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DE19841772A1 - Eingangsfenster eines Röntgenbildverstärkers und Verfahren zu dessen Herstellung - Google Patents

Eingangsfenster eines Röntgenbildverstärkers und Verfahren zu dessen Herstellung

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DE19841772A1
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substrate
layer
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DE19841772A
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Heinrich Diepers
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Siemens Corp
Original Assignee
Siemens Corp
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Publication date
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    • H01J9/20—Manufacture of screens on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted or stored; Applying coatings to the vessel
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Abstract

Gemäß der Erfindung wird auf einem Substrat (2) für eine Leuchtschicht (4) eine die Oberfläche des Substrates (2) glättende Zwischenschicht (3) aufgebracht. Diese Zwischenschicht (3) dient zum Glätten der Oberfläche des Substrates (2) und ist somit eine gute Basis für ein gleichmäßiges Wachstum einer Säulenstruktur der Leuchtschicht.

Description

Aus der DE 43 42 219 C2 ist ein Röntgenbildverstärker mit ei­ nem Eingangsfenster bekannt, bei dem auf einem Träger eine Leuchtstoffschicht aufgebracht ist, die Röntgenstrahlung in Licht wandelt. Auf die Leuchtstoffschicht wird üblicherweise eine Photokathode aufgedampft, die das von der Leuchtstoff­ schicht ausgehende Licht in Elektronen wandelt. Die Elektro­ nen werden elektronenoptisch auf das dem Eingangsfenster ge­ genüberliegende Ausgangsfenster projiziert. Das Ausgangsfen­ ster weist einen Ausgangsleuchtschirm auf, durch den die Energie der Elektronen in Licht gewandelt wird, welches von einer beispielsweise nachgeschalteten Kamera detektiert und über eine Bildverstärkerfernsehkette an einer Anzeigevorrich­ tung beispielsweise als Bild eines durchstrahlten Objektes darstellbar ist. Der Träger als Substrat besteht aus einem Aluminiumblech, dem durch Walzen, Tiefziehen oder Rolldrücken eine Kalottenform beigebracht wird. In bekannter Weise muß die innere, konkave Oberfläche des kalottenförmigen Substra­ tes möglichst glatt und/oder strukturhomogen sein, damit beim Aufdampfen von beispielsweise einer aus Cäsiumjodid (Na) be­ stehenden Leuchtschicht das Cäsiumjodid (Na) ein gleichmäßi­ ges Wachstum der Säulenstruktur bekommt.
Aufgabe der Erfindung ist es, Eingangsfenster eines RBV und- ein Verfahren zu dessen Herstellung derart anzugeben, daß das Substrat eine möglichst glatte und strukturhomogene Oberflä­ che aufweist, auf der das gleichmäßige Wachstum der Säulen­ struktur möglich ist.
Die Aufgabe wird erfindungsgemäß durch ein Verfahren nach dem Patentanspruch 1 und ein Eingangsfenster nach dem Patentan­ spruch 7 gelöst.
Vorteil des Verfahrens ist, daß auf einem Substrat für eine Leuchtschicht eine die Oberfläche des Substrates glättende Zwischenschicht aufgebracht wird. Durch die Zwischenschicht werden die beim Walzen, Tiefziehen oder Rolldrücken hervorge­ rufenen Oberflächenfehler und Verletzungen sowie Unebenheiten sowie Risse, Löcher und Vertiefungen ausgeglichen, so daß auf der Zwischenschicht eine gute Basis für das Wachstum der Säu­ lenstruktur des Leuchtstoffes gegeben ist.
Weitere Vorteile und Einzelheiten der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung eines Ausführungsbeispie­ les anhand der Zeichnung in Verbindung mit den Unteransprü­ chen.
In der Figur ist in prinzipieller Weise ein Querschnitt eines Ausschnittes eines Röntgenbildverstärkers dargestellt, wobei mit dem Bezugszeichen 1 ein Vakuumgefäß gekennzeichnet ist. Mit dem Vakuumgefäß 1 steht ein Substrat 2 eines Eingangsfen­ sters des Röntgenbildverstärkers in vakuumdichter Verbindung. Das durch Walzen, Tiefziehen oder Rolldrücken kalottenförmig ausgebildete Substrat 2 weist erfindungsgemäß auf der inne­ ren, konkaven Oberfläche eine Zwischenschicht 3 auf, auf der eine Leuchtschicht 4 aufgebracht ist, die auftreffende Strah­ lung, beispielsweise Röntgenstrahlung, in Licht wandelt. Auf der dem Substrat 2 gegenüberliegenden Seite des Vakuumgefäßes 1 befindet sich das nicht dargestellte Ausgangsfenster.
Die Zwischenschicht 3 wird im flüssigen oder hochviskosen Zu­ stand, beispielsweise als Schlicker, Suspension oder Lösung, durch ein Auftrageverfahren, beispielsweise Spritzen, Schleu­ dern, Tauchen, auf das Substrat 2 aufgebracht und weist eine solche Oberflächenspannung auf, daß sich nach dem Trocknen eine glatte Oberfläche ergibt. Weist die Zwischenschicht 3 Aluminiumemaille auf, so wird sie nach dem Auftragen auf das Substrat 2 getrocknet und im Anschluß daran einem Brennprozeß unterzogen. Die Zwischenschicht 3 kann aber auch ein Polyimid aufweisen, das nach dem Auftragen der Ausgangssubstanz, z. B. in Form der Allotherm 610 Polyamidocarbonsäurelösung der Fa. BASF, und Vertrocknung bei 70-100°C in einem Imidisierungs­ prozeß hergestellt wird. Vorzugsweise ist die Zwischenschicht 3 optisch opak, so daß sie Licht, das an der Substratoberflä­ che reflektiert wird, nicht oder nur wenig zur Leuchtschicht 4 durchläßt. An dem Substrat 2 abgelenktes Licht könnte näm­ lich ungewollt Photoelektronen auf der sich an die Leucht­ schicht 4 anschließenden und nicht dargestellten Photokathode erzeugen, wodurch die Abbildungseigenschaften verschlechtert werden würden. Es wird verhindert, daß über das an der Ein­ gangsfensteroberfläche reflektierte und gestreute Licht De­ fekte, Oberflächenverletzungen und Unebenheiten insbesondere des Substrates 2 auf den Ausgangsleuchtschirm abgebildet wer­ den, und so über die Bildverstärker-Fernsehkette möglicher­ weise an der Anzeigevorrichtung zu sehen sind und zu Fehlin­ terpretationen eines Röntgenbildes führen könnte.
Das opake Aussehen der Polyimid-Zwischenschicht kann z. B. durch Zumischung von TiO2-Pulver in vorzugsweise Submikrome­ ter-Körnung erreicht werden.
Neben den bereits genannten möglichen Materialien für die Zwischenschicht 3 können weitere, geeignete Materialien An­ wendung finden, die insbesondere eine Oberflächenspannung zur Erzeugung einer glatten Oberfläche aufweisen und die vakuum­ fest sind, was bedeutet, daß keine Reste an z. B. Lösungsmit­ teln in das Vakuum des Bildverstärkers abgasen können.
Das Substrat 2 besteht vorzugsweise aus Aluminium oder einer Aluminiumlegierung in einer Stärke von ca. 1 mm. Bevorzugt werden Legierungen der Form AlMgx (x = 1-3) oder AlMgSix (x = 0,5-2) verwendet, die eine ausreichende Festigkeit zur Aufnahme des Vakuumdruckes bei einer Wandstärke kleiner 1 mm aufweisen und eine homogene Verteilung der Legierungskompo­ nenten besitzen. Unter diesen Voraussetzungen sind für den Fachmann auch andere Legierungskompositionen anwendbar.

Claims (10)

1. Verfahren zum Herstellen eines Eingangsfensters eines Röntgenbildverstärkers, wobei auf einem Substrat (2) für eine Leuchtschicht (4) eine die Oberfläche des Substrates (2) glättende Zwischenschicht (3) aufgebracht wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, wobei die Zwischenschicht (3) nach dem Ausbilden einer Kalotte auf die innere, konkave Oberfläche des Substrates (2) aufgebracht wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, wobei die Zwischen­ schicht (3) im flüssigen oder hochviskosen Zustand durch Spritzen, Schleudern oder Tauchen auf das Substrat (2) aufge­ bracht wird, und wobei die Zwischenschicht (3) eine solche Oberflächenspannung aufweist, daß sich nach dem Trocknen eine glatte Oberfläche ergibt.
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei die Zwi­ schenschicht (3) Aluminiumemaille aufweist, wobei die Zwi­ schenschicht (3) nach dem Auftragen auf das Substrat (2) ge­ trocknet und im Anschluß daran ein Brennprozeß durchgeführt wird.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei die Zwi­ schenschicht (3) ein Polyimid aufweist, wobei die Zwischen­ schicht (3) nach dem Auftragen auf das Substrat (2) getrock­ net daran anschließend ein Imidisierungsprozeß durchgeführt wird.
6. Eingangsfenster eines Röntgenbildverstärkers, aufweisend ein Substrat (2) für eine Leuchtschicht (4), wobei auf die Oberfläche des Substrates (2) eine die Oberfläche glättende Zwischenschicht (3) aufgebracht ist.
7. Eingangsfenster nach Anspruch 7, wobei auf der Zwischen­ schicht (3) die Leuchtschicht (4) aufgebracht ist.
8. Eingangsfenster nach Anspruch 7 oder 8, wobei die Zwi­ schenschicht (3) opak ist.
9. Eingangsfenster nach einem der Ansprüche 7 bis 9, wobei die Zwischenschicht (3) Aluminiumemaille oder ein Polyimid aufweist.
10. Eingangsfenster nach einem der Ansprüche 7 bis 10, wobei das Substrat (2) kalottenförmig ausgebildet ist.
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