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DE19820005B4 - Flächiger Sensor - Google Patents

Flächiger Sensor Download PDF

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DE19820005B4
DE19820005B4 DE19820005A DE19820005A DE19820005B4 DE 19820005 B4 DE19820005 B4 DE 19820005B4 DE 19820005 A DE19820005 A DE 19820005A DE 19820005 A DE19820005 A DE 19820005A DE 19820005 B4 DE19820005 B4 DE 19820005B4
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sensor
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Dr Johannes Heidenhain GmbH
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    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
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    • G01B7/16Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. by resistance strain gauge

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  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
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Abstract

Flächiger Sensor zur Temperatur- und/oder Dehnungsmessung, insbesondere eines Maschinenteils oder einer Längen- oder Winkelmeßeinrichtung, mit einer ersten, zweiten, dritten und vierten Spur (SP1, SP2, SP3, SP4), dadurch gekennzeichnet, daß die erste und vierte Spur (SP1, SP4) jeweils aus parallel geschalteten ersten Strukturelementen (ST1) und die zweite und dritte Spur (SP2, SP3) jeweils aus parallel geschalteten zweiten Strukturelementen (ST2) bestehen, wobei die Spuren (SP1, SP2, SP3, SP4) jeweils zwei Leiterbahnen aufweisen, zwischen denen die jeweiligen Strukturelemente (ST1, ST2) parallel geschaltet sind.

Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft einen flächigen Sensor gemäß dem Oberbegriff des Anspruches 1.
  • Aus der EP 349 783 B1 ist bekannt, daß Temperaturen an Werkzeugmaschinen ermittelt werden, um deren temperaturabhängige Ausdehnung zu ermitteln und zu kompensieren. Für die temperaturabhängige Ausdehnung ist dabei jeweils der gesamte Temperaturverlauf über dem sich ausdehnenden Maschinenteil zu erfassen. Dies wird dadurch ermöglicht, daß ein Widerstand benutzt wird, der sich in der Ausdehnungsrichtung des Maschinenteils erstreckt und der einen intensiven thermischen Kontakt zum Maschinenteil aufweist. Der verwendete Widerstand weist dabei ein zur mittleren Temperatur und damit zur Gesamtausdehnung proportionales Ausgangssignal auf. Zur Kontaktierung sind an den beiden Enden des Widerstands entsprechende Kontaktelemente vorgesehen.
  • Dabei ist von Nachteil, daß für jede benötigte Länge ein individueller Widerstand bereitgestellt werden muß. Weiterhin können Störeffekte, die den Wi derstand beeinflussen und das Meßergebnis verfälschen, wie z.B. Alterung, nicht kompensiert werden.
  • Die CH 673893 A5 zeigt einen Dehnungsmeßstreifen, der aus mehreren Spuren mit mehreren in Reihe geschalteten Strukturelementen besteht. Ein solcher Dehnungsmessstreifen muß in der gewünschten Länge gefertigt werden und kann nicht in einfacher Weise nachträglich gekürzt werden.
  • Die EP 0 620 424 A1 beschreibt ein Widerstandsthermometer, bei dem mechanische Einflüsse auf den Meßwiderstand kompensiert werden können. Der eingesetzte Sensor weist zwei parallel gewickelte Drähte aus unterschiedlichen Materialien auf. Ein nachträgliches Kürzen des Sensors auf eine gewünschte Länge ist ebenso nicht ohne Weiteres möglich.
  • Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, einen Sensor anzugeben, der die genannten Nachteile vermeidet, der universell einsetzbar und kostengünstig zu produzieren ist.
  • Diese Aufgabe wird durch einen Sensor mit den Merkmalen des Anspruches 1 gelöst.
  • Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen ergeben sich aus den abhängigen Ansprüchen.
  • Bei einem erfindungsgemäßen Sensor ist bei einer Längenänderung kein neuer Abgleich in der Auswerteelektronik erforderlich. Die Ausgangssignale des Sensors sind längenunabhängig.
  • Der Sensor weist den Vorteil auf, daß aufgrund der Parallelschaltung der Strukturelemente die Widerstandselemente mit temperaturabhängiger Leitfähigkeit gleichmäßig über die gesamte Länge des Sensors verteilt sind, wodurch die Möglichkeit besteht, den Sensor besonders einfach in der benötigten Länge abzuschneiden. Weiterhin wird dadurch vorteilhaft die Temperatur über der gesamten Sensorlänge gemessen.
  • Weitere Vorteile sowie Einzelheiten des erfindungsgemäßen Sensors ergeben aus der nachfolgenden Beschreibung eines Ausführungsbeispiels anhand der Zeichnungen. Dabei zeigt:
  • 1 einen flächigen Sensor mit zwei Spuren in Reihe geschalteter Strukturelemente und Auswerteelektronik,
  • 2 einen Längsschnitt durch einen flächigen Sensor mit Auswerteelektronik,
  • 3 eine Realisierungsmöglichkeit des flächigen Sensor gemäß der Erfindung mit vier Spuren parallel geschalteter Strukturelemente mit Auswerteelektronik und
  • 4 eine weitere Realisierungsmöglichkeit des flächigen Sensors gemäß der Erfindung mit vier Spuren parallel geschalteter Strukturelemente.
  • Im folgenden Ausführungsbeispiel wird von einer Anwendung des Sensors als Temperatursensor ausgegangen.
  • 1 zeigt – lediglich als Vergleichsbeispiel – einen flächigen Temperatursensor S zum Aufkleben auf die Oberfläche eines Maschinenteils, dessen thermische Dehnung bestimmt werden soll. Der Sensor S besteht aus einer ersten Spur SP5, die sich aus in Reihe geschalteten Strukturelementen ST3 mit einer temperaturabhängigen elektrischen Leitfähigkeit zusammensetzt. Die einzelnen Strukturelemente ST3 werden über Verbindungselemente in Form von Lötpads VE, die jeweils zwischen zwei Strukturelementen ST3 angeordnet sind, verbunden. Die zweite Spur SP6 ist identisch zur ersten ausgebildet und zur ersten Spur SP5 benachbart angeordnet.
  • Weiterhin sind auf der Seite mit der Zuleitung elektronische Baugruppen angedeutet, die eine Verstärkung V und/oder eine Auswertung AW des Ausgangssignals des Sensors S durchführen.
  • Die Länge des Sensors S übersteigt meist die vom Anwender benötigte Länge. In diesem Fall kann der Anwender die nicht benötigte Länge des Sensors S einfach entlang einer Schnittlinie SL abtrennen. Dies erfolgt im wesentlichen senkrecht zu den Spuren SP5 und SP6. Auf diese besonders anwenderfreundliche und einfache Art kann die Länge des Sensors S vom Benutzer eingestellt werden. Dabei ist darauf zu achten, daß nur auf der Länge des Sensors S mit Strukturelementen ST3 eine Temperaturmessung erfolgt, auf der Länge des Sensors S mit den elektronischen Baugruppen V und AW erfolgt keine Temperaturmessung.
  • Anschließend sind die beiden nunmehr am Ende des Sensors S gelegenen Verbindungselemente VE durch einen Lötpunkt LP oder eine andere elektrisch leitende Verbindung zu überbrücken, wie in 1 dargestellt.
  • Die Befestigung des Sensors S erfolgt mittels der in 2 dargestellten wärmeleitenden Klebeschicht KS auf der Rückseite des Sensors S an dem Maschinenteil. Als Klebeschicht KS kann vorteilhaft Preciment verwendet werden.
  • Anschließend besteht die Möglichkeit eine Schutzschicht auf den Sensor S aufzubringen, beispielsweise indem man eine Folie entsprechender Dicke und Festigkeit über den Sensor S klebt. Dadurch wird ein Schutz, beispielsweise gegen mechanische oder chemische Beschädigung, erreicht.
  • 3 zeigt eine alternative Realisierung des flächigen Sensors S gemäß der Erfindung. Es sind vier puren SP1 bis SP4 vorgesehen, wobei die erste und vierte Spur SP1 und SP4 und die zweite und dritte Spur SP2 und SP3 jeweils aus einer Parallelschaltung von Strukturelementen ST1 und ST2 über der gesamten Sensorlänge bestehen. Zumindest die Strukturelemente ST1 und ST2 sollen dabei aus Material bestehen, welches eine unterschiedliche Abhängigkeit der elektrischen Leitfähigkeit von der Temperatur aufweist. Die Ausgangssignale aller Spuren SP1, SP2, SP3 und SP4 werden zunächst einer Auswerteschaltung AW zugeleitet, in der die Ausgangssignale in einer Brücke, insbesondere einer Wheatstone-Brücke, verschaltet werden und anschließend werden die Ausgangssignale der Brückenschaltung einem Verstärker V zugeleitet.
  • Die dabei benötigten elektronischen Baugruppen für Verstärker V und Auswertung AW können auf dem Sensor S integriert ausgeführt sein, wie in 3 dargestellt. Dadurch kann eine geringere Empfindlichkeit gegen elektromagnetische Störungen und dem unvermeidlichen Rauschen erreicht werden.
  • Im Gegensatz zu einer punktuellen Temperaturmessung, beispielsweise mit einzelnen temperaturabhängigen Widerständen, liefert der flächige Sensor den genauen Mittelwert der Temperatur im vom Sensor überdeckten Bereich. Da bei konstantem Ausdehnungskoeffizienten die Gesamtdehnung der mittleren Temperatur proportional ist, sind zeitlich zurückliegende Temperaturmessungen, wie sie bei anderen Verfahren benötigt werden, mit dem erfindungsgemäßen Sensor S nicht erforderlich.
  • Der temperaturabhängige ohmsche Widerstand eines metallischen Leiters, wie er für die Strukturelemente ST1, ST2 und ST3 verwendet wird, berechnet sich aus dem spezifischem Widerstand ρ des Materials, der Länge L, der Querschnittsfläche A, dem Temperaturkoeffizienten α und der Temperaturdifferenz ΔT. R = ρ·LA ·(1 + α·ΔT)
  • Nimmt man an, daß die breiten horizontalen Leiterbahnen einer beliebigen Spur SP1, SP2, SP3, SP4 aus der 1 bzw. die Verbindungselemente VE der Spuren SP5 oder SP6 aus der 3 keinen Einfluß auf den Gesamtwiderstand eines Strukturelements ST1, ST2, oder ST3 haben, so kann der Widerstand einer Spur SP1, SP2, SP3, SP4, SP5 oder SP6 aus der Parallelschaltung der einzelnen Strukturelements ST1, ST2, oder der Reihenschaltung der Strukturelemente ST3 berechnet werden. Im folgenden soll näher auf die interessantere Parallelschaltung der als temperaturabhängige Widerstände dienenden Strukturelemente ST1 und ST2 aus 3 eingegangen werden. Mit der Anzahl n der Strukturelemente ST1, ST2 berechnet sich der Widerstand einer der Spuren SP1, SP2, SP3, SP4 zu: R = ρ·Ln·A ·(1 + α·ΔT)
  • Die mittlere Temperatur kann mit dem flächigen Sensor aus 3 besonders vorteilhaft gemessen werden, wenn die vier Spuren SP1, SP2, SP3 und SP4 in einer Wheatstonschen Brücke verschaltet werden. Dadurch wird erreicht, daß Störungen mittels der Brückenschaltung kompensiert werden.
  • Bezeichnet man die Widerstände der Spuren SP1 bis SP4 mit R1 bis R4, gilt für die Brückenschaltung:
    Figure 00060001
  • Bei der Wheatstone-Brücke bilden R1 und R2 einen ersten Spannungsteiler und R3 und R4 einen zweiten, parallelgeschalteten Spannungsteiler. Die Ausgangsspannung Ua wird als Spannungsdifferenz zwischen den Verbin dungspunkten von R1, R2 und R3, R4 gemessen. Die Versorgungsspannung Ue wird an R1 und R3 angelegt, R2 und R4 liegen an Masse.
  • Verwendet man für die Strukturelemente ST1 und ST2 unterschiedliche Materialien mit unterschiedlichen Kenngrößen und ordnet man den Kenngrößen der Strukturelemente ST1 den Index a und den Kenngrößen der Strukturelemente ST2 den Index b zu, so ergibt sich die Ausgangsspannung Ua der Brückenschaltung abhängig von der Eingangsspannung Ue zu:
    Figure 00070001
  • Unter den vereinfachenden Annahmen, daß
    • – der Temperaturkoeffizient αb gegenüber αa vernachlässigbar klein ist,
    • – alle Strukturelemente ST1 und ST2 bei Raumtemperatur den gleichen Widerstand haben und
    • – die temperaturabhängige Änderung des Widerstands gering gegenüber dem Gesamtwiderstand ist,
    gilt:
    Figure 00070002
  • Daß der Temperaturkoeffizient ab des Materials für erste Strukturelemente ST1 vernachlässigbar klein ist gegenüber dem Temperaturkoeffizienten αa, wird durch eine geeignete Wahl der Materialien, aus denen die Strukturelemente ST1 und ST2 bestehen, erreicht. Hier ist besonders die Kombination Konstantan mit Temperaturkoeffizient ab für die Strukturelemente ST1 und Kupfer mit Temperaturkoeffizient αa für die Strukturelemente ST2 geeignet. Daß alle Strukturelemente ST1 und ST2 bei Raumtemperatur den gleichen Widerstand haben wird durch die Wahl der Länge La, Lb und Querschnitt Aa, Ab erreicht. Daß die Änderung des temperaturabhängigen Teils des Widerstands gering gegenüber dem Gesamtwiderstand ist, ist aufgrund der gegenüber 1 kleinen Temperaturkoeffizient αa und αb ohnehin der Fall.
  • Die Brückenspannung ist gemäß obiger Gleichung somit unabhängig von der Anzahl n der nach dem Abschneiden übrigen Strukturelemente ST1 und ST2. Ein individuelles Kalibrieren des Verstärkers V abhängig von der Länge des Sensors S beim Anwender ist dadurch nicht erforderlich.
  • Bei Verwendung des Sensor S gemäß der Erfindung als Dehnungssensor dürfen die sogenannten Vorzugsrichtungen der Strukturelemente ST1, ST2, ST3 der Spuren SP1, SP2, SP3 und SP4 des Sensors aus 3 oder SP5 und SP6 des Sensors aus 1 nicht senkrecht zur Dehnungsrichtung ausgerichtet sein. Eine optimale Empfindlichkeit des Sensors S gegenüber Dehnung erreicht man, wenn die Spuren SP1 bis SP4 bzw. SP5 und SP6 parallel zur Dehnungsrichtung verlaufen. Dies ist durch die spezielle Leitungsführung in den Strukturelementen ST1, ST2 und ST3 gemäß 1 und 3 begründet.
  • In der vorangegangenen Beschreibung wurde davon ausgegangen daß die elektronischen Baugruppen zumindest zur Verstärkung der Sensorausgangssignale auf dem Sensor S integriert angeordnet sind. Alternativ dazu besteht die Möglichkeit, daß die elektronischen Baugruppen und der eigentliche Sensor S, bestehend nur aus den Spuren SP1 bis SP4 bzw. SP5 und SP6, als getrennte Baugruppen gemäß 4 ausgestaltet sind. Dann besteht die vorteilhafte Möglichkeit den Sensor S in großen Mengen am Stück herzustellen und erst für die spezielle Anwendung, beispielsweise von einer Rolle, abzutrennen.
  • Dies hat den Vorteil, daß kein Abfall entstehen würde und die Herstellung des Sensors S wesentlich einfacher und kostengünstiger wäre.
  • Die elektronischen Baugruppen, insbesondere der Verstärker V, können dann entweder über Kabel mit dem Sensor S verbunden werden oder diese werden unmittelbar an einem Ende der Spuren SP1 bis SP4 bzw. SP5 und SP6 mit dem Sensor S leitend verbunden. Hierfür können die in 1 dargestellten Verbindungselemente VE benutzt werden oder es werden, wie in 4 dargestellt, für den Sensor S aus 3 die breiten Leiterbahnen, durch die die Strukturelemente ST1 und ST2 parallelgeschaltet werden, für eine Verbindung benutzt. Falls die Breite der Leiterbahnen nicht ausreichen sollte für eine Kontaktierung, können, wie in 4 dargestellt, in regelmäßigen Abständen zusätzliche Lötpunkte LP vorgesehen werden, an denen der Sensor S mit der Auswerteelektronik (V, AW) verbunden wird.

Claims (4)

  1. Flächiger Sensor zur Temperatur- und/oder Dehnungsmessung, insbesondere eines Maschinenteils oder einer Längen- oder Winkelmeßeinrichtung, mit einer ersten, zweiten, dritten und vierten Spur (SP1, SP2, SP3, SP4), dadurch gekennzeichnet, daß die erste und vierte Spur (SP1, SP4) jeweils aus parallel geschalteten ersten Strukturelementen (ST1) und die zweite und dritte Spur (SP2, SP3) jeweils aus parallel geschalteten zweiten Strukturelementen (ST2) bestehen, wobei die Spuren (SP1, SP2, SP3, SP4) jeweils zwei Leiterbahnen aufweisen, zwischen denen die jeweiligen Strukturelemente (ST1, ST2) parallel geschaltet sind.
  2. Flächiger Sensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die ersten und zweiten Strukturelemente (ST1, ST2) unterschiedliche Temperaturkoeffizienten und damit eine unterschiedliche Abhängigkeit der elektrischen Leitfähigkeit von der Temperatur aufweisen.
  3. Flächiger Sensor nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Temperaturkoeffizient der zweiten Strukturelemente (ST2) gegenüber dem Temperaturkoeffizienten der ersten Strukturelemente (ST1) vernachlässigbar klein ist.
  4. Flächiger Sensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß dessen erste, zweite, dritte und vierte Spur (SP1, SP2, SP3, SP4) in einer Brückenschaltung zusammengeschaltet sind, so daß eine Ausgangsspannung (Ua) der Brückenschaltung beim Anlegen einer Eingangsspannung (Ue) an die Brückenschaltung unabhängig von der Anzahl der jeweils parallel geschalteten Strukturelemente (ST1, ST2) ist, wodurch ein als langes Band gefertigter Sensor (S) in der benötigten Länge vom Band abtrennbar ist, ohne die Temperaturabhängigkeit der Ausgangsspannung (Ua) von der Eingangsspannung (Ue) zu verändern.
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