output converters.

Zur möglichst problemlosen Anpassung eines Oberflächenwel lenfilters an seine Schaltungsumgebung muß der Realteil der Filtereingangs- und der Filterausgangsimpedanz jeweils mit der Impedanz der dem Filtereingang vorangehenden bzw. dem Filterausgang nachfolgenden Stufe (externe Verschaltung) identisch sein. In den seltensten Fällen ist diese Forderung erfüllt, weshalb häufig aufwendige Schaltungsmaßnahmen not wendig werden.For the most problem-free adaptation of a surface world lenfilters to its circuit environment, the real part of the Filter input and filter output impedance each with the impedance of the preceding or the filter input Filter output subsequent stage (external connection) be identical. This requirement is rarely fulfilled, which is why complex circuit measures are often not necessary become agile.

Aus der DE 197 24 255 A1 ist ein Transversalmodenresonator filter bekannt, der zwei akustisch gekoppelte als Ein- und Ausgangswandler dienende Interdigitalwandler aufweist. Durch Reduzierung der Fingerüberlappung eines Wandlers wird auch dessen Impedanz reduziert, so daß das Filter ein- und aus gangsseitig unterschiedliche Impedanzen aufweist.DE 197 24 255 A1 describes a transverse mode resonator known filter, the two acoustically coupled as input and Has output transducers serving interdigital transducers. By Reducing the finger overlap of a converter will also its impedance is reduced so that the filter on and off has different impedances on the output side.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es einen Weg aufzu zeigen, mit dem entsprechende Filter mit mehr als zwei Reso natoren/Wandlern mit entsprechend angepaßten unterschiedli chen Ein- und Ausgangsimpedanzen geschaffen werden können.The object of the present invention is to find a way show with the appropriate filter with more than two reso nators / converters with appropriately adapted differ Chen input and output impedances can be created.

Diese Aufgabe wird mit einer Filteranordnung nach Anspruch 1 gelöst. Weitere Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen.This object is achieved with a filter arrangement according to claim 1 solved. Further refinements of the invention result from the subclaims.

Die Erfindung sieht eine Anordnung von Transversalmodenreso natorfiltern (TMR-Filtern) auf einem Chip vor, bei der ein Eingangsbereich mit einem oder mehreren elektrisch parallel zueinander geschaltete TMR-Eingangsfiltern über eine Koppel stelle seriell zu einem Ausgangsbereich geschaltet ist, der ebenfalls eine oder mehrere elektrisch parallel zueinander geschaltete TMR-Ausgangsfilter aufweist. Jeder der TMR-Ein- oder Ausgangsfilter weist zumindest zwei akustisch gekoppel te Resonatoren auf. The invention provides an arrangement of transverse mode reso natorfiltern (TMR filters) on a chip, in which a Entrance area with one or more electrically parallel TMR input filters connected to each other via a coupling position is connected in series to an output range that also one or more electrically parallel to each other switched TMR output filter. Each of the TMR inputs or output filter has at least two acoustically coupled te resonators.

Um am Eingang eine vom Ausgang verschiedene Impedanz zu er halten, unterscheidet sich die Anzahl der TMR-Filter im Ein gangsbereich von der im Ausgangsbereich.To achieve an impedance different from the output at the input hold, the number of TMR filters differs in on aisle area from that in the exit area.

Zur verlustlosen Anpassung des Eingangsbereichs an den Aus gangsbereich ist die koppelstellenseitige Impedanz der TMR- Filter desjenigen Ein- oder Ausgangsbereichs mit der höheren Anzahl an TMR-Filtern erhöht. Dies erfolgt dadurch, daß die Fingerüberlappung der Interdigitalwandler in den entspre chenden Resonatoren gegenüber einem Resonator mit regelmäßiger Normalfingeranordnung bzw. gegenüber den Interdigital wandlern der übrigen Resonatoren reduziert ist. Die Erhöhung der Impedanz auf der Seite der Koppelstelle hat dabei keinen Einfluß auf die entsprechende Impedanz der TMR-Filter auf der davon abgewandten Seite, da zwischen den einen TMR- Filter bildenden Resonatoren nur eine akustische Kopplung und keine elektrische Verbindung besteht.For lossless adaptation of the entrance area to the off is the coupling point impedance of the TMR Filters the input or output area with the higher one Number of TMR filters increased. This is done in that the Finger overlap of the interdigital converters in the corre sponding resonators compared to a resonator with regular Normal finger arrangement or compared to the interdigital converters of the other resonators is reduced. The increase the impedance on the side of the coupling point has none Influence on the corresponding impedance of the TMR filter the side facing away from it, since between the one TMR Filter-forming resonators only provide an acoustic coupling and there is no electrical connection.

Zum symmetrischen Aufbau und zur optimalen Abstimmung der Filteranordnung sind erfindungsgemäß die Fingerüberlappungen aller der Koppelstelle benachbarten Resonatoren des Bereichs reduziert, dessen Impedanz erhöht werden soll. Aus dem glei chen Grund sind parallel verschaltete TMR-Filter vorzugswei se identisch aufgebaut.For a symmetrical structure and for optimal coordination of the According to the invention, the filter arrangement is the finger overlaps all resonators in the area adjacent to the coupling point reduced, whose impedance is to be increased. From the same The reason is that TMR filters connected in parallel are preferred se constructed identically.

Unter Fingerüberlappung wird im Sinne der Erfindung das Überlappungsintegral eines Interdigitalwandlers verstanden, das sich aus der Summe der Überlappungslängen aller Finger paare eines Wandlers ergibt. Zur Reduzierung der Fingerüber lappung bieten sich mehrere Möglichkeiten an, die für sich allein oder gleichzeitig in beliebiger Kombination bei Reso natoren in der erfindungsgemäßen Filteranordnung verwendet werden können. So kann z. B. die Wandlerlänge gegenüber den übrigen "normalen" Resonatoren reduziert sein. Der durch die verkürzte Wandlerlänge gebildete Freiraum kann dabei durch zusätzliche Reflektoren aufgefüllt sein. Möglich ist es auch, die reduzierte Fingerüberlappung durch Weglaßwichtung zu realisieren. Eine der Weglaßwichtung gleichwertige Lösung besteht darin, elektrisch aktive Finger durch Blindfinger zu ersetzen. Auch kann Überlappungswichtung eingesetzt werden, um die Fingerüberlappung zu reduzieren. Dabei können einzel ne oder alle Finger kürzer ausgebildet werden. Under finger overlap in the sense of the invention Understanding the overlap integral of an interdigital converter that is the sum of the overlap lengths of all fingers pairs of a converter results. To reduce the finger over Lappung offer several options that work for you alone or simultaneously in any combination at Reso nators used in the filter arrangement according to the invention can be. So z. B. the transducer length compared to other "normal" resonators can be reduced. The one through the shortened converter length can be created by additional reflectors can be filled. It is possible also, the reduced finger overlap due to omission weighting to realize. A solution equivalent to omission weighting is to use electrically active fingers through blind fingers replace. Overlap weighting can also be used to reduce finger overlap. It can be single ne or all fingers are made shorter.

Zur Anpassung des Imaginärteils der Impedanz mehrerer seri ell verschalteter TMR-Filter an der Koppelstelle kann die Koppelstelle mit einer Koppelspule parallel verschaltet wer den. Die Koppelspule kann dabei ein externes Bauelement sein oder beispielsweise auch direkt auf dem Chip realisiert wer den.To adjust the imaginary part of the impedance of several seri The TMR filter at the coupling point can be connected Coupling point connected in parallel with a coupling coil the. The coupling coil can be an external component or, for example, also realized directly on the chip the.

Anstelle der Koppelspule kann auch ein Koppelkondensator eingesetzt werden, der ebenfalls als externes Bauelement oder auch direkt auf dem Chip realisiert werden kann. Bei letztgenannter Ausführung kann der Koppelkondensator auch durch einen Interdigitalwandler auf dem Chip realisiert sein.Instead of the coupling coil, a coupling capacitor can also be used can also be used as an external component or can also be implemented directly on the chip. At the coupling capacitor can also do the latter realized by an interdigital converter on the chip his.

Zur weiteren Variation (Erhöhung) der Impedanzen an Ein- oder Ausgang der Filteranordnung kann zusätzlich die Finger überlappung in den dem Ein- und/oder Ausgang benachbarten Resonatoren reduziert sein.For further variation (increase) of the impedances at inputs or output of the filter assembly can additionally the fingers overlap in those adjacent to the entrance and / or exit Resonators be reduced.

Im folgenden wird die Erfindung anhand von Ausführungsbei spielen und der dazugehörigen neun Figuren näher erläutert.In the following the invention is based on exemplary embodiments play and the associated nine figures explained in more detail.

Fig. 1 zeigt eine herkömmliche TMR-Filteranordnung mit zwei seriell geschalteten TMR-Filtern. Fig. 1 shows a conventional TMR filter arrangement with two series-connected TMR filters.

Fig. 2 bis 4 zeigen erfindungsgemäße TMR- Filteranordnungen mit insgesamt drei TMR-Filtern. Fig. 2 to 4 show TMR inventive filter assemblies having a total of three TMR filters.

Fig. 5 bis 8 zeigen TMR-Filter, bei denen durch unter schiedliche Fingerüberlappung unterschiedliche Impe danzen an Ein- und Ausgangsseite eingestellt ist. Fig. 5 to 8 show TMR filter, in which impedances due to different under schiedliche finger overlap Impe is set at the input and output side.

Fig. 9 zeigt das Durchlaßverhalten einer bekannten Fil teranordnung sowie einer Filteranordnung nach der Erfindung. Fig. 9 shows the pass behavior of a known Fil teranordnung and a filter arrangement according to the invention.

Fig. 1 zeigt die Interdigitalwandler einer bekannten TMR- Filteranordnung mit zwei in Serie geschalteten identischen TMR-Filtern E und A. Das zweite Filter dient dabei zur Erhö hung der Selektivität der Anordnung. Ein TMR-Filter wie z. B. E besteht aus zwei akustisch gekoppelten Resonatoren RES1, RES2, die hier mit getrennten mittleren Stromschienen darge stellt sind. Aufgrund des identischen Aufbaus der beiden TMR-Filter E, A hat die Anordnung an Ein- und Ausgang In, Out die gleiche Impedanz: Z_In = Z_Out. Bei einer gegebenen Länge des Chips, auf dem die TMR-Filter angeordnet sind, wird eine minimale Impedanz Z_min mit einem regelmäßigen Normalfinger wandler mit maximaler Fingerzahl bzw. maximaler Zahl aktiver Überlappungen erhalten. Fig. 1 shows the interdigital converter of a known TMR filter arrangement with two identical TMR filters E and A connected in series. The second filter serves to increase the selectivity of the arrangement. A TMR filter such as B. E consists of two acoustically coupled resonators RES1, RES2, which are Darge here with separate middle busbars. Due to the identical structure of the two TMR filters E, A, the arrangement at input and output In, Out has the same impedance: Z _In = Z _Out . For a given length of the chip on which the TMR filters are arranged, a minimum impedance Z _{min is obtained} with a regular normal finger converter with a maximum number of fingers or a maximum number of active overlaps.

Ist nun die Impedanz einer Schaltungsumgebung Z_Source deut lich geringer als Z_min, so bedeutet dies, daß der Filter nicht mehr problemlos in die äußere Schaltungsumgebung inte griert werden kann.If the impedance of a circuit environment Z _Source is now significantly lower than Z _min , this means that the filter can no longer be easily integrated into the external circuit environment.

Zur Verringerung der Ein- bzw. Ausgangsimpedanz einer sol chen TMR-Filteranordnung wurden bislang die beiden elek trisch in Serie geschalteten Filter E, A jeweils durch zwei parallel geschaltete identische Filter ersetzt. Bei iden tischem Aufbau aller Einzelfilter ergibt sich dabei für die Eingangsimpedanz Z_In, die Ausgangsimpedanz Z_Out, die Impe danzen Z_Kopp,E und Z_Kopp,A der Ein- und Ausgangsfilter an der Koppelstelle K:
In order to reduce the input and output impedance of such a TMR filter arrangement, the two filters E, A, which are connected in series, have each been replaced by two identical filters connected in parallel. With identical construction of all individual filters, the input impedance Z _In , the output impedance Z _Out , the impedances Z _{Kopp, E} and Z _{Kopp, A of} the input and output filters at the coupling point K result in:

Z_In = Z_Out = Z_Kopp,E = Z_Kopp,A ≧ 1/2 Z_min
Z _In = Z _Out = Z _{Kopp, E} = Z _{Kopp, A} ≧ 1/2 Z _min

Dies erfordert einen Chip, der eine ausreichende Breite B aufweist, um vier TMR-Filter der Breite b nebeneinander an zuordnen. Auch kann auf diese Weise kein unsymmetrisches Verhältnis zwischen Ein- und Ausgangsimpedanz eingestellt werden.This requires a chip with a sufficient width B has four TMR filters of width b side by side assign. Nor can any asymmetrical in this way Relationship between input and output impedance set become.

Fig. 2 zeigt ein einfaches Ausführungsbeispiel für eine TMR-Filteranordnung nach der Erfindung. Zur Erniedrigung der Eingangsimpedanz Z_In besteht der Eingangsbereich E der TMR- Filteranordnung aus zwei zueinander parallel geschalteten TMR-Filtern EA und EB. Der Ausgangsbereich A besteht übli cherweise aus einem TMR-Filter AA, der über die Koppelstelle K mit den TMR-Filtern des Eingangsbereichs E in Serie ge schaltet ist. Möglich ist es jedoch auch, Ein- und Ausgangs seite zu vertauschen, so daß erfindungsgemäß die Impedanz an der Ausgangsseite erniedrigt ist. Fig. 2 shows a simple embodiment for a TMR filter arrangement according to the invention. To lower the input impedance Z _In , the input area E of the TMR filter arrangement consists of two TMR filters EA and EB connected in parallel with one another. The output area A usually consists of a TMR filter AA, which is connected via the coupling point K to the TMR filters of the input area E in series. However, it is also possible to interchange the input and output side, so that, according to the invention, the impedance on the output side is reduced.

Um eine verlustlose Anpassung des Eingangsbereichs E an den Ausgangsbereich A zu erreichen, muß an der Koppelstelle K folgende Bedingung (1) erfüllt sein:
In order to achieve a loss-free adaptation of the input area E to the output area A, the following condition (1) must be fulfilled at the coupling point K:

_Kopp,E = _Kopp,A (1) _{Kopp, E} = _{Kopp, A} (1)

Bezüglich des Realteils der Impedanz ist die Kopplungsbedin gung (2) zu erfüllen
With regard to the real part of the impedance, the coupling condition (2) must be met

Z_Kopp,E = Z_Kopp,A (2)
Z _{Kopp, E} = Z _{Kopp, A} (2)

mit
With

Z_Kopp,A = Z_Out = Z_Min
Z _{Kopp, A} = Z _Out = Z _Min

und
and

Die an der Koppelstelle K anliegende Impedanz Z_Kopp,E des Eingangsbereichs E muß also der an der Koppelstelle K anlie genden Impedanz Z_Kopp,A des Ausgangsbereichs A angepaßt wer den. Dazu werden die Impedanzen der der Koppelstelle benach barten Resonatoren des Eingangsbereichs E erhöht und geeig net eingestellt, daß die Bedingung 2 erfüllt ist. Dies wird durch Reduzierung der Fingerüberlappung in den Interdigital wandlern der genannten Resonatoren erreicht.The impedance Z _{Kopp, E} applied to the coupling point K of the input area E must therefore be adapted to the impedance Z _{Kopp, A applied} to the coupling point K of the output area A. For this purpose, the impedances of the resonators adjacent to the coupling point of the input region E are increased and appropriately adjusted so that condition 2 is fulfilled. This is achieved by reducing the finger overlap in the interdigital transducers of the resonators mentioned.

Die Kopplungsbedingung (1) wird bezüglich des Imaginärteils durch eine parallel zur Koppelstelle K geschaltete Koppel spule I erfüllt. Diese kann auch durch einen Koppelkondensa tor ersetzt sein.The coupling condition (1) is related to the imaginary part through a coupling connected in parallel to the coupling point K. coil I met. This can also be achieved through a coupling condenser gate to be replaced.

Mit anderen Worten bedeutet dies, daß an der Koppelstelle K der Realteil der dort anliegenden Impedanzen ein- und aus gangsseitig gleich groß sein muß. Da durch die Parallel schaltung der beiden TMR-Filter EA, EB des Eingangsbereichs E die Eingangsimpedanz Z_IN erniedrigt ist, muß die eingangs seitige Impedanz Z_Kopp,E an der Koppelstelle wieder erhöht werden. Dies wird erfindungsgemäß erreicht, indem die Fin gerüberlappung in den beiden der Koppelstelle direkt benach barten Resonatoren des Eingangsbereichs R2_EA und R1_EB ernied rigt ist. Dies wird im Ausführungsbeispiel nach Fig. 2 durch Weglaßwichtung bzw. durch Vorsehen von Blindfingern BF erreicht. Ein solcher Blindfinger BF wird erhalten, wenn ein Elektrodenfinger zwar seine Längenposition beibehält, jedoch mit der gegenüberliegenden Stromschiene verbunden wird. Der TMR-Filter AA des Ausgansbereichs A ist aus zwei Resonatoren mit Normalfingerwandlern aufgebaut. Durch die an der Koppel stelle lokal erhöhte Impedanz der Resonatoren des Eingangs bereichs gelingt eine optimale Anpassung an den TMR-Filter des Ausgangsbereichs. In other words, this means that at the coupling point K the real part of the impedances present there must be the same size on and off on the output side. Since the input impedance Z _{IN is} reduced by the parallel connection of the two TMR filters EA, EB of the input region E, the input-side impedance Z _{Kopp, E} at the coupling point must be increased again. This is achieved according to the invention by reducing the fin overlap in the two resonators of the input region R2 _EA and R1 _EB immediately adjacent to the coupling point. In the exemplary embodiment according to FIG. 2, this is achieved by omitting weighting or by providing blind fingers BF. Such a blind finger BF is obtained if an electrode finger maintains its longitudinal position but is connected to the opposite busbar. The TMR filter AA of the output area A is made up of two resonators with normal finger transducers. Due to the locally increased impedance of the resonators of the input area at the coupling point, an optimal adaptation to the TMR filter of the output area is achieved.

Fig. 3 zeigt eine weitere erfindungsgemäße TMR- Filteranordnung, bei der die Kopplungsbedingung bezüglich des Imaginärteils ohne die in Fig. 2 gezeigte Koppelspule I erreicht wird. Die drei TMR-Filter der Anordnung besitzen die gleiche Breite b, so daß die Impedanz am Ausgang Out doppelt so hoch ist wie die Impedanz am Eingang In. Für die Gesamtbreite B der Anordnung gilt B ≦ 4b, so daß sie deut lich geringer ist als die einer bekannten Anordnung mit vier TMR-Filtern. FIG. 3 shows a further TMR filter arrangement according to the invention, in which the coupling condition with regard to the imaginary part is achieved without the coupling coil I shown in FIG. 2. The three TMR filters of the arrangement have the same width b, so that the impedance at the output Out is twice as high as the impedance at the input In. For the total width B of the arrangement applies B ≦ 4b, so that it is significantly lower than that of a known arrangement with four TMR filters.

Fig. 4 zeigt eine TMR-Filteranordnung, bei der die Impedan zen sämtlicher drei TMR-Filter gegenüber einem TMR-Filter mit regelmäßigen Normalfingeranordnung erhöht sind. Auf die se Weise läßt sich das Verhältnis von Ausgangsimpedanz zu Eingangsimpedanz Z_Out : Z_In auf beliebige von zwei verschie dene Werte einstellen. Durch entsprechende Einstellung der Impedanzen der der Koppelstelle benachbarten Resonatoren läßt sich in jedem Fall die Kopplungsbedingung für den Realteil erfüllen. Die Kopplungsbedingung für den Imaginär teil wird auch hier durch eine parallel zur Kopplungsstelle K geschaltete Koppelspule I oder eine (nicht dargestellte) Koppelkapazität erfüllt. Fig. 4 shows a TMR filter arrangement in which the impedances of all three TMR filters are increased compared to a TMR filter with a regular normal finger arrangement. In this way, the ratio of output impedance to input impedance Z _Out : Z _{In can be set} to any of two different values. The coupling condition for the real part can be fulfilled in any case by appropriately setting the impedances of the resonators adjacent to the coupling point. The coupling condition for the imaginary part is also met here by a coupling coil I connected in parallel to the coupling point K or by a coupling capacitance (not shown).

In Fig. 5 ist der Interdigitalwandler eines TMR-Filters dargestellt, bei dem die an einem Eingang anliegende Impe danz durch Erniedrigung der Fingerüberlappung erhöht ist. Während der obere Teil bzw. die obere Spur eine Normalfin geranordnung aufweist, ist die Fingeranzahl der unteren Spur verringert. Der dadurch entstehende Freiraum ist durch re flektorähnlich strukturierte Blindfinger R aufgefüllt. Damit ist für diese Spur auch die Reflektorwirkung der (nicht dar gestellten) Reflektoren beiderseits des Wandlers erhöht. In Fig. 5 the interdigital converter of a TMR filter is shown, in which the impedance applied to an input is increased by lowering the finger overlap. While the upper part or the upper track has a normal finger arrangement, the number of fingers of the lower track is reduced. The resulting free space is filled up by blind fingers R structured like a reflector. This also increases the reflector effect of the reflectors (not shown) on both sides of the transducer for this track.

Fig. 6 zeigt einen Wandler, bei dem die Fingerüberlappung der unteren Spur durch einzelne Blindfinger BF erniedrigt ist. Die Blindfinger sind dabei mit den mittleren Strom schienen verbunden. FIG. 6 shows a transducer in which the finger overlap of the lower track is reduced by individual blind fingers BF. The blind fingers are connected to the middle busbars.

Fig. 7 zeigt den Interdigitalwandler eines TMR-Filters, bei dem die Fingerüberlappung der unteren Teilspur ebenfalls durch Blindfinger erniedrigt ist, wobei die Blindfinger hier jedoch an beiden Stromschienen der unteren Spur bzw. des un teren Teilwandlers angeordnet sind. Fig. 7 shows the interdigital transducer of a TMR filter, in which the finger overlap of the lower partial track is also reduced by blind fingers, but the blind fingers are arranged here on both busbars of the lower track or the lower partial converter.

Fig. 8 zeigt den Interdigitalwandler eines TMR-Filters, bei dem die Impedanz des unteren Teilwandlers durch Verkürzung der Elektrodenfinger erhöht ist. Durch die verkürzten Finger wird auch hier eine verminderte Fingerüberlappung erzielt. Fig. 8 shows the interdigital transducer of a TMR filter in which the impedance of the lower part of the transducer is increased by shortening the electrode fingers. A shortened finger overlap is also achieved here due to the shortened fingers.

Neben den einzelnen Maßnahmen zur Reduzierung der Finger überlappung können auch Kombinationen dieser Maßnahmen in einem Interdigitalwandler verwirklicht sein. Die in den Fig. 5 bis 8 dargestellten TMR-Filter können in der erfin dungsgemäßen TMR-Filteranordnung eingesetzt werden, um die Kopplungsbedingung bezüglich des Realteils der an der Kop pelstelle anliegenden Impedanzen zu erfüllen.In addition to the individual measures for reducing finger overlap, combinations of these measures can also be implemented in an interdigital converter. The TMR filter shown in FIGS . 5 to 8 can be used in the TMR filter arrangement according to the invention in order to meet the coupling condition with regard to the real part of the impedances present at the coupling point.

Fig. 9 zeigt die über die Frequenz aufgetragene Einfüge dämpfung für ein bekanntes TMR-Filter wie in Fig. 1 darge stellt sowie für ein TMR-Filter gemäß der Erfindung wie in Fig. 2 dargestellt. Beide Filter werden in einer identi schen Schaltungsumgebung Z_SOURCE, Z_LOAD vermessen. Die durchgezogene Kurve des erfindungsgemäßen Filters zeigt eine deutlich niedrigere Welligkeit im Durchlaßbereich als die gestrichelte Kurve des bekannten Filters und besitzt außerdem eine niedrigere maximale Einfügedämpfung im Durchlaßbe reich. Auch die Gruppenlaufzeitverzerrung ist deutlich ver bessert. FIG. 9 shows the insertion loss plotted against the frequency for a known TMR filter as shown in FIG. 1 and for a TMR filter according to the invention as shown in FIG. 2. Both filters are measured in an identical circuit _environment Z _SOURCE , Z _LOAD . The solid curve of the filter according to the invention shows a significantly lower ripple in the passband than the dashed curve of the known filter and also has a lower maximum insertion loss in the Durchlaßbe rich. Group delay distortion has also improved significantly.

Claims

1. transverse mode resonator filter arrangement, implemented on a chip,

- Including an input area (E) with one or more ren TMR input filters (EA, EB) electrically connected in parallel to each other and
- An output area (A) with one or more TMR output filters (AA) electrically connected in parallel to each other
- In the input and output area (E, A) via a coupling point (K) are electrically connected in series
in which the number of TMR input filters (EA, EB) differs from the number of TMR output filters (AA),
- In which the input impedance is different from the output impedance
- In the case of impedance matching at the coupling point (K) between the input area (E) and the output area (A), the active finger overlap of at least one of the coupling points and a resonator associated with the TMR filter (R2EA, R1EB) is reduced.

2. Filter arrangement according to claim 1, identical for the TMR filter (EA, EB) connected in parallel are built up.

3. Filter arrangement according to claim 1 or 2, in which in the resonator (R2EA, R1EB) with reduced fin overlap reduces the length of the interdigital transducer is.

4. Filter arrangement according to claim 3, the one in the resonator (R2EA, R1EB) with reduced finger overlap due to the shortened length of the interdigital transducer-formed free space through additional reflectors is filled.

5. Filter arrangement according to claim 1 or 2, where the resonator (R2EA, R1EB) with a reduced finger overlap due to omission weighting in the interdigital transducer rea is identified.

6. Filter arrangement according to claim 1 or 2, in which the active finger overlap by replacement electrically active finger is reduced by blind fingers.

7. Filter arrangement according to claim 1 or 2, in which the active finger overlap by overlap sandwich tion is reduced.

8. Filter arrangement according to one of claims 1-7,
in which the input area (E) comprises two input TMR filters (EA, EB) connected in parallel and the output area (A) comprises an output TMR filter (AA), and
in which both resonators (R2EA, R1EB) of the input region (E) adjacent to the coupling point are reduced in the active finger overlap.

9. Filter arrangement according to one of claims 1-8, where the coupling point (K) with a parallel coupling spu le (I) is connected.

10. Filter arrangement according to one of claims 1 to 8, where the coupling point (K) with a parallel coupling con capacitor is connected.

11. Filter arrangement according to claim 10, where the coupling capacitor is an external component leads is.

12. Filter arrangement according to claim 10, where the coupling capacitor through an interdigital wall ler is realized on the chip.

13. Filter arrangement according to one of the preceding claims, where the input and / or output impedance of the Filter arrangement by reducing the active finger overlap pung in the interdi adjacent to the input and / or output gital converter of the resonators is increased and adjusted.